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提取共面微波探针S参数的方法 被引量:6
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作者 吴爱华 楼红英 +2 位作者 刘晨 孙静 梁法国 《微波学报》 CSCD 北大核心 2016年第2期35-38,共4页
共面微波探针是裸芯片测量信号输入/输出的重要媒介,通过与晶圆片物理接触,建立起测量系统与芯片之间的信号连接通道。为了获得共面微波探针完整准确的S参数,设计并实现了"两步法"测量方案,首先在同轴端口进行校准,然后在探针尖端口... 共面微波探针是裸芯片测量信号输入/输出的重要媒介,通过与晶圆片物理接触,建立起测量系统与芯片之间的信号连接通道。为了获得共面微波探针完整准确的S参数,设计并实现了"两步法"测量方案,首先在同轴端口进行校准,然后在探针尖端口进行第二步校准。通过与出厂数据进行对比分析,证明了方案的可行性,同时指出在片校准件预校准的重要性。另外,讨论了氧化铝和砷化镓两种材料在片SOLT校准件对于探针S参数提取中的影响,实验显示二者相角偏差达到39.8°,回波损耗呈现规则性的变化,全部测量数据的频段覆盖1-40 GHz,最终给出了优化的测量方案。 展开更多
关键词 共面波导 微波探针 裸芯片 S参数
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一种9端口微波多功能收发芯片在片测试技术 被引量:3
2
作者 陈兴 樊渝 李梦琪 《半导体技术》 CAS 北大核心 2022年第4期332-335,共4页
多功能芯片由单入单出单通道升级为多入多出多通道收发芯片,并大量应用于现代通信领域。针对多收发通道多功能芯片测试过程中,多次移动探针、重复压针、无法自动测量、测试效率低等不足,研究了多端口在片校准技术。通过去嵌入校准方法,... 多功能芯片由单入单出单通道升级为多入多出多通道收发芯片,并大量应用于现代通信领域。针对多收发通道多功能芯片测试过程中,多次移动探针、重复压针、无法自动测量、测试效率低等不足,研究了多端口在片校准技术。通过去嵌入校准方法,将校准面移到探针尖端,实现了多端口微波探针在片精确校准。提出了一次压针测试多端口芯片各项参数的方法,利用定制的集成多端口共面探针,搭建了一次压针全通道测试系统,通过软件控制开关矩阵,完成多端口信号传输及数据采集,实现一次压针全通道测试。并与传统测试方法的测试数据进行对比分析,证明了该方法的可行性。 展开更多
关键词 多功能芯片 多通道 共面探针 去嵌入 S参数
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一种天线近场测量磁场探头天线设计 被引量:4
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作者 孙鸣 周勇 《河南科技大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2016年第4期46-49,6,共4页
设计了一种共面波导形式的近场磁场探头,用于天线近场测量。通过建立电磁仿真模型,计算了探头的S21和S11参数,验证了探头在100~1 500 MHz频段具有良好的频率特性。实物加工与测量结果表明:探头的实物与仿真结果相符,证明了所设计的共... 设计了一种共面波导形式的近场磁场探头,用于天线近场测量。通过建立电磁仿真模型,计算了探头的S21和S11参数,验证了探头在100~1 500 MHz频段具有良好的频率特性。实物加工与测量结果表明:探头的实物与仿真结果相符,证明了所设计的共面波导形式的近场磁场探头的有效性和高空间分辨率。 展开更多
关键词 天线近场测量 磁场探头 共面波导形式
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MMIC在片测试探头的研究与设计 被引量:2
4
作者 周凌云 王卫东 樊德森 《微波学报》 CSCD 北大核心 2001年第4期80-84,共5页
微波单片集成电路 (MMIC)在片测试技术是应用于 MMIC和高速集成电路研究、生产的新型测试技术。 MMIC在片测试探头是 MMIC在片测试系统的关键部件。本文研究并设计了介质基片共面波导 (CPW)探头 ,测试并分析了探头性能。该探头在 2~ 18... 微波单片集成电路 (MMIC)在片测试技术是应用于 MMIC和高速集成电路研究、生产的新型测试技术。 MMIC在片测试探头是 MMIC在片测试系统的关键部件。本文研究并设计了介质基片共面波导 (CPW)探头 ,测试并分析了探头性能。该探头在 2~ 18GHz范围内插入损耗小于 1.5 d B,回波损耗大于 16 d 展开更多
关键词 微波单片集成电路 在片测试 在片测试探头 共面波导
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克林贝格三维线性测头的结构分析 被引量:1
5
作者 胡洪平 石照耀 《工具技术》 2014年第11期68-72,共5页
详细分析了克林贝格三维线性测头(K3D)结构具有三个轴向运动质量、偏转力和偏转刚度相等,且动态特性一致的结构特点,并对其三个方向的偏转结构、"共平面"结构以及主动测量结构着重进行了结构分析,其"共平面"结构极... 详细分析了克林贝格三维线性测头(K3D)结构具有三个轴向运动质量、偏转力和偏转刚度相等,且动态特性一致的结构特点,并对其三个方向的偏转结构、"共平面"结构以及主动测量结构着重进行了结构分析,其"共平面"结构极大地减小了在XZ-平面的阿贝误差,并通过一对梯形双轴铰链杆将沿探针轴向的偏转位移转移到测头后部进行测量,设计非常巧妙,克服了三层嵌套式结构三轴向偏转运动质量不相等的缺点,另外在直角双轴杆处设计了一个可分离的主动测量机构使得测头具备主动向任意方向偏转测量的主动测量功能。 展开更多
