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TiN/VCN多层膜的力学性能及摩擦磨损性能研究 被引量：4
1
作者 曹峻 许俊华 喻利花 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第2期195-200,共6页
采用多靶磁控溅射技术,制备了TiN、VCN单层膜及调制比为1:1的系列调制周期的TiN/VCN多层膜。利用X射线衍射仪、纳米压痕仪、高温摩擦磨损测试仪和扫描电子显微镜研究了各种薄膜的微结构、力学性能及室温和高温摩擦磨损性能。研究表明:Ti... 采用多靶磁控溅射技术,制备了TiN、VCN单层膜及调制比为1:1的系列调制周期的TiN/VCN多层膜。利用X射线衍射仪、纳米压痕仪、高温摩擦磨损测试仪和扫描电子显微镜研究了各种薄膜的微结构、力学性能及室温和高温摩擦磨损性能。研究表明:TiN/VCN多层膜以δ-NaCl面心立方结构为主;TiN/VCN多层膜的最大硬度值为28.71 GPa,约为按混合法则计算所得理论硬度值的1.23倍,并据此分析了TiN/VCN多层膜的致硬机理;TiN/VCN多层膜在室温下摩擦系数与TiN单层膜摩擦系数相近,但当环境温度为700℃时,摩擦系数约0.4,较TiN单层膜(0.52)低。TiN/VCN多层膜室温和高温下的磨损率相比TiN单层膜减小了约3×10-14m3/(N.m)。从晶体化学和热测量方法角度讨论了TiN/VCN多层膜的Magnéli相V2O5的润滑机制。 展开更多
关键词 tin vcn 磁控溅射 力学性能 摩擦磨损性能 Magnéli 相
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TiCN／VCN多层膜的力学和摩擦磨损性能 被引量：8
2
作者 曹峻 许俊华 喻利花 《粉末冶金材料科学与工程》 EI 北大核心 2013年第1期132-138,共7页
采用多靶磁控溅射技术,制备TiCN、VCN单层膜及一系列调制比为1的不同调制周期的TiCN/VCN多层膜。利用X射线衍射仪、纳米压痕仪、高温摩擦磨损测试仪和扫描电子显微镜,研究各种薄膜的微结构、力学性能及室温和高温摩擦磨损性能。研究表明... 采用多靶磁控溅射技术,制备TiCN、VCN单层膜及一系列调制比为1的不同调制周期的TiCN/VCN多层膜。利用X射线衍射仪、纳米压痕仪、高温摩擦磨损测试仪和扫描电子显微镜,研究各种薄膜的微结构、力学性能及室温和高温摩擦磨损性能。研究表明:不同调制周期的TiCN/VCN多层膜的硬度围绕混合法则计算的硬度值上下波动,没有出现致硬现象。TiCN和VCN单层薄膜室温下的摩擦因数很低,TiCN/VCN多层膜调制周期较小时摩擦因数较高,调制周期大于10 nm时摩擦因数逐渐接近TiCN和VCN单层膜。700℃下,TiCN/VCN多层膜的摩擦因数主要取决于表面生成的TiO2和V2O5的共同作用,与TiCN相比,TiCN/VCN多层膜的高温摩擦因数较小。 展开更多
关键词 TICN vcn 磁控溅射 力学性能 摩擦磨损性能
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