面元叠加地震采集技术 被引量：11

1

作者 谭绍泉 刘光林 +2 位作者 刘泰生 胡立新 徐淑合 《石油物探》 EI CSCD 2003年第2期160-168,共9页

面元叠加地震采集技术是为适应资料处理的要求而提出的一种采集方法 ,也是适应目标采集和目标处理的一种观测方式 ,它对解决深层和复杂地区的地震勘探技术是有效的。通过对面元叠加的基本原理、技术特点的论述和 4个地区应用效果的对比 。

关键词 面元叠加 地震采集技术 目标采集 目标处理 地震勘探技术 基本原理 技术特点

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江苏低信噪比地区深层地震资料处理方法研究 被引量：10

2

作者 刘建芳 华伟 +1 位作者 王士昆 季红军 《石油物探》 EI CSCD 2008年第6期583-587,共5页

江苏油田村庄密集,水网密布,工农业发达,野外采集资料品质较差。原始单炮记录上噪声类型多,分布广;深层能量弱,高频成分损失严重;深层资料信噪比低,成像困难。针对这些问题,首先对深层噪声进行了压制,保留深层的有效波信息;然后对深层... 江苏油田村庄密集,水网密布,工农业发达,野外采集资料品质较差。原始单炮记录上噪声类型多,分布广;深层能量弱,高频成分损失严重;深层资料信噪比低,成像困难。针对这些问题,首先对深层噪声进行了压制,保留深层的有效波信息;然后对深层的有效信号进行能量补偿,拓宽目的层频带,进行频率补偿,得到了较好的深层资料信息;最后对浅、中、深层资料进行可变扩展面元叠加,提高了资料的信噪比,在此基础上进行叠前时间偏移,使深层资料的成像质量得到了较大的改善。 展开更多

关键词 江苏油田 深层地震资料 噪声衰减 能量补偿 频率补偿 扩展面元叠加 成像

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垦71地区多波采集方法研究及应用效果 被引量：13

3

作者 曹国滨 李云伟 崔汝国 《地球物理学进展》 CSCD 北大核心 2007年第5期1510-1516,共7页

多年来,胜利探区多波多分量地震采集所得资料的信噪比和分辨率较低,无法取得较好的应用效果.为此,以胜利垦71区块为先导实验区开展了多波采集方法研究.首先,通过单点三分量检波器与常规检波器小面积组合分析了该区转换波发育情况,认为... 多年来,胜利探区多波多分量地震采集所得资料的信噪比和分辨率较低,无法取得较好的应用效果.为此,以胜利垦71区块为先导实验区开展了多波采集方法研究.首先,通过单点三分量检波器与常规检波器小面积组合分析了该区转换波发育情况,认为该区转换界面较强,转换波特征明显,转换横波速度约为纵波速度的1/2;然后,通过数字三分量检波器的室内各种组合研究,进行了超线元叠加,由此可以有效地改善资料的信噪比,并对分辨率基本没有影响;最后,利用三分量检波器扩展排列进行转换波最佳偏移距的设计,通过垂直排列追踪放炮进行最佳非纵距设计,从而得出该区多波采集的最佳观测系统参数.通过上述合理的设计和多项试验研究,在垦71地区多波采集中,数字检波器Z分量剖面的频率优势非常明显,分辨率明显高于常规检波器的纵波剖面,对于搞清小断层及微幅度构造具有重要的意义;同时,转换横波能量强、信噪比和分辨率高,使多波采集取得了较好的效果. 展开更多

关键词 多波采集 转换界面 超线元叠加 最佳偏移距 最佳非纵距 分辨率 信噪比

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阿姆河右岸区块盐下地震资料叠前保幅高分辨率处理 被引量：5

4

作者 徐明华 吴先忠 +2 位作者 李瑞 彭宇 蒙杉 《天然气工业》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第5期26-29,136,共4页

