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小圆平面靶磁控溅射镀膜均匀性研究
被引量：
7
1
作者
张以忱
高士铁
陈旺
《真空》
CAS
北大核心
2010年第2期21-26,共6页
本文从圆平面靶磁控溅射的原理出发,针对圆形平面靶面积小于基片面积的特点进行分析,建立膜厚分布的数学模型,并利用计算机进行模拟计算,目的在于探寻平面靶材面积小于基片面积时影响膜厚均匀性的因素。模拟计算的结果表明:基片偏心自转...
本文从圆平面靶磁控溅射的原理出发,针对圆形平面靶面积小于基片面积的特点进行分析,建立膜厚分布的数学模型,并利用计算机进行模拟计算,目的在于探寻平面靶材面积小于基片面积时影响膜厚均匀性的因素。模拟计算的结果表明:基片偏心自转时,靶基距和偏心距对膜厚分布均有影响。偏心距一定时,随着靶基距的增大,薄膜厚度变小,膜厚均匀性有提高的趋势;靶基距一定时,随着偏心距的增大,膜厚均匀性先变好后变差。当基片自转复合公转时,随着转速比的增大,膜厚均匀性逐渐变好,转速比增大到一定程度后,它对膜厚均匀性的影响逐渐变小。圆形平面靶的刻蚀环范围的变化对薄膜的均匀性有一定的影响。这些理论为小圆平面磁控溅射系统的设计和实际应用提供了理论依据。
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关键词
薄膜
磁控溅射
圆平面靶
数学模型
膜厚均匀性
转速比
原文传递
单目主动视觉无人机导引中摄像机内参数标定的线性方法
被引量：
9
2
作者
王睿
李欣
张广军
《航空学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第4期676-681,共6页
提出一种单目主动视觉无人机导引中摄像机内参数标定的线性方法,在摄像机主点位置进行预标定的条件下,摄像机只需拍摄一幅着舰平面靶标上的一组正方形图像,无须知道该组正方形的任何几何信息,通过计算圆环点,建立绝对二次曲线对摄像机...
提出一种单目主动视觉无人机导引中摄像机内参数标定的线性方法,在摄像机主点位置进行预标定的条件下,摄像机只需拍摄一幅着舰平面靶标上的一组正方形图像,无须知道该组正方形的任何几何信息,通过计算圆环点,建立绝对二次曲线对摄像机内参数的约束方程即可线性求解摄像机内参数,仿真实验和真实图象实验表明:该方法在摄像机内参数(如焦距等)需要经常改变的视觉任务,如基于视觉的无人机着舰导引、运动参数估计、三维视觉重建及视觉监控中,使得摄像机内参数的标定具有简便、实时和鲁棒性强的特点。
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关键词
摄像机内参标定
着舰平面靶标
圆环点
绝对二次曲线
正方形
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职称材料
组合式金合金圆平面磁控靶的设计
被引量：
1
3
作者
程树英
郑文汀
施金凿
《福州大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
1998年第4期35-37,共3页
首先对传统的圆平面磁控靶的形状进行改进，设计一个靶材利用率高的纯金靶．利用金合金的色区图，计算沉积不同Ｋ值和颜色的镀金膜时，组合式Ｋ金靶上金、银、铜的面积比，从而在纯金靶上固定相应面积的扇形银片和铜片，研制出不同Ｋ值...
首先对传统的圆平面磁控靶的形状进行改进，设计一个靶材利用率高的纯金靶．利用金合金的色区图，计算沉积不同Ｋ值和颜色的镀金膜时，组合式Ｋ金靶上金、银、铜的面积比，从而在纯金靶上固定相应面积的扇形银片和铜片，研制出不同Ｋ值和色度的组合式金合金靶．
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关键词
磁控溅射
圆平面靶
组合式
沉积
金合金
原文传递
小圆形平面靶倾斜磁控溅射镀膜均匀性研究
被引量：
3
4
作者
付学成
徐锦滨
+2 位作者
乌李瑛
黄胜利
王英
《真空》
CAS
2021年第4期1-5,共5页
基于小圆形平面靶倾斜磁控溅射的实际情况,针对靶材环形刻蚀槽与水平工件台存在夹角的特点,建立数学模型。利用MATLAB软件进行模拟仿真,研究靶材与工件台正对且高度固定时,不同夹角对膜厚分布的影响。我们发现在工件台相对靶材的水平距...
