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Additive direct-write microfabrication for MEMS: A review 被引量:1
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作者 Kwok Siong TEH 《Frontiers of Mechanical Engineering》 SCIE CSCD 2017年第4期490-509,共20页
Direct-write additive manufacturing refers to a rich and growing repertoire of well-established fabrication techniques that builds solid objects directly from compu- ter-generated solid models without elaborate interm... Direct-write additive manufacturing refers to a rich and growing repertoire of well-established fabrication techniques that builds solid objects directly from compu- ter-generated solid models without elaborate intermediate fabrication steps. At the macroscale, direct-write techni- ques such as stereolithography, selective laser sintering, fused deposition modeling ink-jet printing, and laminated object manufacturing have significantly reduced concept- to-product lead time, enabled complex geometries, and importantly, has led to the renaissance in fabrication known as the maker movement. The technological premises of all direct-write additive manufacturing are identical--converting computer generated three-dimen- sional models into layers of two-dimensional planes or slices, which are then reconstructed sequentially into three- dimensional solid objects in key differences between the a layer-by-layer format. The various additive manufactur- ing techniques are the means of creating the finished layers and the ancillary processes that accompany them. While still at its infancy, direct-write additive manufacturing techniques at the microscale have the potential to significantly lower the barrier-of-entry--in terms of cost, time and training--for the prototyping and fabrication of MEMS parts that have larger dimensions, high aspect ratios, and complex shapes. In recent years, significant advancements in materials chemistry, laser technology, heat and fluid modeling, and control systems have enabled additive manufacturing to achieve higher resolutions at the micrometer and nanometer length scales to be a viable technology for MEMS fabrication. Compared to traditional MEMS processes that rely heavily on expensive equip- ment and time-consuming steps, direct-write additive manufacturing techniques allow for rapid design-to- prototype realization by limiting or circumventing the need for cleanrooms, photolithography and extensive training. With current direct-write additive manufacturingtechnologies, it is possible to fabricate