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T型栅PMOS器件跨导双峰效应的研究
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作者 彭宏伟 赵小寒 +3 位作者 陈祎纯 陈睿凌 王青松 徐大为 《集成电路与嵌入式系统》 2025年第3期54-58,共5页
T型栅PMOS器件因其强抗辐照能力、低寄生电容,逐渐成为RFSOI电路中必不可少的器件。而跨导是MOS器件中的一个关键参数,但T型栅PMOS器件的跨导会在栅极电压增大时出现双峰效应,影响电路研制的判断。本文首先结合实测数据和3D TCAD仿真结... T型栅PMOS器件因其强抗辐照能力、低寄生电容,逐渐成为RFSOI电路中必不可少的器件。而跨导是MOS器件中的一个关键参数,但T型栅PMOS器件的跨导会在栅极电压增大时出现双峰效应,影响电路研制的判断。本文首先结合实测数据和3D TCAD仿真结果深入剖析了T型栅PMOS器件跨导双峰效应的内部机理,并从温度、主栅尺寸和次栅尺寸三个方面分析阐述了其对双峰效应的影响。最终,基于T型栅PMOS器件版图结构,提出了一种可抑制双峰效应的改进方案,通过了仿真和流片验证,可以很好地用于SOI工艺T型栅PMOS结构电路设计中。 展开更多
关键词 T型栅pmos 跨导双峰效应 SOI TCAD
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Contact planarization and passivation lift tungsten diselenide PMOS performance
2
作者 Haoyu Peng Ping-Heng Tan Jiangbin Wu 《Journal of Semiconductors》 2025年第11期2-5,共4页
Two-dimensional(2D)transition metal dichalcogenides(TMDs),which allow atomic-scale manipulation,have supe-rior electrical and optical properties that challenge the limits of traditional bulk semiconductors like silico... Two-dimensional(2D)transition metal dichalcogenides(TMDs),which allow atomic-scale manipulation,have supe-rior electrical and optical properties that challenge the limits of traditional bulk semiconductors like silicon^([1,2]).As a repre-sentative TMD and a promising 2D channel material for high-performance,scalable p-type transistors,tungsten diselenide(WSe_(2))has attracted considerable academic and industrial interest for its potential in advanced complementary metal−oxide−semiconductor(CMOS)logic technology and in extending Moore’s Law^([3−7]). 展开更多
关键词 contact planarization metal dichalcogenides tmds which PASSIVATION pmos performance advanced complementary metal oxide semiconductor cmos logic tungsten diselenide two dimensional materials transition metal dichalcogenides
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PMOS剂量计的退火特性 被引量:10
3
作者 范隆 任迪远 +2 位作者 张国强 严荣良 艾尔肯 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第4期383-387,共5页
研究了 PMOS剂量计在不同温度和栅偏置下的辐照退火表现 .结果表明 :温度和退火偏置条件是影响初始退火速率和退火幅度的重要因素 ,较高退火温度下 ,退火速率高 ,幅度大 ;相同退火温度下 ,正偏置与负偏置相比有加速退火的作用 ,其退火... 研究了 PMOS剂量计在不同温度和栅偏置下的辐照退火表现 .结果表明 :温度和退火偏置条件是影响初始退火速率和退火幅度的重要因素 ,较高退火温度下 ,退火速率高 ,幅度大 ;相同退火温度下 ,正偏置与负偏置相比有加速退火的作用 ,其退火幅度也较大 .在 1 80℃ ,零偏条件下获得了最快的 1 0 0 %的退火效果 ; 展开更多
关键词 辐射剂量计 pmos 辐照退火 MOS晶体管
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偏置对PMOS剂量计辐照响应的影响 被引量:8
4
作者 范隆 张国强 +2 位作者 严荣良 艾尔肯 任迪远 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第2期179-183,共5页
研究了不同偏置条件对PMOS探头样品辐照响应的影响.在- 1~1MV/cm 的电场范围内,获得了偏置对PMOS剂量计辐照响应灵敏度和线性度的影响规律.利用“空穴陷阱薄层(Hole Traps Sheet)”模型,结合辐射... 研究了不同偏置条件对PMOS探头样品辐照响应的影响.在- 1~1MV/cm 的电场范围内,获得了偏置对PMOS剂量计辐照响应灵敏度和线性度的影响规律.利用“空穴陷阱薄层(Hole Traps Sheet)”模型,结合辐射感生界面电荷的栅偏置电场相关性,分析了实验结果. 展开更多
关键词 剂量计 pmos 辐照响应 偏置
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pMOS场效应管的X射线和低能强电子束的瞬态电离辐照效应 被引量:5
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作者 范隆 靳涛 +2 位作者 何承发 严荣良 沈志康 《核技术》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第9期534-538,共5页
