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TAIKO晶圆激光切环研究 被引量:1
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作者 李方华 《电子测试》 2019年第8期24-25,8,共3页
随着科技的进步,近年来对超薄晶圆的需求日益增长,迪思科科技有限公司开发出一种新型的晶圆背面研磨技术——-TAIKO工艺。这项技术在对晶圆进行研磨时,仍保留晶片外围约3mm左右的边缘部分,只对圆内进行研磨薄型化,从而减少晶圆的翘曲,... 随着科技的进步,近年来对超薄晶圆的需求日益增长,迪思科科技有限公司开发出一种新型的晶圆背面研磨技术——-TAIKO工艺。这项技术在对晶圆进行研磨时,仍保留晶片外围约3mm左右的边缘部分,只对圆内进行研磨薄型化,从而减少晶圆的翘曲,大大降低对了对后工序机台的传送要求及破片风险,满足了厚度小于100um的超薄晶加工需求。但是,这项技术同时也引入了新的问题需要处理。边缘3mm左右圆环的存在,使得常规的电性测量机台无法直接测量以及常规的切割机无测切割晶粒。本文讨论一种使用激光切割晶圆边缘圆环的方式,设计特殊的切割盘,便于分离切割下来的TAIKO晶圆边缘圆环,同时,采用正面不贴蓝膜的方式,节省工序,方便后面的继续加工。 展开更多
关键词 超薄晶圆 taiko工艺 切割 激光切环
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TAIKO UST—20型油水分离器的故障与排除
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作者 金文波 《海运科技》 2000年第3期31-33,共3页
关键词 船舶 taiko UST-20N型 油水分离器 故障 处理
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Performance of Taiko drumming given by the Japanese art troupe Flying Birds
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《Voice of Friendship》 2016年第4期46-,共1页
关键词 Performance of taiko drumming given by the Japanese art troupe Flying Birds
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高性能IGBT激光退火设备及其量产应用
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作者 陈勇辉 刘国淦 《电子工业专用设备》 2014年第4期1-7,共7页
激光退火工艺可以有效修复离子注入破坏的晶格结构,获得比传统退火方式更好的离子激活效率和激活深度,且不损伤Taiko硅片的正面器件,从而在FS-IGBT器件的制造过程中得到业界的广泛关注和应用。针对FS-IGBT激光退火工艺的特点,通过对退... 激光退火工艺可以有效修复离子注入破坏的晶格结构,获得比传统退火方式更好的离子激活效率和激活深度,且不损伤Taiko硅片的正面器件,从而在FS-IGBT器件的制造过程中得到业界的广泛关注和应用。针对FS-IGBT激光退火工艺的特点,通过对退火深度、激光波长、光斑尺寸,以及Taiko薄片传输等技术的深入分析和数值仿真,完成了SLA500激光退火设备的研制,并通过现场测试数据验证。测试结果表明,SLA500激光退火设备的各项关键技术指标,如退火深度、激活效率、RS均匀性和重复性等,均能满足FS-IGBT激光退火工艺的量产应用。 展开更多
关键词 激光退火 绝缘栅双极型晶体管 taiko硅片
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从无产者到革命者——平林泰子“满洲”文学中的“阶级意识”流变
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作者 李雁南 《日语学习与研究》 CSSCI 2022年第2期17-24,共8页
平林泰子在1924年19岁时到“满洲”流浪,这一经验成为她的初期作品《抛弃》《在慈善医院》《铺设列车》等的重要素材。在反复叙述“满洲”经验的过程中,平林泰子的“阶级意识”发生了质的飞跃,从倾诉个人经验转变为塑造无产阶级革命者群... 平林泰子在1924年19岁时到“满洲”流浪,这一经验成为她的初期作品《抛弃》《在慈善医院》《铺设列车》等的重要素材。在反复叙述“满洲”经验的过程中,平林泰子的“阶级意识”发生了质的飞跃,从倾诉个人经验转变为塑造无产阶级革命者群像,从对中国苦力的漠视和贬低转变为站在超越国界和民族的立场上呼吁全世界无产阶级联合革命。平林泰子的“满洲”文学是上世纪20到30年代日本无产阶级作家中国体验文学的一部分。正是因为有了他们笔下的中国劳动者形象的存在,才使日本近代文学中的中国形象没有完全被帝国主义意识形态的阴影所笼罩,有了革命的光辉的一面。 展开更多
关键词 平林泰子 “满洲”经验 日本无产阶级文学 阶级意识
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阶级与性别视角下的夫妻群像——平林泰子《妻子展览会》解读
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作者 卢曼珍 张小玲 《中国外语研究》 2019年第1期62-67,138-139,共8页
《妻子展览会》是日本无产阶级女作家平林泰子发表于1931年的短篇,讽刺性地刻画了当时日本社会中四对典型的夫妻群像。本文试从阶级与性别的视角,探讨文本的深层含义。群像之中,既有"沉睡"于资本主义制度下商品化的女性与权... 《妻子展览会》是日本无产阶级女作家平林泰子发表于1931年的短篇,讽刺性地刻画了当时日本社会中四对典型的夫妻群像。本文试从阶级与性别的视角,探讨文本的深层含义。群像之中,既有"沉睡"于资本主义制度下商品化的女性与权威化的男性,又有"觉醒"于社会主义运动中的被启蒙者女性与启蒙者男性,也有游走于二者之间的女性与男性。通过以上群像塑造,作者在肯定无产阶级运动积极一面的同时,也揭露了运动内部组织混乱的隐患与男权重塑的陷阱。由此,作者暗示只通过阶级斗争并不能完全实现女性解放,这正是平林泰子超前的女性解放思想的体现。 展开更多
关键词 平林泰子 《妻子展览会》 阶级 性别
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