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Semi-supervised Learning for Detector-free Multi-person Pose Estimation
1
作者 Haixin Wang Lu Zhou +2 位作者 Yingying Chen Ming Tang Jinqiao Wang 《Machine Intelligence Research》 2025年第6期1116-1126,共11页
Semi-supervised learning is a significant approach to learn robust human pose estimation models that perform well on wild images.Existing semi-supervised methods of human pose estimation mainly focus on instance-agnos... Semi-supervised learning is a significant approach to learn robust human pose estimation models that perform well on wild images.Existing semi-supervised methods of human pose estimation mainly focus on instance-agnostic keypoint detection.In multi-person scenes,the arbitrary number of instances that have made pose estimation much more challenging,and current semi-supervised methods cannot fully mine the information in unlabeled data.To leverage the instance information in unlabeled data,we propose an end-to-end semi-supervised training strategy.Different from previous semi-supervised methods in two stages,our method focuses on detector-free frameworks including bottom-up and single-stage ones.It not only performs consistency regularization on heatmaps,but also employs a pseudo-labeling approach to generate instance-specific pseudo annotations.On the COCO and CrowdPose benchmark,the proposed approach outperforms previous instance-agnostic methods under various labeling ratios.Our method is applicable to both bottom-up and single-stage frameworks,showing its general applicability. 展开更多
关键词 Semi-supervised learning human pose estimation multi-person keypoint detector-free
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基于InP/InGaAs肖特基二极管的高灵敏太赫兹探测器
2
作者 周静涛 金智 +5 位作者 苏永波 史敬元 丁武昌 张大勇 杨枫 刘桐 《太赫兹科学与电子信息学报》 2025年第1期40-43,共4页
