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基于闪耀光栅图形化实现高分辨率干涉光刻 被引量:3
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作者 胡进 董晓轩 +2 位作者 浦东林 申溯 陈林森 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第12期3335-3342,共8页
为提高图形化干涉光刻质量,提出了基于闪耀光栅的图形化干涉光刻(PIIL)系统,并对该系统所采用的光学原理和实现方法进行了研究。首先,分析了图形化干涉光刻系统的光场特性,阐述了其分辨率提升的原理。讨论了光学系统带宽和图案分布对光... 为提高图形化干涉光刻质量,提出了基于闪耀光栅的图形化干涉光刻(PIIL)系统,并对该系统所采用的光学原理和实现方法进行了研究。首先,分析了图形化干涉光刻系统的光场特性,阐述了其分辨率提升的原理。讨论了光学系统带宽和图案分布对光刻图形质量的影响,给出了图形质量控制的工艺方法。其次,提出了一种新型的图形化干涉光刻方法,该方法采用闪耀光栅作为衍射分光器件,实现了位相和振幅的一体化调制。采用数值计算方法模拟了闪耀光栅的衍射特性和像面光场分布,讨论了闪耀光栅的优化设计方法,获得了高达92.3%的±1级衍射效率。最后,基于数字微镜器件(DMD)和微缩成像光路设计开发了图形化干涉光刻系统,实验获得了像素化的点阵图形和质量明显改善的光刻图像,验证了该方法对任意图形的适用性。 展开更多
关键词 图形化干涉光刻 傅里叶光学 衍射效率 激光直写 数字微镜器件
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从光程差看光的干涉与衍射现象的本质区别 被引量:1
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作者 王玮 孙家法 《淮北师范大学学报(自然科学版)》 CAS 2012年第1期39-41,共3页
光的干涉和衍射现象都是光的波动性的表现,是波叠加的结果.干涉与衍射现象的本质区别在于干涉是两列或有限束光相干叠加的结果,而衍射则是无限束光的叠加结果.从光程差的角度看,对应于相同的光程差,单缝衍射的极小值条件变成了双缝干涉... 光的干涉和衍射现象都是光的波动性的表现,是波叠加的结果.干涉与衍射现象的本质区别在于干涉是两列或有限束光相干叠加的结果,而衍射则是无限束光的叠加结果.从光程差的角度看,对应于相同的光程差,单缝衍射的极小值条件变成了双缝干涉的极大值条件.其原因是在双缝情形下,缝宽很小,被认为只是一个单个的光源,同一缝中光线间的干涉可忽略不计;而在单缝情形下,单缝衍射的极小值条件对应的正是同一缝中光波间的干涉. 展开更多
关键词 干涉 衍射 光程差
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基于四波前横向剪切干涉的波前传感技术与应用(特邀) 被引量:1
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作者 杨甬英 凌曈 +1 位作者 曹频 江佳斌 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2024年第9期18-31,共14页
高科技的发展对精密干涉成像提出了更高的要求。在现代光学和生物医学领域,无标记成像技术不依赖于传统的染料或荧光标记,进行3D活细胞原位观察和分析,促进定量相位显微术的发展。在光学检测技术领域,对于干涉系统的现场化、实时化的应... 高科技的发展对精密干涉成像提出了更高的要求。在现代光学和生物医学领域,无标记成像技术不依赖于传统的染料或荧光标记,进行3D活细胞原位观察和分析,促进定量相位显微术的发展。在光学检测技术领域,对于干涉系统的现场化、实时化的应用具有迫切需求,如激光波前的瞬态检测分析、高速流场检测、自适应光学的检测和控制、高精度光学系统像差分析等都迫切需要一个紧凑型、抗环境干扰、瞬态成像的干涉系统。为此,针对针对这些需求,全面介绍了四波前横向剪切干涉相位成像技术的原理、发展历程、波前重构方法以及其广泛的应用。四波前横向剪切干涉仪能够通过在一个单一的干涉图中获取两个正交剪切方向的四个剪切波前来实现瞬态相位成像,由随机编码光栅和相位棋盘组成新颖的四波干涉传感器(Four-wave Interferometric Sensor,FIS4)。FIS4干涉传感器凭借其独特的优势,如紧凑性、鲁棒性、高时间分辨率以及与现有显微系统的兼容性,在生物医学、光学测量、材料表征等众多领域展现出广阔的应用前景。这一技术的发展不仅为相关领域提供了新的研究工具,也为跨学科的创新和发现开辟了新的可能性。 展开更多
关键词 四波剪切干涉 衍射光栅 共路干涉 高速流场 自适应光学 白光轮廓仪