unsophisticated micrometer scale structures at adequate resolutions and precisions using materials that range from polymers, metals, ceramics, to composites. In both academia and industry, direct-write additive manufacturing offers extra- ordinary promises to revolutionize research and develop- ment in microfabrication and MEMS technologies. Importantly, direct-write additive manufacturing could appreciably augment current MEMS fabrication technologies, enable faster design-to-product cycle, empower new paradigms in MEMS designs, and critically, encourage wider participation in MEMS research at institutions or for individuals with limited or no access to cleanroom facilities. This article aims to provide a limited review of the current landscape of direct-write additive manufacturing techniques that are potentially applicable for MEMS microfabrication. 展开更多
关键词 direct-write additive manufacturing MICRO-FABRICATION MEMS
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Luminescent line art by direct-write patterning
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作者 Erik Mattias Lindh Andreas Sandström +1 位作者 Mats Roland Andersson Ludvig Edman 《Light: Science & Applications》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第1期518-521,共4页
We present a direct-write patterning method for the realization of electroluminescent(EL)line art using a surface-emissive light-emitting electrochemical cell with its electrolyte and EL material separated into a bila... We present a direct-write patterning method for the realization of electroluminescent(EL)line art using a surface-emissive light-emitting electrochemical cell with its electrolyte and EL material separated into a bilayer structure.The line-art emission is achieved through subtractive patterning of the electrolyte layer with a stylus,and the single-step patterning can be either manual for personalization and uniqueness or automated for high throughput and repeatability.We demonstrate that the light emission is effectuated by cation-assisted electron injection in the patterned regions and that the resulting emissive lines can be as narrow as a few micrometers.The versatility of the method is demonstrated through the attainment of a wide range of light-emission patterns and colors using a variety of different materials.Wepropose that this low-voltage-driven and easy-to-modify luminescent line-art technology could be of interest for emerging applications,such as active packaging and personalized gadgets. 展开更多
