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Anchor-free目标检测算法综述 被引量:3
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作者 陈恒星 刘一鸣 《机电工程技术》 2024年第8期7-12,共6页
目标检测作为计算机视觉领域的基础,其研究价值对于推动人工智能发展具有重要意义。长期以来,许多学者都致力于提升目标检测算法效率及性能的研究,无锚点(anchor-free)的目标检测深度学习算法以尺度灵活、鲁棒性强等优势,开始逐渐广泛... 目标检测作为计算机视觉领域的基础,其研究价值对于推动人工智能发展具有重要意义。长期以来,许多学者都致力于提升目标检测算法效率及性能的研究,无锚点(anchor-free)的目标检测深度学习算法以尺度灵活、鲁棒性强等优势,开始逐渐广泛应用于目标检测任务。介绍了目标检测领域中卷积神经网络和Transformer两种经典的网络架构;以核心网络架构为分类标准,分别介绍了基于卷积神经网络和基于Transformer的anchor-free目标检测深度学习算法,总结了这些算法的改进点和优缺点,并对该方向的未来发展及应用做出展望。 展开更多
关键词 目标检测 anchor-free 卷积神经网络 TRANSFORMER
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组合型摩擦摆隔震装置的设计与试验研究 被引量:3
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作者 赵守江 柏文 《工程力学》 北大核心 2025年第8期223-230,共8页
针对摩擦摆支座(FPB)在浮放物体应用中的局限性,提出了一种组合型摩擦摆隔震装置(CFPSI)。介绍其基本构造和工作原理,建立分析模型并推导出它的运动方程;制作了试验模型并分别进行滞回性能测试和地震动模拟试验,同时与理论分析结果进行... 针对摩擦摆支座(FPB)在浮放物体应用中的局限性,提出了一种组合型摩擦摆隔震装置(CFPSI)。介绍其基本构造和工作原理,建立分析模型并推导出它的运动方程;制作了试验模型并分别进行滞回性能测试和地震动模拟试验,同时与理论分析结果进行对比以验证分析模型的正确性以及方案的可行性;采用数值分析方法比较了CFPSI和FPB在不同地震强度下的隔震效果。结果表明:CFPSI不仅结构简单,易于加工,而且具有起滑加速度阈值小,变刚度和变阻尼的特点;无论是滞回性能曲线还是地震响应曲线,理论分析值和试验值均吻合良好,证明了CFPSI的设计方案合理,动力分析模型准确;与FPB相比,除具有良好的隔震性能外,CFPSI还表现出更强的自适应性。 展开更多
关键词 组合型摩擦摆隔震装置 摩擦系数 滞回性能 隔震效果 浮放物体
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非平坦环境下履带机器人多目标路径规划方法研究
3
作者 张道德 卢子健 +1 位作者 赵坤 杨智勇 《中国机械工程》 北大核心 2025年第2期305-314,共10页
为实现非平坦环境下履带机器人路径规划高效、安全、节能等运行目标,提出了一种改进的快速精英多目标遗传算法(NSGA-Ⅱ)多目标路径规划方法。首先综合分析非平坦环境下履带机器人的作业需求,建立2.5D栅格环境模型简化复杂的环境地图;然... 为实现非平坦环境下履带机器人路径规划高效、安全、节能等运行目标,提出了一种改进的快速精英多目标遗传算法(NSGA-Ⅱ)多目标路径规划方法。首先综合分析非平坦环境下履带机器人的作业需求,建立2.5D栅格环境模型简化复杂的环境地图;然后选取路径长度短、能量消耗低和安全性高作为机器人路径规划子目标指标;最后通过8邻域曼哈顿防碰撞算法改进栅格选择方式避免机器人与障碍物栅格顶点碰撞,并在NSGA-Ⅱ算法中引入精英替换策略扩大种群规模,防止优良路径基因流失,加速算法收敛。相较于多目标可变邻域搜索(MOVNS)算法,所提方法规划出的路径在路径长度上平均缩短9.02%、能耗上平均节省18.36%、危险率上平均降低7.28%,有助于提高非平坦环境下的路径规划质量。 展开更多
