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Force/Moment Isotropy of 8/4-4 Parallel Six-Axis Force Sensor Based on Performance Atlases 被引量:3
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作者 Song Weishan Li Chenggang +3 位作者 Wang Chunming Song Yong Wu Zefeng Rajnathsing Hemant 《Transactions of Nanjing University of Aeronautics and Astronautics》 EI CSCD 2018年第6期1018-1026,共9页
A six-axis force sensor with parallel 8/4-4 structure is introduced and its measurement principle is analyzed.Based on condition numbers of Jacobian matrix spectral norm of the sensor,the relationship between the forc... A six-axis force sensor with parallel 8/4-4 structure is introduced and its measurement principle is analyzed.Based on condition numbers of Jacobian matrix spectral norm of the sensor,the relationship between the force and moment isotropy and some structural parameters is deduced.Orthogonal test methods are used to determine the degree of primary and secondary factors that have significant effect on sensor characteristics.Furthermore,the relationship between each performance index and the structural parameters of the sensor is analyzed by the method of the atlas,which lays a foundation for structural optimization design of the force sensor. 展开更多
关键词 six-axis force sensor JACOBIAN matrix condition number ISOTROPY ORTHOGONAL test indices ATLASES
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A novel fully-integrated miniature six-axis force/torque sensor 被引量:5
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作者 王嘉力 Xie Zongwu +2 位作者 Liu Hong Jiang Li Gao Xiaohui 《High Technology Letters》 EI CAS 2006年第3期235-238,共4页
This paper presents a new designed miniature six DOF (degree of freedom) force/torque sensor. This sensor is fully integrated with a micro DSP (digital signal processor), so all the signal conditioning, A/D, decou... This paper presents a new designed miniature six DOF (degree of freedom) force/torque sensor. This sensor is fully integrated with a micro DSP (digital signal processor), so all the signal conditioning, A/D, decoupling, digital-signals serial output are performed in the sensor. Some experimental results are presented to demonstrate the capability of the proposed design. Finally, a neural network was used for decoupling the interacting signals, compared with the conventional method using the inverse matrix, this new method is more accurate. 展开更多
关键词 six-axis force sensor sensing element CALIBRATION neural network
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Dynamic analysis of double-layer and pre-stressed multi-limb six-axis force sensor 被引量:1
3
作者 Wang Zhijun He Jing +1 位作者 Cui Bingyan Li Zhanxian 《High Technology Letters》 EI CAS 2019年第2期189-196,共8页