关键词 direct-write patterning light-emitting electrochemical cell luminescent line art organic electronics
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Electrohydrodynamic direct-writing of conductor–insulator–conductor multi-layer interconnection 被引量:1
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作者 郑高峰 裴艳博 +2 位作者 王翔 郑建毅 孙道恒 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第6期401-406,共6页
A multi-layer interconnection structure is a basic component of electronic devices, and printing of the multi-layer interconnection structure is the key process in printed electronics. In this work, electrohydrodynami... A multi-layer interconnection structure is a basic component of electronic devices, and printing of the multi-layer interconnection structure is the key process in printed electronics. In this work, electrohydrodynamic direct-writing (EDW) is utilized to print the conductor-insulator--conductor multi-layer ~nterconne^ction structure. Silver ink is chosen to print the conductor pattern, and a polyvinylpyrrolidone (PVP) solution is util^zed to f^bricate the insulator layer between the bottom and top conductor patterns. The influences of EDW process parameters on the line width of the printed conductor and insulator patterns are studied systematically. The obtained ~es^l~s show that the line width of the printed structure increases with the increase of the flow rate, but decreases with the increase of applied voltage and PVP content in the solution. The average resistivity values of the bottom and top silver conductor tracks are determined to be 1.34 × 10-7 Ω.m and 1.39×10-7 Ω.m, respectively. The printed PVP layer between the two conductor tracks is well insulated, which can meet the insulation requirement of the electronic devices. This study offers an alternative, fast, and cost-effective method of fabricating conductor-insulator-conductor multi-layer interconnections in the electronic industry. 展开更多
关键词 electrohydrodynamic direct-writing multi-layer interconnection all inkjet printing jet printing
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Fabrication and characterization of direct-written 3D TiO_2 woodpile electromagnetic bandgap structures
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作者 李吉皎 李勃 +2 位作者 彭琴梅 周济 李龙土 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第9期502-508,共7页
