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原位生成SiC/TiSi_2纳米复合材料的显微结构 被引量:7
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作者 李建林 江东亮 谭寿洪 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1999年第8期893-896,共4页
采用Si粉和TiC为原料,通过反应热压可制得纳米SiC粒子复合的TiSi2材料,生成的纳米SiC粒子聚集分布在TiSi2基体中,SiC粒子与TiSi2的界面没有晶界相存在.但由于残余应力的作用.TiSi2晶格发生扭曲并有位错出现。
关键词 原位反应 SIC TISI2 纳米复合材料 显微结构
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PECVD法TiSi_2薄膜的制备工艺研究
2
作者 杨林安 周南生 严北平 《西安电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1990年第1期79-82,共4页
本文利用PECVD低温淀积台进行TiSi_2薄膜的制备。采用X射线衍射、俄歇分析和扫描电镜等分析手段,对所制备的TiSi_2薄膜及其氧化特性、多层膜结构和刻蚀特性进行了全面的测试分析,证明采用PECVD方法制备TiSi_2薄膜的工艺是完全可行的。
关键词 TiSi薄膜 制备工艺 PECVD法
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一种新型的ITO/TiSi_2双层前电极a-Si:H太阳电池
3
作者 吴萍 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第1期29-30,35,共3页
如何提高a-Si:H太阳电池的转换效率和稳定性一直是人们最关心的问题。本实验采用一种新型的Glass/ITO/TiSi2/pin/Al双层前电极a-Si:H太阳电池,通过老化处理后发现,这种新型电池较之常规电池主要参数均改善,电池的稳定性明显... 如何提高a-Si:H太阳电池的转换效率和稳定性一直是人们最关心的问题。本实验采用一种新型的Glass/ITO/TiSi2/pin/Al双层前电极a-Si:H太阳电池,通过老化处理后发现,这种新型电池较之常规电池主要参数均改善,电池的稳定性明显提高。 展开更多
关键词 ITO/TiSi2电极 太阳电池 稳定性 A-SI:H 前电极
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TiSi_2薄膜的形成特性及TiSi_2/多晶硅复合栅结构的研究 被引量:1
4
作者 陶江 赵铁民 +3 位作者 张国炳 王阳元 汪锁发 李永洪 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1989年第10期781-787,共7页
本文用反应生成和合金靶溅射两种方法生成了TiSi_2薄膜,并对其形成特性进行了研究,同时将所形成的TiSi_(?)薄膜应用于MOSFET和MOS电容的制作中.结合电学性反的测量和TEM(横截面)在位观察,研究了TiSi_2/多晶硅复合栅结构的特性,发现当多... 本文用反应生成和合金靶溅射两种方法生成了TiSi_2薄膜,并对其形成特性进行了研究,同时将所形成的TiSi_(?)薄膜应用于MOSFET和MOS电容的制作中.结合电学性反的测量和TEM(横截面)在位观察,研究了TiSi_2/多晶硅复合栅结构的特性,发现当多晶硅厚度小于某一临界值时,经高温炉退火后,SiO_2/Si界面将会产生许多新的界面在,SiO_(?)层中会产生缺陷.对离于注入和热扩散掺杂的两种样品,多晶硅层厚度的这个临界值几乎是相同的.根据我们的实验和分析结果,证实了在TiSi_2薄膜的形成过程中所引入的应力是产生上述现象的基本原因. 展开更多
关键词 TISI2 多晶硅 自对准技术 MOSFET
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Ti/Si(100)体系界面扩散反应动力学研究 被引量:2
5
作者 邓宗武 朱永法 +1 位作者 曹立礼 陈立 《真空科学与技术》 CSCD 1994年第3期200-205,共6页
采用移动边界条件下扩散问题的处理方法,综合界面反应和扩散两个过程对界面硅化物形成的影响,建立起Ti/Si(100)界面扩散反应动力学理论模型,并拟合快速热退火处理后试样界面Auger深度分析谱,得到Ti,Si在相应界质中扩散系数和表... 采用移动边界条件下扩散问题的处理方法,综合界面反应和扩散两个过程对界面硅化物形成的影响,建立起Ti/Si(100)界面扩散反应动力学理论模型,并拟合快速热退火处理后试样界面Auger深度分析谱,得到Ti,Si在相应界质中扩散系数和表现反应活化能。研究结果表明,Ti/Si体系界面TiSi2生成经历了一个由反应动力学控制到扩散控制的过渡。Si从其晶格中解离并扩散到Ti/TiSi2界面是制约扩散过程的关键因素。 展开更多
关键词 界面反应 界面扩散 动力学
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SIMOX薄膜上形成钛硅化物的研究
6
作者 林成鲁 周伟 +1 位作者 邹世昌 P.L.F.Hemment 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1990年第6期470-474,共5页