关键词 路径规划 非平坦环境 能量消耗 防碰撞 多目标优化
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基于改进YOLOv8的汽车门板紧固件检测算法 被引量:2
4
作者 王晓辉 贾韫硕 郭丰娟 《计算机工程与设计》 北大核心 2025年第1期298-306,共9页
针对汽车门板紧固件在复杂场景下存在的检测准确度较低和实时性较差的问题,提出一种小目标改进算法YOLOv8-SOD(small object detection)。在主干网络引入SPD(space-to-depth)模块和自适应权重分配模块,在算法的颈部网络输出位置增加选... 针对汽车门板紧固件在复杂场景下存在的检测准确度较低和实时性较差的问题,提出一种小目标改进算法YOLOv8-SOD(small object detection)。在主干网络引入SPD(space-to-depth)模块和自适应权重分配模块,在算法的颈部网络输出位置增加选择性注意力模块,将CIOU损失函数替换为MPDIOU损失函数。实验结果表明,YOLOv8-SOD算法平均检测精度为99.1%,比模板匹配方法和YOLOv8算法分别提高了9.4%、2%,达到了工厂生产流水线的检测标准,具有实用价值。 展开更多
关键词 汽车门板紧固件检测 小目标 自适应权重分配 无参注意力 选择性注意力 损失函数 深度学习
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基于anchor-free的光学遥感舰船关重部位检测算法 被引量:3
5
作者 张冬冬 王春平 付强 《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第4期1365-1374,共10页
针对基于深度学习的遥感舰船检测算法存在精细化程度不足、检测效率低的问题,提出一种基于anchor-free的光学遥感舰船关重部位检测算法。所提算法以全卷积的单阶段目标检测(FCOS)算法为基准,在主干网络中引入全局上下文模块,提高网络的... 针对基于深度学习的遥感舰船检测算法存在精细化程度不足、检测效率低的问题,提出一种基于anchor-free的光学遥感舰船关重部位检测算法。所提算法以全卷积的单阶段目标检测(FCOS)算法为基准,在主干网络中引入全局上下文模块,提高网络的特征表达能力;为更好地描述目标的方向性,在预测阶段构建了具有方向表征能力的回归分支;对中心度函数进行优化,使其具备方向感知和自适应能力。实验结果表明:在自建舰船关重部位数据集和HRSC2016上,所提算法的平均精度(AP)比FCOS算法有显著提升;与其他算法相比,所提算法在检测速度和检测精度上均表现优越,具有较高的检测效率。 展开更多
关键词 深度学习 遥感图像 anchor-free 舰船检测 关重部位检测 全卷积单阶段检测
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自由航路空域航空器无冲突轨迹规划 被引量:1
6
作者 隋东 崔晓冰 周泽凯 《系统工程与电子技术》 北大核心 2025年第6期1899-1908,共10页
空中交通流量的持续增长导致航路拥堵和空域资源紧张。为缓解空中管制员的工作压力,提高空域的使用效率,基于自由航路空域的背景,提出无冲突轨迹规划的方法。建立一个多目标混合整数线性规划模型,该模型的核心是生成飞行高度剖面满足离... 空中交通流量的持续增长导致航路拥堵和空域资源紧张。为缓解空中管制员的工作压力,提高空域的使用效率,基于自由航路空域的背景,提出无冲突轨迹规划的方法。建立一个多目标混合整数线性规划模型,该模型的核心是生成飞行高度剖面满足离域协议高度,并为冲突航空器找到最近、最优的中间改航点。将空域离散化为菱形,以固定航向调整幅度并提高模型计算速度,使用分层序列法求解多目标问题。以真实的空域结构和高于当前运行态势的交通流量,生成具有连续交通流的场景样本。实验结果表明,94.625%的样本可以在120 s内得到无冲突轨迹,所提无冲突轨迹规划方法对于未来自由航路空域发展具有重要意义。 展开更多