Three groups of three-dimensional (3D) TiO2 woodpile electromagnetic gap materials with tailed rheological properties were developed for direct-written fabrication. Appropriate amount of polyethyleneimine (PEI) di... Three groups of three-dimensional (3D) TiO2 woodpile electromagnetic gap materials with tailed rheological properties were developed for direct-written fabrication. Appropriate amount of polyethyleneimine (PEI) dispersants allow the preparation of TiO2 inks with a high solid content of 42 vol.%, which enables them to flow through the nozzles easily. The inks exhibit pseudoplastic behavior. The measured microwave characteristics of the results agree well with simulations based on plane wave expansion (PWE). 展开更多
关键词 TIO2 woodpile structure direct writing
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透明导电TiC薄膜飞秒激光直写图案化制备方法及其场发射应用
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作者 孙磊 林梓豪 +4 位作者 赖文宗 范祯桂 章先恒 廖一鹏 马立安 《光子学报》 北大核心 2025年第10期115-123,共9页
提出了一种借助飞秒激光直写实现高精度、低损伤的透明导电TiC薄膜图案化制备方法。对激光关键参数进行优化(波长355 nm、功率密度10 kW/cm^(2)、脉冲宽度50 fs),获得了(5.1±0.3)μm的精细刻蚀线宽和(12±2)Ω/sq的低方阻,高... 提出了一种借助飞秒激光直写实现高精度、低损伤的透明导电TiC薄膜图案化制备方法。对激光关键参数进行优化(波长355 nm、功率密度10 kW/cm^(2)、脉冲宽度50 fs),获得了(5.1±0.3)μm的精细刻蚀线宽和(12±2)Ω/sq的低方阻,高导电性和精细电极为场发射奠定基础,通过飞秒激光实现环形中空阵列设计。经场发射测试结果表明,开启场强低为(3.12±0.15)V/μm,场增强因子达到(2 365±45),明显优于传统方形和圆形阵列。场发射性能改善主要源于镂空结构带来的边缘电场局域化、屏蔽效应削弱以及多尖端协同发射机制。与传统光刻技术相比,飞秒激光直写不仅具备高速度、低成本优势,且可集成于大面积柔性基板,为高性能场发射器件的研制提供了新思路。 展开更多
关键词 激光直写 场发射 TiC薄膜 图案化阵列 屏蔽效应
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Direct Ink Writing 3D Printing of Special-Shaped Permanent Magnets via Room Temperature Fast-Curing NdFeB Slurry
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作者 Chaolong Liu Zhenghao Li +7 位作者 Xiaoyang Zhu Huangyu Chen Rui Wang Hongke Li Houchao Zhang Wenzheng Sun Hongbo Lan Zilong Peng 《Additive Manufacturing Frontiers》 2025年第2期194-204,共11页
Specially shaped permanent magnet structures can satisfy the requirements of equipment with limited space or unique shapes.Thereby,these optimize the distribution of magnetic fields.However,traditional manufacturing m... Specially shaped permanent magnet structures can satisfy the requirements of equipment with limited space or unique shapes.Thereby,these optimize the distribution of magnetic fields.However,traditional manufacturing methods are limited by the mold design and insufficient material utilization.In this study,a polymer-based Nd_(2)Fe_(14)B(NdFeB)magnetic slurry was developed based on direct ink writing(DIW)3D printing technology.A rapidly volatilizable magnetic slurry was used to achieve 3D oriented controllable layering,thus realizing the direct molding fabrication of NdFeB permanent magnets with complex structures.By