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势垒型InAs/InAsSbⅡ类超晶格红外探测器研究进展(特邀) 被引量:1
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作者 张春芳 柳渊 +9 位作者 巩明亮 刘炳锋 龚蕊芯 刘家伯 安和平 张东亮 郑显通 鹿利单 冯玉林 祝连庆 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2022年第12期31-46,共16页
红外探测技术在卫星侦察、军事制导、天文观测、医疗检测、现代通信等重要领域发挥着关键作用。Ⅱ类超晶格(T2SLs)红外探测器作为继碲镉汞探测器之后的新一代红外探测材料,在稳定性、可制造性和成本等方面具有独特优势。势垒型InAs/InAs... 红外探测技术在卫星侦察、军事制导、天文观测、医疗检测、现代通信等重要领域发挥着关键作用。Ⅱ类超晶格(T2SLs)红外探测器作为继碲镉汞探测器之后的新一代红外探测材料,在稳定性、可制造性和成本等方面具有独特优势。势垒型InAs/InAsSb T2SLs红外探测器是最具潜力的T2SLs红外探测器之一,近年来其关键性能得到了稳步提高,但仍受吸收系数低、异质外延生长困难和暗电流大等因素的制约。文中综述了Ⅲ-Ⅴ族T2SLs的发展历程,分析了势垒型InAs/InAsSb T2SLs红外探测器的不同势垒结构、关键性能和发展趋势,指出了势垒型InAs/InAsSb T2SLs红外探测器需要解决的关键问题和未来发展方向。 展开更多
关键词 红外探测器 t2sls InAs/InAsSb 势垒结构
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Ⅱ类超晶格红外探测器技术国内外进展 被引量:6
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作者 尚林涛 王静 +4 位作者 邢伟荣 刘铭 申晨 周朋 赵建忠 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2021年第6期683-694,共12页
简单归纳整理了德国、美国(CQD、JPL、QmagiQ、NRL、Teledyne和Raytheon)、瑞典(IRnova)、以色列SCD和日本等国外主要机构的Ⅱ类超晶格研究成果以及国内的发展现状。美国VISTA计划的成功实施和技术突破进一步加速推动了Ⅱ类超晶格红外... 简单归纳整理了德国、美国(CQD、JPL、QmagiQ、NRL、Teledyne和Raytheon)、瑞典(IRnova)、以色列SCD和日本等国外主要机构的Ⅱ类超晶格研究成果以及国内的发展现状。美国VISTA计划的成功实施和技术突破进一步加速推动了Ⅱ类超晶格红外探测技术从理论走向现实。虽然目前及今后较长时间内HgCdTe技术仍然是主流,但是Ⅱ类超晶格技术在整体系统性能和成本上可以挑战HgCdTe, Ⅱ类超晶格技术将在红外应用领域全方位替代HgCdTe技术的优势已经越来越清晰。与国外相比,国内Ⅱ类超晶格技术的发展已经具有一些技术基础,但距离产业化推广应用还有一定的差距,可以借鉴国外的先进理论和技术经验并结合具体实际工艺逐步取得突破。 展开更多
关键词 Ⅱ类超晶格 Type-Ⅱ T2SL SLS 发展现状
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红外探测Ⅱ类超晶格技术概述(一) 被引量:3
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作者 尚林涛 王静 +3 位作者 邢伟荣 刘铭 申晨 周朋 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2021年第4期404-414,共11页
本文简单归纳总结了红外探测II类超晶格材料的发展历史、基本理论、相比MCT材料的优势和材料的基本结构。通过设计6.1系超晶格材料适当的层厚和不同层间应力匹配的界面可以构筑灵活合理的能带结构,打开设计各种符合器件性能要求的新... 本文简单归纳总结了红外探测II类超晶格材料的发展历史、基本理论、相比MCT材料的优势和材料的基本结构。通过设计6.1系超晶格材料适当的层厚和不同层间应力匹配的界面可以构筑灵活合理的能带结构,打开设计各种符合器件性能要求的新材料结构的可能性(如各种同质结p-i-n结构,双异质结DH、异质结W、M、N、BIRD、CBIRD、p-π-M-N、pBiBn、nBn、XBp、pMp等结构),还可以在一个焦平面阵列(FPA)像元上集成吸收层堆栈实现集成多色/多带探测。T2SL探测器可以满足实现大面阵、高温工作、高性能、多带/多色探测的第三代红外探测器需求,尤其在长波红外(LWIR)和甚长波红外(VLWIR)及双色/多带探测上可以替代MCT。 展开更多
关键词 Ⅱ类超晶格 Type-Ⅱ T2SL SLS 材料结构
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Ⅱ类超晶格红外探测器技术概述(二) 被引量:2
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作者 尚林涛 王静 +4 位作者 邢伟荣 刘铭 申晨 周朋 赵建忠 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2021年第5期548-553,共6页
简要归纳总结了Ⅱ类超晶格材料的生长、器件制备方法以及最近新型Ⅱ类超晶格材料体系的演化。Ⅱ类超晶格理论和工艺技术不断取得进步和完善并呈现出材料体系多样化和更高的性能。虽然目前及今后较长时间内HgCdTe技术仍然是市场主流,但... 简要归纳总结了Ⅱ类超晶格材料的生长、器件制备方法以及最近新型Ⅱ类超晶格材料体系的演化。Ⅱ类超晶格理论和工艺技术不断取得进步和完善并呈现出材料体系多样化和更高的性能。虽然目前及今后较长时间内HgCdTe技术仍然是市场主流,但是Ⅱ类超晶格技术在整体系统性能和成本上可以挑战HgCdTe,Ⅱ类超晶格技术将在红外应用领域全方位替代HgCdTe技术的优势已经越来越清晰。 展开更多