InP/InGaAs肖特基二极管(SBDs)探测器因其高电子迁移率和低势垒材料特性,具有非常高的电压响应灵敏度,广泛用于高灵敏太赫兹波探测技术中。为进一步降低器件寄生效应,提升其高频性能,本文提出一种无衬底单台面T型结新型结构的肖特基器件... InP/InGaAs肖特基二极管(SBDs)探测器因其高电子迁移率和低势垒材料特性,具有非常高的电压响应灵敏度,广泛用于高灵敏太赫兹波探测技术中。为进一步降低器件寄生效应,提升其高频性能,本文提出一种无衬底单台面T型结新型结构的肖特基器件,器件的截止频率为9.5THz。基于新型结构的InP/InGaAs肖特基器件技术,研制了220~330GHz、30~500GHz、400~600 GHz和500~750 GHz等多频段的太赫兹探测器模块。其中220~330 GHz频段太赫兹检测器模块与美国VDI公司的同频段检测器模块相比,检测灵敏度等指标相近。该器件在太赫兹安检成像应用中具有很好的应用前景。 展开更多
关键词 太赫兹检测器 肖特基二极管(SBDs) T型结 无衬底单台面
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抗锯齿无锚框目标检测模型 被引量:1
3
作者 冉梦影 杨文柱 尹群杰 《计算机应用与软件》 北大核心 2025年第1期116-123,176,共9页
为了提升无锚框目标检测模型对物体多尺度检测性能,并实现检测速度与精度的最佳折中,提出一种具有抗锯齿能力的无锚框目标检测模型。下采样操作中,使用分组自适应低通滤波器解决网络中存在的锯齿问题;并联不同空洞率的空洞卷积进行多尺... 为了提升无锚框目标检测模型对物体多尺度检测性能,并实现检测速度与精度的最佳折中,提出一种具有抗锯齿能力的无锚框目标检测模型。下采样操作中,使用分组自适应低通滤波器解决网络中存在的锯齿问题;并联不同空洞率的空洞卷积进行多尺度特征融合,扩大神经元感受野范围。防止在模型训练过程中破坏网络参数,对损失函数进行实验讨论,替换为smooth L1 Loss函数。实验结果表明,在PASCAL VOC数据集上mAP指标达到了82.1%,FPS达到了32,与CenterNet-ResNet101相比,mAP提升了4.3%,FPS提升了18.5%。 展开更多
关键词 目标检测 无锚框 锯齿问题 空洞卷积 损失函数
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多排螺旋CT在治疗不典型消化道穿孔中的应用 被引量:9
4
作者 温阿明 杨学东 张志良 《海军医学杂志》 2013年第2期101-104,共4页
目的探讨不典型消化道穿孔CT表现特征,提高消化道穿孔的CT诊断准确率,为临床治疗及预后提供依据。方法回顾性分析我院7例经手术证实的消化道穿孔患者CT表现。结果 4例患者显示腹腔游离气体,胆道积气及脓腔积气各1例;1例显示腹腔积液;所... 目的探讨不典型消化道穿孔CT表现特征,提高消化道穿孔的CT诊断准确率,为临床治疗及预后提供依据。方法回顾性分析我院7例经手术证实的消化道穿孔患者CT表现。结果 4例患者显示腹腔游离气体,胆道积气及脓腔积气各1例;1例显示腹腔积液;所有患者均有不同程度腹膜炎表现。结论多排螺旋CT腹部扫描结合临床资料,对消化道穿孔的发病部位、原因及范围的判断有着一定的优势。 展开更多
关键词 消化道穿孔 多排螺旋CT 游离气体
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利用微通道板极间耦合损失实现复合探测的空间束导栅型调制机制 被引量:1
5
作者 母一宁 樊海波 +4 位作者 王美婷 王新 李野 姜会林 刘春阳 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第3期226-229,共4页
从位置和能量复合分辨的角度出发,开展基于微通道束导栅型空间调制的复合探测技术研究:探究微通道光电倍增机构的电子束空间束导机理,构建适用于栅型薄膜空间调制的微通道束导机构;揭示相关电子光学参数对其空间光学传递特性影响关系;... 从位置和能量复合分辨的角度出发,开展基于微通道束导栅型空间调制的复合探测技术研究:探究微通道光电倍增机构的电子束空间束导机理,构建适用于栅型薄膜空间调制的微通道束导机构;揭示相关电子光学参数对其空间光学传递特性影响关系;设计构建基于微通道束导栅型空间调制的复合探测原型器件并在真空测试系统中开展了性能对比实验,最终验证栅型结构在成像与探测动态范围方面具有明显优势。 展开更多