exploring and optimizing the 3D printing process parameters,specially shaped bonded NdFeB permanent magnet structures with high precision and shape fidelity were prepared.The test results indicated that the remnant magnetization of the printed magnets was proportional to the NdFeB content in the slurry,the coercivity closely matched that of the original powder,and the mechanical properties of the printed magnets were favorable.Building on this,a magnetically driven helical-structure robot was designed and printed to achieve stable motion in low-Reynolds-number fluids.This paper presents a new,low-cost solution for the room-temperature preparation of shape-bonded NdFeB permanent magnets. 展开更多
关键词 direct-write 3D printing Bonded magnets Special-shaped magnets NDFEB Magnetically driven robots
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紫外光固化树脂在三维直写成型中的应用研究现状 被引量:1
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作者 韩羽菲 王大鑫 +1 位作者 房晓彤 胡晶 《中国塑料》 北大核心 2025年第3期118-124,共7页
综述了近年来光敏树脂的研究进展,总结了紫外光固化树脂在三维直写成型(DIW)领域中的应用和针对上述问题的研究进展。
关键词 光敏树脂 直写打印成型 紫外光辅助
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资源分散型与资源指引型任务复杂度对不同二语水平学习者写作表现的影响
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作者 王静萍 王婧 《外语与外语教学》 北大核心 2025年第2期46-60,146-147,共17页
资源分散型任务复杂度和资源指引型任务复杂度如何影响二语写作引发很多关注,但鲜有研究考察二者的影响差异,也很少探究二语水平与二者是否分别存在交互影响。本研究以认知假设为理论框架,对中国一所大学两个不同层次英语水平的240名学... 资源分散型任务复杂度和资源指引型任务复杂度如何影响二语写作引发很多关注,但鲜有研究考察二者的影响差异,也很少探究二语水平与二者是否分别存在交互影响。本研究以认知假设为理论框架,对中国一所大学两个不同层次英语水平的240名学生写作表现进行研究,探讨资源分散型和资源指引型任务复杂度对不同二语水平写作者的影响情况。研究结果显示,资源分散型任务复杂度主要影响二语写作者的流利度,资源指引型任务复杂度则显著作用于流利度、准确度和词汇复杂度。此外,写作者的二语水平与资源分散型任务复杂度在流利度、准确度和词汇复杂度方面呈现出交互影响,而与资源指引型任务复杂度对二语写作的语言产出质量不存在交互影响。因此,要根据不同类型任务复杂度和学习者的二语水平科学设置二语写作任务。 展开更多
关键词 二语写作 任务复杂度 资源分散型 资源指引型 二语水平
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海藻酸钠/聚氧化乙烯支架电直写成型及影响因素分析
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作者 孙蕾 王春静 +2 位作者 张文磊 马志鹏 程永强 《浙江大学学报(工学版)》 北大核心 2025年第7期1532-1538,共7页
为了提升电流体动力直写(EHDDW)在组织工程支架制备中的打印精度,降低设备及生产成本,自主搭建低成本电直写打印平台.开发不同浓度梯度的海藻酸钠(SA)/聚氧化乙烯(PEO)复合生物墨水,生物学表征及打印测试结果表明,2SA/7PEO复合生物墨水... 为了提升电流体动力直写(EHDDW)在组织工程支架制备中的打印精度,降低设备及生产成本,自主搭建低成本电直写打印平台.开发不同浓度梯度的海藻酸钠(SA)/聚氧化乙烯(PEO)复合生物墨水,生物学表征及打印测试结果表明,2SA/7PEO复合生物墨水具有良好的细胞相容性及电直写性能.结合理论分析及实验探究打印参数对复合生物墨水沉积纤维宽度的影响机制,结果表明,增大电压、减小供液流率及提升基板移速均可提高纤维分辨率.当电压为2 400 V,注射泵流率为200 nL/min,基板移速为300 mm/min时,SA/PEO复合生物墨水的最高打印精度为2.48±0.27μm.采用微射流模式/锥射流模式制备SA/PEO复合生物墨水单层/多层网格微图案,证明了自主搭建的电直写打印平台具备制备复杂、多层次生物微结构的潜力. 展开更多
关键词 电流体动力直写(EHDDW) 海藻酸钠(SA) 聚氧化乙烯(PEO) 锥射流模式 组织工程
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纳秒激光加工金属疏水性能转变的环保处理方式及机理
