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TEOS用量对SiO_(2)纳米颗粒粒径及其减反射膜性能的影响
1
作者 侯佳辉 涂洁磊 +4 位作者 孔令福 黄胜瑶 杜习博 雷凌茜 崔建成 《云南师范大学学报(自然科学版)》 2025年第5期1-4,共4页
通过改变正硅酸乙酯(TEOS)用量,采用溶胶—凝胶法获得了含不同粒径SiO_(2)纳米颗粒的胶体,利用提拉镀膜机制备减反射膜并考察其表面形貌、透过率和湿热环境可靠性.实验结果表明:SiO_(2)颗粒大小随着TEOS用量的增加先增大后减小,当TEOS... 通过改变正硅酸乙酯(TEOS)用量,采用溶胶—凝胶法获得了含不同粒径SiO_(2)纳米颗粒的胶体,利用提拉镀膜机制备减反射膜并考察其表面形貌、透过率和湿热环境可靠性.实验结果表明:SiO_(2)颗粒大小随着TEOS用量的增加先增大后减小,当TEOS用量为17 mL时的粒径最大(39.42 nm);制得的薄膜表面均有微裂纹,且随TEOS用量的增加裂纹扩大;在700~1100 nm波长范围内,薄膜的透过率随TEOS用量的增加呈现“先升后降”的趋势;湿热环境使得薄膜的透过率均有一定程度的降低,当TEOS用量为14 mL时降幅最小. 展开更多
关键词 溶胶—凝胶法 正硅酸乙酯(teos) SiO_(2)纳米颗粒 减反射膜
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溶胶—凝胶法制备TEOS-DOS基SiO_2疏水减反射膜:溶胶微结构对膜性能的影响 被引量：5
2
作者 徐耀 范文浩 +2 位作者 章斌 吴东 孙予罕 《材料科学与工程》 CSCD 北大核心 2002年第3期344-348,共5页
以乙醇为溶剂 ,正硅酸乙酯 (TEOS ,tetraethoxysilane)在氢氧化铵催化下水解缩聚为纳米尺度的无定型SiO2 溶胶颗粒 ,二甲基二乙氧基硅烷 (DDS ,dimethyldiethoxysilane)在盐酸催化下水解缩聚为线状聚二甲基硅氧链。用混合溶胶在玻璃基... 以乙醇为溶剂 ,正硅酸乙酯 (TEOS ,tetraethoxysilane)在氢氧化铵催化下水解缩聚为纳米尺度的无定型SiO2 溶胶颗粒 ,二甲基二乙氧基硅烷 (DDS ,dimethyldiethoxysilane)在盐酸催化下水解缩聚为线状聚二甲基硅氧链。用混合溶胶在玻璃基片上旋转镀膜 ,然后于 80℃空气气氛下热处理。实验证明通过DDS将疏水的双甲基链引入镀膜胶体 ,使膜兼具疏水性和减反射性能。利用激光散射粒度分析仪和电子显微镜研究了溶胶颗粒的粒度变化和聚集情况等溶胶微结构 ,用物理吸附仪研究了膜的孔结构 ,考察了热处理前后膜的疏水性和透射谱 。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 制备 teos-DOS基SiO2疏水减反射膜 溶胶 微结构 膜性能 二甲基二乙氧基硅烷 正硅酸乙酯 二氧化硅 teos DDS
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以TEOS为硅源的聚硅氯化铝絮凝剂的制备及其物化特征 被引量：11
3
作者 赵华章 王红宇 +2 位作者 左华 栾兆坤 裴元生 《环境科学》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第2期67-72,共6页
采用TEOS为硅源合成制备了新型的聚硅氯化铝PASC(A) ,并与传统方法合成的聚硅氯化铝PASC(B)做了比较 ,探讨了产品的 pH值和Zeta电位随B值和Si/Al摩尔比的变化关系 ,并利用酸解反应和2 7AlNMR研究了硅引入对PASC分子结构和铝形态的影响 ... 采用TEOS为硅源合成制备了新型的聚硅氯化铝PASC(A) ,并与传统方法合成的聚硅氯化铝PASC(B)做了比较 ,探讨了产品的 pH值和Zeta电位随B值和Si/Al摩尔比的变化关系 ,并利用酸解反应和2 7AlNMR研究了硅引入对PASC分子结构和铝形态的影响 .结果表明 ,由于采用了特殊的合成方法 ,与PASC(B)相比 ,PASC(A)具有更高的聚合度 ,分子量分布并且分子中铝硅分布均匀 ,不易被酸解聚 ,而且有利于Al13 形态稳定性 . 展开更多