关键词 探测器 束导 自由空间光通信 光电倍增
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基于无参数形状检测子和DT-CWT的交通标志识别 被引量:7
6
作者 谷明琴 蔡自兴 《计算机研究与发展》 EI CSCD 北大核心 2013年第9期1893-1901,共9页
针对车辆行驶环境中难以检测的交通标志,提出了一种检测和识别方法.首先分割交通标志的特征颜色区域,并扩展感兴趣区域,提取区域边缘.然后用直线分割和杂点去除粗略划分边缘,根据直线间顶点处的曲率关系,计算转向角并分类顶点的类型,用... 针对车辆行驶环境中难以检测的交通标志,提出了一种检测和识别方法.首先分割交通标志的特征颜色区域,并扩展感兴趣区域,提取区域边缘.然后用直线分割和杂点去除粗略划分边缘,根据直线间顶点处的曲率关系,计算转向角并分类顶点的类型,用无参数形状检测子来检测图像中的圆形、三角形和矩形等.将检测到的候选区域送入形状分类器中,分类形状并排除杂质的干扰,最后通过二元树复小波变换和二维独立分量分析相结合来识别交通标志类型.实验结果表明提出的方法对交通标志被遮挡、光照不均匀、颜色部分失真的情况下,检测率和识别率均较高,并且可以达到实时处理的效果. 展开更多
关键词 无参数形状检测子 曲率 形状分类 二元树复小波变换 交通标志识别
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高能物理探测设备中结构新材料的应用技术研究 被引量:2
7
作者 王元清 王综轶 +4 位作者 杜新喜 陈少敏 王喆 张天雄 衡月昆 《建筑钢结构进展》 CSCD 北大核心 2019年第1期1-14,共14页
高能物理探测设备往往是一种大型的空间结构,采用了大量的新材料,如:不锈钢、无氧铜、有机玻璃、尼龙等。介绍了几种类型的高能物理探测设备,并对以上几种新材料的研究现状作了总结。归纳了清华大学关于高能物理探测设备中新材料的研究... 高能物理探测设备往往是一种大型的空间结构,采用了大量的新材料,如:不锈钢、无氧铜、有机玻璃、尼龙等。介绍了几种类型的高能物理探测设备,并对以上几种新材料的研究现状作了总结。归纳了清华大学关于高能物理探测设备中新材料的研究,对于不锈钢主要进行了材性和本构、构件承载性能、连接节点、整体设计分析、残余应力等研究;对于无氧铜,进行了材性和本构以及构件承载性能的研究;对于有机玻璃,对其节点性能进行了试验研究,并且将通过单轴拉伸、蠕变、冲击韧性和断裂韧性的试验来研究其材性和本构关系。 展开更多
关键词 高能物理探测设备 不锈钢 无氧铜 有机玻璃 尼龙
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二维阀切换离子色谱法测定海带中游离氨基酸 被引量:10
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作者 刘颖慧 张经华 +1 位作者 王明林 法芸 《化学分析计量》 CAS 2016年第4期23-26,共4页
建立一种测定海带中游离氨基酸的阀切换高效阴离子交换色谱耦合脉冲安培检测器法。采用一根阳离子交换柱对氨基酸进行富集,而后经阀切换至氨基酸分析柱Amino Pac~PA-10(250 mm×2 mm)上分离并进入安培检测器检测。在最佳分离条件下... 建立一种测定海带中游离氨基酸的阀切换高效阴离子交换色谱耦合脉冲安培检测器法。采用一根阳离子交换柱对氨基酸进行富集,而后经阀切换至氨基酸分析柱Amino Pac~PA-10(250 mm×2 mm)上分离并进入安培检测器检测。在最佳分离条件下,20种氨基酸的质量浓度在0.1~20.0 mg/L范围内与其色谱峰面积线性关系良好,线性相关系数r^2>0.99,20种氨基酸的检出限为0.01 mg/L,加标回收率为83.12%~117.34%,测定结果的相对标准偏为1.02%~13.05%(n=8)。该方法样品前处理简单,无基底杂质干扰,适用于海带样品中游离氨基酸的测定。 展开更多
关键词 阀切换离子色谱法 脉冲安培检测器 阳离子交换柱 游离氨基酸 海带