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作者 王继强 徐艳桦 +2 位作者 高蕴礼 闫永达 耿延泉 《中国表面工程》 北大核心 2025年第4期42-63,共22页
纳秒激光直写(NDLW)是一种通过纳秒脉冲激光束在材料表面实现局部加工的技术,广泛应用于微米尺度结构的制备。该方法通过激光烧蚀或光化材料,实现对材料表面进行刻蚀与形貌调控。通常,经NDLW处理的抛光金属表面表现出(超)亲水性,随后通... 纳秒激光直写(NDLW)是一种通过纳秒脉冲激光束在材料表面实现局部加工的技术,广泛应用于微米尺度结构的制备。该方法通过激光烧蚀或光化材料,实现对材料表面进行刻蚀与形貌调控。通常,经NDLW处理的抛光金属表面表现出(超)亲水性,随后通过环境空气中有机物的吸附、低温退火或激光二次处理等绿色环保处理方式,可实现表面润湿性的转变,获得(超)疏水性表面。所制备的超疏水表面具有防霜防冰、流体减阻、抗菌等多种优异性能,在航空航天、生物医疗等领域具有广阔的应用前景。系统阐述润湿性调控的理论基础及纳秒激光加工金属材料的物理机制,重点综述在无化学修饰剂参与的条件下,通过环境友好型处理方式实现金属表面由(超)亲水性向(超)疏水性转变的研究进展,并探讨相关转变机制。最后对当前研究现状进行总结,并提出未来发展方向,旨在为相关领域研究人员提供全面的参考与借鉴。 展开更多
关键词 纳秒激光直写 疏水性 微结构 金属表面加工
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墨水直写技术制造纤维强韧陶瓷基复合材料的研究进展与挑战
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作者 陈晓旖 李刘颂 +3 位作者 郭欢 李兴泽 代吉祥 沙建军 《复合材料学报》 北大核心 2025年第2期579-597,共19页
先进陶瓷及其复合材料凭借优异的性能已被广泛应用于航空航天领域,目前采用三维打印技术实现这类材料的快速低成本制备成为核心问题。与传统工艺相比,现有三维打印陶瓷材料普遍面临着脆性特征明显及损伤容限能低的问题,因此纤维复合陶... 先进陶瓷及其复合材料凭借优异的性能已被广泛应用于航空航天领域,目前采用三维打印技术实现这类材料的快速低成本制备成为核心问题。与传统工艺相比,现有三维打印陶瓷材料普遍面临着脆性特征明显及损伤容限能低的问题,因此纤维复合陶瓷材料的三维打印技术成为研究热点。综述了近年来国内外基于墨水直写技术制备纤维强韧陶瓷基复合材料的技术路线及特点,围绕这类材料的组成成分、工艺路径与力学性能的关系,综合分析了不同陶瓷墨水的设计、纤维引入的方式、致密化工艺的选择、打印构件关键性能之间的有机联系,指出了当前的主要问题并对未来研究方向进行了展望。 展开更多
关键词 增材制造 墨水直写成型 陶瓷基复合材料 纤维强韧 航空航天
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直写成型金属微粒悬浮液流变特性及动力粘度研究
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作者 郭恒锐 郭俊卿 +2 位作者 陈拂晓 皇涛 相楠 《塑性工程学报》 北大核心 2025年第1期209-217,共9页
为制备出符合直写成型技术要求的金属微粒悬浮液,对金属微粒悬浮液的流变特性及动力粘度进行了研究。制备了具有不同动力粘度的金属微粒悬浮液,在室温下进行了动力粘度测试,依据内摩擦力理论对其流变特性及动力粘度进行了研究,分析了微... 为制备出符合直写成型技术要求的金属微粒悬浮液,对金属微粒悬浮液的流变特性及动力粘度进行了研究。制备了具有不同动力粘度的金属微粒悬浮液,在室温下进行了动力粘度测试,依据内摩擦力理论对其流变特性及动力粘度进行了研究,分析了微粒体积分数及粒径对其流变特性及动力粘度的影响。结果表明,PVA溶液作为液相的金属微粒悬浮液具有直写成型技术要求的流变特性;调节微粒体积分数及粒径可以调控金属微粒悬浮液的动力粘度;通过Williamson模型及牛顿插值法量化了微粒体积分数与动力粘度之间的关系,提供了预测悬浮液动力粘度的方法。 展开更多
关键词 直写成型 金属微粒悬浮液 内摩擦力 流变特性 Williamson模型
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静电直写PVDF/MoS_(3)膜的制备及光催化性能
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作者 郝绍菊 马竞 +1 位作者 翟圆梦 谢佳瑶 《环境科学与技术》 北大核心 2025年第4期12-21,共10页
基于过氧单硫酸盐(PMS)活化的高级氧化工艺已成为一种很有前景的有机污染物去除技术。该研究以聚偏二氟乙烯(PVDF)膜为骨架,包裹具有手风琴状结构的三硫化钼(MoS_(3)),采用静电直写技术制备了网格均匀、高比表面积和高暴露活性位点的PVD... 基于过氧单硫酸盐(PMS)活化的高级氧化工艺已成为一种很有前景的有机污染物去除技术。该研究以聚偏二氟乙烯(PVDF)膜为骨架,包裹具有手风琴状结构的三硫化钼(MoS_(3)),采用静电直写技术制备了网格均匀、高比表面积和高暴露活性位点的PVDF/MoS_(3)复合膜。在最佳条件下,PVDF/MoS_(3)膜在70 min内实现了98.7%的四环素(TC)去除率。密度泛函理论计算进一步证实,PMS和TC在PVDF/MoS_(3)膜上较低的吸附能垒有利于TC的富集和PMS的活化。机理研究表明,自由基(·OH、SO_(4)^(•-)、·O_(2)^(-))和非自由基(^(1)O_(2))都参与了降解过程。PVDF/MoS_(3)/PMS/光系统显示出优异的抗污性和循环稳定性,突出了复合膜去除持久性有机污染物的潜力。 展开更多