关键词 自由航路空域 无冲突轨迹规划 空域离散化 多目标混合整数线性规划
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基于Grasshopper+SAP2000的自由曲面网架全参数化建模及优化
7
作者 张建国 颜涛 张建霖 《建筑结构》 北大核心 2025年第8期75-81,共7页
参数化为自由曲面空间网格结构的快速建模与分析提供了有利条件,基于Grasshopper平台编制了NURBS(非均匀有理B样条曲线)曲面网架几何参数化建模程序,并通过SAP2000 OAPI进行二次开发,实现了几何模型到有限元分析的全参数化联动。以空间... 参数化为自由曲面空间网格结构的快速建模与分析提供了有利条件,基于Grasshopper平台编制了NURBS(非均匀有理B样条曲线)曲面网架几何参数化建模程序,并通过SAP2000 OAPI进行二次开发,实现了几何模型到有限元分析的全参数化联动。以空间网格结构的综合性能优化为目标,阐述了NURBS自由曲面网架生成逻辑,给出了力学性能与四边形网格质量的评判标准,构造了多目标优化问题模型。以两个自由曲面网架结构作为工程算例,将曲面控制点的权重、桁架高度和曲面划分数作为优化变量,结构整体应变能为力学优化目标,网格形状系数标准差为几何指标,用钢量为经济指标,使用遗传算法进行优化。结果表明:经过多目标优化后,自由曲面网架整体应变能减小,曲面流畅性与统一性得到明显改善,全参数化建模及优化的可行性得到了验证。 展开更多
关键词 参数化建模 自由曲面 网架结构 二次开发 多目标优化
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基于多目标控制的钢桁系杆拱桥无应力状态计算研究 被引量:1
8
作者 王宁波 范治豪 常柱刚 《铁道科学与工程学报》 北大核心 2025年第2期748-756,共9页
为获取大跨钢桁系杆拱桥精准无应力线形和合理成桥系杆力,考虑系杆拱桥无应力状态特征和成桥状态水平系杆力取值目标,提出一种基于多目标控制的钢桁系杆拱桥无应力状态计算方法。以无应力线形经荷载作用变形后的空间位置与设计线形间的... 为获取大跨钢桁系杆拱桥精准无应力线形和合理成桥系杆力,考虑系杆拱桥无应力状态特征和成桥状态水平系杆力取值目标,提出一种基于多目标控制的钢桁系杆拱桥无应力状态计算方法。以无应力线形经荷载作用变形后的空间位置与设计线形间的差值和拱脚位移均逼近0作为迭代计算目标,选定钢桁系杆拱桥设计线形参数为初始无应力状态空间位置信息,考虑实际施工工序存在的结构体系转换特征,计算其在荷载作用下变形后线形空间位置信息和设计线形间的差值和拱脚位移。将空间位置信息差值反向叠加至无应力线形并根据拱脚位移计算初始系杆索力,从而实现拱肋无应力状态空间位置信息和水平系杆力的同步更新。开展多次迭代计算,直至空间位置信息差值和拱脚水平位移均满足迭代目标。结合某大跨钢桁系杆拱桥设计参数,开展钢桁系杆拱桥无应力状态计算研究,同步获取拱肋无应力线形节点空间位置和合理成桥系杆力。对比无应力状态计算结果与实际设计采用值,两者上弦杆预拱度幅值分别为6.9 cm和8.2 cm,拱脚水平位移分别为3.1×10^(-5) cm和1.2 cm,比较接近,验证了本文无应力状态计算方法的正确性和可行性。基于多目标控制的钢桁系杆拱桥无应力状态计算方法能获取精准无应力状态信息,可为此类桥梁的设计和施工提供重要指导。 展开更多
关键词 钢桁系杆拱桥 无应力线形 水平系杆力 双目标有限迭代 空间位置信息
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大长径比无氧铜深孔钻削工艺参数多目标优化 被引量:2
9
作者 韩晓兰 王凯 +1 位作者 刘战锋 赵升吨 《制造技术与机床》 北大核心 2025年第3期112-118,共7页