关键词 三维测头 共平面结构 阿贝原则
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数字示波器宽带探头系统的校准研究 被引量:3
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作者 朱江淼 郑香蕊 +3 位作者 赵科佳 万昭彤 郭森林 姜燕 《电子测量与仪器学报》 CSCD 北大核心 2022年第10期33-38,共6页
微波射频芯片进行时域测量时,数字示波器的宽带探头是测试芯片的一个关键子系统,为准确测量芯片,必须要清楚示波器探头系统的传输性能。为此,设计了一种包含接地共面波导的数字示波器宽带探头校准系统,依据校准系统的信号传输特性,用反... 微波射频芯片进行时域测量时,数字示波器的宽带探头是测试芯片的一个关键子系统,为准确测量芯片,必须要清楚示波器探头系统的传输性能。为此,设计了一种包含接地共面波导的数字示波器宽带探头校准系统,依据校准系统的信号传输特性,用反卷积求出数字示波器宽带探头系统的频率响应,并计算其带宽,以实现对该探头系统的校准。之后用该方法对Keysight Infiniimax高频差分有源探头系统进行了校准,得到其带宽数值约为12 GHz与标称带宽12 GHz相符,表明设计的校准系统合理可行。 展开更多
关键词 数字示波器宽带探头系统 接地共面波导 反卷积 时域测量
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一种新型三维线性测头结构设计及其误差分析 被引量:2
7
作者 汤庆儒 胡洪平 《机床与液压》 北大核心 2018年第10期122-125,共4页
为减小或消除三维线性测头的阿贝误差,同时降低导轨运动误差对测量机测量不确定度的影响,研制一种尽可能在三维方向上同时符合阿贝原则的线性测头。该测头做三维运动,水平导轨和竖直导轨采用共平面结构;测头三维测量系统的测量线正交于... 为减小或消除三维线性测头的阿贝误差,同时降低导轨运动误差对测量机测量不确定度的影响,研制一种尽可能在三维方向上同时符合阿贝原则的线性测头。该测头做三维运动,水平导轨和竖直导轨采用共平面结构;测头三维测量系统的测量线正交于一点且正交点与测头中心点重合,水平方向和竖直方向测量系统的测量线与水平导轨和竖直导轨面共面。针对此测头的特点,在参考常规测头误差分析的基础上,详细分析该测头中各项误差的影响,给出影响测头不确定度的主要误差源,对这些误差提出了修正方法。 展开更多
关键词 阿贝原则 三维线性测头 共平面结构 误差分析
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一种异面馈电模式的CBCPW与SIW的转换结构
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作者 卢瑛 沈亮 +2 位作者 沈亚 蒋鹏 卢燕 《电子元件与材料》 CAS CSCD 2015年第9期86-91,共6页
介绍了一种共面波导(CBCPW)与基片集成波导(SIW)的转换结构。区别于广泛采用的馈电点在共面的转换结构,该结构采用异面的馈电形式。一种变异的电流探针实现了两种传输线间的能量耦合,在CBCPW中的准TEM模通过它转换成SIW中的TE模。计算... 介绍了一种共面波导(CBCPW)与基片集成波导(SIW)的转换结构。区别于广泛采用的馈电点在共面的转换结构,该结构采用异面的馈电形式。一种变异的电流探针实现了两种传输线间的能量耦合,在CBCPW中的准TEM模通过它转换成SIW中的TE模。计算机辅助设计优化了该结构。实际制作并测试了一组背靠背的转换结构。测试结果显示在整个有效带宽达36%的频带内转换结构插损小于0.35dB。在同类结构中插损较小。 展开更多
关键词 基片集成波导 共面波导 转换 电流探针 多层微波印刷电路板 三维微波电路
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宽带接地共面波导的时域测量方法研究
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作者 朱江淼 万昭彤 +2 位作者 赵科佳 王鹏飞 张萌萌 《计量学报》 CSCD 北大核心 2023年第11期1728-1734,共7页
宽带接地共面波导是校准示波器宽带探头的核心器件。为了准确测量示波器探头的带宽指标,获得宽带接地共面波导传输特性成为实现高精度校准的关键。运用时域自动网络分析仪的测量原理,基于飞秒激光激励皮秒电脉冲技术,采用二次测量法,构... 宽带接地共面波导是校准示波器宽带探头的核心器件。为了准确测量示波器探头的带宽指标,获得宽带接地共面波导传输特性成为实现高精度校准的关键。运用时域自动网络分析仪的测量原理,基于飞秒激光激励皮秒电脉冲技术,采用二次测量法,构建了接地共面波导二次时域测量系统,通过两次测量的方式解算出宽带接地共面波导的冲激响应,从而得到频域带宽指标。以阵列通孔结构仿真设计接地共面波导,采用二次测量法测量加工样品,3 dB带宽达54.2 GHz,与仿真结果相比具有较好的一致性。定标后的宽带接地共面波导可以作为标准器件,用于示波器宽带探头的校准,其测量结果可有效溯源至脉冲波形参数国家基准。 展开更多
关键词 计量学 时域测量 宽带接地共面波导 采样示波器 示波器宽带探头 频率响应
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