土库曼斯坦阿姆河右岸地区地表大部分被沙漠、戈壁覆盖,目的层卡洛夫—牛津阶碳酸盐岩上覆的巨厚膏盐层对地震波高频成分能量吸收比较严重,采用常规方法处理的地震资料分辨率一般较低。为此,在分析CRP道集有效高频成分的基础上,采用共... 土库曼斯坦阿姆河右岸地区地表大部分被沙漠、戈壁覆盖,目的层卡洛夫—牛津阶碳酸盐岩上覆的巨厚膏盐层对地震波高频成分能量吸收比较严重,采用常规方法处理的地震资料分辨率一般较低。为此,在分析CRP道集有效高频成分的基础上,采用共反射面元叠加进行保幅去噪,在去噪的道集数据上分析有效低频和高频信息的可靠性,拓宽地震信号的有效频带,使地震资料的振幅谱在有效频带范围内接近反射系数的振幅谱,从而提高了地震资料的分辨率。对比发现,高分辨率资料比常规资料频带展宽20Hz以上,主频提高15Hz以上,信噪比得到了明显提高,能有效分辨目的层内厚10m左右的薄储层,为构造精细描述和储层横向预测提供了较好的地震资料。 展开更多

关键词 土库曼斯坦 阿姆河右岸区块 高频 有效波 共反射面元 叠加(地震) 振幅 分辨率 信噪比

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共反射面元叠加在复杂地区地震成像中的应用 被引量：3

5

作者 覃天 贾明辰 +2 位作者 凌勋 周作铭 刘全艳 《新疆石油地质》 CAS CSCD 北大核心 2006年第5期604-606,共3页

共反射面元(CRS)叠加与常规共中心点(CMP)叠加相比是一种崭新的叠加方法。它是一种不依赖于宏观速度模型的零炮检距剖面成像方法,它的实现只依赖于3个波场属性参数的确定。共反射面元叠加通过将来自菲涅尔带范围内的反射波沿着叠加面求... 共反射面元(CRS)叠加与常规共中心点(CMP)叠加相比是一种崭新的叠加方法。它是一种不依赖于宏观速度模型的零炮检距剖面成像方法,它的实现只依赖于3个波场属性参数的确定。共反射面元叠加通过将来自菲涅尔带范围内的反射波沿着叠加面求和,进而扩大叠加次数,达到增强反射信号能量、提高地震反射波的叠加成像质量的目的。实际地震资料处理结果表明,共反射面元叠加法能够提高剖面的信噪比、增加反射波同相轴的连续性。 展开更多

关键词 地震 成像 面元 共中心点叠加

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全数字高密度三维地震勘探在煤田精细构造解释中的应用 被引量：51

6

作者 赵立明 崔若飞 《地球物理学进展》 CSCD 北大核心 2014年第5期2332-2336,共5页

常规煤田三维地震勘探技术广泛用于煤矿采区的合理布置、主巷道的开拓、综采工作面地质条件的评价.但受自身方法和能力的限制,在不少矿区地震成果的井巷验证符合率低,精度不能完全满足煤矿开采的要求,严重影响到煤矿的安全生产.刘店煤矿... 常规煤田三维地震勘探技术广泛用于煤矿采区的合理布置、主巷道的开拓、综采工作面地质条件的评价.但受自身方法和能力的限制,在不少矿区地震成果的井巷验证符合率低,精度不能完全满足煤矿开采的要求,严重影响到煤矿的安全生产.刘店煤矿106采区地质构造极为复杂,小断层极发育,煤层受岩浆岩侵蚀,地震数据的信噪比极低,利用常规三维地震勘探方法无法查明复杂的地质构造.通过在该区进行全数字高密度三维地震勘探试验,结果表明:全数字高密度三维地震勘探能够提高地震数据的信噪比和分辨率,有利于小断层等小地质目标体的成像,能够减少构造假象,反映煤层的真实构造形态,对指导煤矿高效安全生产意义重大. 展开更多

