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VLP/CVD低温硅外延 被引量:3
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作者 谢自力 陈桂章 +1 位作者 洛红 严军 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2001年第5期357-359,共3页
研究了 VLP/ CVD低温硅外延生长技术。利用自制的 VLP/ CVD设备 ,在低温条件下 ,成功地研制出晶格结构完好的硅同质结外延材料。扩展电阻、X射线衍射谱和电化学分布研究表明 ,在低温下 (T<80 0°C)应用 VLP/ CVD技术 ,可以生长... 研究了 VLP/ CVD低温硅外延生长技术。利用自制的 VLP/ CVD设备 ,在低温条件下 ,成功地研制出晶格结构完好的硅同质结外延材料。扩展电阻、X射线衍射谱和电化学分布研究表明 ,在低温下 (T<80 0°C)应用 VLP/ CVD技术 ,可以生长结构完好的硅外延材料 ; 展开更多
关键词 低温外延 vlp/cvd 杂质分布 半导体技术
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生长温度对Si基Ge量子点VLP-CVD自组织生长的影响 被引量:2
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作者 吴军 顾书林 +6 位作者 施毅 江宁 朱顺明 郑有炓 王牧 刘晓勇 闵乃本 《高技术通讯》 EI CAS CSCD 2000年第4期34-37,共4页
对利用超低压化学气相淀积 (VLP CVD)技术在Si上自组织生长Ge量子点的特征进行了研究 ,发现生长温度对Ge量子点尺寸分布和密度的影响不同于分子束外延 (MBE)的结果 ,这种现象与VLP CVD表面控制反应模式有关。实验表明 。
关键词 GE量子点 化学气相淀积 自组织生长
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Si上Si_(1-x-y)Ge_(x)C_(y)三元合金薄膜的生长 被引量:1
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作者 朱顺明 江宁 +7 位作者 臧岚 韩平 刘夏冰 程雪梅 江若琏 郑有炓 胡晓宁 方家熊 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2000年第4期414-418,共5页
研究了 Si衬底上 Si Ge C合金薄膜的生长。以 C2 H4 为 C源、采用快速加热超低压化学气相淀积 (RTP/VL P- CVD)的非平衡生长技术 ,在 Si(10 0 )衬底上生长出具有一定代位式 C含量的硅基 Si Ge C合金。实验表明 :较低的生长温度和较高的 ... 研究了 Si衬底上 Si Ge C合金薄膜的生长。以 C2 H4 为 C源、采用快速加热超低压化学气相淀积 (RTP/VL P- CVD)的非平衡生长技术 ,在 Si(10 0 )衬底上生长出具有一定代位式 C含量的硅基 Si Ge C合金。实验表明 :较低的生长温度和较高的 Si H4 /C2 H4 流量比有利于代位式 C原子的形成和材料晶体质量的提高。 展开更多
关键词 快速加热超低压化学气相淀积 非平衡生长 代位式
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维持性血液透析患者电生理指标变化与心血管疾病的相关性研究 被引量:9
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作者 朱士彦 甘平 +2 位作者 李丹妮 陈剑泉 罗承志 《海南医学》 CAS 2018年第5期600-603,共4页
目的观察维持性血液透析(MHD)患者的QT离散度(QTd)、心率震荡(HRT)和心室晚电位(VLP)的变化特点,探讨其与心血管疾病(CVD)的相关性。方法选取广东医科大学附属第三医院肾内科2009年7月至2017年2月收治的32例MHD患者作为观察组,以同期住... 目的观察维持性血液透析(MHD)患者的QT离散度(QTd)、心率震荡(HRT)和心室晚电位(VLP)的变化特点,探讨其与心血管疾病(CVD)的相关性。方法选取广东医科大学附属第三医院肾内科2009年7月至2017年2月收治的32例MHD患者作为观察组,以同期住院临床确诊为慢性肾脏疾病2~4期的30例患者作为对照组,所有患者就诊3 d内行QTd、HRT和VLP检测,并于观察期当月、第3和第6个月,采用同样方法重复检测3次,取其平均值作为参考。随访追踪1年内的主要CVD不良事件,所获得的数据应用SPSS17.0软件进行统计学分析。结果 (1)观察组患者的QTd为(46.54±25.75)ms,明显长于对照组的(30.58±16.62)ms,差异有显著统计学意义(P<0.01);HRT方面,相较对照组TO值(-1.38±1.59)、TS值(6.74±3.83),观察组TO值(0.89±0.97)升高,TS值(4.75±3.32)降低,差异有统计学意义(P<0.05);观察组患者的VLP阳性率为68.75%,明显高于对照组的33.33%,差异有显著统计学意义(P<0.01)。(2)随访追踪1年,观察组患者的充血性心力衰竭的发生率为62.5%,明显高于对照组的20.0%;心绞痛的发生率为40.6%,高于对照组的16.7%;心肌梗塞的发生率为28.1%,高于对照组的3.3%;猝死的发生率为25.0%,高于对照组的3.3%,差异均有统计学意义(P<0.01或P<0.05)。(3)将QTd、HRT和VLP作为自变量,以是否发生CVD不良事件作为因变量,纳入多元回归分析。结果显示,QTd、HRT和VLP与CVD间呈正相关,且差异有统计学意义(r=0.258、0.294、0.312,P<0.05)。结论维持性血液透析患者QTd、HRT和VLP变化明显,容易引起各类心血管疾病;QTd、HRT和VLP可作为一种无创、简易的电生理指标常规应用于MHD患者的临床检测。 展开更多
关键词 维持性血液透析 QT离散度 心率震荡 心室晚电位 心血管疾病
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