In order to adapt to the specific task, the six-axis dynamic contact force between end-effectors of intelligent robots and working condition needs to be perceived. Therefore, the dynamic property of six-axis force sen... In order to adapt to the specific task, the six-axis dynamic contact force between end-effectors of intelligent robots and working condition needs to be perceived. Therefore, the dynamic property of six-axis force sensor which is installed on the end-effectors of intelligent robots will have influence on the veracity of detection and judgment to working environment contact force by intelligent robots directly. In this paper, dynamic analysis to double-layer and pre-stressed multi-limb six-axis force sensor is conducted. First, the structure of the sensor is introduced, and the limb number is confirmed by introducing the related definitions of convex analysis. Then, based on vibration of multiple-degree-of-freedom system, a mechanical vibration simplified model of double-layer and pre-stressed multiple limb six-axis force sensor is set up. After that, movement differential equations of sensor and the response of analytical expression are deduced, and the movement differential equations is solved. Finally, taking the double-layer and pre-stressed seven limb six-axis force sensor as an example, numerical calculation and simulation of deriving result is conducted, which verify the correctness and feasibility of the theoretical analysis. 展开更多
关键词 six-axis force sensor multi-limb pre-stressed mechanical vibration dynamic analysis
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Optimal design and experiment research of an orthogonal-parallel six-axis force/torque sensor
4
作者 Wang Zhijun Liu Lu +2 位作者 Cui Bingyan He Jing Li Zhanxian 《High Technology Letters》 EI CAS 2021年第2期184-192,共9页
A novel orthogonal-parallel six-axis force/torque sensor is studied based on a modified Stewart platform architecture,and the optimal design and experiment research of the sensor are discussed.Firstly,the model of ort... A novel orthogonal-parallel six-axis force/torque sensor is studied based on a modified Stewart platform architecture,and the optimal design and experiment research of the sensor are discussed.Firstly,the model of orthogonal parallel six-axis force/torque sensor based on improved Stewart platform architecture and its static mathematical model are proposed.Secondly,according to the actual working condition of the sensor,the sensor is optimized and the optimal solution is obtained.Then,the experimental prototype and calibration system is developed.Finally,the superiority of the sensor structure and the effectiveness of the optimization method are verified by calibration experiments.The results of the proposed method are useful for the further research and application of the orthogonal-parallel six-axis force/torque sensor. 展开更多