关键词 高密度三维地震勘探 精细构造解释 宽方位角 小面元 高覆盖次数 叠前时间偏移

原文传递

地震资料面元小网格化叠前偏移 被引量：2

7

作者 卢福珍 《大庆石油地质与开发》 CAS CSCD 北大核心 2009年第3期130-133,共4页

大庆长垣南部油田主力油层葡萄花油层发育在三角洲前缘，储层薄、小断层发育。井间河道砂体的边界识别、连通性研究，小断层识别和延伸方向的确定是目前制约油田高效开发的主要地质问题。提出并实现了一种面元小网格化叠前时间偏移技术... 大庆长垣南部油田主力油层葡萄花油层发育在三角洲前缘，储层薄、小断层发育。井间河道砂体的边界识别、连通性研究，小断层识别和延伸方向的确定是目前制约油田高效开发的主要地质问题。提出并实现了一种面元小网格化叠前时间偏移技术，以提高常规面元地震资料的空间分辨能力，用于油田开发阶段精细刻画小断层、微幅度构造、砂体边界。首先分析了小面元偏移的技术优势和理论依据，给出技术实现过程，应用于大庆长垣南部1340km^2的三维地震资料重新处理，与正常面元偏移结果相比，大幅度地提高了成果剖面的横向分辨率。在杏六东Ⅰ区块（4．6km^2）解释应用中，与原来依据钻井解释结果相比，核销2条断层、新增2条断层，2条较大断层延伸变长、走向发生变化，消除多个由钻井资料确认的孤立断点，葡一油层组反射特征横向变化合理，提高了砂体研究能力。 展开更多

关键词 网格面元 叠前偏移 空间分辨率 微幅度构造 断层 储层砂体

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华北地区低信噪比资料连片叠前时间偏移成像策略 被引量：8

8

作者 韩晓丽 秦宏国 杨长春 《地球物理学进展》 CSCD 北大核心 2008年第3期775-784,共10页

本文通过华北地区的地震资料叠前时间处理实例,详细阐述了华北地区低信噪比资料的特点及针对性处理策略,探讨了该地区大面积连片叠前时间偏移的配套处理技术,为地震资料处理提高偏移成像精度积累了经验.

关键词 信噪比 叠前去噪 子波整形 面元均化 各向异性

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三维斜井XSP-CDP叠加成像 被引量：1

9

作者 魏峥嵘 杨飞龙 +1 位作者 李琪 柳先远 《地球物理学进展》 CSCD 北大核心 2017年第3期1266-1272,共7页

为了解决三维斜井井间地震数据成像问题,借鉴二维地面地震弯线及宽线处理思路,将三维井间地震成像问题转换成二维成像问题进行研究.利用三维逐段迭代方法对三维斜井井间地质模型进行正演模拟,计算上、下行反射波走时及反射点位置,通过... 为了解决三维斜井井间地震数据成像问题,借鉴二维地面地震弯线及宽线处理思路,将三维井间地震成像问题转换成二维成像问题进行研究.利用三维逐段迭代方法对三维斜井井间地质模型进行正演模拟,计算上、下行反射波走时及反射点位置,通过对比正演记录与实际资料的特征,调整地质模型参数获取准确速度场.然后对波场分离后的共炮集数据进行反射波归位,得到共反射点道集数据.最后根据反射点的分布选择一条反射点分布最集中的剖面线,以一定的宽度将剖面线左右的反射点包裹起来;根据叠加宽度划分成大小相等的矩形面元,将面元内的共反射点数据投影到剖面线上进行二维叠加成像.通过模型测试,三维XSP-CDP叠加方法能有效反演地下结构特征,指导三维井间地震采集观测系统的设计并解决不共面斜井叠加成像问题.应用该方法对M地区实际资料进行成像研究,结果表明该方法可有效反演地下三维地质结构特征,为进一步数据处理提供依据. 展开更多

关键词 井间地震 逐段迭代正演 矩形面元 剖面线 XSP-CDP叠加

原文传递

泌阳凹陷陡坡带三维地震资料叠前时间偏移连片处理实践 被引量：3

10

作者 朱景修 张永华 +2 位作者 胡艳革 蒋双喜 李凤琴 《石油地质与工程》 CAS 2011年第6期42-45,6-7,共4页

通过对泌阳凹陷南部陡坡带地震地质条件和原始地震资料情况的分析,找出了以往各区块处理的三维地震资料在实际应用中存在的频率、相位不一致问题,区块之间闭合差问题,各区块拼接处边界效应问题。根据各区块三维地震资料的频率、相位、... 通过对泌阳凹陷南部陡坡带地震地质条件和原始地震资料情况的分析,找出了以往各区块处理的三维地震资料在实际应用中存在的频率、相位不一致问题,区块之间闭合差问题,各区块拼接处边界效应问题。根据各区块三维地震资料的频率、相位、时差、信噪比等的特殊性和差异性,采用叠前能量一致性、相位一致性和振幅一致性处理方法,对能量、振幅、相位进行一致性补偿和校正,消除多块三维地震数据差异,保证了资料整体拼接的一致性。同时应用叠前时间偏移处理技术,使边界断裂归位准确。三维地震资料叠前时间偏移连片处理效果表明,消除了原处理剖面存在的不足,整体形态合理,边界断裂清晰可靠,局部构造清楚,剖面的可解释性强。 展开更多

