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ZnO-SnO_2透明导电膜的低温制备及性质 被引量：13
1
作者 黄树来 马瑾 +3 位作者 刘晓梅 马洪磊 孙征 张德恒 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期56-59,共4页
在室温下 ,采用射频磁控溅射法在 70 5 9玻璃衬底上制备出 Zn O- Sn O2 透明导电薄膜 .制备的薄膜为非晶结构 ,并且薄膜的电阻率强烈地依赖于溅射气体中的氧分压 .薄膜的最小电阻率为 7.2 7× 10 - 3Ω· cm,载流子浓度为4 .3&#... 在室温下 ,采用射频磁控溅射法在 70 5 9玻璃衬底上制备出 Zn O- Sn O2 透明导电薄膜 .制备的薄膜为非晶结构 ,并且薄膜的电阻率强烈地依赖于溅射气体中的氧分压 .薄膜的最小电阻率为 7.2 7× 10 - 3Ω· cm,载流子浓度为4 .3× 10 1 9cm- 3、霍尔迁移率为 2 0 .5 cm2 / (V· s) ,在可见光范围内的平均透过率达到了 90 % . 展开更多
关键词 透明导电膜 zno—sno2 射频磁控溅射
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SnO_2-ZnO薄膜特性研究
2
作者 贾维国 丁铁柱 郭俊平 《内蒙古大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 1999年第2期166-168,共3页
用真空蒸发ＳｎＯ２－ＺｎＯ，获取超微粒结构的ＳｎＯ２－ＺｎＯ薄膜．实验发现ｗ（ＳｎＯ２）ｗ（ＺｎＯ）＝８０％２０％薄膜有较低的电阻率，对乙醇有较高的敏感性，是较好的酒敏材料．
关键词 真空蒸发 薄膜 气体锡 氧化锌 半导体
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氧化锡和氧化锌双层薄膜的XPS研究 被引量：1
3
作者 赵金安 《化学研究》 CAS 1998年第2期60-63,共4页
用XPS法研究了SnO2 /ZnO及ZnO/SnO2 双层膜中锌和锡的扩散情况 ,结果表明 :锌在SnO2中的扩散比锡在ZnO中的扩散更容易。讨论了锌在SnO2 层中的扩散方式和扩散的结果。在ZnO层留下了较多的氧 ,并使部分的SnO2 还原为SnO。
关键词 sno2 XPS 双层膜 氧化锡 薄膜 扩散 氧化锌 还原 研究
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