本文报道了在SIMOX(Separation by IMPlanted Oxygen)薄膜材料上制备钛硅化物的研究结果。研究表明,不同厚度的SIMOX薄膜材料上都形成了均匀的TiSi_2,其薄层电阻为4.0—4.5Ω/□,上层Si中的载流子峰值浓度达2×10^(20)/cm^3,获得了... 本文报道了在SIMOX(Separation by IMPlanted Oxygen)薄膜材料上制备钛硅化物的研究结果。研究表明,不同厚度的SIMOX薄膜材料上都形成了均匀的TiSi_2,其薄层电阻为4.0—4.5Ω/□,上层Si中的载流子峰值浓度达2×10^(20)/cm^3,获得了一种TiSi_2/n^+-Si/SiO_2/Si的多层结构。形成TiSi_2后,As原子在上层Si中的分布与SIMOX薄膜厚度有关,当上层Si很薄时,As原子在上层Si与SiO_2埋层的界面上的堆积是明显的。 展开更多
关键词 SIMOX 薄膜 钛硅化物 半导体
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二硅化钛/硅的肖特基势垒研究
7
作者 杨林安 周南生 严北平 《微电子学与计算机》 CSCD 北大核心 1990年第8期41-42,共2页
采用PECVD 法淀积的TiSi_2薄膜与硅衬底能形成良好的接触,其肖特基势垒高度经J-V 和C-V法测试得知,分别为0.65eV 和0.58eV.同时经测量得到了较理想的肖特基势垒二极管伏安特性曲线.
关键词 二硅化钛 肖特基势垒
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真空电磁定向凝固制备高纯TiSi_(2)和共晶Si-Ti合金的研究 被引量:1
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作者 张亚坤 雷云 马文会 《钢铁钒钛》 CAS 北大核心 2023年第6期58-63,共6页
为了制备高纯TiSi_(2)和共晶Si-Ti合金,研究新采用真空电磁定向凝固技术对Ti-Si合金进行了相分离与提纯。结果表明,真空电磁定向凝固技术可以有效地提纯Ti-Si合金;Fe、Mn和Al杂质通过其在固-液界面上的分凝效应去除(富集在顶部);Ca和Mg... 为了制备高纯TiSi_(2)和共晶Si-Ti合金,研究新采用真空电磁定向凝固技术对Ti-Si合金进行了相分离与提纯。结果表明,真空电磁定向凝固技术可以有效地提纯Ti-Si合金;Fe、Mn和Al杂质通过其在固-液界面上的分凝效应去除(富集在顶部);Ca和Mg杂质由于蒸气压明显高于Si和Ti,因此可以通过真空挥发去除。Ti-56%Si合金(纯度96%)经真空电磁定向凝固后,在坩埚下部分离得到致密的TiSi_(2)合金,而上部则分离得到物相均匀的共晶Si-Ti合金。由此制备的TiSi_(2)纯度达到99.4%,共晶Si-Ti合金纯度达到99.1%(仅考虑主要杂质Fe、Mn、Ca、Mg和Al条件下)。 展开更多
关键词 TiSi_(2) 共晶Si-Ti合金 真空精炼 电磁定向凝固 分离提纯
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TiO_(2)/TiSi_(2)复合材料的制备及其可见光光催化性能 被引量:3
9
作者 刘胜优 杨晓华 杨化桂 《华东理工大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2018年第3期356-361,共6页
分别以TiSi_(2)和HCl为钛源和形貌控制剂,采用一步水热法合成了海胆状TiO_(2)/TiSi_(2)纳米复合材料。TiO_(2)/TiSi_(2)是由TiSi_(2)基体与生长在TiSi_(2)表面的海胆状金红石型TiO_(2)组成,其中,金红石型TiO_(2)由大量尺寸均匀、表面光... 分别以TiSi_(2)和HCl为钛源和形貌控制剂,采用一步水热法合成了海胆状TiO_(2)/TiSi_(2)纳米复合材料。TiO_(2)/TiSi_(2)是由TiSi_(2)基体与生长在TiSi_(2)表面的海胆状金红石型TiO_(2)组成,其中,金红石型TiO_(2)由大量尺寸均匀、表面光洁、沿[001]晶向生长的纳米棒组成。随着盐酸浓度的增加,TiO_(2)纳米棒会由棒状转变为锥状。性能测试发现,相比于纯相的金红石型TiO_(2),TiO_(2)/TiSi_(2)复合材料在可见光区域具备较好的光吸收性能和较高的光催化降解甲基橙效率。 展开更多
关键词 TiO_(2)/TiSi_(2)复合材料 金红石型TiO_(2) 可见光响应 光催化降解
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过渡金属掺杂对二维TiSi_(2)N_(4)的电子结构及光学性质影响
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作者 李雷 王一 +2 位作者 王广 张正丽 丁召 《功能材料》 CAS CSCD 北大核心 2024年第11期11024-11030,共7页
基于密度泛函理论(DFT)的第一性原理研究Co、Fe、Ni替位掺杂2D TiSi_(2)N_(4)后的晶体结构、电学性质以及光学性质。本征2D TiSi_(2)N_(4)的带隙为2.799 eV,为间接带隙半导体,且通过3种金属掺杂后变为直接带隙半导体;自旋向下的能带主... 基于密度泛函理论(DFT)的第一性原理研究Co、Fe、Ni替位掺杂2D TiSi_(2)N_(4)后的晶体结构、电学性质以及光学性质。本征2D TiSi_(2)N_(4)的带隙为2.799 eV,为间接带隙半导体,且通过3种金属掺杂后变为直接带隙半导体;自旋向下的能带主要贡献来自于N-p轨道,Co、Ni掺杂后的2D TiSi_(2)N_(4)在禁带中分别引入2条和4条施主杂质能级,使得禁带宽度变窄,增加载流子浓度,但并不影响2D TiSi_(2)N_(4)的导电性;通过Co、Fe、Ni掺杂后的TiSi_(2)N_(4)在可见光和部分紫外光波段吸收能力得到显著增强,对紫外光的反射能力有所减弱;另外,通过对Fe、Ni掺杂2D TiSi_(2)N_(4)的SLME效率的计算,发现二者均可作为1μm厚度的太阳能电池中吸收层的可选材料。 展开更多