关键词 泌阳凹陷 陡坡带 连片处理 叠前时间偏移 面元均化 一致性补偿

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半在线入库堆垛问题的动态求解算法 被引量：2

11

作者 席阳 《计算机工程与科学》 CSCD 北大核心 2011年第5期190-194,共5页

堆场垛位优化问题一直是仓储管理的难点和焦点之一,垛位优化可以保证物料装卸和出入库的高效率,同时对保证合同交货期也起着至关重要的作用。针对仓储和生产一体化下的入库堆垛问题,本文通过分析将其归结为一类半在线的A型装箱问题,并... 堆场垛位优化问题一直是仓储管理的难点和焦点之一,垛位优化可以保证物料装卸和出入库的高效率,同时对保证合同交货期也起着至关重要的作用。针对仓储和生产一体化下的入库堆垛问题,本文通过分析将其归结为一类半在线的A型装箱问题,并依据问题的特点,建立了最小化总倒垛次数的优化模型。根据货场天车在相邻入库过程中存在空闲作业量的特点,设计了一种前序货物允许移动的动态堆垛策略,结合堆垛约束后嵌入到经典装箱启发式算法中,最后通过仿真算例验证了该策略的有效性。 展开更多

关键词 堆垛问题 装箱问题 装箱启发式 半在线

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求解入库堆垛问题的改进约束满足算法 被引量：1

12

作者 王敏 李铁克 《计算机工程与应用》 CSCD 北大核心 2010年第1期7-10,共4页

入库堆垛问题普遍存在于堆场作业管理中,是在货物数目和出库顺序已知的前提下,要求较长(重)的货物置于较短(轻)的货物下方,目标是实现占用垛位数最少。通过问题分析,将其归结为一类带顺序约束的A形装箱问题,并建立了约束满足模型,设计... 入库堆垛问题普遍存在于堆场作业管理中,是在货物数目和出库顺序已知的前提下,要求较长(重)的货物置于较短(轻)的货物下方,目标是实现占用垛位数最少。通过问题分析,将其归结为一类带顺序约束的A形装箱问题,并建立了约束满足模型,设计了嵌入经典装箱启发式的约束满足求解算法。实验表明,该算法对于求解复杂约束下的大规模堆场问题较现有的装箱启发式有一定程度的改善。 展开更多

关键词 堆垛问题 堆场管理 装箱问题 约束满足 装箱启发式

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汽车物流器具随机振动损伤与疲劳寿命预测研究 被引量：1

13

作者 亓昌 高健 苗婷婷 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2023年第13期287-295,共9页

汽车零部件产品常被采用堆垛形式的物流器具运输以避免损伤。应用随机振动试验方法,分析三种不同振动等级下,堆垛型钢质物流器具的振动损伤;基于物流器具—装载物—夹具相互作用关系,建立了全景天窗运输器具的有限元模型,研究了平稳高... 汽车零部件产品常被采用堆垛形式的物流器具运输以避免损伤。应用随机振动试验方法,分析三种不同振动等级下,堆垛型钢质物流器具的振动损伤;基于物流器具—装载物—夹具相互作用关系,建立了全景天窗运输器具的有限元模型,研究了平稳高斯随机振动下该器具的疲劳响应,获得关键位置变形和等效应力,预测器具的疲劳寿命。研究结果表明:有限元分析得到的共振频率与随机振动试验结果相差3.4%;器具振动响应主要受低阶共振频率影响,最大应力集中在堆垛柱与托盘连接处;上层装载物响应加速度1.42g明显大于下层0.79g,而同处于上层的装载物响应加速度差别小于1.7%;上下层堆垛柱响应加速度分别为0.82g和0.79g,差别不明显。上述方法可模拟运输过程中汽车物流器具振动疲劳及装载物易损点,为汽车物流器具设计提供参考。 展开更多