关键词 聚硅氯化铝(PASC) 正硅酸乙酯(teos) 形态表征 Al13形态稳定性
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以TEOS为硅源的聚硅氯化铝中铝及硅形态分布 被引量：10
4
作者 赵华章 彭凤仙 +2 位作者 栾兆坤 王红宇 陈福泰 《环境科学学报》 CAS CSCD 北大核心 2004年第2期215-219,共5页
以正硅酸乙酯 (TEOS)为硅源 ,合成了新型的聚硅氯化铝 (PASC) ,利用Al Ferron逐时络合比色法和Si Mo逐时络合比色法分别研究了其Al形态及Si形态分布 ,并与常规方法 (以硅酸钠为硅源 )合成的聚硅氯化铝做了比较 .实验结果表明 ,新方法合... 以正硅酸乙酯 (TEOS)为硅源 ,合成了新型的聚硅氯化铝 (PASC) ,利用Al Ferron逐时络合比色法和Si Mo逐时络合比色法分别研究了其Al形态及Si形态分布 ,并与常规方法 (以硅酸钠为硅源 )合成的聚硅氯化铝做了比较 .实验结果表明 ,新方法合成的PASC具有铝硅分布均匀 ,分子量较大 ,产品重现性好的优点 .两种方法合成的PASC具有相同的Al形态分布规律 ,即高分子量Al形态含量随B值 (碱化度 )和Si Al摩尔比的增大而增加 ,Al形态随Si Al摩尔比的变化程度随B值的增大而增大 .另外通过新方法发现 ,Si形态分布也具有规律性并和Al形态具有相似的分布特征 ,但Si形态随Si Al摩尔比的变化程度随B值的增大而减小 . 展开更多
关键词 正硅酸乙酯 teos 聚硅氯化铝 PASC 碱化度 Si/Ai摩尔比 逐时络合比色法 絮凝剂 水处理
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TEOS/异丁基三乙氧基硅烷复合乳液对带损伤水泥基材料的防护 被引量：6
5
作者 李绍纯 耿永娟 +2 位作者 陈旭 金祖权 高嵩 《硅酸盐通报》 CAS 北大核心 2019年第7期2004-2009,共6页
以异丁基三乙氧基硅烷和正硅酸四乙酯(TEOS)为主要原料,制备了TEOS/异丁基三乙氧基硅烷复合乳液(简称复合乳液),并对比研究了复合乳液、异丁基三乙氧基硅烷乳液、TEOS三种材料对水泥基材料在出现磨损(5 mm范围内)和裂缝(0.1~0.5 mm范围... 以异丁基三乙氧基硅烷和正硅酸四乙酯(TEOS)为主要原料,制备了TEOS/异丁基三乙氧基硅烷复合乳液(简称复合乳液),并对比研究了复合乳液、异丁基三乙氧基硅烷乳液、TEOS三种材料对水泥基材料在出现磨损(5 mm范围内)和裂缝(0.1~0.5 mm范围内)损伤后防水效果的影响。结果表明,复合乳液、异丁基三乙氧基硅烷乳液对出现损伤后的水泥基材料具有很好的防水效果,TEOS的效果较差。当再生混凝土磨损深度达到5 mm时,涂覆复合乳液的试块比未磨损试块的吸水系数分别降低了45.8%(C40)和54.6%(C50)。涂覆复合乳液后,即使水泥基材料出现0.2 mm和0.5 mm裂缝,试块的毛细吸水系数也比未涂覆时分别降低了74.8%和70.1%。 展开更多
关键词 水泥基材料 teos/异丁基三乙氧基硅烷复合乳液 毛细吸水 磨损 裂缝
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TEOS对固相法制备Nd:YAG透明陶瓷的影响 被引量：4
6
作者 刘天源 曹林洪 马飞 《中国陶瓷》 CAS CSCD 北大核心 2013年第6期26-29,共4页
