集成热电阻的石英谐振露点传感器

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作者 白雪松 温连鹏 +1 位作者 王国华 聂晶 《计算机测量与控制》 2025年第6期305-312,共8页

露点温度测量方法作为最精确的湿度测量方法,被广泛应用在武器装备的生产研制中;石英晶体因其具有高品质因数和高灵敏的质量负载效应,被用于新型谐振式精密露点仪的研制中;针对传统石英谐振露点传感器由于无法直接测量其表面温度而引入... 露点温度测量方法作为最精确的湿度测量方法,被广泛应用在武器装备的生产研制中;石英晶体因其具有高品质因数和高灵敏的质量负载效应,被用于新型谐振式精密露点仪的研制中;针对传统石英谐振露点传感器由于无法直接测量其表面温度而引入的系统误差问题,提出了一种集成热电阻的石英谐振露点传感器;通过微机电系统工艺,在石英晶体表面集成了铂热电阻,实现了对石英晶体表面温度的直接测量,从而消除了系统误差;采用理论计算和有限元分析,对传感器结构参数进行了优化设计,并通过实验验证了所设计的石英谐振露点传感器的性能;实验结果表明,集成热电阻的石英谐振露点传感器的测量精度可达±0.08℃DP,重复性小于0.11℃DP,显著提高了传统石英谐振露点传感器的测量精度。 展开更多

关键词 露点传感器 石英谐振 有限元分析 微机电系统 系统误差

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基于PSO-SVM的循环热扰动湿度传感器设计

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作者 曹希龙 刘清惓 +1 位作者 洪鑫 田祥民 《中国科技论文》 2025年第6期479-490,共12页

为解决传统湿度传感器在动态温湿环境中存在的迟滞误差与测量不稳定问题,设计了一种融合“循环热扰动-双路径解耦-智能补偿”机制的高精度湿度传感器。采用双湿度传感器交替进行升温与降温路径测量,结合露点反演技术,对不同温度点的湿... 为解决传统湿度传感器在动态温湿环境中存在的迟滞误差与测量不稳定问题,设计了一种融合“循环热扰动-双路径解耦-智能补偿”机制的高精度湿度传感器。采用双湿度传感器交替进行升温与降温路径测量,结合露点反演技术,对不同温度点的湿度数据进行反推,实现将湿度值统一映射到参考温度,并结合计算流体动力学(computational fluid dynamics,CFD)热仿真确定最优加热功率与结构参数,实现高效稳定的周期性加热与自然冷却。引入粒子群优化(particle swarm optimization,PSO)支持向量机(support vector machine,SVM)回归算法建立多特征非线性修正模型,实现对迟滞误差的精确建模与路径权重自适应融合。实验结果表明,所提出的高精度湿度测量系统对湿度测量的平均绝对误差为0.52%RH,均方根误差为0.57%RH。 展开更多

关键词 湿度传感器 迟滞误差 露点反演 循环热扰动 粒子群优化支持向量机 计算流体动力学

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阻容法露点湿度计校准效率提高方案的探讨

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作者 陈再举 陈雪霞 陈观金 《环境技术》 2024年第10期22-26,32,共6页

针对型号相同和数量庞大的阻容法露点湿度计,通过采用露点传感器校准专用测试筒提高单位时间的校准时效。将露点湿度计在专用测试筒中校准得到的示值误差与在湿度发生器的测试腔中校准得到的示值误差进行比较和验证,由两种测量方法得到... 针对型号相同和数量庞大的阻容法露点湿度计,通过采用露点传感器校准专用测试筒提高单位时间的校准时效。将露点湿度计在专用测试筒中校准得到的示值误差与在湿度发生器的测试腔中校准得到的示值误差进行比较和验证,由两种测量方法得到结果差异对测量结果的不确定度的贡献可以接受的前提下,采用露点传感器校准专用测试筒来提高工作效率是一个不错的方案。 展开更多

关键词 阻容法露点湿度计 露点传感器 专用测试筒 湿度发生器 示值误差 工作效率

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露点温度传感器发展趋势综述

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作者 聂晶 刘曦 《计测技术》 2024年第1期43-59,共17页