关键词 six-axis force sensor optimal design online static calibration working condition
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A bionic approach for the mechanical and electrical decoupling of an MEMS capacitive sensor in ultralow force measurement 被引量:1
5
作者 Wendi GAO Bian TIAN +9 位作者 Cunlang LIU Yingbiao MI Chen JIA Libo ZHAO Tao LIU Nan ZHU Ping YANG Qijing LIN Zhuangde JIANG Dong SUN 《Frontiers of Mechanical Engineering》 SCIE CSCD 2023年第2期297-317,共21页
Capacitive sensors are efficient tools for biophysical force measurement,which is essential for the exploration of cellular behavior.However,attention has been rarely given on the influences of external mechanical and... Capacitive sensors are efficient tools for biophysical force measurement,which is essential for the exploration of cellular behavior.However,attention has been rarely given on the influences of external mechanical and internal electrical interferences on capacitive sensors.In this work,a bionic swallow structure design norm was developed for mechanical decoupling,and the influences of structural parameters on mechanical behavior were fully analyzed and optimized.A bionic feather comb distribution strategy and a portable readout circuit were proposed for eliminating electrostatic interferences.Electrostatic instability was evaluated,and electrostatic decoupling performance was verified on the basis of a novel measurement method utilizing four complementary comb arrays and applicationspecific integrated circuit readouts.An electrostatic pulling experiment showed that the bionic swallow structure hardly moved by 0.770 nm,and the measurement error was less than 0.009% for the area-variant sensor and 1.118% for the gap-variant sensor,which can be easily compensated in readouts.The proposed sensor also exhibited high resistance against electrostatic rotation,and the resulting measurement error dropped below 0.751%.The rotation interferences were less than 0.330 nm and(1.829×10^(-7))°,which were 35 times smaller than those of the traditional differential one.Based on the proposed bionic decoupling method,the fabricated sensor exhibited overwhelming capacitive sensitivity values of 7.078 and 1.473 pF/μm for gap-variant and area-variant devices,respectively,which were the highest among the current devices.High immunity to mechanical disturbances was maintained simultaneously,i.e.,less than 0.369% and 0.058% of the sensor outputs for the gap-variant and area-variant devices,respectively,indicating its great performance improvements over existing devices and feasibility in ultralow biomedical force measurement. 展开更多
关键词 micro-electro-mechanical system capacitive sensor BIONICS operation instability mechanical and electrical decoupling biomedical force measurement