关键词 过氧单硫酸盐 静电直写技术 聚偏二氟乙烯 三硫化钼 四环素
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光固化成膜保留氧化钨纳米形貌的气体传感器制备及性能研究
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作者 昝轩坤 张顺平 +1 位作者 高云 夏晓红 《湖北大学学报(自然科学版)》 2025年第6期785-793,共9页
微热板式气体传感器气敏膜成膜使用的喷膜墨水,其制备过程中需进行球磨操作使得气敏材料在墨水中分散均匀,但同时会产生大量的断面,引起表面活性不均的问题,亟需开发一种可以在微热板上气敏膜成膜过程中保留纳米形貌的方法。光固化成膜... 微热板式气体传感器气敏膜成膜使用的喷膜墨水,其制备过程中需进行球磨操作使得气敏材料在墨水中分散均匀,但同时会产生大量的断面,引起表面活性不均的问题,亟需开发一种可以在微热板上气敏膜成膜过程中保留纳米形貌的方法。光固化成膜使用光引发剂产生的自由基诱导低聚物与活性稀释剂交联产生固化效果,同时将气敏材料分散在光固化浆料中,是一种可行策略。采用水热合成法成功制备了WO_(3)的一维纳米棒和二维纳米片气敏材料。将气敏粉末材料制备成光固化浆料,以激光直写的形式在微热板上固化成膜,封装成器件。性能测试结果表明,WO_(3)纳米棒器件对5.0×10^(-4)L·L^(-1)H_(2)响应值达7.5;而WO_(3)纳米片器件对5.0×10^(-5)L·L^(-1)NO响应值高达29,对气体具有明显选择性。使用光固化成膜方法制备的微热板器件成功保留了材料的纳米形貌,可控制成膜尺寸,具有良好的气敏性能。 展开更多
关键词 纳米材料 形貌调控 激光直写 光固化成膜 微热板器件
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基于直写增材的引信层叠式3D电气互联结构
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作者 李诗怡 娄文忠 +4 位作者 冯恒振 阚文星 吕斯宁 肖川 任杰 《兵工学报》 北大核心 2025年第S1期31-40,共10页
微小型引信异质异构(不同材料、结构)电气互联(电性能连接),是制约体积进一步缩小,实现更高密度集成的关键问题。针对引信小型化过程中电气互联空间利用率低的问题,提出了一种基于增材制造技术的引信层叠式3D电气互联结构,并通过性能仿... 微小型引信异质异构(不同材料、结构)电气互联(电性能连接),是制约体积进一步缩小,实现更高密度集成的关键问题。针对引信小型化过程中电气互联空间利用率低的问题,提出了一种基于增材制造技术的引信层叠式3D电气互联结构,并通过性能仿真分析、样件制备及多维度、多环境试验验证了该结构的可行性。研究结果表明,层叠式3D电气互联结构通过垂直堆叠实现图形化、高密度、高集成度的电气互联,减小甚至消除电路与电子器件之间的间隙,显著提升空间利用率与连接效率;与引信发火控制电路集成后,相较于传统插针连接,整体结构高度降低约80%,同时电阻仅为0.018Ω;历经-54~71℃的热冲击试验、轮式车辆运输振动试验、55000 g高冲击过载试验等极端环境下,垂直通孔与水平迹线的显微图像显示结构未损坏,发火控制模块起爆性能测试显示电性能完好,结构性能与电性能均体现出了高可靠性。 展开更多
关键词 微小型引信 敏捷制造 3D电气互联 3D直写技术 环境试验
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3D打印纳米铝热含能薄膜的固体推进剂点火特性研究
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作者 杨智 王玉强 +5 位作者 陈乐健 韩书锋 刘钧 杜晋龙 张志超 许建兵 《火工品》 北大核心 2025年第4期90-96,共7页
为了适应端面燃烧高装填比固体火箭发动机的点火需求,基于Al/CuO/PVDF纳米铝热含能体系,设计了3种不同粘结剂含量的含能墨水配方,采用3D墨水直写打印技术制备了3种厚度均为150μm的含能薄膜。对含能薄膜的微观形貌、热性能和燃烧性能进... 为了适应端面燃烧高装填比固体火箭发动机的点火需求,基于Al/CuO/PVDF纳米铝热含能体系,设计了3种不同粘结剂含量的含能墨水配方,采用3D墨水直写打印技术制备了3种厚度均为150μm的含能薄膜。对含能薄膜的微观形貌、热性能和燃烧性能进行了表征和测试,并对含能薄膜与固体推进剂的点火匹配特性进行了试验研究。结果表明:3种含能薄膜表观质量好、结构完整、组分分布均匀;随着配方中PVDF组分含量的增加,薄膜放热量降低,相应的薄膜燃速也降低;配方F2具有最小的点火延迟,平均值为107 ms,点火延迟与燃速不是简单的正相关关系,即最低点火延迟在合适的燃速下获得。 展开更多
关键词 纳米铝热剂 含能薄膜 3D墨水直写打印 固体推进剂 点火匹配
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大功率激光直写设备光学系统分析与散热设计
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作者 胡兴涛 田磊磊 +5 位作者 童宝宏 苗思忠 周硕 李凡 陈堃 王儒 《激光与红外》 北大核心 2025年第1期102-110,共9页
