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二维抗反射亚波长周期结构光栅的设计分析 被引量：20
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作者 曹召良 卢振武 +2 位作者 李凤友 张慧娟 孙强 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2002年第6期537-541,共5页
利用严格耦合波理论(RCWA)和等效介质理论(EMT)研究了二维抗反射亚波长周期结构光栅的设计问题。以立方体和柱状单台阶网格光栅和金字塔形及圆锥形多台阶光栅为例,主要研究了占空比和表面面形对反射率的影响。通过计算发现,当光栅周期... 利用严格耦合波理论(RCWA)和等效介质理论(EMT)研究了二维抗反射亚波长周期结构光栅的设计问题。以立方体和柱状单台阶网格光栅和金字塔形及圆锥形多台阶光栅为例,主要研究了占空比和表面面形对反射率的影响。通过计算发现,当光栅周期足够小的时候,光栅面形对反射率没有影响,同时占空比严重影响着光栅的特性,这对设计制造抗反射光栅非常有用。同时也研究了等效介质理论的适用性。 展开更多
关键词 光栅 设计 抗反射 亚波长 占空比 反射率 表面面形
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