原文传递
基于PCAP02的电容式力传感器高速数据采集系统设计
6
作者 田陇翔 冯浩彬 +1 位作者 赵仁东 蒲明辉 《仪表技术与传感器》 北大核心 2025年第3期37-42,共6页
力传感器能测量外部的作用力分量,常被用于力反馈控制或受力状态监测。采样频率是数据采集系统的重要参数,对力传感器的动态响应能力有重要影响。与主流的应变片式力传感器相比,现有电容式力传感器数据采集系统的采样频率普遍较低,为了... 力传感器能测量外部的作用力分量,常被用于力反馈控制或受力状态监测。采样频率是数据采集系统的重要参数,对力传感器的动态响应能力有重要影响。与主流的应变片式力传感器相比,现有电容式力传感器数据采集系统的采样频率普遍较低,为了弥补这一缺陷,设计了一套基于PCAP02的电容式力传感器高速数据采集系统。该系统下位机使用STM32F103C8T6芯片控制各模块的协同工作,利用PCAP02芯片实现电容信号的模数转换,采用以太网通信与上位机传输数据。经测试,该系统采样频率最高达5 kHz。实验数据表明:在进行软件滤波处理后,采样数据的稳定性明显提升;选择传感器F z方向进行验证实验,测得Ⅰ类误差最大为0.23%,证明该采集系统方案可行并具有较高的测量精度。 展开更多
关键词 采样频率 电容式力传感器 数据采集系统 PCAP02 STM32
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基于柔顺机构的分体式电容式六维力传感器的优化设计
7
作者 石崇昱 蒲明辉 《仪表技术与传感器》 北大核心 2025年第10期5-11,共7页
为了进一步提高电容式六维力传感器的精度性能,文中提出了一种弹性梁结构,该结构融合了T型梁和柔顺机构中的正圆型柔性铰链,使传感器弹性梁的整体刚度性能得到提升,能使传感器满足高分辨力和高灵敏度各向同性的性能要求。建立了正圆型... 为了进一步提高电容式六维力传感器的精度性能,文中提出了一种弹性梁结构,该结构融合了T型梁和柔顺机构中的正圆型柔性铰链,使传感器弹性梁的整体刚度性能得到提升,能使传感器满足高分辨力和高灵敏度各向同性的性能要求。建立了正圆型柔性铰链的刚度公式,分析结构参数对其刚度性能的影响。采用差动式变极距型电容器结构作为传感器的转换元件,提高传感器的灵敏度并降低非线性误差。以归一化后的映射矩阵的条件数作为目标函数,利用粒子群算法对弹性梁的设计参数进行迭代寻优。采用优化结果制作了传感器实物并进行标定实验,实验结果表明该传感器精度为0.576%,证明所设计的传感器具有高精度性能。 展开更多
关键词 电容式六维力传感器 柔顺机构 弹性梁 差动结构电容器 柔性铰链
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惯性传感器电容误差仿真及影响分析
8
作者 王凯民 雷军刚 +2 位作者 王佐磊 席东学 张文艳 《真空与低温》 2025年第5期638-650,共13页
惯性传感器是空间引力波探测的重要载荷,在惯性传感器中,精密差分电容测量是十分重要的技术。当前,质量块处于中间位置时的差分电容通常依据理想平板电容公式进行计算,然而Brandt等指出,如此计算所得的电容理论值与实际电容值存在较大偏... 惯性传感器是空间引力波探测的重要载荷,在惯性传感器中,精密差分电容测量是十分重要的技术。当前,质量块处于中间位置时的差分电容通常依据理想平板电容公式进行计算,然而Brandt等指出,如此计算所得的电容理论值与实际电容值存在较大偏差,这一误差可能会对静电力大小产生影响,进而干扰惯性传感器对引力波的探测。目前,国内尚未有专项研究表明惯性传感器中电容理论值与实际值之间是否存在误差,以及该误差对静电力大小的具体影响。因此,围绕电容实际值与理论值的误差的大小与产生原因、该误差如何通过反馈电路传输、该误差怎样影响静电力这三个方面,借助Creo Parametric 2.0进行建模,并运用COMSOL Multiphysics 6.0开展多物理场仿真分析。首先,构建多种结构的惯性传感器模型,并对不同模型分别实施电容仿真分析,分别得到电容仿真值。通过对比电容仿真值,剖析误差产生的原因,并通过实验对仿真结果加以验证。在电容仿真值方面,与Brandt等得出了一致的结果,即电容仿真值比电容理论值约大10%。其次,首次深入分析了电容仿真值经反馈控制电路后对反馈电压的影响,发现这一误差会使反馈电压增大10%左右。最后,对Brandt等提出的静电力修正公式进行解释与验证。计算结果表明,静电力修正值与仿真得到的静电力值误差仅约为2%。相较于原有公式20%的误差,静电力修正式所计算出的静电力与静电力仿真值更为接近。由此可见,正确运用静电力修正式能够显著提高静电力的计算精度。 展开更多
关键词 惯性传感器 Creo建模 COMSOL多物理场仿真 电容误差 静电力分析
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基于电容-应变互补的六维力传感器研究
9
作者 吴静钰 杨建涛 朱兆才 《电子元件与材料》 北大核心 2025年第12期1390-1397,共8页
应变片式六维力传感器依赖人工贴装,制造成本高;电容式六维力传感器可实现自动化装配,但容易受到环境的干扰。针对以上问题,研究提出了一种电容-应变互补融合型传感器。该传感器将金属箔应变片与电容传感单元集成于同一弹性结构,既保留... 应变片式六维力传感器依赖人工贴装,制造成本高;电容式六维力传感器可实现自动化装配,但容易受到环境的干扰。针对以上问题,研究提出了一种电容-应变互补融合型传感器。该传感器将金属箔应变片与电容传感单元集成于同一弹性结构,既保留应变片高灵敏度的优势,又利用电容单元自动化装配的特性,显著简化了制造工艺。为验证可行性,设计了实验样机并进行特性测试,同时与SRI-M3703C商用六维力传感器进行对比。实验结果显示:力分量(Fx,Fy,Fz)的非线性度分别为1.52%,0.87%,0.59%,平均相对误差为0.12%~0.36%FS,最大动态误差≤0.40%。扭矩分量(M_(x),M_(y),M_(z))的非线性度分别为0.20%,0.34%,0.10%,平均相对误差为0.04%~0.12%,最大误差≤0.18%。该传感器应变片数量减少了70%,仍保留精度与动态性能。 展开更多
关键词 六维力 力传感器 力觉感知 电容-应变片混合传感
