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题名平面天线在场效应晶体管太赫兹探测器中的应用
被引量：6
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作者
王晓东
颜伟
李兆峰
张博文
黄镇
杨富华
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机构
中国科学院半导体研究所半导体集成技术工程研究中心
中国科学院大学材料与光电研究中心
中国科学院大学微电子学院
中国科学院半导体研究所超晶格国家重点实验室
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出处
《中国光学》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第1期1-13,共13页
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基金
国家重点研发专项基金(No.2016YFA02005003)
国家自然科学基金(No.61474115)~~
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文摘
为了提高场效应晶体管太赫兹探测器的响应度并降低噪声等效功率,需要对探测器集成平面天线的结构进行合理设计与优化,本文对集成平面天线结构的场效应晶体管太赫兹探测器的研究进行了深入调研。首先,对场效应晶体管太赫兹探测器的工作原理进行了分析,介绍了集成平面天线如何解决耦合太赫兹波效率低的问题。然后,介绍了一些常用的平面天线结构,包括偶极子天线、贴片天线、缝隙天线、grating-gate和其他类型的结构,比较了各种天线的性能以及引入后对太赫兹探测器响应度的影响。通过对比不同天线结构的探测器响应度和噪声等效功率等参数指标,发现:采用平面天线结构之后,场效应晶体管太赫兹探测器的响应度有了大幅度的提升,各种类型的天线对探测器响应度都有不同程度的提升。本文着重介绍了几种集成于场效应晶体管的平面天线结构,包括各种天线的性能和研究进展,最后分析了场效应晶体管太赫兹探测器存在的问题和发展趋势。
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关键词
场效应晶体管太赫兹探测器
平面天线
grating-gate结构
响应度
噪声等效功率
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Keywords
FET THz detectors
planar antenna
grating-gate
responsivity
noise equivalent power
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分类号
TN827.2
[电子电信—信息与通信工程]
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