本文针对一款大功率激光直写设备光学系统,采用了数值模拟与试验相结合的方法,并设计了一款镜筒的散热结构。利用有限元分析软件对光学系统结构进行了热分析与应力应变分析,分析结果显示:光学系统激光功率为100 W,SUS304和AL6061材质的... 本文针对一款大功率激光直写设备光学系统,采用了数值模拟与试验相结合的方法,并设计了一款镜筒的散热结构。利用有限元分析软件对光学系统结构进行了热分析与应力应变分析,分析结果显示:光学系统激光功率为100 W,SUS304和AL6061材质的镜筒表面温度最高位置都集中在棱镜盒附近区域,最高温度达59.016℃,整体温度均匀性和散热性能较差;AL6061材质光学镜筒棱镜盒附近区域存在较大的应力,结构性能较差。总结光学系统散热设计的一般原则,采用被动和主动相结合的散热设计,并进行了试验验证,试验结果表明:在散热系统正常工作时,系统整体温差为0.99℃,达到了温度均匀性指标要求;DMD标定误差小于15μm且中心位置多向同一方向漂移,满足误差小于20μm的技术指标要求,有利于系统曝光时图像拼接,验证了散热设计的有效性。 展开更多
关键词 大功率激光直写设备 光学系统 热分析 应力应变分析 散热设计 试验验证
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具有渐变折射率、可变截面三维光波导的激光直写技术
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作者 蔺瑾雯 邱建荣 +2 位作者 王宇莹 韩旭虎 钟理京 《硅酸盐学报》 北大核心 2025年第10期2899-2911,共13页
飞秒激光具有超短脉冲宽度与超高峰值功率的特点,可实现基于高度非线性效应的透明材料内部的高精度三维微纳加工,已成为集成光电子器件制备的重要工具。近年来,基于多次扫描策略的飞秒激光直写技术可以实现波导截面几何形貌、模场及折... 飞秒激光具有超短脉冲宽度与超高峰值功率的特点,可实现基于高度非线性效应的透明材料内部的高精度三维微纳加工,已成为集成光电子器件制备的重要工具。近年来,基于多次扫描策略的飞秒激光直写技术可以实现波导截面几何形貌、模场及折射率分布的精细调控,已成为微结构光波导制备方向的研究热点。本文系统阐述了飞秒激光多次扫描在透明材料内部直写光波导的最新研究进展,重点分析该技术通过三维可变截面波导结构设计在有源/无源光波导器件、集成化量子光学芯片及天文光子学系统等领域的创新应用。进一步从波导截面形貌的精确调控、低损耗弯曲波导结构优化、跨尺度纵深直写技术等维度探讨了三维集成光子回路面临的关键技术挑战,展望实现全玻璃基三维光子芯片的未来发展趋势。 展开更多
关键词 三维光波导 飞秒激光直写 可变截面 光波导器件
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基于MWCNTs/LIG复合电极的柔性应变传感器
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作者 陈雪莹 杨欣睿 +1 位作者 夏晓娟 赵江 《固体电子学研究与进展》 2025年第5期78-82,共5页
利用激光诱导石墨烯(Laser-induced graphene,LIG)和多壁碳纳米管(Multi-walled carbon nanotubes,MWCNTs)形成交联结构的复合电极,以聚氨酯(PU)薄膜为柔性基底,制备出一种高灵敏柔性MWCNTs/LIG应变传感器。该传感器具有灵敏度高(GF=649... 利用激光诱导石墨烯(Laser-induced graphene,LIG)和多壁碳纳米管(Multi-walled carbon nanotubes,MWCNTs)形成交联结构的复合电极,以聚氨酯(PU)薄膜为柔性基底,制备出一种高灵敏柔性MWCNTs/LIG应变传感器。该传感器具有灵敏度高(GF=649)、响应时间/恢复时间短(120/100 ms)、稳定性好(循环加载/卸载大于1000次)等特点,并且该应变传感器能够准确检测关节运动(手指弯曲、手肘运动等)和微弱生理活动(脉搏跳动、声带振动等),在医疗健康、运动监测、电子皮肤等可穿戴传感领域中展现出巨大应用潜力。 展开更多
关键词 碳纳米管 激光诱导石墨烯 激光直写 柔性应变传感器 可穿戴设备
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直接墨水书写3D打印制备Sb_(2)Te_(3)基热电材料及其电学性能研究
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作者 张津津 李芮鸽 +1 位作者 魏宾 木二珍 《电子元件与材料》 北大核心 2025年第7期811-819,共9页
针对传统制备工艺中因有机添加剂与功能填料引入导致的材料性能恶化,及无机粘结剂合成工艺复杂等问题,提出两步球磨法制备无粘结剂Sb_(2)Te_(3)基热电材料墨水,并通过直接墨水书写(DIW)3D打印技术实现热电材料成型制备。首先通过两步球... 针对传统制备工艺中因有机添加剂与功能填料引入导致的材料性能恶化,及无机粘结剂合成工艺复杂等问题,提出两步球磨法制备无粘结剂Sb_(2)Te_(3)基热电材料墨水,并通过直接墨水书写(DIW)3D打印技术实现热电材料成型制备。首先通过两步球磨工艺制备均质墨水,研究了预球磨时间对粉末粒径的影响、球磨时间对墨水流变性能的影响以及烧结温度对打印样品电传输性能的影响。实验结果表明,1 h预球磨处理可获得平均粒径小于52μm的均匀前驱体粉末,36 h湿法球磨使墨水兼具高粘度与显著剪切稀化特性。经450℃/2 h烧结处理后样品实现合金化完全,获得123.54μW·m^(-1)·K^(-2)的峰值功率因子,较300℃烧结样品提升83倍。本研究成功开发了无粘结剂Sb_(2)Te_(3)基墨水体系,揭示了球磨-烧结协同调控机制,为复杂结构热电器件的增材制造提供了新材料体系与工艺窗口。 展开更多
关键词 热电材料 直接墨水书写 无粘结剂墨水 3D打印 Sb_(2)Te_(3)
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