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电容式三维柔性触觉传感阵列系统设计
10
作者 郭宇森 尹明慧 +2 位作者 苟广洋 刘春秀 薛宁 《传感器与微系统》 北大核心 2025年第10期52-55,60,共5页
为实现人机交互等领域对指尖触觉的检测,基于电容原理设计了一种柔性触觉传感阵列用于三维(3D)力测量。以聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为传感阵列中间支撑材料,以聚酰亚胺(PI)为柔性基底沉积金属电极图案,并在电极表面沉积金属金提升导电能... 为实现人机交互等领域对指尖触觉的检测,基于电容原理设计了一种柔性触觉传感阵列用于三维(3D)力测量。以聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为传感阵列中间支撑材料,以聚酰亚胺(PI)为柔性基底沉积金属电极图案,并在电极表面沉积金属金提升导电能力。该三维柔性触觉传感阵列制备工艺简单,测试结果表明:其能够检测0~30 N的法向力与0~10 N的切向力。测得传感单元最大偏差为2.8%,最大漂移为5.6%。设计的采集系统可同时采集6个传感阵列,240通道数据,响应时间为11 ms。该传感阵列具有灵活性与通用性并具有较大量程,使其可以应用于机器人触觉感知。 展开更多
关键词 柔性触觉传感器 三维力测量 触觉感知 人机交互 电容式传感器
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可溯源至质量的静电力复现与测量技术 被引量:9
11
作者 齐永岳 刘明 +1 位作者 林玉池 付鲁华 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第5期1063-1068,共6页
为实现10-5N以下微小力值的测量及溯源,提出了一种高精度、可溯源至质量的微小力值测量系统,采用受控静电力发生装置复现微小力值,其基本工作原理是基于一种精密设计的圆柱形电容器,电容器内外电极同轴,外电极固定不动作为参考电极,内... 为实现10-5N以下微小力值的测量及溯源,提出了一种高精度、可溯源至质量的微小力值测量系统,采用受控静电力发生装置复现微小力值,其基本工作原理是基于一种精密设计的圆柱形电容器,电容器内外电极同轴,外电极固定不动作为参考电极,内电极由弹性机构支撑和导向,通过改变内外电极间的电压产生静电力,从而将力学量追溯至电容及电压等电学量,利用砝码质量与静电力平衡的原理,可以实现微小力值的溯源。实验结果表明:电容变化梯度为0.82 pF/mm,完全可以复现10-6~10-9N范围内的静电力。 展开更多
关键词 微小力值 电容变化梯度 静电力 电容传感器
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小型振动电容式静电传感器的设计 被引量:8
12
作者 刘志远 姜晶 +2 位作者 赵佳龙 李凤玲 韩光照 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2011年第11期13-15,共3页
文中介绍了一种基于振动电容式静电传感器的设计原理,以S08处理器为控制核心,利用静电场对电荷产生静电场力以及振动电极在激励电压下产生虎克弹力的合力作用下建立了数学模型,在经过对原始信号的运算放大,A/D转换以及嵌入式μC/OS多任... 文中介绍了一种基于振动电容式静电传感器的设计原理,以S08处理器为控制核心,利用静电场对电荷产生静电场力以及振动电极在激励电压下产生虎克弹力的合力作用下建立了数学模型,在经过对原始信号的运算放大,A/D转换以及嵌入式μC/OS多任务操作系统的管理下,提高了单片机的工作效率。通过将被测物理量可以转化为微弱电流变化的特点,实现了以非接触式的测量方法来标定所在区域的静电场强度。 展开更多
关键词 传感器 电容式 静电 虎克弹力
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电容法微力测量中轴偏对电容梯度的影响 被引量:6
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作者 张国强 赵美蓉 蔡雪 《电子测量与仪器学报》 CSCD 北大核心 2015年第1期14-20,共7页
电容法微小力值测量中电容传感器会存在轴偏现象,影响测量精度。基于理论模型,分析计算了电容传感器在轴偏情况下的电容梯度。设计了合理的测量方案,通过高精度图像传感器及机器视觉算法,实现了轴偏及电容梯度测量,对轴偏与电容梯度之... 电容法微小力值测量中电容传感器会存在轴偏现象,影响测量精度。基于理论模型,分析计算了电容传感器在轴偏情况下的电容梯度。设计了合理的测量方案,通过高精度图像传感器及机器视觉算法,实现了轴偏及电容梯度测量,对轴偏与电容梯度之间理论数值关系进行了实验验证。实验证明了理论推导的正确性及测量方案的可性行,为后续的微力精密测量提供了误差补偿依据。在当前的电容传感器条件下,轴偏不大于50μm时,可满足误差1%以内的系统整体测量目标。 展开更多
关键词 圆柱形电容传感器 微小力值 电容梯度 轴偏 机器视觉
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基于结构解耦的新型电容式力矩传感器设计 被引量:8
14
作者 蒲明辉 冯向楠 +2 位作者 罗国树 梁旭斌 潘海鸿 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第2期10-17,共8页
为解决力矩传感器中由于倾覆力矩、轴向力和径向力等所造成的力耦合效应和测量误差问题,基于结构解耦原理设计了一种新型电容式力矩传感器。该新型电容式力矩传感器利用内置十字交叉滚子轴承实现结构解耦,从而消除力耦合效应对测量准确... 为解决力矩传感器中由于倾覆力矩、轴向力和径向力等所造成的力耦合效应和测量误差问题,基于结构解耦原理设计了一种新型电容式力矩传感器。该新型电容式力矩传感器利用内置十字交叉滚子轴承实现结构解耦,从而消除力耦合效应对测量准确性的影响。测量部分采用垂直极板电容效应原理,并以双差动的测量方式提高传感器的灵敏度和稳定性。以商用转矩转速传感器作为标准力矩仪对此新型电容式力矩传感器进行标定,并进行解耦验证实验。标定和实验结果表明,该新型电容式力矩传感器的线性度为1.04%、分辨率0.05 N·m、最大测量误差约为2.07%,所设计的传感器能够有效降低力耦合效应的影响,具备结构解耦、高灵敏度和高准确性等特点。 展开更多
