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外电场和双轴应变对MoSH/WSi2N4肖特基结势垒的调控 被引量:1
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作者 梁前 钱国林 +2 位作者 罗祥燕 梁永超 谢泉 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2022年第21期274-282,共9页
鉴于实验上最新合成的二维半导体材料WSiN(WSN)和二维金属材料MoSH(MSH),构建了金属-半导体MSH/WSN肖特基结.在实际的金属-半导体接触应用中,肖特基势垒的存在严重降低了器件的性能.因此,获得较小的肖特基势垒甚至是欧姆接触至关重要.... 鉴于实验上最新合成的二维半导体材料WSiN(WSN)和二维金属材料MoSH(MSH),构建了金属-半导体MSH/WSN肖特基结.在实际的金属-半导体接触应用中,肖特基势垒的存在严重降低了器件的性能.因此,获得较小的肖特基势垒甚至是欧姆接触至关重要.本文使用第一性原理计算研究了在外电场和双轴应变作用下MSH/WSN肖特基结势垒的变化.计算结果表明,外电场和双轴应变均可以有效地调控MSH/WSN肖特基结势垒.正向外电场能实现MSH/WSN肖特基结p型与n型肖特基接触之间的动态转化,而负向外电场可实现MSH/WSN肖特基结向欧姆接触的转化.此外,较大的双轴应变可实现MSH/WSN肖特基结p型与n型肖特基接触的相互转化.此项工作为基于WSN半导体的肖特基功能器件及场效应晶体管提供理论指导. 展开更多
关键词 wsi2N4 MoSH 金属-半导体接触 肖特基接触
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Wsi2工艺技术研究 被引量:1
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作者 朱忠云 彭廷甫 《微电子技术》 1993年第2期43-47,共5页
关键词 集成电路 wsi2 工艺 多层布线
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WSi_2/MoSi_2复合发热元件的制备及组织性能 被引量:8
3
作者 艾云龙 程玉桂 +2 位作者 杨延清 康沫狂 刘长虹 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期962-965,共4页
利用W,Mo,Si粉末燃烧合成复合发热元件原料,制备WSi2/MoSi2复合发热元件。通过显微结构和力学性能、物理性能的测试分析表明:复合发热元件显微组织细小、分布较均匀,结晶相主要是以固溶形式的(WxMoy)Si2以及少量(WxMoy)5Si3相存在(其中x... 利用W,Mo,Si粉末燃烧合成复合发热元件原料,制备WSi2/MoSi2复合发热元件。通过显微结构和力学性能、物理性能的测试分析表明:复合发热元件显微组织细小、分布较均匀,结晶相主要是以固溶形式的(WxMoy)Si2以及少量(WxMoy)5Si3相存在(其中x+y=1),玻璃相是以SiO2和Al2O3为主,并含有少量的Na,Mg,K,Ca等金属氧化物;断口晶粒细小,主要表现为沿晶断裂,抗弯强度和显微硬度较高;复合发热元件电阻率与MoSi2发热元件相近,没有老化现象;烧损温度高于MoSi2发热元件80℃,热膨胀系数低于MoSi2发热元件,热稳定性较好;复合发热元件表面膜是一种复合硅氧膜,成膜质量较好。 展开更多
关键词 wsi2/MoSi2 发热元件 制备 组织与性能
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La_2O_3和WSi_2增强MoSi_2基复合材料的摩擦磨损性能研究 被引量:15
4
作者 张厚安 陈平 +2 位作者 颜建辉 胡小平 唐思文 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期230-233,共4页
选用MRH-5A型环-块摩擦磨损试验机测定了3种载荷和2种转速条件下La2O3和WSi2增强MoSi2基复合材料在滑动干摩擦时的摩擦磨损性能,采用扫描电子显微镜分析了复合材料磨损表面形貌.结果表明:La2O3和WSi2增强MoSi2基复合材料的抗磨性能优于M... 选用MRH-5A型环-块摩擦磨损试验机测定了3种载荷和2种转速条件下La2O3和WSi2增强MoSi2基复合材料在滑动干摩擦时的摩擦磨损性能,采用扫描电子显微镜分析了复合材料磨损表面形貌.结果表明:La2O3和WSi2增强MoSi2基复合材料的抗磨性能优于MoSi2及WSi2/MoSi2材料;当载荷与速度乘积(pv)值小于183.04N·m/s时,La2O3和WSi2增强MoSi2基复合材料的磨损质量损失仅为相同条件下MoSi2的1/4~1/6和WSi2/MoSi2的1/2;这是由于La2O3和WSi2复合增强相存在硬化和韧化协同作用所致;随着pv值增加,La2O3和WSi2增强MoSi2基复合材料依次呈现犁削、粘着磨损和疲劳磨损特征. 展开更多