关键词 密度泛函理论 2D TiSi_(2)N_(4) 掺杂 电学性质 光学性质
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Enhanced Thermal Resistance of Boron Phenolic Composites by Addition of TiSi_(2) Particles 被引量:2
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作者 QI Man YANG Wei +2 位作者 LI Zhuangzhuang HUANG Zhixiong WANG Yanbing 《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》 SCIE EI CAS 2021年第6期839-844,共6页
TiSi_(2) reinforced boron phenolic composites(TP)and Vitreous silica fabric reinforced TiSi_(2)/boron phenolic composites(VTP)were prepared by compression molding,and their thermal,mechanical,ablation properties were ... TiSi_(2) reinforced boron phenolic composites(TP)and Vitreous silica fabric reinforced TiSi_(2)/boron phenolic composites(VTP)were prepared by compression molding,and their thermal,mechanical,ablation properties were studied.TG results show that thermal stabilities and residual carbon rate of boron phenolic are improved after introducing TiSi_(2) particles.Compared with VTP-0(containing 0 phr TiSi_(2)),flexural strength of VTP-60(containing 60 phr TiSi_(2))pyrolysis product increases by 29.5%at 1200℃.Raman spectrum shows that TiSi_(2) particles promote the ordering of the glass carbon structure of VTP pyrolysis product.Compared to VTP-0,the linear and mass ablation rates of VTP-60 reduce by 32.1%and 77.5%,respectively.XRD and SEM indicate the formation of an oxide coating layer,TiO_(2)-SiO_(2),integrates the bulk and protects the underlying materials from damage under high temperature oxygen-containing airstream.All these results prove that mechanical properties of pyrolysis product,thermal,and ablation resistance are improved by addition of TiSi_(2) particles. 展开更多
关键词 TiSi_(2) boron phenolic resin thermal stability ablation EUTECTIC
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In Situ Reaction Strengthening and Toughening of B_(4)C/TiSi_(2)Ceramics
12
作者 夏涛 涂晓诗 +2 位作者 张帆 ZHANG Jinyong REN Lin 《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第1期12-19,共8页