介绍了目前露点温度传感器领域的研究现状,阐述了光学式、谐振式、电学式、热学式、重量式、化学式露点温度传感器的原理及构造,指出光学式露点温度传感器测量精度极高,其中冷镜式露点仪可作为湿度计量标准;谐振式露点温度传感器具有体... 介绍了目前露点温度传感器领域的研究现状,阐述了光学式、谐振式、电学式、热学式、重量式、化学式露点温度传感器的原理及构造,指出光学式露点温度传感器测量精度极高,其中冷镜式露点仪可作为湿度计量标准;谐振式露点温度传感器具有体积小、成本低、响应时间短、灵敏度高、可靠性好的特点;电学式露点温度传感器灵敏度高、功耗小,便于实现小型化、集成化;重量法是准确度最高的湿度绝对测量方法;化学法常用来测量低湿环境下的有机混合气体。探讨了露点温度传感器在环境监测、工业制造、医疗诊断等领域的应用情况,指出未来露点温度传感器将会向高精度、高稳定性、高响应的方向发展,且应用范围将进一步拓展,以满足极端环境下的测量需求。 展开更多

关键词 湿度测量 露点温度传感器 湿度传感器

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湿度测量的综述

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作者 杨晓蕾 张学范 +3 位作者 蔡晨 辛宗伟 崔剑 王泽熙 《山东化工》 CAS 2024年第20期120-123,共4页

大气湿度是水汽含量的重要衡量指标,在地面和高空气象观测中都占有关键地位。当前,测量湿度的技术包括称重测湿法、光腔衰荡光谱(CRDS)、热力学法、可调谐半导体激光吸收光谱技术(TDLAS)和露点法。称重测湿法操作繁琐,耗时较长,主要应... 大气湿度是水汽含量的重要衡量指标,在地面和高空气象观测中都占有关键地位。当前,测量湿度的技术包括称重测湿法、光腔衰荡光谱(CRDS)、热力学法、可调谐半导体激光吸收光谱技术(TDLAS)和露点法。称重测湿法操作繁琐,耗时较长,主要应用于国家级计量标准,不适用于日常测量。CRDS技术结合高反射镜可延长光程,灵敏度较高,但对光路的稳定性要求较高,在恶劣环境下进行现场测量时,容易造成较大的误差。TDLAS利用扫描气体分子吸收的光谱,通过计算获得气体的浓度、温度等信息。露点法是一种简便而准确的湿度测量方法,适用范围广泛,备受学术界瞩目。 展开更多

关键词 湿度测量 传感器 露点法 质量法

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基于半导体制冷器的CPU散热研究 被引量：12

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作者 扶新 高潮 +2 位作者 贺俊杰 段沽坪 张超曾 《低温与超导》 CAS CSCD 北大核心 2009年第3期48-50,共3页

针对目前计算机日益增多的CPU热故障、常规风冷散热法已接近极限的问题,研究了把半导体制冷器用于CPU芯片散热的一种实用方法,提出了防止CPU结露的具体措施,并对半导体制冷器的冷量控制进行了设计。实际运行和调试证明本方案是一种提高... 针对目前计算机日益增多的CPU热故障、常规风冷散热法已接近极限的问题,研究了把半导体制冷器用于CPU芯片散热的一种实用方法,提出了防止CPU结露的具体措施,并对半导体制冷器的冷量控制进行了设计。实际运行和调试证明本方案是一种提高CPU散热能力的实用、有效、可行的办法。 展开更多

关键词 半导体制冷器 CPU 露点传感器

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基于MEMS传感器的水汽测量系统 被引量：7

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作者 刘清惓 高翔 +1 位作者 陈传寅 谢钟镭 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2014年第6期852-856,共5页