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面向遥感目标检测的无锚框Transformer算法 被引量:6
9
作者 喻九阳 胡天豪 +2 位作者 戴耀南 张德安 夏文凤 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第11期3238-3247,共10页
遥感图像目标具有多方向排布、小且密集等特性,使基于深度学习的旋转目标检测算法存在检测精度不佳的问题.针对这一问题,本文提出了一种面向遥感目标检测的无锚框Transformer算法.首先,采用层次化Transformer采集不同分辨率的特征信息... 遥感图像目标具有多方向排布、小且密集等特性,使基于深度学习的旋转目标检测算法存在检测精度不佳的问题.针对这一问题,本文提出了一种面向遥感目标检测的无锚框Transformer算法.首先,采用层次化Transformer采集不同分辨率的特征信息以扩大特征信息的采集范围.其次,构建一种新的前馈网络(Spacial-FeedForward Neural network,SFFN).SFFN将3×3深度可分离卷积的局部空间特性和多层感知机(MultiLayer Perceptron,MLP)的全局通道特性融合在一起,以解决前馈网络(Feed Forward Neural network,FFN)在局部空间建模上的不足.最后,基于SFFN架构搭建了无锚框检测器,将预测框回归问题分为水平框与旋转框,缓解了旋转框的损失不连续性问题.在DOTA数据集上的测试结果表明,此方法的平均精度达到了75.83%,同时在NWPU VHR-10数据集上5类小目标检测结果达到了92.47%,在遥感目标检测精度上更具竞争力. 展开更多
关键词 遥感图像 目标检测 Transformer算法 无锚框检测器
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基于FPGA的LCR测试仪 被引量:6
10
作者 徐丽娟 邹云屏 +1 位作者 黄柱 汤琛 《武汉大学学报(工学版)》 CAS CSCD 北大核心 2006年第1期101-105,共5页
介绍了一种LCR测试仪,它利用FPGA实现直接数字频率合成,产生波形好、幅值稳定的正弦波作为测试激励信号;相敏检波器设计方法独特,利用数字全波鉴相,提高了鉴相效率,改善了鉴相效果;采用了基于自由轴伏安测量法的测量原理和四端测量技术... 介绍了一种LCR测试仪,它利用FPGA实现直接数字频率合成,产生波形好、幅值稳定的正弦波作为测试激励信号;相敏检波器设计方法独特,利用数字全波鉴相,提高了鉴相效率,改善了鉴相效果;采用了基于自由轴伏安测量法的测量原理和四端测量技术,并用C语言实现分布参数校正. 展开更多
关键词 FPGA 频率合成 自由轴法 数字鉴相器
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3种血红蛋白快速检测仪检测结果可靠性分析 被引量:4
11
作者 郭建生 钟炽辉 何子毅 《现代医院》 2014年第3期65-67,共3页
目的探讨不同血红蛋白快速检测仪检测结果的可接受性,为街头无偿献血初筛检测提供准确、可比的检验结果。方法随机选取60份街头采集的献血者血样,分别采用3种血红蛋白快速检测仪及血细胞分析仪检测血红蛋白含量,与参加卫生部室间质评并... 目的探讨不同血红蛋白快速检测仪检测结果的可接受性,为街头无偿献血初筛检测提供准确、可比的检验结果。方法随机选取60份街头采集的献血者血样,分别采用3种血红蛋白快速检测仪及血细胞分析仪检测血红蛋白含量,与参加卫生部室间质评并可溯源的血细胞分析仪(Sysmex-kx-21N)比较,建立回归方程,以1/2(CLIA'88)允许误差为标准判断偏倚是否可接受,并同时比较几种血红蛋白快速检测仪的精密度、平均检测时间。结果 3种血红蛋白快速检测仪检测结果与Sysmex-kx-21N全自动血细胞分析仪检测血红蛋白结果均有差异(p<0.05),HemoCue Hb 201+的偏倚(SE%)为1.6%,属于可接受的范围,用回归方程可以矫正;但Hemo Scan-A和Mission Hb的偏倚均大于CLIA'88允许范围3.5%,属于不可接受范围,该类仪器应重新调试或者停用;精密度最好的是HemoCue Hb 201+,最差的是Hemo Scan-A;测试时间最快的是Hemo Scan-A,最慢的是HemoCue Hb 201+。结论基于本研究的实验数据,得出HemoCue Hb201+快速检测仪检测结果具有可接受性,适合街头献血者Hb含量测定。 展开更多