B_(4)C-SiC-TiB_(2)ceramics were prepared by in situ reactive hot-pressing sintering with TiSi_(2)as an additive.The reaction pathways of TiSi_(2)and B_(4)C were investigated.The sintering was found to be a multistep p... B_(4)C-SiC-TiB_(2)ceramics were prepared by in situ reactive hot-pressing sintering with TiSi_(2)as an additive.The reaction pathways of TiSi_(2)and B_(4)C were investigated.The sintering was found to be a multistep process.The reaction started at approximately 1000℃,and TiB_(2)was formed first.Part of Si and C started to react at 1300℃,and the unreacted Si melted at 1400℃to form a liquid phase.TiSi_(2)predominantly affected the intermediate sintering process of B_(4)C and increased the sintering rate.Due to the unique reaction process of TiSi_(2)and B_(4)C,a large number of aggregates composed of SiC and TiB_(2)were generated.The results showed that composite ceramics with the optimal flexural strength of 807 MPa,fracture toughness of 3.2 MPa·m1/2,and hardness of 32 GPa,were obtained when the TiSi_(2)content was 10 wt%. 展开更多
关键词 in situ reaction hot pressing sintering TiSi_(2) B_(4)C composite ceramics reaction mechanism
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气雾化制备TiSi_(2)球形合金粉末及其性能研究 被引量:1
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作者 赵少阳 沈垒 +1 位作者 殷京瓯 李增峰 《粉末冶金工业》 北大核心 2024年第6期101-105,共5页
将0级海绵钛颗粒和结晶硅按照Ti-52Si(质量分数,%)的成分进行配比作为原料装入水冷铜坩埚中,经过中频感应加热熔炼-高压气体雾化-冷却等流程制备出球形TiSi_(2)粉末。对粉末的物理性能、表面形貌、物相含量等进行测定和分析表征。结果表... 将0级海绵钛颗粒和结晶硅按照Ti-52Si(质量分数,%)的成分进行配比作为原料装入水冷铜坩埚中,经过中频感应加热熔炼-高压气体雾化-冷却等流程制备出球形TiSi_(2)粉末。对粉末的物理性能、表面形貌、物相含量等进行测定和分析表征。结果表明,本研究制备的TiSi_(2)球形粉末尺寸主要集中在15~150μm之间,粉末尺寸小于150μm的收率大于95%;TiSi_(2)合金粉末和TiSi_(2)凝壳主要以C49相为主,因冷却速率极快,未出现C54相;随着粉末粒径减小,粉末表面凝固组织逐渐细化。 展开更多
关键词 气雾化 真空感应熔炼 TiSi_(2)粉末 显微组织 靶材镀膜
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Structural features of the A_(2)TiSi_(2)O_(8)(A-Ba and Pb)compounds
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作者 Svetlana Weber Alla Lebedinskaya +3 位作者 Daniil Rudsky Yuri Kabirov Anzhela Rudskaya Michael Kupriyanov 《Journal of Advanced Dielectrics》 CAS 2020年第5期43-47,共5页
X-ray diffraction studies of synthesized Ba_(2)TiSi_(2)O_(8) have shown that this compound has a fresnoite structure and is characterized by a polar phase P4bm at room temperature.The synthesis of Pb_(2)TiSi_(2)O_(8) ... X-ray diffraction studies of synthesized Ba_(2)TiSi_(2)O_(8) have shown that this compound has a fresnoite structure and is characterized by a polar phase P4bm at room temperature.The synthesis of Pb_(2)TiSi_(2)O_(8) in the fresnoite phase under the selected synthesis conditions has led to the formation of a perovskite tetragonal phase P4mm corresponding to PbTiO_(3). 展开更多
关键词 Structure FRESNOITE A_(2)TiSi_(2)O_(8)minerals ferroics
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