为解决无氧铜深孔钻削时存在断屑难、排屑困难等问题,基于响应面分析法开展了多孔TU1无氧铜枪钻钻削试验研究。以进给量、切削速度和切削液压力作为输入变量,以切屑形态的容屑系数、切屑变形系数作为响应值,建立输入变量和响应值之间的... 为解决无氧铜深孔钻削时存在断屑难、排屑困难等问题,基于响应面分析法开展了多孔TU1无氧铜枪钻钻削试验研究。以进给量、切削速度和切削液压力作为输入变量,以切屑形态的容屑系数、切屑变形系数作为响应值,建立输入变量和响应值之间的回归模型,获得优化参数组合。结果表明,单因素对容屑系数和切屑变形系数影响程度由大到小依次为进给量、切削速度、切削液压力;多因素交互影响中切削速度和切削液压力的交互作用对容屑系数和切屑变形系数的影响最显著。当进给量为0.023 mm/r、切削速度为47.1 m/min、切削液压力为2.1 MPa时,获得的C型切屑是理想的切屑,排屑顺畅。为易切削大变形材料的深孔加工工艺参数选择提供理论参考。 展开更多
关键词 无氧铜 多目标参数优化 枪钻 响应面分析 深孔钻削
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基于监督注意力的遥感图像定向目标检测 被引量:2
10
作者 余凌霄 郝洁 左量 《中国图象图形学报》 北大核心 2025年第3期696-709,共14页
目的任意方向的多尺度目标和复杂的背景信息,使得在遥感图像上的目标检测相比一般目标检测任务具有更大的挑战。尽管一些现有的检测模型取得了令人满意的成果,但它们主要基于锚框实现,其检测性能依赖于预定义锚框的设计。本文在Faster R... 目的任意方向的多尺度目标和复杂的背景信息,使得在遥感图像上的目标检测相比一般目标检测任务具有更大的挑战。尽管一些现有的检测模型取得了令人满意的成果,但它们主要基于锚框实现,其检测性能依赖于预定义锚框的设计。本文在Faster R-CNN(faster region-based convolutional neural network)的基础上,通过结合无锚检测思想与监督掩码注意力技术,提出了一种新的两阶段无锚检测模型。方法首先,对于骨干网络提取的特征金字塔构建一个监督掩码注意力模块,通过注意力机制和掩码监督方法引导检测模型关注目标区域,减少背景噪声的干扰,从而提高目标特征的质量。其次,结合FCOS(fully convolutional one-stage object detection)的回归思想以及中心点偏移技术设计了一个基于关键点预测的无锚定向区域提议网络,并且在训练阶段采用动态调整的软标签策略,实现标签的合理分配,提高模型的检测精度。结果在两个公开的遥感数据集DOTA(dataset for object detection in aerial images)和HRSC(high-resolution ship collections)2016上进行了大量实验,平均精确率均值(mean average precision,mAP)分别达到76.36%和90.51%,超过大多的定向检测模型,表明了本文方法的先进性和有效性。结论本文提出的检测模型通过将区域提取网络的无锚框设计、监督方法以及注意力机制进行结合,能够有效适应复杂遥感图像中的定向目标检测场景。 展开更多
关键词 深度学习 遥感图像 定向目标检测 无锚框 注意力机制 多尺度特征融合
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六足机器人四足自由步态运动规划的实验案例设计
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作者 王宇 杨佳锐 +3 位作者 任诚 朱红钧 李亚鑫 李红伟 《实验室研究与探索》 北大核心 2025年第11期72-78,共7页
为避免机器人工程的专业知识与应用实践脱节,实验将《机器人基础原理》中的理论知识与六足仿生机器人的科研成果相融合,设计一种四足自由步态的运动规划方法,以实现机器人对期望路径的精准、平稳跟踪。实验方案结合多约束目标优化与粒... 为避免机器人工程的专业知识与应用实践脱节,实验将《机器人基础原理》中的理论知识与六足仿生机器人的科研成果相融合,设计一种四足自由步态的运动规划方法,以实现机器人对期望路径的精准、平稳跟踪。实验方案结合多约束目标优化与粒子群算法,完成机体质心与摆动腿的运动规划;采用基于支撑多边形稳定裕度的判定方法,确定稳定性最高的摆腿顺序;并运用多项式插值函数规划摆动腿与支撑腿的足端运动轨迹。实验结果表明,该规划方法能使六足机器人精准、平稳地跟踪期望路径。该综合实验有助于培养学生理论联系实际的能力,并激发其科研兴趣。 展开更多