关键词 MOSI2基复合材料 LA2O3 wsi2 摩擦磨损性能
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MoSi_2和WSi_2的价电子结构及性能分析 被引量:6
5
作者 彭可 易茂中 冉丽萍 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第11期1125-1129,共5页
根据固体与分子经验电子理论,对MoSi2和WSi2的价电子结构进行了定量的分析,通过键距差方法计算了MoSi2和WSi2晶体中各键上的共价电子数.结果表明:在MoSi2和WSi2晶体中,沿<331>位向分布的Mo-Si和W-Si原子键最强,这些键上的共价电... 根据固体与分子经验电子理论,对MoSi2和WSi2的价电子结构进行了定量的分析,通过键距差方法计算了MoSi2和WSi2晶体中各键上的共价电子数.结果表明:在MoSi2和WSi2晶体中,沿<331>位向分布的Mo-Si和W-Si原子键最强,这些键上的共价电子数和键能分别影响化合物的硬度和熔点.晶体中晶格电子数影响其导电性和塑性, MoSi2晶体中含有较高密度的晶格电子,因此MoSi2的导电性和塑性比WSi2好.并从键络分布的不均匀性解释了MoSi2和WSi2脆性产生的原因. 展开更多
关键词 MOSI2 wsi2 价电子 硬度 导电率
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WSi_2的价电子结构及其性能研究 被引量:5
6
作者 彭可 易茂中 冉丽萍 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第10期1754-1758,共5页
根据固体与分子经验电子理论,通过键距差(BLD)方法,计算了金属间化合物WSi2的价电子结构和理论结合能。结果表明,WSi2理论结合能为1859.5kJ/mol,与实验值吻合。WSi2晶体中,沿<331>位向分布的W—Si键的键能最大,EA=33.397kJ/mol,且... 根据固体与分子经验电子理论,通过键距差(BLD)方法,计算了金属间化合物WSi2的价电子结构和理论结合能。结果表明,WSi2理论结合能为1859.5kJ/mol,与实验值吻合。WSi2晶体中,沿<331>位向分布的W—Si键的键能最大,EA=33.397kJ/mol,且有32个等同键数,是晶体熔化时必须破坏的主干键络,因而WSi2具有高熔点。WSi2晶体中含有较高密度的晶格电子,使WSi2具有良好的导电性。WSi2晶体中键络分布不均匀性是导致晶体脆性的主要原因。 展开更多
关键词 wsi2 价电子 结合能 导电性 脆性
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MoSi_2-WSi_2复合材料自蔓延热爆合成反应热力学 被引量:5
7
作者 彭可 易茂中 冉丽萍 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期554-558,共5页
对Mo-W-Si三元体系自蔓延热爆合成MoSi2-WSi2复合材料的反应吉布斯自由能、反应生成焓和绝热温度进行了理论分析和实验研究,并利用X射线衍射分析和扫描电镜及微区成分分析(EDAX)技术对产物进行了相组成和微区成分分析。结果表明:在1685K... 对Mo-W-Si三元体系自蔓延热爆合成MoSi2-WSi2复合材料的反应吉布斯自由能、反应生成焓和绝热温度进行了理论分析和实验研究,并利用X射线衍射分析和扫描电镜及微区成分分析(EDAX)技术对产物进行了相组成和微区成分分析。结果表明:在1685K(Si熔点)时,MoSi2和WSi2的反应生成焓最大,分别为234.645kJ/mol和195.670kJ/mol。当初始温度为1685K时,体系所有产物均完全熔融。利用自蔓延热爆合成可制备纯净的MoSi2-WSi2复合材料。MoSi2和WSi2以固溶体(Mox,W1-x)Si2的形式存在,但每个晶粒内的成分并不均匀。 展开更多
关键词 MoSi2-wsi2复合材料 自蔓延热爆合成 反应热力学 绝热温度
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SiC_p-WSi_2/MoSi_2复合材料的室温力学性能 被引量:5
8
作者 张荣军 杨延清 刘红梅 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第1期101-103,共3页
为了提高MoSi2的室温断裂韧性,将Si、Mo、W和C四种粉末混合后通过"原位反应热压"一次热压工艺制备了两种不同体积配比的SiCp-WSi2/MoSi2复合材料试样,测定了复合材料试样和纯MoSi2试样的室温断裂韧性(KIC)与显微硬度(HV);采用... 为了提高MoSi2的室温断裂韧性,将Si、Mo、W和C四种粉末混合后通过"原位反应热压"一次热压工艺制备了两种不同体积配比的SiCp-WSi2/MoSi2复合材料试样,测定了复合材料试样和纯MoSi2试样的室温断裂韧性(KIC)与显微硬度(HV);采用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)等方法研究了该工艺下试样的结构、组织以及断口形貌与断裂韧性间的相互关系。结果表明,SiC的复合化和W元素的合金化能使SiCp-WSi2/MoSi2复合材料晶粒细化,硬度、室温断裂韧性比纯MoSi2明显提高,断裂韧性最高值达5.88MPa·m1/2。并对复合材料的硬化、韧化机理分别进行了分析。 展开更多