以Al2O3、Y2O3、Nd2O3为原料,TEOS为烧结助剂,采用固相法球磨20 h混合均匀。所得粉料经1700℃烧结5 h,成功获得具有一定光学透过率的1at%Nd:YAG陶瓷。本文通过改变TEOS含量的掺入,主要研究了TEOS对Nd:YAG陶瓷孔隙率、相对密度、晶粒大... 以Al2O3、Y2O3、Nd2O3为原料,TEOS为烧结助剂,采用固相法球磨20 h混合均匀。所得粉料经1700℃烧结5 h,成功获得具有一定光学透过率的1at%Nd:YAG陶瓷。本文通过改变TEOS含量的掺入,主要研究了TEOS对Nd:YAG陶瓷孔隙率、相对密度、晶粒大小的影响。研究表明:TEOS在烧结过程中容易形成液相,为Nd:YAG陶瓷的烧结提供液相烧结环境。随着TEOS含量的增加,烧结体的气孔越来越少,相对密度明显增大。但是,当TEOS的含量超过一定量时,容易在晶界处析出第二相,严重影响陶瓷的性能。 展开更多
关键词 teos 固相法 Nd YAG 透明陶瓷
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PVA-TEOS/PAN复合膜渗透蒸发分离己内酰胺/水溶液 被引量：2
7
作者 张垒 罗运柏 +1 位作者 薛改凤 于萍 《高校化学工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第3期405-410,共6页
制备了以聚乙烯醇(PVA)与正硅酸乙酯(TEOS)交联膜为活性层,以超滤平板膜PAN为底膜的PVA-TEOS/PAN复合膜,并用于己内酰胺脱水。FT-IR和XRD谱图证实复合膜活性层中PVA与TEOS发生交联反应,形成了Si-O-C共价键,膜结晶度降低。用SEM和TGA分... 制备了以聚乙烯醇(PVA)与正硅酸乙酯(TEOS)交联膜为活性层,以超滤平板膜PAN为底膜的PVA-TEOS/PAN复合膜,并用于己内酰胺脱水。FT-IR和XRD谱图证实复合膜活性层中PVA与TEOS发生交联反应,形成了Si-O-C共价键,膜结晶度降低。用SEM和TGA分别对膜的形貌和热稳定性进行表征。考察了交联剂(TEOS)质量分数、料液浓度及进料温度对PVA-TEOS/PAN复合膜渗透蒸发分离性能的影响。结果表明,TEOS的加入降低了复合膜在己内酰胺水溶液中的渗透通量,提高了膜的选择性,且TEOS质量分数为1.9%时,PVA-TEOS/PAN复合膜具有最佳的分离性能;50℃下,分离质量分数为40%的己内酰胺水溶液时,其渗透通量和分离因子分别为444.2 g·m-2·h-1和263.9。PSI数据说明,该复合膜具有优越的渗透蒸发分离性能和相对较长期的热稳定性。 展开更多
关键词 PVA teos 复合膜 渗透蒸发 己内酰胺/水溶液
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以TEOS为硅源的聚硅氯化铝的絮凝性能及残留铝研究 被引量：3
8
作者 赵华章 朱志慧 +2 位作者 李久义 裴元生 栾兆坤 《给水排水》 CSCD 北大核心 2005年第4期46-48,共3页
用正硅酸乙酯(TEOS)与AlCl3溶液合成硅铝分布均匀的新型聚硅氯化铝[PASC(A)]混凝剂,并对其进行除浊性能试验。研究了产品B值、Si/Al摩尔比和絮凝体系pH对除浊性能及其在水中残留铝的影响,还与传统方法合成的PASC(B)做了比较。结果表明,P... 用正硅酸乙酯(TEOS)与AlCl3溶液合成硅铝分布均匀的新型聚硅氯化铝[PASC(A)]混凝剂,并对其进行除浊性能试验。研究了产品B值、Si/Al摩尔比和絮凝体系pH对除浊性能及其在水中残留铝的影响,还与传统方法合成的PASC(B)做了比较。结果表明,PASC(A)具有优良的除浊效果和较低的残留铝含量,且受pH影响较小;具有较低的荷正电性和较宽的最佳投药范围;PASC(A)B 值和Si/Al摩尔比的增大,有助于提高除浊效果和降低残留铝含量。 展开更多
关键词 聚硅氯化铝 残留铝 絮凝性能 teos AlCl3溶液 硅源 除浊效果 正硅酸乙酯 硅铝分布 性能试验 除浊性能 传统方法 摩尔比 铝含量 混凝剂 絮凝体 正电性 低残留 合成 B值 pH Si 投药 最佳
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TEOS水解对ZSM-5分子筛性质及MTP催化性能的影响 被引量：2
9