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制作螺旋孔屏产生1阶相位涡旋
4
作者 陈小艺 李萍 +4 位作者 裴孝满 王家浩 丁思谦 麦景祁 邵明辉 《物理实验》 2024年第12期13-18,共6页
基于光的衍射与干涉理论,利用Matlab软件计算了孔数目为1~6的螺旋孔屏的光场光强与相位涡旋分布.手工制作了孔数目为1~6的螺旋孔屏,搭建了马赫-曾德尔干涉光路,获得了各螺旋孔屏产生的光场与参考光的干涉光强,实验结果与数值计算结果基... 基于光的衍射与干涉理论,利用Matlab软件计算了孔数目为1~6的螺旋孔屏的光场光强与相位涡旋分布.手工制作了孔数目为1~6的螺旋孔屏,搭建了马赫-曾德尔干涉光路,获得了各螺旋孔屏产生的光场与参考光的干涉光强,实验结果与数值计算结果基本一致. 展开更多
关键词 螺旋孔屏 相位涡旋 马赫-曾德尔干涉光路 干涉 衍射
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波前函数法在光波干涉教学中的应用
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作者 王义全 陈笑 +2 位作者 吴泓元 邹斌 蔡园园 《大学物理》 2022年第6期47-50,共4页
本文介绍了波前函数的概念,并利用波前函数法分析讨论了光的杨氏双缝干涉和薄膜干涉现象.传统光程法在讨论两列波干涉时比较直观简单,但在讨论多列波干涉的情况下,光程法简单性的优势将无从体现.和传统的光程法相比较,在讨论多列波相互... 本文介绍了波前函数的概念,并利用波前函数法分析讨论了光的杨氏双缝干涉和薄膜干涉现象.传统光程法在讨论两列波干涉时比较直观简单,但在讨论多列波干涉的情况下,光程法简单性的优势将无从体现.和传统的光程法相比较,在讨论多列波相互叠加时,波前函数法的优势凸显,另一方面,波前函数法充分体现了波动的物理思想,刻画出电磁波的传播和叠加的物理图像,有助于学生深层次理解波动概念. 展开更多
关键词 波前函数法 光程 干涉 衍射
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涡旋光干涉衍射综合试验仪的设计与制造 被引量:1
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作者 杨佳辉 张艳 +3 位作者 肖晗 张子睿 顾子健 张云哲 《大学物理实验》 2022年第3期90-93,共4页
设计、制作一款涡旋光干涉衍射综合实验仪,将涡旋光的干涉、衍射整合在一个实验平台上。实验仪以涡旋光代替传统的激光,实现涡旋光的干涉、衍射现象,激发学生对前沿技术的兴趣,同时该实验仪器的光学部件可进行调整,可完成十几项基础光... 设计、制作一款涡旋光干涉衍射综合实验仪,将涡旋光的干涉、衍射整合在一个实验平台上。实验仪以涡旋光代替传统的激光,实现涡旋光的干涉、衍射现象,激发学生对前沿技术的兴趣,同时该实验仪器的光学部件可进行调整,可完成十几项基础光学实验,提高学生的动手能力以及实验能力。本实验仪在结构上整合四种光路,在小平台上进行光路优化,将干涉、衍射两种光路通过分束镜巧妙地结合在小尺寸上,极大地节约了四种光路占用的空间。本实验仪在大学物理实验、光学专业实验以及科研实验上具有极大的应用价值。 展开更多
关键词 涡旋光 干涉 衍射 光路优化
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讨论光的干涉和衍射问题时引入光程差概念的物理意义
7
作者 吐尔逊.买买提 《和田师范专科学校学报》 2013年第5期68-71,共4页
本文主要论述结合光的干涉,衍射现象的本质,讨论引入光程差概念的物理意义,从波动性概念解释光的干涉和衍射现象的本质,最后得到光程差概念的物理意义。
关键词 光的干涉 衍射 相位差 光程差 波长
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Diffraction of entangled photon pairs by ultrasonic waves
8
作者 邓履璧 《Frontiers of physics》 SCIE CSCD 2012年第2期239-243,共5页