关键词 路径跟踪 四足自由步态 运动规划 目标优化 实验设计
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抗锯齿无锚框目标检测模型 被引量:1
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作者 冉梦影 杨文柱 尹群杰 《计算机应用与软件》 北大核心 2025年第1期116-123,176,共9页
为了提升无锚框目标检测模型对物体多尺度检测性能,并实现检测速度与精度的最佳折中,提出一种具有抗锯齿能力的无锚框目标检测模型。下采样操作中,使用分组自适应低通滤波器解决网络中存在的锯齿问题;并联不同空洞率的空洞卷积进行多尺... 为了提升无锚框目标检测模型对物体多尺度检测性能,并实现检测速度与精度的最佳折中,提出一种具有抗锯齿能力的无锚框目标检测模型。下采样操作中,使用分组自适应低通滤波器解决网络中存在的锯齿问题;并联不同空洞率的空洞卷积进行多尺度特征融合,扩大神经元感受野范围。防止在模型训练过程中破坏网络参数,对损失函数进行实验讨论,替换为smooth L1 Loss函数。实验结果表明,在PASCAL VOC数据集上mAP指标达到了82.1%,FPS达到了32,与CenterNet-ResNet101相比,mAP提升了4.3%,FPS提升了18.5%。 展开更多
关键词 目标检测 无锚框 锯齿问题 空洞卷积 损失函数
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基于改进CenterNet的农作物害虫无锚检测算法研究
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作者 王海燕 张占哲 李杰 《中国农机化学报》 北大核心 2025年第10期183-191,共9页
农业生产中的害虫管理对确保作物产量和品质起着关键性作用。基于卷积神经网络的害虫检测技术近年来取得一定进展,但仍面临两大主要挑战:一是某些害虫种类外貌高度相似导致分类识别困难;二是因害虫对象具有多尺度特征导致大量假阴性检测... 农业生产中的害虫管理对确保作物产量和品质起着关键性作用。基于卷积神经网络的害虫检测技术近年来取得一定进展,但仍面临两大主要挑战:一是某些害虫种类外貌高度相似导致分类识别困难;二是因害虫对象具有多尺度特征导致大量假阴性检测,特别是在小型害虫的识别上。为解决这些问题,研究提出一种实时、无锚框的改进CenterNet害虫检测模型。该模型在主干网络中嵌入CBAM注意力机制,以有效提升特征的分类准确性。同时,在颈部网络中加入MFF多尺度特征融合模块,实现不同尺度特征图的高效整合。研究结果显示,所提模型在百度AI昆虫数据集和高挑战性的IP102数据集上,平均精度均值mAP分别高达98.6%、89.7%,并且在2个数据集上的推理速度超过30帧/s,实时性能显著。与现有主流方法相比,改进CenterNet害虫检测模型在复杂农业环境下害虫精准识别方面优势显著,具有广泛的应用潜力。 展开更多
关键词 害虫检测 农田环境 目标检测 无锚框 CenterNet
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面向无模型物体的机器人视觉-力觉协同交互方法
14
作者 黄玲涛 王琳轩 +1 位作者 孔紫静 张红彦 《农业机械学报》 北大核心 2025年第10期770-779,共10页
视觉-力觉多模态融合是提升机器人操作性能的核心技术,针对当前视觉定位方法对高质量三维模型的依赖性及机器人与环境之间交互能力不足等问题,本文提出了一种面向无模型物体的机器人视觉-力觉协同交互方法。采用Colmap三维重建算法获取... 视觉-力觉多模态融合是提升机器人操作性能的核心技术,针对当前视觉定位方法对高质量三维模型的依赖性及机器人与环境之间交互能力不足等问题,本文提出了一种面向无模型物体的机器人视觉-力觉协同交互方法。采用Colmap三维重建算法获取物体点云数据,通过位姿估计技术实现无模型物体定位。针对视觉硬件精度不足导致的定位偏差问题,采用基于力觉的物体交互策略,利用决策树算法与柔顺控制策略的动态调整机器人运动。最后,进行了物体抓取堆叠和约束放置实验。实验结果表明,所提出的视觉定位方法能够实现无模型物体定位,在未经建模物体定位方面展现出良好的泛化性能;基于力觉的物体交互策略能够进行实时碰撞预测和调整,调整后约束放置成功率从53%提升至87.5%,显著提升了多目标受限空间装配作业任务可靠性。 展开更多