关键词 物流器具 随机振动 疲劳寿命 有限元法 堆垛

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深部煤层地震资料处理方法 被引量：4

14

作者 李贵明 程建远 +3 位作者 冯斌 宴云翔 李文前 徐林 《煤田地质与勘探》 CAS CSCD 北大核心 2008年第5期74-76,共3页

深部煤层地震勘探技术面临信噪比低、分辨率低、地下成像困难等诸多难点。在分析深部地震资料特点和处理难点的基础上,对如何从深部地震资料中压制多次波、提高信噪比,提出了利用"减去法"压制多次波和采用"扩大面元叠加&... 深部煤层地震勘探技术面临信噪比低、分辨率低、地下成像困难等诸多难点。在分析深部地震资料特点和处理难点的基础上,对如何从深部地震资料中压制多次波、提高信噪比,提出了利用"减去法"压制多次波和采用"扩大面元叠加"提高信噪比的处理思路,在实际资料处理中获得了显著的地质效果。 展开更多

关键词 深部煤层 地震勘探 多次波压制 面元叠加

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方位—角度域Kirchhoff叠前时间偏移成像 被引量：2

15

作者 程玖兵 马在田 《石油地球物理勘探》 EI CSCD 北大核心 2010年第5期674-682,共9页

针对目前广泛使用的Kirchhoff叠前时间偏移,本文提出一种适用于各向同性介质和VTI介质的方位—角度域成像方法。其算法核心在于合理地估计地震射线的双程走时、平均方位角和局部入射角,再基于脉冲响应叠加原理获得三维空间的成像数据体... 针对目前广泛使用的Kirchhoff叠前时间偏移,本文提出一种适用于各向同性介质和VTI介质的方位—角度域成像方法。其算法核心在于合理地估计地震射线的双程走时、平均方位角和局部入射角,再基于脉冲响应叠加原理获得三维空间的成像数据体和五维空间的方位—角度域共成像点道集。它的优势主要在于能获得高质量的三维角度域共成像点道集,且便于利用侧向散射能量改善对三维断层、倾斜界面和裂缝等特殊地质体的描述,是宽方位三维地震资料的高精度成像、属性分析和储层描述的有效方法。二维各向同性介质和SEG/HessVTI模型合成数据试验揭示了文中所述几种角度域成像算法的精度差异。三维断层模型合成数据成像结果表明,本文方法可合理描述反射时差、振幅随方位角和入射角的变化。 展开更多

关键词 角度域成像 叠前时间偏移 平均方位角 局部入射角 数据面元化

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三参数速度分析及谱的解释方法 被引量：3

16

作者 张洪昌 康寅巧 《石油地球物理勘探》 EI CSCD 北大核心 1992年第6期757-768,共12页

由于三维地震勘探受施工方式和条件的影响,三维地震资料的叠加实际上变成为共中心点(或同面元)、不同视倾角的叠加。这样,用普通速度分析方法获得的速度将会影响三维地震资料叠加结果的精度。因此,本文提出了三参数速度分析及其谱的解... 由于三维地震勘探受施工方式和条件的影响,三维地震资料的叠加实际上变成为共中心点(或同面元)、不同视倾角的叠加。这样,用普通速度分析方法获得的速度将会影响三维地震资料叠加结果的精度。因此,本文提出了三参数速度分析及其谱的解释方法。对一般介质来说,三参数速度分析就是求取各面元中心点处,消除了倾角影响的叠加速度v和互相垂直的两个方向上的界面视倾角。此法是先制作两个互相垂直方向上的角度谱,然后根据求出的两个角度谱文件,再来制作无倾角影响的叠加速度谱。文中,对三参数速度分析的理论及角度谱、速度谱的制作和解释方法作了较详细的介绍。给出的实例表明,此法解决了面元叠加速度的方向性问题,有利于提高地震资料的分辨率和建立偏移速度场;另外,还可以优化地震资料的处理流程。 展开更多

关键词 三维 地震勘探 角度谱 速度谱 解释

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三参数速度分析 被引量：2

17

作者 白尘 瞿国平 《石油物探》 EI CSCD 北大核心 1994年第3期68-76,共9页

本文简述了三维速度分析的基本原理和在三维地震资料处理方面的重要性，以及该方法的实现过程──三参数速度分析方法。详细地讨论了三参数速度分析在程序设计中所遇到的几个问题及其解决技巧。通过对方法的理论证明、模型试验和实际资... 本文简述了三维速度分析的基本原理和在三维地震资料处理方面的重要性，以及该方法的实现过程──三参数速度分析方法。详细地讨论了三参数速度分析在程序设计中所遇到的几个问题及其解决技巧。通过对方法的理论证明、模型试验和实际资料处理，将其解释结果与测井资料（速度测井、倾角洲井）对比，两者基本吻合。本方法具有精度高、可信度强、实用性好等优点。 展开更多