In this paper, we have presented and established a new theoretical formulation of photon optics based on photon path and Feynman path integral idea. We have used Feynman path integral ap- proach to discuss Fraunhofer,... In this paper, we have presented and established a new theoretical formulation of photon optics based on photon path and Feynman path integral idea. We have used Feynman path integral ap- proach to discuss Fraunhofer, Fresnel diffraction of single photon and entangled photon pairs by ultrasonic wave and obtained the following results: i) quantum state and probability distribution of single photon and entangled photon pairs by Fraunhofer and Fresnel ultrasonic diffraction, ii) oblique incidence Raman-Nath and Bragg diffraction conditions, iii) total correlation state and its probability distribution. Our calculation results are in agreement with the experiment results. Comparing one-photon and two-photon diffraction effects by ultrasonic waves, we have found that two-photon diffraction by ultrasonic waves is also a sub-wavelength diffraction. 展开更多
关键词 atom optics diffraction and interference path integral
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原子光学讲座 第一讲 几何与波动原子光学及其器件 被引量:5
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作者 印建平 《物理》 CAS 北大核心 2006年第1期69-75,共7页
文章首先简单介绍了冷原子操纵与控制的基本原理.然后,重点介绍了几何与波动原子光学及其器件的研究内容、潜在应用和最新进展,其中包括:原子束的反射和原子反射镜;原子束偏转(折射)、聚焦成像和原子透镜;原子衍射和原子光栅;原子干涉... 文章首先简单介绍了冷原子操纵与控制的基本原理.然后,重点介绍了几何与波动原子光学及其器件的研究内容、潜在应用和最新进展,其中包括:原子束的反射和原子反射镜;原子束偏转(折射)、聚焦成像和原子透镜;原子衍射和原子光栅;原子干涉和原子干涉仪;原子全息学及其技术等. 展开更多
关键词 几何原子光学 波动原子光学 原子束反射与偏转 折射 原子反射镜 原子透镜 原子衍射与干涉 原子光栅 原子干涉仪 原子全息学
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用于原子磁强计的超表面集成反射型气室设计 被引量:2
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作者 史镕瑞 雷程 +4 位作者 梁庭 王涛龙 刘士琳 王丙寅 陈国锋 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第2期180-185,共6页
原子磁强计以其高灵敏度和成本低等优势受到了越来越多的关注,如今,进一步提高原子磁强计的芯片集成度已成为主要趋势,因为它有利于生物磁性测量与成像。但是,目前实现原子磁强计小型化的主要障碍是微加工原子气室的光学元件分立。鉴于... 原子磁强计以其高灵敏度和成本低等优势受到了越来越多的关注,如今,进一步提高原子磁强计的芯片集成度已成为主要趋势,因为它有利于生物磁性测量与成像。但是,目前实现原子磁强计小型化的主要障碍是微加工原子气室的光学元件分立。鉴于此,笔者提出一种基于新兴超表面的超紧凑片上原子气室方案,该方案将超表面与各向异性腐蚀的单晶硅相结合,在保证高灵敏度的同时提高了原子气室的集成度。该方案能够对圆偏振入射光束进行光路操纵,效率可达到80%。超表面采用厚度为500 nm的硅设计而成,可以通过基本的微加工工艺直接在原子气室上制造。所设计的新型原子气室具有集成度高、可大批量制造的优点,为未来生物磁性传感系统的发展提供了参考。 展开更多
关键词 表面光学 超表面 异常折射 原子气室 原子磁强计 光路集成
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