作者 范素兵 车艳盈 +3 位作者 吕俊敏 房俊卓 蒙艳丽 赵天生 《天然气化工—C1化学与化工》 CSCD 北大核心 2017年第5期10-17,61,共9页
在体系中加入不同量的乙醇及改变水解时间都会影响正硅酸乙酯(TEOS)的水解,为制备介孔ZSM-5分子筛提供了新思路。在与水解条件相近的条件下制备了一系列ZSM-5分子筛样品,应用XRD、SEM、低温物理吸附、NH3-TPD及FTIR等表征手段详细考察... 在体系中加入不同量的乙醇及改变水解时间都会影响正硅酸乙酯(TEOS)的水解,为制备介孔ZSM-5分子筛提供了新思路。在与水解条件相近的条件下制备了一系列ZSM-5分子筛样品,应用XRD、SEM、低温物理吸附、NH3-TPD及FTIR等表征手段详细考察了水解条件对合成样品的晶型、晶貌、孔结构及酸性等性质的影响,证实了通过控制水解条件,经过部分水解、缩聚、晶化及焙烧后,骨架上的乙氧基基团脱离晶体从而在合成的ZSM-5样品中制造了介孔,同时酸性也受到了影响。对制得的样品在微型固定床反应器上进行了甲醇制丙烯(MTP)反应的性能评价,结果表明,具有适当低密度表面B酸及较高的介孔孔容的样品给出较高的丙烯及低碳烯烃收率,低碳烯烃最高初始收率由常规方法合成ZSM-5的40.5%提高到66.7%,其中丙烯收率由15.2%提高到32.7%;同时甲烷和低碳烷烃的收率明显降低。 展开更多
关键词 乙醇 正硅酸乙酯(teos)水解 ZSM-5分子筛 介孔 甲醇制丙烯(MTP)
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二甲基二乙氧基硅烷对TEOS凝胶化过程的影响 被引量：1
10
作者 王芳 刘剑洪 +3 位作者 杨辉 罗仲宽 吕维忠 李翠华 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第S2期446-450,共5页
以TEOS溶胶凝胶过程的动态激光光散射研究为基础,在过程的不同阶段加入二官能团有机硅单体DDS。用SEM分析产物的不同形貌。结果表明,DDS的加入对TEOS凝胶化过程产生了较大的影响,所得相分离产物随着DDS加入时间的不同呈现出一定的规律... 以TEOS溶胶凝胶过程的动态激光光散射研究为基础,在过程的不同阶段加入二官能团有机硅单体DDS。用SEM分析产物的不同形貌。结果表明,DDS的加入对TEOS凝胶化过程产生了较大的影响,所得相分离产物随着DDS加入时间的不同呈现出一定的规律。这种规律的出现与动态激光光散射的研究结果达到了统一,从宏观上进一步体现了TEOS溶胶凝胶过程的特征,对在活性二氧化硅表面键接复合其它单体的研究必将起着重要的指导作用。 展开更多
关键词 二甲基二乙氧基硅烷(DDS) 正硅酸乙酯(teos) 凝胶化过程
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球形粒子在TEOS-DDS溶胶-凝胶过程中的形成 被引量：1
11
作者 王芳 刘剑洪 +1 位作者 罗仲宽 陈敬中 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第A02期308-311,共4页
在酸催化正硅酸乙酯(TEOS)溶胶-凝胶过程中,当水量充足时,向体系中加入二甲基二乙氧基硅烷(DDS),可得到一种疏水性球形微粒。利用扫描电镜(SEM)、热重分析(TG)、红外光谱分析(IR)等手段对产物进行了分析测试,并对粒子形成的机理进行了... 在酸催化正硅酸乙酯(TEOS)溶胶-凝胶过程中,当水量充足时,向体系中加入二甲基二乙氧基硅烷(DDS),可得到一种疏水性球形微粒。利用扫描电镜(SEM)、热重分析(TG)、红外光谱分析(IR)等手段对产物进行了分析测试,并对粒子形成的机理进行了探讨。结果表明,此粒子的形成是在TEOS完全水解的情况下,通过表面的活性硅羟基与DDS水解中间产物的硅羟基之间相互键合形成的。该粒子表面光滑,热稳定性好,具有良好的应用前景。 展开更多
关键词 正硅酸乙酯(teos) 溶胶-凝胶 二甲基二乙氧基硅烷(DDS) 球形粒子
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以酸解TEOS为硅源合成可控孔径和粒径NaP分子筛 被引量：1