关键词 叠加速度 地震勘探 地震数据

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复杂断块油气田的高精度地震采集技术 被引量：1

18

作者 张学锋 张树海 王明春 《石油天然气学报》 CAS CSCD 2012年第9期59-63,8,共5页

东濮凹陷断块小,构造复杂。经过30多年的勘探开发,如何保持老油区的持续稳产显得尤为重要。弄清复杂断块的成像对于提高钻井成功率、提高采收率都能起到至关重要的作用。针对中原油田复杂断块的高精度地震成像工作,从叠前成像的角度出发... 东濮凹陷断块小,构造复杂。经过30多年的勘探开发,如何保持老油区的持续稳产显得尤为重要。弄清复杂断块的成像对于提高钻井成功率、提高采收率都能起到至关重要的作用。针对中原油田复杂断块的高精度地震成像工作,从叠前成像的角度出发,用变面元方法实现了高密度采样的效果,形成了一套高精度表层调查、高密度均匀采样等适合东濮凹陷特点的高精度地震采集技术。经过在马厂、桥口、濮卫等地区的实际应用,取得了显著的勘探效果。 展开更多

关键词 高精度地震 可变面元 叠前偏移 复杂断块

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鄂尔多斯盆地黄土塬区多线地震采集技术 被引量：46

19

作者 孙景旺 杜中东 +1 位作者 任文军 钱汉林 《石油物探》 EI CSCD 2003年第4期505-507,共3页

鄂尔多斯南部的黄土高原 ,黄土巨厚 ,干燥疏松 ,厚度横向变化剧烈 ,对地震波吸收衰减严重 ,且相干干扰、次生干扰、黄土谐振干扰极其严重 ,加之地形复杂 ,黄土塬区一直被视为地震勘探的“禁区”。黄土塬区多线地震采集技术 ,即采用二维... 鄂尔多斯南部的黄土高原 ,黄土巨厚 ,干燥疏松 ,厚度横向变化剧烈 ,对地震波吸收衰减严重 ,且相干干扰、次生干扰、黄土谐振干扰极其严重 ,加之地形复杂 ,黄土塬区一直被视为地震勘探的“禁区”。黄土塬区多线地震采集技术 ,即采用二维测线三维观测方法采集 ,利用相邻道面元叠加处理 ,增加了优选炮点的条件 ,保证了全线均匀的高覆盖次数 ,有效地压制了干扰 ,剖面质量大幅度提高。该项技术已可在黄土复杂区做正规测网 ,与黄土塬区高分辨率沟中弯线、黄土塬山地网状三维共同组成黄土塬区地震勘探技术系列 ,服务于黄土塬不同的勘探目标。黄土塬区多线地震采集方法 ,是压制干扰 ,提高剖面信噪比的有效方法 ,可在地表复杂区、低信噪比地区推广应用。 展开更多

关键词 地震勘探 地震波 地震采集 鄂尔多斯盆地 黄土塬区

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检波点多次偏移导致CMP面元叠加紊乱的解决方法 被引量：2

20

作者 石双虎 刘丽萍 +2 位作者 张翊孟 黄艳林 贺涌 《油气藏评价与开发》 2014年第5期57-60,共4页

在复杂地区施工,常遇到一束线还没有采集完,由许可或其他复杂因素,检波点需要偏移几次,造成停工或施工顺序的改变,严重影响生产进度。因受限于生产,很多项目置其于不顾,继续生产。由于上交数据的复杂性,往往每束线只提供一套数据,这势... 在复杂地区施工,常遇到一束线还没有采集完,由许可或其他复杂因素,检波点需要偏移几次,造成停工或施工顺序的改变,严重影响生产进度。因受限于生产,很多项目置其于不顾,继续生产。由于上交数据的复杂性,往往每束线只提供一套数据,这势必造成CMP面元叠加紊乱,给后续的处理和解释带来较大的不确定因素。通过制定严格的流程及编制改造SPS文件的程序,从而提供适应处理的一套包括检波点各个偏移位置信息的SPS文件。这种解决方法运算速度快,不给后续的处理和解释带来任何的复杂性,且不增加工作量,较好地解决了因检波点多次偏移造成CMP面元叠加紊乱的问题。 展开更多

关键词 偏移 面元叠加 归位

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