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TiW合金阻挡层对Cu/Cu^2+扩散的阻挡能力研究 被引量：1
1
作者 唐昭焕 梁涛 +2 位作者 刘勇 谭开洲 王飞 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2009年第4期567-570,共4页
通过对Cu/Cu2+在TiW及硅中的扩散理论分析,从理论上预测了薄TiW合金阻挡层存在的潜在可靠性问题。对一个发射结结深为0.38μm的PNP管β值的研究表明,80 nm以上厚度的TiW合金层可以在AlCu/TiW/Si系统中作为Cu/Cu2+的扩散阻挡层。
关键词 半导体工艺 TiW 扩散阻挡层 AlCu/TiW/Si系统 PNP晶体管 Cu/Cu2+
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原位自生TiC和(TiW)C增强Fe基复合材料的研究 被引量：2
2
作者 索忠源 邱克强 胡亚伦 《辽宁工学院学报》 2003年第4期37-41,共5页
利用块体原材料原位合成10vol%TiC-Fe和(TiW)C-Fe两种复合材料,采用扫描电镜分析了复合材料的微观结构,利用X射线分析了相组成。结果表明,在TiC-Fe复合材料中,TiC作为唯一的第二相呈现粒状和条状两种形态。分析认为,粒状相为亚共晶相,... 利用块体原材料原位合成10vol%TiC-Fe和(TiW)C-Fe两种复合材料,采用扫描电镜分析了复合材料的微观结构,利用X射线分析了相组成。结果表明,在TiC-Fe复合材料中,TiC作为唯一的第二相呈现粒状和条状两种形态。分析认为,粒状相为亚共晶相,而条状第二相为共晶相。通过用W替代部分Ti,成功地制备了10vol%(TiW)C-Fe复合材料,其中,(TiW)C作为唯一的第二相比较均匀地分布在Fe基体中,其形态大部分呈粒状,条状相较少。在粒状(TiW)C相中,中心富Fe,而边缘W、Ti和C元素的分布是均匀的。与TiC相比,(TiW)C的密度与Fe更为接近,它更适合作为大型铸件的增强相。 展开更多
关键词 TiC-Fe复合材料 X射线 (TiW)C-Fe复合材料 硬度 微观结构 共晶反应
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Ta_2N-TiW-An复合导体研究
3
作者 高能武 秦跃利 +1 位作者 陆吟泉 孔祥栋 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第4期371-373,共3页
Ｔａ２ Ｎ／ＴｉＷ／Ａｕ是目前国际上普遍采用的耐高温电阻／导带复合结构。对电阻温度系数（ＴＣＲ）的分析可确定溅射系统的工作点。总泄漏计算和驻留气体分析（ＲＧＡ）可有效评价溅射气氛，提高ＴｉＷ／Ａｕ的可靠性。通过腐蚀液... Ｔａ２ Ｎ／ＴｉＷ／Ａｕ是目前国际上普遍采用的耐高温电阻／导带复合结构。对电阻温度系数（ＴＣＲ）的分析可确定溅射系统的工作点。总泄漏计算和驻留气体分析（ＲＧＡ）可有效评价溅射气氛，提高ＴｉＷ／Ａｕ的可靠性。通过腐蚀液的比较，确定了合适的各膜层的腐蚀液。 展开更多
关键词 Ta2N/TiW/Au RGA 溅射 腐蚀 复合导体
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ITO/TiW双层薄膜的制备及其与p-Si接触性能的研究
4
作者 吴斯泰 沈鸿烈 +2 位作者 姚函妤 李玉芳 沈小亮 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第10期1187-1192,共6页
利用射频磁控溅射两步法分别在玻璃和p型单晶Si衬底上制备ITO/Ti W双层薄膜。采用紫外-可见分光光度计、四探针测试仪和X射线衍射仪表征ITO/Ti W双层薄膜的光学性能、电学性能和结晶性能,用吉时利2400表和线性传输线模型测试ITO/Ti W双... 利用射频磁控溅射两步法分别在玻璃和p型单晶Si衬底上制备ITO/Ti W双层薄膜。采用紫外-可见分光光度计、四探针测试仪和X射线衍射仪表征ITO/Ti W双层薄膜的光学性能、电学性能和结晶性能,用吉时利2400表和线性传输线模型测试ITO/Ti W双层薄膜与p-Si接触的I-V曲线以及比接触电阻。结果表明Ti W薄膜厚度为8 nm时,ITO/Ti W双层薄膜的光电性能最优,还发现Ti W薄膜的引入有利于ITO薄膜的晶粒长大。ITO薄膜与p-Si之间插入Ti W层可以改善接触性能,ITO/Ti W(8 nm)与p-Si接触的比接触电阻最低为4.1×10-4Ω·cm2。 展开更多
关键词 ITO/TiW双层薄膜 欧姆接触 p型单晶硅 磁控溅射
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金属反射层制备工艺对倒装LED芯片光电性能的影响
5
作者 刘智超 林海峰 郭贵田 《厦门理工学院学报》 2024年第1期23-28,共6页
