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用于Cu互连的Ta/Ti-Al集成薄膜的结构和阻挡性能 被引量：2
1
作者 任国强 邢金柱 +4 位作者 李晓红 郭建新 代秀红 杨保柱 赵庆勋 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第4期462-464,共3页
应用射频磁控溅射法在(001)Si衬底上制备了Cu(120nm)/Ta(5nm)/Ti-Al(5nm)/Si异质结,借助原子力显微镜(AFM)、X射线衍射(XRD)和四探针测试仪(FPP)等方法研究了Ta(5nm)/Ti-Al(5nm)集成薄膜用作Cu和Si之间阻挡层的结构和性能。研究发现,Cu/... 应用射频磁控溅射法在(001)Si衬底上制备了Cu(120nm)/Ta(5nm)/Ti-Al(5nm)/Si异质结,借助原子力显微镜(AFM)、X射线衍射(XRD)和四探针测试仪(FPP)等方法研究了Ta(5nm)/Ti-Al(5nm)集成薄膜用作Cu和Si之间阻挡层的结构和性能。研究发现,Cu/Ta/Ti-Al/Si异质结即使经受850℃高温退火后,样品的XRD图中也没有出现杂峰,表明样品各层之间没有发生明显的化学反应。相对于800℃退火的样品,850℃退火样品的表面均方根粗糙度急剧增大,同时方块电阻也增加了一个数量级,表明Ta(5nm)/Ti-Al(5nm)集成薄膜在850℃时,阻挡性能完全失效。由于Ta和Cu之间存在良好粘附性以及Ti-Al强的化学稳定性,Ta(5nm)/Ti-Al(5nm)集成薄膜在800℃以下具有良好的阻挡性能。 展开更多
关键词 CU互连 阻挡层 ta/ti-al 射频磁控溅射
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Al对Ti_(70)Zr_(20)Ta_(10)合金力学性能的影响 被引量：1
2
作者 徐家文 梁磊 +1 位作者 刘爱莲 高志远 《广州化工》 CAS 2024年第5期88-90,100,共4页
为了研究Al对固溶处理态Ti_(70)Zr_(20)Ta_(10)合金力学性能的影响,本文利用光学显微镜、扫描电镜和万能试验机研究了Ti_(70)Zr_(20)Ta_(10)-xAlx合金的显微组织和室温拉伸性能。结果表明,Al元素固溶到马氏体基体中形成固溶体,几乎不改... 为了研究Al对固溶处理态Ti_(70)Zr_(20)Ta_(10)合金力学性能的影响,本文利用光学显微镜、扫描电镜和万能试验机研究了Ti_(70)Zr_(20)Ta_(10)-xAlx合金的显微组织和室温拉伸性能。结果表明,Al元素固溶到马氏体基体中形成固溶体,几乎不改变固溶态Ti-Zr-Ta合金的晶粒尺寸,Ti-Zr-Ta-Al合金室温下均处于马氏体状态。Al的加入改善了Ti-Zr-Ta合金的力学性能,Ti-Zr-Ta-Al合金室温抗拉强度随Al含量增加而升高,断裂延伸率随Al含量的增加呈先增加后减少的趋势,当Al含量为1.0at%时,Ti-Zr-Ta-Al合金断裂延伸率最大(13.92%)。 展开更多
关键词 Ti-Zr-ta合金 AL 高温形状记忆合金 力学性能
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热处理工艺对Ti-5Ta-5V-8Cr-1Al合金耐沸腾硝酸腐蚀性能的影响
3
作者 吴俊宇 徐建平 +1 位作者 刘后龙 李欢 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第7期1992-1998,共7页
后处理工业所涉及的关键设备如溶解器、蒸发器等长期处于高浓度、高放射性的沸腾硝酸中,保证设备安全可靠运行是首要目标。本工作采用全浸腐蚀和电化学腐蚀实验手段研究了热处理工艺对Ti-5Ta-5V-8Cr-1Al(Ti5581)合金在6 mol/L沸腾硝酸... 后处理工业所涉及的关键设备如溶解器、蒸发器等长期处于高浓度、高放射性的沸腾硝酸中,保证设备安全可靠运行是首要目标。本工作采用全浸腐蚀和电化学腐蚀实验手段研究了热处理工艺对Ti-5Ta-5V-8Cr-1Al(Ti5581)合金在6 mol/L沸腾硝酸溶液中的腐蚀行为的影响。结果表明,仅固溶和460℃时效时Ti5581合金具有较低的腐蚀速率,腐蚀240 h后腐蚀速率为0.022 mm/a。进一步采用金相显微镜(OM)、扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、X射线衍射(XRD)等方法分析了Ti5581合金腐蚀后表面钝化膜的结构和成分,表明腐蚀后表层钝化膜平滑且致密,表层钝化膜为Ti和Ta的混合氧化物。研究发现Ti5581合金表层钝化膜的形成与α相的数量和形态相关:与550℃高温时效相比,460℃低温时效时α相尺寸较小且Ta元素质量分数较高,腐蚀均匀性更好,易于形成致密钝化膜且钝化膜更稳定。 展开更多
关键词 Ti-ta-V-Cr-Al合金 耐硝酸腐蚀 热处理 钝化膜 Α相
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ICP-AES法测定铌铁中钛、钽、铜、铝、磷 被引量：9
4
作者 郑海东 袁萍 《铁合金》 2009年第2期47-48,共2页
研究了用ICP-AES法同时测定铌铁中钛、钽、铜、铝、磷的分析方法。试料用硝酸、氢氟酸分解,硫酸冒烟,以酒石酸溶液浸取并络合铌、钽等元素,试料溶液定容后,导入ICP发射光谱仪等离子体炬焰中进行测定。测得结果表明,该方法简便、快速、灵... 研究了用ICP-AES法同时测定铌铁中钛、钽、铜、铝、磷的分析方法。试料用硝酸、氢氟酸分解,硫酸冒烟,以酒石酸溶液浸取并络合铌、钽等元素,试料溶液定容后,导入ICP发射光谱仪等离子体炬焰中进行测定。测得结果表明,该方法简便、快速、灵敏,相对标准偏差均小于5%,回收率在95%～105%之间。 展开更多
关键词 ICP-AES 铌铁 测定 钛 钽 铜 铝 磷
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不同电介质对制备TiAl合金粉末的影响
5
作者 赖旭平 李天方 +1 位作者 刘瑞 孙红亮 《稀有金属与硬质合金》 CAS CSCD 北大核心 2021年第5期35-40,共6页
以Ti-46.2%Al-8%Ta为实验材料,选用不同的电介质,通过电火花等离子体放电法制备了TiAl基合金粉末。结果表明:电介质为无水乙醇时,所制备粉末的成分是TiC和Al_(2)O_(3),粉末球形度非常低,且氧含量非常高;电介质为液氮时,所制备粉末的成分... 以Ti-46.2%Al-8%Ta为实验材料,选用不同的电介质,通过电火花等离子体放电法制备了TiAl基合金粉末。结果表明:电介质为无水乙醇时,所制备粉末的成分是TiC和Al_(2)O_(3),粉末球形度非常低,且氧含量非常高;电介质为液氮时,所制备粉末的成分是TiN和AlN,粉末中的氮含量非常高;电介质为液氩时,所制备粉末成分是TiAl,粉末质量较高,但粉末产量非常低。在后续的研究中,可以采用液氩为电介质,不断优化工艺参数,在保证粉末质量的同时,进一步提高粉末的产量。 展开更多
关键词 TIAL合金 ti-al-ta 电火花等离子体放电法 电介质
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