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半导体真空工艺晶圆自动搬运的检测方法设计
1
作者 李迎辉 任向阳 +4 位作者 刘美华 李昌振 王文佐 陈文彬 国嘉程 《电子工业专用设备》 2025年第4期42-47,共6页
聚焦半导体芯片制造中真空状态下机械手传片检测技术,深入剖析其专业性与技术难点。阐述真空机械手应用现状、关键技术,以及真空传输平台(VTM)的工作流程;表明了在半导体生产中真空工艺条件下,自动机械手传片状态难以检测的技术难题;介... 聚焦半导体芯片制造中真空状态下机械手传片检测技术,深入剖析其专业性与技术难点。阐述真空机械手应用现状、关键技术,以及真空传输平台(VTM)的工作流程;表明了在半导体生产中真空工艺条件下,自动机械手传片状态难以检测的技术难题;介绍了基于对射传感器的检测系统设计方案,包括选型、安装、调试及维护要点。研究提出的检测系统设计方案,为保障晶圆传输可靠性、提升半导体制造水平、突破半导体高端制造瓶颈提供了重要参考。 展开更多
关键词 半导体设备 真空机械手 传片检测 对射传感器 真空传输平台
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高空模拟试验舱的传热和真空分析与计算
2
作者 李兆慈 徐烈 赵兰萍 《低温工程》 CAS CSCD 北大核心 1999年第4期119-125,共7页
分析了高空模拟试验舱的传热与舱压分布， 并提出了计算方法， 为高模试验舱的结构设计提供了参考。
关键词 高空模拟试验舱 传热 真空 计算 舱压
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渗透汽化膜装置的真空罩冷凝传热行为分析
3
作者 曹礼勇 刘建蜀 +2 位作者 雷许 郭世蒙 肖泽仪 《四川化工》 CAS 2017年第3期44-48,共5页
在渗透汽化膜组件被密闭于真空罩的设计中,渗透蒸汽中一部分将会在真空罩内表面冷凝,这有利于膜下游的渗透蒸汽分馏和冷凝回收。本文对真空罩内冷凝行为进行了分析,建立了冷凝传热的物理和数学模型,定义了真空罩冷凝效率及其计算公式。... 在渗透汽化膜组件被密闭于真空罩的设计中,渗透蒸汽中一部分将会在真空罩内表面冷凝,这有利于膜下游的渗透蒸汽分馏和冷凝回收。本文对真空罩内冷凝行为进行了分析,建立了冷凝传热的物理和数学模型,定义了真空罩冷凝效率及其计算公式。进行了渗透汽化+真空罩冷凝的实验,测试结果与理论计算值较为符合。分析了蒸汽温度、真空罩外部空气温度和膜渗透通量等因素对真空罩冷凝效率的影响。研究结果对真空罩渗透汽化膜装置设计和工程化具有参考价值。 展开更多
关键词 渗透汽化膜装置 真空罩 冷凝传热 自然对流传热 冷凝效率
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基于神经模块网络的可迁移凝汽器真空度预测方法
4
作者 姜天培 易秉恒 +2 位作者 陈贻颢 康孝种 王书辉 《高科技与产业化》 2024年第10期24-26,共3页
本文旨在探索一种基于神经模块网络的具有泛化性的可迁移的凝汽器真空度预测方法。首先,采用神经模块网络对凝汽器真空度进行预测。其次,手动将数据分为低负荷,普通和高负荷工况。其中高斯噪声波动范围为80%到130%,以充分模拟真实世界... 本文旨在探索一种基于神经模块网络的具有泛化性的可迁移的凝汽器真空度预测方法。首先,采用神经模块网络对凝汽器真空度进行预测。其次,手动将数据分为低负荷,普通和高负荷工况。其中高斯噪声波动范围为80%到130%,以充分模拟真实世界中的低负荷和高负荷数据。最后,利用神经模块网络在正常数据集上训练的模型,对变工况情况下的低负荷和高负荷数据进行预测。实验证明神经模块网络训练的模型具有泛化性,在不同负荷情况下均能有效预测凝汽器真空度。 展开更多
关键词 凝汽器真空度预测 神经模块网络 可迁移性
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