关键词 Ⅱ类超晶格 Type-Ⅱ T2SL SLS 生长及制备
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Very long wavelength infrared focal plane arrays with 50% cutoff wavelength based on type-Ⅱ In As/GaSb superlattice 被引量:3
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作者 Xi Han Wei Xiang +5 位作者 Hong-Yue Hao Dong-Wei Jiang Yao-Yao Sun Guo-Wei Wang Ying-Qiang Xu Zhi-Chuan Niu 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2017年第1期563-567,共5页
A very long wavelength infrared(VLWIR) focal plane array based on In As/Ga Sb type-Ⅱ super-lattices is demonstrated on a Ga Sb substrate. A hetero-structure photodiode was grown with a 50% cut-off wavelength of 15... A very long wavelength infrared(VLWIR) focal plane array based on In As/Ga Sb type-Ⅱ super-lattices is demonstrated on a Ga Sb substrate. A hetero-structure photodiode was grown with a 50% cut-off wavelength of 15.2 μm, at 77 K.A 320×256 VLWIR focal plane array with this design was fabricated and characterized. The peak quantum efficiency without an antireflective coating was 25.74% at the reverse bias voltage of-20 mV, yielding a peak specific detectivity of 5.89×10^10cm·Hz^1/2·W^-1. The operability and the uniformity of response were 89% and 83.17%. The noise-equivalent temperature difference at 65 K exhibited a minimum at 21.4 mK, corresponding to an average value of 56.3 mK. 展开更多
关键词 very long wavelength infrared type-Ⅱ InAs/GaSb super-lattices(t2sls focal plane array
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德国AIM公司三代红外探测器的发展
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作者 J. Zieglerl D. Eich +11 位作者 M. Mahlein T. Schallenberg R. Scheibner J. Wendler J. Wenisch R.Wollrab V. Daumer R. Rehm F. Rutz M. Walther 田萦(译) 王忆锋(校对) 《云光技术》 2012年第2期37-48,共12页
三代红外探测器组件——双色(DC),双波段(DB)以及大规模2-DY0阵要求精细的生产技术:诸如分子束外延(MBE)以及新的列阵制备工艺,此类技术可以满足日趋复杂的器件结构及低成本的需求。AIM公司将采用上述三种技术制备高性能器件... 三代红外探测器组件——双色(DC),双波段(DB)以及大规模2-DY0阵要求精细的生产技术:诸如分子束外延(MBE)以及新的列阵制备工艺,此类技术可以满足日趋复杂的器件结构及低成本的需求。AIM公司将采用上述三种技术制备高性能器件以扩大其未来的业务。DC/MW/MW探测器基于II-型超晶格锑化物(IAF通过MBE技术制备而成),像元规格为384×288,像元中心距为40μm。AIM公司的DB/MW/LW/FPA(焦平面列阵)选用了MBE技术,通过在CdZnTe衬底上生长MCT,该技术与IAF公司合作完成。由AIM公司制备了像元规格为640×512,像元中心距为15μm的FPA。尽管在不同的衬底上用MBE方法生长MW/MCT薄膜具有挑战性,但对于制备具备百万像素的大规模2维FPA(MW1280×1024,像元中心距为15μm)而言,这种技术是必要的。本文给出了上述三代FPA及集成探测器杜瓦制冷机组件(IDCAs)的发展现状及近期测试结果。 展开更多
关键词 红外探测器 三代探测器 HGCDTE MCT 双色 双波段 MW/LW 百万像素 MBE II-型超晶格锑化物 T2SL
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