12
作者 陈彦广 杨秀琪 +5 位作者 孙杰 张亚男 韩洪晶 王皓 王海英 韩彤 《硅酸盐通报》 CAS 北大核心 2020年第3期995-1001,共7页
利用盐酸预处理TEOS得到的硅凝胶为硅源,铝酸钠为铝源,通过水热合成法制备了一种晶粒尺寸和孔径大小可控的NaP分子筛。利用不同时间酸解TEOS得到的硅凝胶合成NaP分子筛,但合成的样品杂晶较多且形貌不规整;采用正交试验,通过调节晶化时... 利用盐酸预处理TEOS得到的硅凝胶为硅源,铝酸钠为铝源,通过水热合成法制备了一种晶粒尺寸和孔径大小可控的NaP分子筛。利用不同时间酸解TEOS得到的硅凝胶合成NaP分子筛,但合成的样品杂晶较多且形貌不规整;采用正交试验,通过调节晶化时间、晶化温度、溶液pH值和水硅比,以达到样品提纯、形貌规整的目的。对样品进行SEM、XRD、N2物理吸附等表征,分析样品的形貌、结晶度和孔径分布等。并对样品进行铜离子吸附性能测试,得到NaP分子筛对Cu2+的有效去除率为98.9%。利用预先酸解TEOS得到的硅凝胶合成NaP分子筛的方法,为工业污水净化提供一定的理论依据及指导。 展开更多
关键词 酸水解teos NaP分子筛 Cu^2+吸附
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基于TEOS原位交联加固对土遗址水分运移行为影响研究 被引量：2
13
作者 汪娟丽 李玉虎 胡道道 《水利与建筑工程学报》 2017年第2期26-31,42,共7页
为了研究TEOS原位交联加固对土遗址水分运移行为的影响,采用低场核磁共振技术对TEOS加固重塑土样与未加固重塑土样中水分运移行为与孔隙结构变化规律进行系统研究。通过分析横向弛豫时间T2和孔隙谱峰面积发现:在水分运移过程中,重塑土... 为了研究TEOS原位交联加固对土遗址水分运移行为的影响,采用低场核磁共振技术对TEOS加固重塑土样与未加固重塑土样中水分运移行为与孔隙结构变化规律进行系统研究。通过分析横向弛豫时间T2和孔隙谱峰面积发现:在水分运移过程中,重塑土样内部的水分以束缚水和自由水两种形态存在。吸水过程中,弛豫时间在0.01 ms^1.00 ms区间内的小孔先吸束缚水,而后10 ms^100 ms区间内大孔吸自由水;脱水时先脱大孔中的自由水后脱小孔中的束缚水。随着水分运移循环次数的增加,未加固重塑土样内部孔隙分布发生明显变化,大孔比例减小,小孔比例增大;而加固重塑土样内部孔隙结构保持稳定。这表明TEOS对土遗址土壤团粒起固定化作用,避免了土壤团粒因受水分溶胀、干缩作用而导致自身孔隙结构发生重组。 展开更多
关键词 teos 加固材料 水分运移 孔隙结构 土遗址 低场核磁共振
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基于TEOS原位交联加固对土遗址干湿耐久性能研究 被引量：1
14
作者 汪娟丽 李玉虎 《广州化工》 CAS 2017年第7期78-81,共4页
为了研究TEOS原位交联加固对土遗址干湿循环耐久性能的影响,利用SEM、LPSA、MIP等分析方法对重塑土样在经历干湿循环后的微观形貌、粒径、孔径、力学性能等进行了研究。实验结果表明,随着干湿循环次数的增大,未加固重塑土样微观结构受... 为了研究TEOS原位交联加固对土遗址干湿循环耐久性能的影响,利用SEM、LPSA、MIP等分析方法对重塑土样在经历干湿循环后的微观形貌、粒径、孔径、力学性能等进行了研究。实验结果表明,随着干湿循环次数的增大,未加固重塑土样微观结构受到破坏,力学性能降低,耐久性变差;而TEOS原位交联加固土样仍能保持土壤团粒原有的孔结构及力学性能,这一规律对预防土遗址中以水为载体的病害防治有重要的指导意义。 展开更多
关键词 teos 干湿循环 土遗址 耐久性
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TEOS交联EVAL膜的制备及其油水分离性能
15