为了解决倒装GaN基LED芯片中金属反射层的Ag原子迁移问题,提高反射层的反射率和稳定性,采用Ag作为GaN基倒装LED芯片反射层薄膜材料;在Ag层上蒸镀TiW保护层,改变Ag反射镜制备过程中Ag/TiW溅射功率、Ar气体流量等工艺参数,研究其对LED芯... 为了解决倒装GaN基LED芯片中金属反射层的Ag原子迁移问题,提高反射层的反射率和稳定性,采用Ag作为GaN基倒装LED芯片反射层薄膜材料;在Ag层上蒸镀TiW保护层,改变Ag反射镜制备过程中Ag/TiW溅射功率、Ar气体流量等工艺参数,研究其对LED芯片光电性能的影响。实验结果表明,当Ag溅射功率为200 W、TiW溅射功率为3 000 W、环境Ar气流量为150 mL/min时,LED芯片的工作电压和出光功率分别为2.91 V、1 247.03 mW,在400~800 nm波段,金属反射层的反射率平均提高了约0.31%,460 nm处的反射率高达96.70%,且产品的综合良率提升了约1.17%。 展开更多
关键词 倒装LED芯片 光电性能 金属反射层 Ag/TiW溅射功率 Ar气体流量
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生态建筑中建筑构件仿生策略研究
6
作者 郭娅 《建筑与环境》 2016年第4期75-78,共4页
本文从仿生学的角度，分析了生态建筑中的仿生手段，形态的集约化、对环境的应变、表皮的多功能、系统的进化性。进而具体说明了建筑构件在仿生学中的发展，给当今建筑的设计发展带来可很多可操作性，高技术的生态建筑得以实现。从某种... 本文从仿生学的角度，分析了生态建筑中的仿生手段，形态的集约化、对环境的应变、表皮的多功能、系统的进化性。进而具体说明了建筑构件在仿生学中的发展，给当今建筑的设计发展带来可很多可操作性，高技术的生态建筑得以实现。从某种程度上讲仿生建筑不仅给建筑带来了生态效益．还在一定的程度上节约了能源。因此，生态建筑的仿生问题值得我们进一步深入的研究与探讨。 展开更多
关键词 仿生建筑 仿生手段 双层皮玻璃幕墙 TIW墙生物空调
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热带太平洋年际尺度和热带不稳定波引起的叶绿素变率对ENSO调制的互补效应 被引量：5
7
作者 张荣华 田丰 +2 位作者 石其东 王秀君 吴统文 《中国科学：地球科学》 CSCD 北大核心 2024年第2期406-423,共18页
在热带太平洋,观测数据表明海表叶绿素(Chl)表现出年际尺度变率和由热带不稳定波(TIW)引发的中小尺度扰动这两者的共存现象;两者通过海洋生物引发的加热(OBH)反馈对ENSO造成的联合影响尚未得到充分的表征和理解.本文利用一个混合型大气... 在热带太平洋,观测数据表明海表叶绿素(Chl)表现出年际尺度变率和由热带不稳定波(TIW)引发的中小尺度扰动这两者的共存现象;两者通过海洋生物引发的加热(OBH)反馈对ENSO造成的联合影响尚未得到充分的表征和理解.本文利用一个混合型大气-海洋物理-生物地球化学耦合模式(HCM AOPB)来量化年际和TIW尺度上Chl扰动对ENSO的单独以及联合调制影响.HCM敏感性试验结果证实了两者对ENSO振幅存在相反的作用,其中大尺度Chl年际变率造成的海洋生物-气候反馈效应通过其对上层海洋层结和垂向混合的影响来减弱ENSO,而TIW尺度的Chl扰动则倾向于增强ENSO.气候模式中ENSO的模拟敏感地依赖于对不同尺度上Chl效应的表征方式,因此有必要在气候模式模拟中充分地考虑不同尺度上Chl引发的气候效应.本文揭示了热带太平洋Chl效应是气候模式中ENSO模拟的一个偏差源,可为不同尺度上热带太平洋气候系统与海洋生态系统间相互作用提供新的见解.这些结果也揭示了ENSO调制的复杂性:即热带太平洋海洋生物地球化学过程相关的年际和TIW尺度上的Chl扰动与物理过程间的相互作用可对ENSO产生协同效应. 展开更多
关键词 海洋叶绿素 海洋生物-气候反馈 年际变率 热带不稳定波(TIW) 互补效应 混合型海气耦合模式
原文传递
(TiW)C-Ni硬质合金粉体合成的研究
8
作者 尹超 赵秀娟 +2 位作者 陈春焕 李国军 任瑞铭 《硬质合金》 CAS 北大核心 2009年第2期92-97,共6页
以普通微米级的TiO2、W、Ni和活性碳为原料,采用机械激活合成法制备了(TiW)C-Ni硬质合金粉体。用XRD对粉体进行物相分析,用SEM分析激活及合成粉末的颗粒形貌,用气体容量法测定碳含量,用脉冲色谱法测试氧含量。结果表明:普通微米级的原... 以普通微米级的TiO2、W、Ni和活性碳为原料,采用机械激活合成法制备了(TiW)C-Ni硬质合金粉体。用XRD对粉体进行物相分析,用SEM分析激活及合成粉末的颗粒形貌,用气体容量法测定碳含量,用脉冲色谱法测试氧含量。结果表明:普通微米级的原料经过6h机械激活后,在1200℃下真空合成就能得到(TiW)C-Ni硬质合金粉体,但游离碳含量较高,最佳合成温度为1250℃;Ni在激活时加入不影响(TiW)C的合成;在同一温度下,游离碳含量随活性碳的增加而增加,化合碳含量随活性碳的增加先增加后减少。 展开更多
关键词 (TiW)C-Ni硬质合金 粉末 机械激活合成法 碳含量 氧含量
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