关键词 无偿献血者 血红蛋白 快速检测仪 可靠性
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双α射线冷却法测空气湿度的研究
12
作者 张黎丽 莫长涛 《哈尔滨商业大学学报(自然科学版)》 CAS 2001年第4期103-105,共3页
介绍了双α放射线性同位素检测露点的方法。使用半导体探测器及半导体制冷器构成传感器,并利用无模型控制器进一步控制半导体制冷温度,达到对露点跟踪,实施在线检测并显示输出。实验结果表明,在-40~20℃范围内,具有很好的测量精度和重... 介绍了双α放射线性同位素检测露点的方法。使用半导体探测器及半导体制冷器构成传感器,并利用无模型控制器进一步控制半导体制冷温度,达到对露点跟踪,实施在线检测并显示输出。实验结果表明,在-40~20℃范围内,具有很好的测量精度和重复性,测量精度优于±1℃。 展开更多
关键词 Α射线 露点 湿度 半导体探测器 无模型控制器
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太赫兹波探测器的研究进展 被引量:9
13
作者 杜艳丽 刘晓旻 +2 位作者 段智勇 弓巧侠 郭茂田 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2009年第4期481-485,491,共6页
太赫兹技术涉及电磁学、半导体物理学、光电子学、材料科学以及微加工技术等多个学科。太赫兹探测器是太赫兹技术应用的关键器件之一。太赫兹电磁波独特的特点,令太赫兹技术在物体成像、射电天文、宽带移动通信、医疗诊断、环境监测等... 太赫兹技术涉及电磁学、半导体物理学、光电子学、材料科学以及微加工技术等多个学科。太赫兹探测器是太赫兹技术应用的关键器件之一。太赫兹电磁波独特的特点,令太赫兹技术在物体成像、射电天文、宽带移动通信、医疗诊断、环境监测等方面具有重大的科学研究价值和广阔的应用前景。文章介绍了太赫兹探测技术的原理及其应用,并在此基础上分析了太赫兹探测器件的最新进展、性能和发展趋势。 展开更多
关键词 太赫兹电磁波 太赫兹探测器 太赫兹时域光谱技术 光电导采样 自由空间电光 采样
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HPLC-ELSD法检测无糖型饮料中D-阿洛酮糖 被引量:1
14
作者 刘文全 《食品研究与开发》 CAS 北大核心 2019年第14期197-202,共6页
建立一种用高效液相色谱-蒸发光检测法测定无糖型饮料中D-阿洛酮糖的方法.样品经20%乙腈提取后,由HLB固相萃取小柱进行净化和富集,过滤膜后上机检测.检测结果表明,以乙腈:水(30:70,体积比)作为流动相,用蒸发光检测器检测,外标法峰面积定... 建立一种用高效液相色谱-蒸发光检测法测定无糖型饮料中D-阿洛酮糖的方法.样品经20%乙腈提取后,由HLB固相萃取小柱进行净化和富集,过滤膜后上机检测.检测结果表明,以乙腈:水(30:70,体积比)作为流动相,用蒸发光检测器检测,外标法峰面积定量,D-阿洛酮糖在0.01 g/100 mL^0.80 g/100 mL浓度范围内线性良好,相关系数r2为0.9994,检出限在0.002 g/100 mL,定量限为0.006 g/100 mL,加标回收率达到91.5%~94.2%.该方法适用于无糖型饮料中D-阿洛酮糖的定量检测. 展开更多
关键词 高效液相色谱 蒸发光散射检测器 无糖型 饮料 D-阿洛酮糖
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二路收发的空间光通信系统 被引量:3
15
作者 左昉 谢福增 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2004年第6期419-421,共3页