作者 白云翔 吴国梁 +3 位作者 梁乐楠 张春芳 顾瑾 孙余凭 《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 2014年第6期59-61,95,共4页
用四乙氧基硅烷(TEOS)对聚(乙烯-乙烯醇)(EVAL)进行交联,通过浸没沉淀法制备了交联EVAL膜,研究了不同TEOS添加量对膜的热性能、断面形貌、机械强度及油水分离性能的影响。结果表明:随着TEOS添加量的增加,EVAL膜的玻璃化转变温度上升,熔... 用四乙氧基硅烷(TEOS)对聚(乙烯-乙烯醇)(EVAL)进行交联,通过浸没沉淀法制备了交联EVAL膜,研究了不同TEOS添加量对膜的热性能、断面形貌、机械强度及油水分离性能的影响。结果表明:随着TEOS添加量的增加,EVAL膜的玻璃化转变温度上升,熔点和结晶度下降。膜内的交联结构使膜的机械强度得到明显改善,当TEOS添加量为0.87%时,交联EVAL膜的拉伸强度和断裂伸长率分别为纯EVAL膜的4.4倍和3.1倍。随着TEOS添加量的增加,膜的水通量先减小后增加,而截留率则呈相反的变化趋势;提高油相浓度,交联EVAL膜的截留率可达99.15%,表明该膜适用于较高浓度下的油水分离过程。 展开更多
关键词 teos EVAL 交联膜 油水分离
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醇溶剂和酸催化对TEOS/KH560溶胶凝胶的影响
16
作者 魏铭 胡巧玲 田祚强 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2014年第4期28-31,6,共4页
过去,对硅溶胶制备的研究仅限于对单溶剂的定性探讨。应用溶胶凝胶法制备了稳定的正硅酸四乙酯(TEOS)/γ-(2,3-环氧丙氧)丙基三甲氧基硅烷(KH560)的杂化硅溶胶。采用在线电导率测试、红外跟踪技术及相关性能测试方法研究了异丙醇、乙醇... 过去,对硅溶胶制备的研究仅限于对单溶剂的定性探讨。应用溶胶凝胶法制备了稳定的正硅酸四乙酯(TEOS)/γ-(2,3-环氧丙氧)丙基三甲氧基硅烷(KH560)的杂化硅溶胶。采用在线电导率测试、红外跟踪技术及相关性能测试方法研究了异丙醇、乙醇、甲醇溶剂,盐酸、甲酸、乙酸催化剂对TEOS/KH560水解过程及杂化硅溶胶性能的影响。结果表明,不同溶剂、催化剂对杂化硅溶胶的性能有很大的影响:醇水混合溶剂比单独醇、水溶剂对原料的水解程度更好;随着醇碳链长度的增加,杂化硅溶胶的黏度降低,稳定性及产率提高;以盐酸为催化剂,杂化硅溶胶的存储时间比以甲酸、乙酸催化的短;选择异丙醇∶硅醇摩尔比为1∶13,以甲酸作催化剂,pH值为3.5左右时,杂化硅溶胶的性能最佳。 展开更多
关键词 杂化硅溶胶 teos KH560 溶胶凝胶 醇溶剂 酸催化 电导率
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CMP中TEOS去除速率的一致性 被引量：6
17
作者 张凯 刘玉岭 +3 位作者 王辰伟 牛新环 江自超 韩丽楠 《微纳电子技术》 北大核心 2017年第9期639-644,共6页
针对300 mm正硅酸乙酯(TEOS)镀膜片在化学机械平坦化(CMP)过程中中心去除速率快而边缘去除速率慢的问题,研究了抛光头摆动位置、抛光头不同区域压力和非离子型表面活性剂对TEOS去除速率一致性的影响。实验结果显示,抛光头距抛光盘中心越... 针对300 mm正硅酸乙酯(TEOS)镀膜片在化学机械平坦化(CMP)过程中中心去除速率快而边缘去除速率慢的问题,研究了抛光头摆动位置、抛光头不同区域压力和非离子型表面活性剂对TEOS去除速率一致性的影响。实验结果显示,抛光头距抛光盘中心越远,中心去除速率越慢,去除速率一致性越好;增加抛光头边缘压力,加快了边缘去除速率,提高了去除速率一致性;增加非离子表面活性剂添加量,提高了温度分布均匀性,进而改善去除速率一致性。与初始工艺对比,在抛光头摆动位置距抛光盘中心7.2~8.2英寸(1英寸=2.54 cm)、抛光头边缘压力增加20%、添加非离子表面活性剂体积分数1.5%条件下,片内非均匀性(WIWNU)降低了60.9%。 展开更多