关键词 SiCp^-wsi2/MoSi2复合材料 MOSI2 断裂韧性 显微硬度
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原位反应制备WSi_2/Si_3N_4复合材料的研究 被引量:1
9
作者 沈建兴 孟宪娴 +1 位作者 刘迎凯 毕方智 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第3期615-619,共5页
研究了Si3N4/WSi2复合陶瓷材料的特殊制备工艺过程及其显微结构。用XRD、SEM、EDX以及气孔测试仪,对每一制备过程步骤中发生的显微结构变化进行了分析。结果表明预烧过程原位生成了WSi2,氮化反应使Si相几乎全部转化为Si3N4和WSi2,热压使... 研究了Si3N4/WSi2复合陶瓷材料的特殊制备工艺过程及其显微结构。用XRD、SEM、EDX以及气孔测试仪,对每一制备过程步骤中发生的显微结构变化进行了分析。结果表明预烧过程原位生成了WSi2,氮化反应使Si相几乎全部转化为Si3N4和WSi2,热压使α-Si3N4转化为β-Si3N4,相组成为β-Si3N4、WSi2以及少量的W5Si3。机械强度随温度上升而增加,1200℃强度达988.3MPa。 展开更多
关键词 热压烧结 wsi2/Si3N4 复合材料
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应用于超大规模集成电路的新材料WSi_2的快速热退火形成 被引量:1
10
作者 陈存礼 曹明珠 华文玉 《应用科学学报》 CAS CSCD 1991年第3期258-262,共5页
用喇曼散射、扫描电镜、转靶X射线衍射、俄歇电子能谱和电阻率的测量研究了共溅射W-Si薄膜经真空15秒快速热退火后形成WSi_2的行为.在331和450cm^(-1)处有两个WSi_2的特征喇曼峰.随着快速热退火温度的升高,WSi_2的晶化不断增强.发现WSi_... 用喇曼散射、扫描电镜、转靶X射线衍射、俄歇电子能谱和电阻率的测量研究了共溅射W-Si薄膜经真空15秒快速热退火后形成WSi_2的行为.在331和450cm^(-1)处有两个WSi_2的特征喇曼峰.随着快速热退火温度的升高,WSi_2的晶化不断增强.发现WSi_2中伴有W_5Si_3相存在,但其行为仍显示为WSi_2的特征. 展开更多
关键词 VLSI wsi2 快速热退火 喇曼散射
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自蔓延高温合成二硅化钨粉末 被引量:1
11
作者 韩欢庆 卢惠民 +1 位作者 邱定蕃 褚征军 《中国钨业》 CAS 北大核心 2005年第4期39-41,共3页
利用自蔓延高温合成法成功制备了WSi2粉末。计算了各相合成时的绝热温度,探讨了各相生成的先后顺序及转化关系,利用XRD及SEM分析了合成产物中相组成及组织形貌等。
关键词 粉末冶金 wsi2 自蔓延高温合成
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油润滑下WSi_2/MoSi_2复合材料的摩擦学性能 被引量:2
12
作者 张厚安 陈平 唐果宁 《湘潭矿业学院学报》 2003年第1期57-59,共3页
运用M 200型摩擦磨损试验机测定了WSi2/MoSi2复合材料与45#钢配副油润滑时的摩擦学性能,采用扫描电子显微镜分析了其磨损机理.结果表明:油润滑可明显改善WSi2/MoSi2复合材料的摩擦学性能,在80~120N时材料具有较好的摩擦磨损综合性能;... 运用M 200型摩擦磨损试验机测定了WSi2/MoSi2复合材料与45#钢配副油润滑时的摩擦学性能,采用扫描电子显微镜分析了其磨损机理.结果表明:油润滑可明显改善WSi2/MoSi2复合材料的摩擦学性能,在80~120N时材料具有较好的摩擦磨损综合性能;在油润滑下,WSi2/MoSi2复合材料的磨损机理表现为点蚀磨损和磨粒磨损,偶件45#钢的损失主要归因于磨粒的切削作用.图6,参13. 展开更多
关键词 wsi2/MoSi2复合材料 油润滑 磨损机理 点蚀磨损 磨粒磨损
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真空烧结原位合成制备SiC+WSi_2/MoSi_2复合材料及其性能
13
作者 陈芳 许剑光 +2 位作者 侯周福 罗军 唐果宁 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2011年第4期61-64,共4页