关键词 力矩传感器 力耦合效应 解耦 垂直极板电容效应 双差动
原文传递
电容式力传感器的研制 被引量:5
15
作者 高晓丁 许卫星 胥光申 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2002年第7期21-22,共2页
介绍了一种特殊结构的电容式力传感器。从结构设计、工作原理、电路设计对该电容式力传感器进行了分析、论述。并且提供了相应的实验数据。传感器非线性误差小于 1%。
关键词 电容式力传感器 结构 频率变化量 非线性误差 铁路道岔
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陶瓷电容式力敏元件的可靠性设计与工艺 被引量:4
16
作者 汤建华 花银群 杨继昌 《传感器与微系统》 CSCD 2019年第7期73-75,共3页
相对于电阻应变式测力传感器,国内电容式力传感器的可靠性与制造工艺还有许多方面需要改进和提高。主要介绍了陶瓷电容式力传感器中一种力敏元件在产品化过程中涉及的结构设计、关键材料选择以及生产制作工艺等方面的要求。实践表明:该... 相对于电阻应变式测力传感器,国内电容式力传感器的可靠性与制造工艺还有许多方面需要改进和提高。主要介绍了陶瓷电容式力传感器中一种力敏元件在产品化过程中涉及的结构设计、关键材料选择以及生产制作工艺等方面的要求。实践表明:该陶瓷电容力敏元件的性能和可靠性都达到了大批量生产的要求,为进一步研制更多厚膜电容式测力传感器创造了基础和条件。 展开更多
关键词 力传感器 陶瓷电容式 丝网印刷 力敏元件 厚膜
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一种带孔介电层结构柔性多维力传感器研究 被引量:3
17
作者 朱银龙 吴杰 +2 位作者 王旭 陈昕 王化明 《振动.测试与诊断》 EI CSCD 北大核心 2022年第4期764-770,829,共8页
针对智能机器人人机交互过程中存在的接触柔顺性和环境适应性问题,提出一种带孔结构的多维力柔性传感器的简单制备方法,采用碳纳米管/聚二甲基硅氧烷(carbon nanotubes/polydimethylsiloxane,简称CNTs/PDMS)混合制备柔性电极,以带孔结... 针对智能机器人人机交互过程中存在的接触柔顺性和环境适应性问题,提出一种带孔结构的多维力柔性传感器的简单制备方法,采用碳纳米管/聚二甲基硅氧烷(carbon nanotubes/polydimethylsiloxane,简称CNTs/PDMS)混合制备柔性电极,以带孔结构的硅胶作为介电层,组装制备电容式柔性多维力传感器。建立柔性多维力传感器的数学模型,并通过试验获取柔性传感器的性能参数。试验结果表明:传感器理论模型与试验曲线吻合性较好,带孔结构的介电层能够提高传感器的灵敏度,法向上的检测范围为0~50 N,分辨率为0.05 N;切向上的检测范围为0~10 N,分辨率为0.15 N。将其安装在机器人手爪上进行了水果抓取试验,成功检测出水果抓取过程中的夹紧力,进一步表明该传感器具有较好的实用性。 展开更多
关键词 电容式传感器 柔性传感器 多维力觉 传感器建模
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微尺寸探针测量技术 被引量:1
18
作者 孙涛 阎永达 +1 位作者 王洪祥 董申 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第z2期331-332,共2页
原子力微探针具有极高的垂直方向位置灵敏度 ,其针尖半径可达几十纳米量级 ,这就为微纳米尺度的三维坐标测量提供了可能性。本文基于原子力微探针瞄准原理并结合二维微位移系统和高精度电容传感器 。
关键词 原子力微探针 坐标测量 电容传感器
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一种适用于原位纳米力学测试的AFM测头 被引量:1
19
作者 李艳宁 曾荟燕 +2 位作者 吴森 刘璐 胡晓东 《纳米技术与精密工程》 CAS CSCD 北大核心 2017年第2期93-99,共7页
设计并制作了一种适用于原位纳米力学测试的原子力显微镜(AFM)测头.测头由光学检测系统和Z向压电陶瓷微位移机构组成.其中光学检测系统采用光杠杆与显微镜同轴光路检测探针形变,压电位移机构内置电容传感器可实现探针进给量的闭环控制.... 设计并制作了一种适用于原位纳米力学测试的原子力显微镜(AFM)测头.测头由光学检测系统和Z向压电陶瓷微位移机构组成.其中光学检测系统采用光杠杆与显微镜同轴光路检测探针形变,压电位移机构内置电容传感器可实现探针进给量的闭环控制.标定实验表明该测头闭环位移分辨力优于10 nm,在标定范围内具有很好的线性.利用该测头对某型微悬臂梁法向弹性常数进行了测量,测得值与采用具有溯源性的标定方法所得结果一致. 展开更多
关键词 纳米力学 原子力显微镜 压电扫描器 光杠杆 电容传感器
原文传递
一种简单的电容式三维力柔性触觉传感器设计 被引量:2
20
作者 张淑艳 张金红 赵立蕊 《电子器件》 CAS 北大核心 2018年第1期95-99,共5页
随着机器人智能化程度不断提高,机器触觉和机器视觉技术均得到了很大发展,但是目前大部分触觉传感器均不能满足触觉感知应用的要求。因此,提出了一种新型的具有滑觉检测功能的柔性三维力触觉传感器。该传感器能够将力量变化转化为两绝... 随着机器人智能化程度不断提高,机器触觉和机器视觉技术均得到了很大发展,但是目前大部分触觉传感器均不能满足触觉感知应用的要求。因此,提出了一种新型的具有滑觉检测功能的柔性三维力触觉传感器。该传感器能够将力量变化转化为两绝缘层间的气隙变化,进而引起电容发生变化。然后将接触力建模为实测电容的多项式函数,对传感器输出进行校正进而实现法向力测量和滑动检测。测试结果显示,提出的传感器能够以较高的精确度测量法向力,重复性好,并且能够检测滑动现象,在0~100 mN测量范围内的法向灵敏度约为0.4 pF/N,均方根误差为1%。此外提出的传感器结构简单、成本较低,易于大规模生产和应用。 展开更多
关键词 机器人 触觉传感器 柔性 电容传感器 滑觉检测 力值测量
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