研制了工作于大气中的空间光通信系统 ,系统的发射天线采用了两组互相独立的组合式准直光学系统 ,发射光源采用 980nm的CW激光器 ,调制方式为直接电流调制 ;接收天线为两组折反式望远光学系统 ,以快速响应的PIN光电管为主探测器 ,四象... 研制了工作于大气中的空间光通信系统 ,系统的发射天线采用了两组互相独立的组合式准直光学系统 ,发射光源采用 980nm的CW激光器 ,调制方式为直接电流调制 ;接收天线为两组折反式望远光学系统 ,以快速响应的PIN光电管为主探测器 ,四象限探测器为两个系统之间对准与否的位置探测器。该系统实现了点对点的 6 2 2Mbit/s通信 ,正常天气情况下可实现通信的距离 10 0m~ 2km。该文在给出了该系统的组成的基础上详细讨论了系统的接收与发射天线。 展开更多
关键词 空间光通信 半导体激光器 PIN探测器 发散角
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基于4倍频采样的数字正交FID信号检测技术 被引量:7
16
作者 王中兴 荣亮亮 +3 位作者 林君 尚新磊 段清明 蒋川东 《数据采集与处理》 CSCD 北大核心 2010年第5期626-630,共5页
提出了基于4倍Lamor频率采样的数字正交锁相放大技术提取包络信号,该技术是根据开关型正交矢量锁定放大器的基本原理和三角函数的特征,通过4倍Lamor频率采样和数字叠加的方法,实现了信号正交与低通滤波功能。该数字正交方法较模拟正交... 提出了基于4倍Lamor频率采样的数字正交锁相放大技术提取包络信号,该技术是根据开关型正交矢量锁定放大器的基本原理和三角函数的特征,通过4倍Lamor频率采样和数字叠加的方法,实现了信号正交与低通滤波功能。该数字正交方法较模拟正交法的优点是能够提高信号的信噪比,且电路设计简单。利用该法所设计的地面核磁共振找水仪采集系统在探寻地下水源中已得到验证与应用,在叠加次数仅为NUMIS系统1/2时,其信噪比至少提高0.5倍。该方法提高了仪器的工作效率和对信号参数的提取精度。 展开更多
关键词 数字正交矢量锁定放大器 自由感应衰减 地面核磁共振 同步检测器
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b型流感嗜血杆菌结合疫苗游离多糖含量检测高效阴离子交换色谱-脉冲安培法的建立及验证 被引量:8
17
作者 赵丹 李茂光 +3 位作者 毛琦琦 李亚南 陈苏京 叶强 《中国生物制品学杂志》 CAS CSCD 北大核心 2022年第1期79-84,共6页
目的建立b型流感嗜血杆菌(Haemophilus influenzae type b,Hib)结合疫苗游离多糖含量检测的超速离心联合高效阴离子交换色谱-脉冲安培(high performance anion exchange chromatography with pulsed amperometric detector,HPAEC-PAD)法... 目的建立b型流感嗜血杆菌(Haemophilus influenzae type b,Hib)结合疫苗游离多糖含量检测的超速离心联合高效阴离子交换色谱-脉冲安培(high performance anion exchange chromatography with pulsed amperometric detector,HPAEC-PAD)法,并对该方法进行验证及初步应用。方法将供试品经超速离心后,收集上清获得游离多糖,加入水解液使供试品水解约16 h后,采用CarboPacPA-104 mm×250 mm分析柱与CarboPacPA-104 mm×50 mm保护柱,氢氧化钠-醋酸钠溶液梯度洗脱,检测供试品游离多糖含量。对该方法进行专属性、线性、精密度、稳定性、准确度验证,确定定量限。用建立的方法检测13个批次Hib结合疫苗游离多糖含量,同时与乙醇沉淀法进行比较。结果Hib多糖标准品在0.77~12.26μg/mL范围内,与峰面积呈良好的线性关系,测定5次,线性相关系数均大于0.995;方法定量限为1.875 ng/mL;精密度、稳定性的RSD均小于5%;高、中、低3个浓度的平均加标回收率为100.26%,RSD为3.96%。13个批次Hib结合疫苗中的游离多糖含量为6.76%~16.74%。结论该方法准确可靠,可用于检测Hib结合疫苗游离多糖含量,同时也为其他多糖蛋白结合疫苗游离多糖提取和检测提供了思路。 展开更多