以钼粉、硅粉、钨粉和石墨粉为原料,采用真空烧结原位合成方法制备了不同SiC和WSi2配比颗粒增强的SiC+WSi2/MoSi2复合材料,研究了其物相组成、力学性能和室温断口形貌,并分析了复合材料的强韧化机理。结果表明:该复合材料主要由WSi2、Mo... 以钼粉、硅粉、钨粉和石墨粉为原料,采用真空烧结原位合成方法制备了不同SiC和WSi2配比颗粒增强的SiC+WSi2/MoSi2复合材料,研究了其物相组成、力学性能和室温断口形貌,并分析了复合材料的强韧化机理。结果表明:该复合材料主要由WSi2、MoSi2和SiC相组成,还有微量的(Mo,W)5Si3相;其中10%SiC-5%WSi2-85%MoSi2复合材料的综合力学性能最佳,其相对密度、抗弯强度、硬度和断裂韧度分别为93.81%,251.7 MPa,9.053 GPa和6.534 MPa.m1/2;该复合材料的强韧化机制主要有细晶强韧化和弥散强化。 展开更多
关键词 SiC+wsi2/MoSi2 复合材料 原位合成 力学性能 强韧化机理
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C/C复合材料SiC-MoSi_2-WSi_2抗氧化涂层的制备及性能研究
14
作者 秦淑颖 解惠贞 《炭素技术》 CAS CSCD 北大核心 2012年第6期19-23,共5页
为提高C/C复合材料的高温抗氧化性能,以聚碳硅烷(PCS)浸渍裂解法和Si,Mo,W粉浆料刷涂反应法在C/C复合材料表面制备SiC-MoSi2-WSi2复合涂层,借助X射线衍射仪、扫描电镜等分析手段,对涂层的微观形貌、组织结构及物相进行分析研究,优化涂... 为提高C/C复合材料的高温抗氧化性能,以聚碳硅烷(PCS)浸渍裂解法和Si,Mo,W粉浆料刷涂反应法在C/C复合材料表面制备SiC-MoSi2-WSi2复合涂层,借助X射线衍射仪、扫描电镜等分析手段,对涂层的微观形貌、组织结构及物相进行分析研究,优化涂层制备工艺,考察了涂层的高温抗氧化性能,分析了抗氧化机理。制备的SiC-MoSi2-WSi2复合涂层厚度200μm左右,主要由SiC,MoSi2,WSi2构成。1 500℃氧化试验结果表明复合涂层的静态氧化失重率较SiC单层涂层降低50%以上,较大地改善了C/C复合材料的抗氧化性能。 展开更多
关键词 C C复合材料 抗氧化涂层 SIC MOSI2 wsi2
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原位合成SiC_p/(Mo,W)Si_2复合材料的组织与性能 被引量:2
15
作者 刘红梅 杨延清 +1 位作者 吴中 罗贤 《西北工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期512-516,共5页
以Mo粉、W粉、Si粉和C粉为原料,采用原位反应高温热压一次复合工艺制备了不同配比的SiCp/(Mo,W)Si2复合材料。采用光学显微镜、扫描电镜和X射线衍射仪研究了其显微结构,并测定了其力学性能。结果表明,SiCp/(Mo,W)Si2复合材料中的增强相... 以Mo粉、W粉、Si粉和C粉为原料,采用原位反应高温热压一次复合工艺制备了不同配比的SiCp/(Mo,W)Si2复合材料。采用光学显微镜、扫描电镜和X射线衍射仪研究了其显微结构,并测定了其力学性能。结果表明,SiCp/(Mo,W)Si2复合材料中的增强相SiC颗粒分布在基体MoSi2的晶界和晶内,WSi2固溶于MoSi2,起到了协同强化的作用,强化效果比单独加入SiC或WSi2更为显著。该种复合材料的抗弯强度最高达到592 MPa,断裂韧性达到5.9 MPa.m1/2,维氏硬度达到19.4 GPa,分别比相同工艺制备的纯MoSi2提高了约5倍、2.1倍和2.2倍。 展开更多
关键词 MOSI2复合材料 SIC wsi2 原位合成 力学性能 微观组织
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料浆涂覆法制备W-Si-ZrO_2-Y_2O_3高温抗氧化涂层的组织与高温氧化行为 被引量:3
16
作者 范衍 范景莲 +2 位作者 李威 李鹏飞 杨铭 《粉末冶金材料科学与工程》 EI 北大核心 2016年第5期754-759,共6页
采用料浆涂覆和多步反应烧结工艺在难熔钨合金表面制备W-Si-ZrO_2-Y2O3高温抗氧化陶瓷复合涂层,对涂层的成分、组织特征及1 700℃下的抗氧化性能进行分析。结果表明,在反应烧结过程中涂层形成了以WSi2为主体,ZrO_2和Y2O3均匀分布的多相... 采用料浆涂覆和多步反应烧结工艺在难熔钨合金表面制备W-Si-ZrO_2-Y2O3高温抗氧化陶瓷复合涂层,对涂层的成分、组织特征及1 700℃下的抗氧化性能进行分析。结果表明,在反应烧结过程中涂层形成了以WSi2为主体,ZrO_2和Y2O3均匀分布的多相陶瓷复合结构,涂层与基体形成良好的冶金结合。涂层在1 700℃空气环境中具有良好的抗氧化性能,高温下其表面生成光滑致密的Si O2玻璃膜,有效抗氧化寿命达14 h。 展开更多
关键词 难熔金属 钨合金 wsi2 反应烧结 高温抗氧化 涂层 显微组织
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自蔓延高温合成WSi_2-MoSi_2复合粉体的制备、组成与形貌分析 被引量:3
17