提出一种基于MEMS技术的电容式传感器,结合ARM Cortex-M3嵌入式处理器搭建电容式水汽测量系统的测控系统,以实现大气环境中的高精度湿度测量。为提高测量精度和分辨率,利用24 bitΣ-Δ数模转换器测量露点和温度。通过PID控制算法对半导... 提出一种基于MEMS技术的电容式传感器,结合ARM Cortex-M3嵌入式处理器搭建电容式水汽测量系统的测控系统,以实现大气环境中的高精度湿度测量。为提高测量精度和分辨率,利用24 bitΣ-Δ数模转换器测量露点和温度。通过PID控制算法对半导体制冷器进行控制,使贴有MEMS露点传感器和温度传感器的制冷器冷端表面温度降低。当MEMS露点传感器表面温度低于露点时,其表面会产生露珠,引起MEMS电容增大。MEMS露点传感器电容值可以通过24 bitΣ-Δ电容数字转换器测量。通过Goff-Gratch方程和露点湿度转换关系,可计算出到大气湿度。测量结果表明,该系统的露点测量精度可达约±0.2℃。 展开更多

关键词 MEMS传感器 露点测量 露点湿度转换 温度传感器 计算流体动力学

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网络化智能湿度传感器研究 被引量：2

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作者 孙继平 伍云霞 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2005年第4期697-699,704,共4页

介绍了以氧化铝为检测探头的基于CAN总线的网络化智能湿度传感器的实现。传感器以Microchip公司的PIC18F258单片机为核心。将传感元件输出信号转换成频率信号,利用单片机内嵌的捕捉功能模块实现高精度频率测量,传感器输出量MH与湿度表... 介绍了以氧化铝为检测探头的基于CAN总线的网络化智能湿度传感器的实现。传感器以Microchip公司的PIC18F258单片机为核心。将传感元件输出信号转换成频率信号,利用单片机内嵌的捕捉功能模块实现高精度频率测量,传感器输出量MH与湿度表示量露点之间呈指数关系,采用了分段线性拟合的方法来逼近,用线性插值查表方法测量;利用单片机内嵌的CAN总线控制模块实现传感器的网络化,用软件保证传感器在网络上通信时有最大传输速率。软、硬件上采用了抗干扰措施,使传感器能在环境恶劣的工业现场长时间稳定运行。 展开更多

关键词 湿度测量 露点 网络传感器 现场总线

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图像式露点测量仪器的功能开发 被引量：5

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作者 王进才 陈振林 +1 位作者 张凤林 孙中泉 《分析测试技术与仪器》 CAS 2000年第3期158-161,共4页

介绍了一种新型计量露点的标准仪器“图像敏感式露点仪”的系统原理、软硬件构成及关键技术 .该仪器经国家权威机构检定和若干单位试用表明 ,其性能稳定可靠 。

关键词 露点 计量 传感器 灵敏度 图像露点测量仪器

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8位单片机控制的经济型温湿度监控仪研制 被引量：2

10

作者 张甲英 张轶 张相洪 《国外电子测量技术》 2009年第9期47-49,共3页

介绍以STC89系列单片机为核心,以集成温度传感器AD590为温度检测元件,以HS1100相对湿度传感器为湿度检测元件,具有温度、湿度、露点监控功能的经济型监控系统。系统根据采集到的温度、湿度,计算得出相应情况下的露点,具有露点监视功能... 介绍以STC89系列单片机为核心,以集成温度传感器AD590为温度检测元件,以HS1100相对湿度传感器为湿度检测元件,具有温度、湿度、露点监控功能的经济型监控系统。系统根据采集到的温度、湿度,计算得出相应情况下的露点,具有露点监视功能。该系统还具有2路12位D/A输出,可控制相应的温度或湿度。成本低、结构简单、可靠性高、操作方便,实现了对温度、湿度的自动监控,可满足一般工业环境的温度、湿度监控及露点显示的要求,具有很好的实用价值。 展开更多

关键词 温度 湿度 露点 集成温度传感器 STC89

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基于多样性能量获取的自适应耦合变频露点传感器 被引量：1