基于小圆形平面靶倾斜磁控溅射的实际情况,针对靶材环形刻蚀槽与水平工件台存在夹角的特点,建立数学模型。利用MATLAB软件进行模拟仿真,研究靶材与工件台正对且高度固定时,不同夹角对膜厚分布的影响。我们发现在工件台相对靶材的水平距离上,膜厚先增加后降低。当靶材夹角适当时,在工件台固定的区域范围内,薄膜沉积速率的变化近似直线。根据薄膜厚度在工件台水平面呈圆弧状递减分布实际特点,模拟出在4英寸的衬底上片内均匀性。根据模拟结果,我们在4英寸的衬底上制备出片内非均匀性小于0.6%的氮化钽薄膜,验证了数学模型的合理性,并解释了非均匀性的实验结果优于模拟计算结果的原因。这为设计制造磁控溅射镀膜设备提供了参考。
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关键词
圆形平面靶
磁控溅射
倾斜溅射
数学模型
高均匀性
原文传递
脉冲激光周向探测平面目标回波特性
被引量：
11
5
作者
徐孝彬
张合
陈杉杉
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第4期217-224,共8页
针对脉冲激光周向探测平面目标回波特性的问题,设计了脉冲激光周向探测系统。基于传统激光雷达方程,采用单站式激光雷达散射截面方程,推导了混有时空分布的回波功率的一般方程。基于倾斜平面目标的表面特性,推导了扩展目标和非扩展目标...
针对脉冲激光周向探测平面目标回波特性的问题,设计了脉冲激光周向探测系统。基于传统激光雷达方程,采用单站式激光雷达散射截面方程,推导了混有时空分布的回波功率的一般方程。基于倾斜平面目标的表面特性,推导了扩展目标和非扩展目标的回波功率方程。通过仿真分析了脉冲展宽特性、朗伯体与非朗伯体平面的目标回波特性。对周向探测系统进行加工以及回波实验,实验结果表明,数值计算回波与粗糙平板实际回波波形一致,为脉冲激光周向探测系统测距提供了理论依据。
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关键词
激光器
脉冲激光
回波特性
散射特性
平面目标
周向探测
原文传递
题名
小圆平面靶磁控溅射镀膜均匀性研究
被引量：
7
1
作者
张以忱
高士铁
陈旺
机构
东北大学
中海石油(中国)东海西湖石油天然气作业公司
出处
《真空》
CAS
北大核心
2010年第2期21-26,共6页
文摘
本文从圆平面靶磁控溅射的原理出发,针对圆形平面靶面积小于基片面积的特点进行分析,建立膜厚分布的数学模型,并利用计算机进行模拟计算,目的在于探寻平面靶材面积小于基片面积时影响膜厚均匀性的因素。模拟计算的结果表明:基片偏心自转时,靶基距和偏心距对膜厚分布均有影响。偏心距一定时,随着靶基距的增大,薄膜厚度变小,膜厚均匀性有提高的趋势;靶基距一定时,随着偏心距的增大,膜厚均匀性先变好后变差。当基片自转复合公转时,随着转速比的增大,膜厚均匀性逐渐变好,转速比增大到一定程度后,它对膜厚均匀性的影响逐渐变小。圆形平面靶的刻蚀环范围的变化对薄膜的均匀性有一定的影响。这些理论为小圆平面磁控溅射系统的设计和实际应用提供了理论依据。
关键词
薄膜
磁控溅射
圆平面靶
数学模型
膜厚均匀性
转速比
Keywords
thin film
magnetron sputtering
circular plane target
mathematical model
thickness uniformity velocity ratio of axial rotation to revolution
分类号
TB43 [一般工业技术]
原文传递
题名
单目主动视觉无人机导引中摄像机内参数标定的线性方法
被引量：
9
2
作者
王睿
李欣
张广军
机构
北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院
出处
《航空学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第4期676-681,共6页
基金
航空科学基金(03I51009)
杰出青年科学基金(50125518)资助项目
文摘
提出一种单目主动视觉无人机导引中摄像机内参数标定的线性方法,在摄像机主点位置进行预标定的条件下,摄像机只需拍摄一幅着舰平面靶标上的一组正方形图像,无须知道该组正方形的任何几何信息,通过计算圆环点,建立绝对二次曲线对摄像机内参数的约束方程即可线性求解摄像机内参数,仿真实验和真实图象实验表明:该方法在摄像机内参数(如焦距等)需要经常改变的视觉任务,如基于视觉的无人机着舰导引、运动参数估计、三维视觉重建及视觉监控中,使得摄像机内参数的标定具有简便、实时和鲁棒性强的特点。
关键词
摄像机内参标定
着舰平面靶标
圆环点
绝对二次曲线
正方形
Keywords
camera calibration of intrinsic parameters
landing
plane
target
circular
point
absolute conic
square
分类号