关键词 机器人 无模型物体 视觉和力觉 交互技术 机器学习
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左R-模上Riesz空间范畴中自由对象的性质研究
15
作者 王金萌 汤建钢 《模糊系统与数学》 北大核心 2025年第2期11-18,共8页
基于左R-模上Riesz空间的相关研究,给出了左R-模上Riesz空间范畴的概念,研究了左R-模上Riesz空间范畴中自由对象的相关性质,证明了自由Riesz模的存在性、唯一性,以及Riesz模M是自由Riesz模当且仅当它有一个基.
关键词 左R-模上Riesz空间范畴 自由对象 存在性 唯一性
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基于任务对齐学习的红外船舶目标检测方法 被引量:1
16
作者 姜杰 张立民 +2 位作者 刘凯 闫文君 王萌 《系统工程与电子技术》 北大核心 2025年第1期34-40,共7页
针对红外船舶检测过程中,在不同场景下对多尺度、小目标、有遮挡等问题检测效果不佳、实时性难以满足任务需要的情况,提出一种基于任务对齐学习的红外船舶目标检测方法。首先,为提升检测速度采用无锚框设计降低计算量。然后,为提升检测... 针对红外船舶检测过程中,在不同场景下对多尺度、小目标、有遮挡等问题检测效果不佳、实时性难以满足任务需要的情况,提出一种基于任务对齐学习的红外船舶目标检测方法。首先,为提升检测速度采用无锚框设计降低计算量。然后,为提升检测精度采用任务对齐学习(task alignment learning,TAL)进行标签分配和对齐。最后,根据特定场景有针对性地设计检测头以提升网络检测性能。通过实验对比验证,结果表明所提方法可有效提升对不同场景下船舶目标的检测性能,在检测精度及实时性上优于其他同类方法。 展开更多
关键词 红外船舶 目标检测 无锚框 任务对齐学习
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The Free Abjects in the Category of Complete L-fuzzy Posets
17
作者 ZHOU Yi-hui 《Chinese Quarterly Journal of Mathematics》 CSCD 2013年第3期331-337,共7页
The free object generated by a set in the category of complete L-fuzzy posets is discussed in this paper. The construction of a free complete L-fuzzy poset generated by a set is obtained, which is a generalization of ... The free object generated by a set in the category of complete L-fuzzy posets is discussed in this paper. The construction of a free complete L-fuzzy poset generated by a set is obtained, which is a generalization of the free complete lattice generated by a set. 展开更多
关键词 L-fuzzy poset complete L-fuzzy poset CATEGORY free object