11

作者 林楠 魏斌 《传感器与微系统》 CSCD 2015年第7期91-93,99,共4页

针对露点传感器工作环境的潮湿、噪声干扰和节点资源受限等问题,研制了一种具有自适应耦合变频功能的新型露点传感器。设计了适用于露点传感器的机械能和光能感知收集装置,并通过整流滤波转换电路串联后建立多样性能量获取方案,通过分... 针对露点传感器工作环境的潮湿、噪声干扰和节点资源受限等问题,研制了一种具有自适应耦合变频功能的新型露点传感器。设计了适用于露点传感器的机械能和光能感知收集装置,并通过整流滤波转换电路串联后建立多样性能量获取方案,通过分析光探测器中的光纤切割角度和信噪比对节点能量和工作状态的影响,建立了自适应耦合变频机制,最后研发了一种新型露点传感器。实验结果表明:所提方案设计的露点传感器具有精度高、工作状态稳定和生命周期长等优势。 展开更多

关键词 能量获取 自适应耦合 变频 露点传感器

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YH—98图像敏感式精密露点仪 被引量：1

12

作者 王进才 张凤林 +1 位作者 陈振林 孙中泉 《宇航计测技术》 CSCD 2000年第5期21-25,共5页

介绍了图象敏感式露点仪的系统原理、软硬件构成及关键技术。该仪器经国家权威机构检定和若干单位试用，均证明其性能价格比高，推广前景广阔。

关键词 YH-98 图像敏感式 精密露点仪

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湿度传感器校准及不确定度评定 被引量：5

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作者 徐慧娟 朱炜 邹姝文 《装备制造技术》 2013年第4期91-93,共3页

冷镜露点仪作为高准确度的一种湿度测量仪器,是国家湿度量值传递和国际比对的通用传递标准。笔者根据JJF1076-200《1湿度传感器校准规范》,使用冷镜露点仪作为标准器,对湿度传感器修正值的不确定度进行详细分析。

关键词 冷镜露点仪 湿度传感器 校准 不确定度

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基于H2TG3551湿度传感器的汽车自动防雾系统的研究设计 被引量：7

14

作者 赵南 田钧 《传感器世界》 2011年第9期37-40,共4页

随着我国汽车技术的不断发展,汽车产销量的不断增加,消费者对汽车的性能提出了更高的要求,除了对汽车硬性指标关注的同时,也更加关注汽车的软环境。自动除雾系统因为可以为驾驶员提供更多的便利和安全性而受到越来越多的重视。介绍了自... 随着我国汽车技术的不断发展,汽车产销量的不断增加,消费者对汽车的性能提出了更高的要求,除了对汽车硬性指标关注的同时,也更加关注汽车的软环境。自动除雾系统因为可以为驾驶员提供更多的便利和安全性而受到越来越多的重视。介绍了自动除雾原理及自动除雾系统的原理框图,提出了利用精量电子生产的高精度温湿度传感器H2TG3551构成的汽车自动除雾系统,实现对挡风玻璃起雾情况的实时监控。并给出了自动除雾传感器的安装方法和位置。实验验证了系统性能良好,可以满足自动除雾的要求。 展开更多

关键词 自动除雾 H2TG3551传感器 露点温度

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现代湿度测量方法评述 被引量：9

15

作者 张玥 陈勇 巩娟 《计测技术》 2006年第4期1-4,34,共5页

介绍了现代湿度测量中几种较为常用的测量方法,其中包括露点法、电湿度传感器和吸收光谱法等,并从工作原理、仪器构造等方面进行了详细的论述。

关键词 湿度 露点法 电湿度传感器 吸收光谱法

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温湿度传感器相对湿度示值误差测量结果的不确定度评定 被引量：11

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作者 于建清 程绍华 +1 位作者 贾伟广 于惠莉 《海洋技术》 北大核心 2013年第1期83-86,共4页