关键词 正硅酸乙酯(teos) 化学机械平坦化(CMP) 非离子型表面活性剂 去除速率一致性 片内非均匀性(WIWNU)
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MTES-TEOS先驱液水解-缩聚机理及其凝胶玻璃性能研究 被引量：16
18
作者 杨雨 钱国栋 王民权 《材料科学与工程》 CSCD 2000年第3期52-56,共5页
针对现有复合固态染料激光介质光学加工性能差和残余溶剂小分子引起严重非辐射跃迁而降低有机光学活性物质量子产率的缺陷 ,本文应用甲基三乙氧基硅烷 CH3 Si(OC2 H5 ) 3(MTES)作为有机改性剂 ,研究了甲基改性 Si O2 凝胶玻璃基质及染... 针对现有复合固态染料激光介质光学加工性能差和残余溶剂小分子引起严重非辐射跃迁而降低有机光学活性物质量子产率的缺陷 ,本文应用甲基三乙氧基硅烷 CH3 Si(OC2 H5 ) 3(MTES)作为有机改性剂 ,研究了甲基改性 Si O2 凝胶玻璃基质及染料掺杂复合激光介质的制备工艺以及对有机光学活性物质的热学和荧光性能的影响。结果表明 ,由于甲基的影响 ,缩聚反应速度成为以纯 MTES为先驱物制备光学均匀复合固态染料激光介质的关键控制因素 ,甲基改性复合固态染料激光介质可进行较高温度热处理 ,经适当温度热处理后 ,染料的荧光强度有较大提高。 展开更多
关键词 teos MTES 水解一缩解 有机无机复合激光介质
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TEOS改性硅树脂/石英纤维复合材料的性能研究 被引量：1
19
作者 赵凯丽 涂文珺 闵春英 《广州化工》 CAS 2015年第9期58-60,共3页
采用模压法制备了正硅酸乙酯(TEOS)改性甲基硅树脂复合材料。对高温处理过试样进行了拉伸强度、弯曲强度的力学性能测试。结果表明,高温条件下TEOS改性甲基硅树脂复合材料的力学性能相对于纯甲基硅树脂复合材料有了很大提高。借助扫描... 采用模压法制备了正硅酸乙酯(TEOS)改性甲基硅树脂复合材料。对高温处理过试样进行了拉伸强度、弯曲强度的力学性能测试。结果表明,高温条件下TEOS改性甲基硅树脂复合材料的力学性能相对于纯甲基硅树脂复合材料有了很大提高。借助扫描电子显微镜(SEM)观察了TEOS改性甲基硅树脂复合材料高低温弯曲断口形貌,通过单丝拔出实验研究了TEOS的引入对于复合材料界面性能的影响。 展开更多
关键词 teos改性硅树脂 力学性能 复合材料
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TEOS-GPTMS-PDMS复合材料的制备及在混凝土保护上的应用(英文)
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作者 仟志威 丁新更 +1 位作者 董泽 杨辉 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第S3期67-70,共4页
由正硅酸乙酯、γ-缩水甘油醚氧丙基三甲氧基硅烷作为前躯体,端羟基硅油作为改性剂,通过溶胶-凝胶技术制备的一种混凝土耐腐蚀涂层,二月硅酸二丁基锡作为Si-O-Si结构形成的催化剂。红外分析结果说明正硅酸乙酯和端羟基硅油有效地通过化... 由正硅酸乙酯、γ-缩水甘油醚氧丙基三甲氧基硅烷作为前躯体,端羟基硅油作为改性剂,通过溶胶-凝胶技术制备的一种混凝土耐腐蚀涂层,二月硅酸二丁基锡作为Si-O-Si结构形成的催化剂。红外分析结果说明正硅酸乙酯和端羟基硅油有效地通过化学键形成一种有机无机复合材料;涂膜后混凝土表面接触角由原来的40°增加到90°~110°,随着端羟基硅油的量增加,疏水性增强;5%NaCl作为盐雾试验源,盐雾试验结果显示复合溶胶有8~14 mm的降低氯离子渗透能力,结果说明复合溶胶增强了混凝的耐腐蚀能力。 展开更多
关键词 teos PDMS DBTL 防腐蚀
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