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基于无相位远场恢复两层物体唯一性
18
作者 胡双霞 李金红 +1 位作者 赵琳琳 王岩 《齐鲁工业大学学报》 2025年第4期40-45,共6页
对恢复三维空间中的两层物体进行了研究,使用无相位远场方法确定三维物体形状的唯一性。远场相位信息难以获取,而无相位远场信息更容易测量,使用无相位远场确定多层散射体形状更加方便有效。首先运用Helmholtz方程建立问题模型,为克服... 对恢复三维空间中的两层物体进行了研究,使用无相位远场方法确定三维物体形状的唯一性。远场相位信息难以获取,而无相位远场信息更容易测量,使用无相位远场确定多层散射体形状更加方便有效。首先运用Helmholtz方程建立问题模型,为克服平面波的平移不变性,选择3个叠加平面波作为入射波,获得物体更为丰富的信息,引入与模型相对应的格林函数揭示物体与入射波的相互作用,最终证明只知无相远场信息情况下可以唯一确定两层散射体形状,即其边界和材料系数可被唯一确定。 展开更多
关键词 逆散射 无相位远场 多层物体 唯一性 HELMHOLTZ方程
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结合动态循环金字塔与任务解耦的无锚框检测
19
作者 孙一杰 李晓明 《计算机工程与设计》 北大核心 2025年第4期1157-1166,共10页
为解决现有无锚框网络缺乏精确的特征融合引导、解耦头获取任务特征不足,以及无锚框本身存在的边界框漂移的问题,提出一种结合循环特征融合与任务解耦的无锚框检测模型。设计动态循环特征金字塔,动态对齐并融合多尺度特征,以循环机制增... 为解决现有无锚框网络缺乏精确的特征融合引导、解耦头获取任务特征不足,以及无锚框本身存在的边界框漂移的问题,提出一种结合循环特征融合与任务解耦的无锚框检测模型。设计动态循环特征金字塔,动态对齐并融合多尺度特征,以循环机制增强特征表达;提出新的任务解耦头,设计双维任务感知器获取任务特征,采用提出的任务一致性参数和Dynamic Varifocal损失函数完成任务对齐;在标签分配过程中,结合box重组算法,重新选取高质量的正负样本。在COCO数据集上,所提模型使mAP在ResNet50主干网络相对于baseline提升3.1%,在ResNet101上达到45.2%,检测性能优于其它先进的无锚框网络模型。 展开更多
关键词 目标检测 无锚框 特征融合 任务特征 多尺度特征 任务对齐 标签分配
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混合面型极紫外光刻物镜优化设计
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作者 余思辰 南雁北 +3 位作者 陈雨情 闫旭 刘丽辉 李艳秋 《光学技术》 北大核心 2025年第4期408-414,共7页
数值孔径为0.33的极紫外光刻物镜由6面高阶非球面反射镜构成。然而,包含大口径非球面反射镜的物镜系统,对加工和检测精度要求更加严苛。提出一种混合面型优化的设计方法,即采用自由曲面、非球面反射镜交互迭代优化技术,将小口径非球面... 数值孔径为0.33的极紫外光刻物镜由6面高阶非球面反射镜构成。然而,包含大口径非球面反射镜的物镜系统,对加工和检测精度要求更加严苛。提出一种混合面型优化的设计方法,即采用自由曲面、非球面反射镜交互迭代优化技术,将小口径非球面镜逐次替换为自由曲面,有效降低大口径反射镜的高阶系数,最大口径反射镜非球面系数由16阶降至10阶,显著降低了物镜加工和检测难度。采用这种方法设计了一套NA 0.33混合面型极紫外光刻物镜系统,物镜系统畸变值小于0.294nm、波前误差均方根值小于0.0143λ(λ=13.5nm)。通过反灵敏度法择选补偿器,物镜系统的公差容限提高了1个数量级,在97.7%的累积概率下,波前误差RMS小于0.037λ,光刻物镜系统的稳定性得到进一步提高。 展开更多
关键词 光学设计与制造 极紫外光刻 自由曲面 物镜系统设计
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