TP391 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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职称材料
题名
组合式金合金圆平面磁控靶的设计
被引量：
1
3
作者
程树英
郑文汀
施金凿
机构
福州大学电子科学与应用物理系
出处
《福州大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
1998年第4期35-37,共3页
文摘
首先对传统的圆平面磁控靶的形状进行改进，设计一个靶材利用率高的纯金靶．利用金合金的色区图，计算沉积不同Ｋ值和颜色的镀金膜时，组合式Ｋ金靶上金、银、铜的面积比，从而在纯金靶上固定相应面积的扇形银片和铜片，研制出不同Ｋ值和色度的组合式金合金靶．
关键词
磁控溅射
圆平面靶
组合式
沉积
金合金
Keywords
magnetron sputtering
circular plane target
K-gold
deposition
分类号
TG174.44 [金属学及工艺—金属表面处理]
原文传递
题名
小圆形平面靶倾斜磁控溅射镀膜均匀性研究
被引量：
3
4
作者
付学成
徐锦滨
乌李瑛
黄胜利
王英
机构
上海交通大学先进电子材料与器件校级平台
出处
《真空》
CAS
2021年第4期1-5,共5页
基金
2018年度上海交通大学决策咨询立项课题(JCZXSJB2018-028)。
文摘
基于小圆形平面靶倾斜磁控溅射的实际情况,针对靶材环形刻蚀槽与水平工件台存在夹角的特点,建立数学模型。利用MATLAB软件进行模拟仿真,研究靶材与工件台正对且高度固定时,不同夹角对膜厚分布的影响。我们发现在工件台相对靶材的水平距离上,膜厚先增加后降低。当靶材夹角适当时,在工件台固定的区域范围内,薄膜沉积速率的变化近似直线。根据薄膜厚度在工件台水平面呈圆弧状递减分布实际特点,模拟出在4英寸的衬底上片内均匀性。根据模拟结果,我们在4英寸的衬底上制备出片内非均匀性小于0.6%的氮化钽薄膜,验证了数学模型的合理性,并解释了非均匀性的实验结果优于模拟计算结果的原因。这为设计制造磁控溅射镀膜设备提供了参考。
关键词
圆形平面靶
磁控溅射
倾斜溅射
数学模型
高均匀性
Keywords
circular plane target
magnetron sputtering
inclined sputtering
mathematical model
high uniformity
分类号
TB43 [一般工业技术]
原文传递
题名
脉冲激光周向探测平面目标回波特性
被引量：
11
5
作者
徐孝彬
张合
陈杉杉
机构
南京理工大学智能弹药技术国防重点学科实验室
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第4期217-224,共8页
基金
武器装备预先研究项目(51305020104)
文摘
针对脉冲激光周向探测平面目标回波特性的问题,设计了脉冲激光周向探测系统。基于传统激光雷达方程,采用单站式激光雷达散射截面方程,推导了混有时空分布的回波功率的一般方程。基于倾斜平面目标的表面特性,推导了扩展目标和非扩展目标的回波功率方程。通过仿真分析了脉冲展宽特性、朗伯体与非朗伯体平面的目标回波特性。对周向探测系统进行加工以及回波实验,实验结果表明,数值计算回波与粗糙平板实际回波波形一致,为脉冲激光周向探测系统测距提供了理论依据。
关键词
激光器
脉冲激光
回波特性
散射特性
平面目标
周向探测
Keywords
lasers
pulsed laser
echo characteristic
scattering characteristic
plane
target
circular
-viewing detection
分类号
TJ43 [兵器科学与技术—火炮、自动武器与弹药工程]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
小圆平面靶磁控溅射镀膜均匀性研究
张以忱
高士铁
陈旺
《真空》
CAS
北大核心
2010
7
原文传递
2
单目主动视觉无人机导引中摄像机内参数标定的线性方法
王睿
李欣
张广军
《航空学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
9
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
组合式金合金圆平面磁控靶的设计
程树英
郑文汀
施金凿
《福州大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
1998
1
原文传递
4
小圆形平面靶倾斜磁控溅射镀膜均匀性研究
付学成
徐锦滨
乌李瑛
黄胜利
王英
《真空》
CAS
2021
3
原文传递
5
脉冲激光周向探测平面目标回波特性
徐孝彬
张合
陈杉杉
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017
11
原文传递
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