依据JJF 1076-2001《湿度传感器校准规范》,以二级分流式湿度发生器、精密露点仪、精密露点仪温度传感器为标准器,以VAISALA的HM70型手持式温湿度传感器为研究对象,开展温湿度传感器相对湿度示值误差的试验研究,给出其测量结果的不确定... 依据JJF 1076-2001《湿度传感器校准规范》,以二级分流式湿度发生器、精密露点仪、精密露点仪温度传感器为标准器,以VAISALA的HM70型手持式温湿度传感器为研究对象,开展温湿度传感器相对湿度示值误差的试验研究,给出其测量结果的不确定度评定方法和步骤。在相对湿度10%RH^90%RH时,HM70温湿度传感器测量结果的扩展不确定度为1.2%RH^1.7%RH(k=2)。 展开更多

关键词 温湿度传感器 相对湿度 精密露点仪 湿度发生器 测量不确定度

原文传递

Ni-Zn-Fe-O系陶瓷湿敏电阻研究

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作者 徐廷献 薄占满 +2 位作者 曲远方 安建军 刘伯乔 《天津大学学报》 EI CAS CSCD 1992年第S1期110-113,共4页

采用湿化学法合成了一种新型湿敏陶瓷材料Ni_(0.3)Zn_(0.3)Fe_(2.4)O_x(其中x<4,简写为NZF)。将此种材料制成多孔陶瓷时,其电阻率的对数值与相对湿度之间关系呈近直线性;当将其制成致密陶瓷时,它具有结露敏感特性。

关键词 湿敏元件 多孔陶瓷 露点

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结露型湿度敏感元件的研制

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作者 孙良彦 邱法斌 《郑州轻工业学院学报（自然科学版）》 CAS 1994年第S1期34-39,共6页

介绍了一种碳分散系高分子电阻型湿度敏感元件的材料与性质的关系，着重从感湿材料、碳粉性质、表面处理等角度阐述影响该种元件性质的一些重要因素，从而为制作出开关特性好、响应快、抗污染、精度高、体积小的结露型湿度传感器提供了... 介绍了一种碳分散系高分子电阻型湿度敏感元件的材料与性质的关系，着重从感湿材料、碳粉性质、表面处理等角度阐述影响该种元件性质的一些重要因素，从而为制作出开关特性好、响应快、抗污染、精度高、体积小的结露型湿度传感器提供了丰富的实验基础。 展开更多

关键词 结露 湿度敏感元件 聚合物 碳粉 电极 表面处理

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基于露点降估算的APU电子控制系统设计

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作者 张彦会 王君琦 +3 位作者 李勇滔 吴迁 杨军 孙小孟 《自动化仪表》 CAS 2023年第12期37-41,47,共6页

为了实现商用车电控空气处理系统闭环精确控制、使系统的安全性和经济性得到改善,在商用车空气处理系统中引入了温湿度传感器。根据温湿度和压力数据,经Vogel-Tamma-Fulcher(VTF)方程实现了对高压露点降(DPD)的实时计算和监测。在此基础... 为了实现商用车电控空气处理系统闭环精确控制、使系统的安全性和经济性得到改善,在商用车空气处理系统中引入了温湿度传感器。根据温湿度和压力数据,经Vogel-Tamma-Fulcher(VTF)方程实现了对高压露点降(DPD)的实时计算和监测。在此基础上,设计了一种适用于底盘域控制器或整车控制器的商用车空气处理单元(APU)电子控制系统。试验结果显示,在中国重型商用车瞬态循环(C-WTVC)工况下使用该系统可以有效降低再生率约4%,商用车空气处理系统的空气压缩机负荷率降低约3%。在APU电控系统中引入露点估算,实现了对空气处理系统DPD的实时监控和稳定控制,提升了系统安全性、降低了空气压缩机负荷。 展开更多

关键词 商用车 空气处理系统 温湿度传感器 露点降 电磁阀 电子控制

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一种可长期维持低露点测试室的方法及其应用

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作者 姬洪 金懋昌 +1 位作者 曹佩韦 张池军 《计测技术》 2006年第B09期33-35,共3页

研究了用5A型分子筛长期维持低露点测试室装置的原理,以及用作传感器的长期稳定度测试的方法与结果。

关键词 露点传感器 分子筛 长期稳定度

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