作者 袁浩田 黄文江 +2 位作者 周颖 马成良 王帅旗 《耐火材料》 北大核心 2017年第3期196-199,204,共5页
为了研究金属W加入量对自蔓延合成WSi_2-MoSi_2复合粉体组成和形貌的影响,以d50分别为5.67μm的Si粉、3.15μm的Mo粉和2.13μm的W粉为原料,按照化学式(Mo1-xWx)Si_2中W的物质的量分数分别为10%、20%、30%和40%,采用自蔓延高温合成方法... 为了研究金属W加入量对自蔓延合成WSi_2-MoSi_2复合粉体组成和形貌的影响,以d50分别为5.67μm的Si粉、3.15μm的Mo粉和2.13μm的W粉为原料,按照化学式(Mo1-xWx)Si_2中W的物质的量分数分别为10%、20%、30%和40%,采用自蔓延高温合成方法制备了不同W含量的WSi_2-Mo Si_2复合粉末,并利用X射线衍射仪和扫描电镜对合成产物进行了相组成和产物形貌分析。结果表明:W粉的添加会降低反应的绝热温度。通过对产物最强的衍射峰进行分峰拟合,证实在本试验中Mo Si_2和WSi_2是以两个单相的形式存在;WSi_2-Mo Si_2复合粉末形貌呈近球形颗粒的聚集状态,并随着W加入量的增加,合成产物的颗粒尺寸有变小的趋势。 展开更多
关键词 wsi2-MoSi2 复合粉体 自蔓延高温合成 分峰拟合 粒径
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添加WS_2的CrSi_2复合物的热电性能 被引量:1
18
《金属功能材料》 CAS 2017年第3期51-51,共1页
Masashi Mikami等人采用球磨法和脉冲电流烧结的粉末冶金工艺,借助烧结时CrSi和WSi2亚微级细粉的固相反应,得到富Cr六面体相和富W四面体(W,Cr)Si2相的复合物。
关键词 复合物 热电性能 WS2 脉冲电流烧结 粉末冶金工艺 固相反应 wsi2 球磨法
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Pseudo-potential investigations of structural,elastic and thermal properties of tungsten disilicide
19
作者 徐国亮 陈敬东 +1 位作者 夏要争 刘雪峰 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2009年第8期3495-3499,共5页
The plane-wave pseudopotential method using the generalized gradient approximation within the density functional theory is used to investigate the structure and bulk modulus of WSi2. The quasi-harmonic Debye model, us... The plane-wave pseudopotential method using the generalized gradient approximation within the density functional theory is used to investigate the structure and bulk modulus of WSi2. The quasi-harmonic Debye model, using a set of total energy versus cell volume obtained with the plane-wave pseudopotential method, is applied to the study of the elastic properties and vibrational effects. We have analysed the bulk modulus of WSi2 up to 1600 K. The major trend shows that the WSi2 crystal becomes more compressible when the temperature rises and the increase of compressibility leads to the decrease of Debye temperature. The predicted temperature and pressure effects on the thermal expansion, heat capacity and Debye temperatures are determined from the non-equilibrium Gibbs functions and compared with the data available. 展开更多
关键词 density functional theory elastic modulus Debye temperature wsi2
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