关键词 高效阴离子交换色谱-脉冲安培法 超速离心 B型流感嗜血杆菌 游离多糖
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使用硅半导体探测器采集FFF小野光子束基础数据的扫描参数优选研究 被引量:7
18
作者 岳海振 王美娇 +6 位作者 刘卓伦 姚凯宁 弓健 王若曦 杜乙 张艺宝 吴昊 《中国医疗设备》 2019年第7期60-64,共5页
目的探讨使用硅半导体探测器采集非均整模式小尺寸辐射野兆伏级光子束的百分深度剂量(Percentile Depth Dose,PDD)、射野离轴比(Field Off Axis Ratio,OAR)等基础数据的扫描参数优选问题。方法以蒙卡仿真结果为参考,使用PTW60016硅半导... 目的探讨使用硅半导体探测器采集非均整模式小尺寸辐射野兆伏级光子束的百分深度剂量(Percentile Depth Dose,PDD)、射野离轴比(Field Off Axis Ratio,OAR)等基础数据的扫描参数优选问题。方法以蒙卡仿真结果为参考,使用PTW60016硅半导体探测器,采用均值±标准差、Gamma1D分析等方法,定量评价不同采样时间与采样步长对小野射线质及半影区宽度测量偏差的影响。结果不同测量参数组合条件下,四个典型小野(1cm×1cm^4cm×4cm)射线质的标准差均在0.005以内;采样时间的增加对PDD和OAR测量精度影响较小,采样步长的减小有利于提高OAR半影区和PDD建成区测量精度,对大深度处PDD测量精度的提高无意义;采样时间对半影区宽度影响较小(标准差均小于0.05mm),采样步长的增大导致半影区展宽。结论射线质对采样时间和步长不敏感;PDD测量精度对采样时间不敏感,4~50mm区域与采样步长成负相关,51~300mm深度不敏感;OAR半影区宽度对采样时间不敏感,与采样步长正相关;综合测量精度和效率,本研究推荐PDD数据采用0.5s、0.5mm(50mm以内)和1mm(51~300mm),OAR数据0.5s、0.5mm作为PTW60016的小野基础数据扫描参数。 展开更多
关键词 非均整模式 小尺寸辐射野 硅半导体探测器 基础数据 测量参数优选
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近距离无线激光通信系统的设计 被引量:4
19
作者 王昆 桂玉屏 黎明聪 《光纤与电缆及其应用技术》 2010年第6期30-33,共4页
研究了一种用于传输数字图像信号的近距离无线激光通信系统,对系统的发射机和接收机部分进行了电路设计,搭建了实验系统并进行了系统调试,得到了合适的电路结构和器件参数,为实用的无线激光通信系统的研究和设计提供了参考依据。
关键词 光通信 自由空间激光通信 光电探测器
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超薄膜腐蚀自停止技术的缺陷分析 被引量:1
20
作者 李晓波 徐晨 +2 位作者 戴天明 邓琛 沈光地 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2009年第3期410-413,432,共5页
作为气动红外探测器密封微电容检测腔的核心部件,要求敏感薄膜必须无孔,平整。浓硼硅腐蚀自停止技术制备超薄膜时,扩散前待扩硼区经常会存在各种表面微缺陷,导致扩硼后,再进行反向腐蚀形成的超薄膜会出现微腐蚀孔。利用小孔扩散模型和... 作为气动红外探测器密封微电容检测腔的核心部件,要求敏感薄膜必须无孔,平整。浓硼硅腐蚀自停止技术制备超薄膜时,扩散前待扩硼区经常会存在各种表面微缺陷,导致扩硼后,再进行反向腐蚀形成的超薄膜会出现微腐蚀孔。利用小孔扩散模型和流体力学中小孔的热壅塞理论详细计算了缺陷的结构尺寸对缺陷底端局部硼浓度的影响。当缺陷半径r0垲姨Dt,其底端的局部硼浓度会远远低于浓硼硅腐蚀自停止的临界浓度5×1019/cm3,从而在下一步的反向腐蚀出膜过程中,表面有缺陷的扩硼区出现微腐蚀孔的几率大大增加。最后,针对膜区域出现的微腐蚀孔,提出了几种解决方案。 展开更多
关键词 浓硼重掺杂硅薄膜 气动红外探测器 钻蚀缺陷 小孔扩散模型 微腐蚀孔
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