对电离辐照敏感的厚氧化层pMOS场效应管进行了X射线和低能强流电子束的瞬态辐照实验;通过对阈电压漂移的跟踪监测,研究了pMOS场效应管的瞬态电离辐照效应。运用辐射感生氧化物、界面缺陷模型并结合MOS器件寄生二极管等效... 对电离辐照敏感的厚氧化层pMOS场效应管进行了X射线和低能强流电子束的瞬态辐照实验;通过对阈电压漂移的跟踪监测,研究了pMOS场效应管的瞬态电离辐照效应。运用辐射感生氧化物、界面缺陷模型并结合MOS器件寄生二极管等效电路模型解释了实验结果。 展开更多
关键词 pmos场效应管 瞬态 X射线 电子束 电离辐照
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V_T 辐照模式 pMOS 剂量计的标定 被引量:4
6
作者 范隆 严荣良 +2 位作者 靳涛 何承发 赵元富 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 1997年第10期606-610,共5页
对辐照偏置为阈值VT的pMOS剂量计进行了60Coγ射线和6MeV电子束的辐照标定,结果表明,在不低于102Gy(Si)的剂量范围内,这种变化的负栅偏电压下工作的pMOS剂量计呈现出线性响应,其适用于空间环境的响应灵... 对辐照偏置为阈值VT的pMOS剂量计进行了60Coγ射线和6MeV电子束的辐照标定,结果表明,在不低于102Gy(Si)的剂量范围内,这种变化的负栅偏电压下工作的pMOS剂量计呈现出线性响应,其适用于空间环境的响应灵敏度为20mV/Gy(Si)。同时发现,对60Coγ射线的响应灵敏度为对6MeV电子束的1.3倍左右。对实验结果进行了分析,认为pMOS剂量计的响应灵敏度与粒子辐射的种类具有一定的依赖性,提出了剂量计对混合辐射场的标定方法。 展开更多
关键词 pmos 剂量计 电离辐照 混合场 标定 VT辐照模式
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pMOS剂量计的温度效应及其补偿探讨 被引量:3
7
作者 范隆 任迪远 +3 位作者 高文钰 郭旗 严荣良 赵元富 《核技术》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第3期173-178,共6页
利用恒流注入法和I-V测试方法研究了用于pMOS剂量计的国产pMOSRADFET的温度效应,结合MOS晶体管阈值和电流-电压方程的理论公式推导分析了温度对阈电压、沟道载流子迁移率的影响,对“零温度系数点”从理论上进行... 利用恒流注入法和I-V测试方法研究了用于pMOS剂量计的国产pMOSRADFET的温度效应,结合MOS晶体管阈值和电流-电压方程的理论公式推导分析了温度对阈电压、沟道载流子迁移率的影响,对“零温度系数点”从理论上进行了讨论,探讨了辐照对“零温度系数点”的影响。实验结果表明,采用“零温度系数”电流作为注入的恒流来测量栅源电压能提高剂量计电压读出的精度,起到对温度补偿的作用。 展开更多
关键词 pmos 剂量计 温度效应 补偿
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PMOS辐照检测传感器 被引量:4
8
作者 陈德英 张旭 +3 位作者 姜岩峰 樊路嘉 张会珍 余艳玲 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2002年第1期3-6,共4页
比较了常用的 3种辐照剂量计 ,并详细介绍了PMOS辐照检测传感器的优点、制备工艺、工作模式。
关键词 pmos 辐照传感器 RAFET 辐射剂量计
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PMOS剂量计的剂量率效应 被引量:2
9
作者 范隆 任迪远 +3 位作者 郭旗 张国强 严荣良 陆妩 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 1999年第8期508-512,共5页
在不同剂量率的60Coγ辐照下,研究了PMOS剂量计阈值电压的响应关系。借助快速I—V亚阈分析技术,获得了辐射感生界面态对剂量率效应的贡献。结果表明,辐照响应有较明显的剂量率效应;主要表现为响应的拟合关系式△VT=KDn中幂n的变化... 在不同剂量率的60Coγ辐照下,研究了PMOS剂量计阈值电压的响应关系。借助快速I—V亚阈分析技术,获得了辐射感生界面态对剂量率效应的贡献。结果表明,辐照响应有较明显的剂量率效应;主要表现为响应的拟合关系式△VT=KDn中幂n的变化,在低剂量率区间内,n值较大,对应于辐射响应高灵敏度范围;当剂量率增大时,n值减小,响应灵敏度下降。讨论了克服剂量率效应影响其应用的办法。 展开更多
关键词 pmos 阈值响应 剂量率 剂量计 钴60 Γ辐照
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PMOSFET动态NBTI效应的研究 被引量:2
10
作者 宋芳芳 解江 +1 位作者 李斌 章晓文 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第1期79-83,共5页
负偏压温度不稳定性效应(NBTI)已经成为影响CMOS集成电路可靠性的一个关键因素,而动态应力条件下的NBTI效应对器件和电路的影响越来越受到关注。对PMOSFET的动态NBTI效应进行了系统介绍,讨论了动态应力条件下NBTI(DNBTI)效应和静态应力... 负偏压温度不稳定性效应(NBTI)已经成为影响CMOS集成电路可靠性的一个关键因素,而动态应力条件下的NBTI效应对器件和电路的影响越来越受到关注。对PMOSFET的动态NBTI效应进行了系统介绍,讨论了动态应力条件下NBTI(DNBTI)效应和静态应力下NBTI(SNBTI)退化机理,综述了DNBTI效应的动态恢复机制以及影响因素,最后介绍了NBTI效应对电路的影响。随着器件尺寸的日益缩小,如何提高电路的可靠性变得日益重要,进一步研究NBTI效应对电路的影响从而进行NBTI电路级可靠性设计已成为集成电路设计关注的焦点。 展开更多
关键词 pmos 动态NBTI 可靠性 恢复效应
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PMOS—2000发电市场技术支持系统概述 被引量:23
11
作者 宋燕敏 曹荣章 +6 位作者 华定中 王力科 潘久经 王立群 李建刚 陈枫 王冬明 《电力系统自动化》 EI CSCD 北大核心 2000年第4期10-13,共4页
PMOS—2000 发电市场技术支持系统是适合中国发电市场模式的技术支持系统。它具有实时市场调度功能,包括交易管理、预计划处理、实时调度计划、即时信息发布、能量管理、电能计量、结算/合同管理和电厂报价8 个子系统。在设计时充分考... PMOS—2000 发电市场技术支持系统是适合中国发电市场模式的技术支持系统。它具有实时市场调度功能,包括交易管理、预计划处理、实时调度计划、即时信息发布、能量管理、电能计量、结算/合同管理和电厂报价8 个子系统。在设计时充分考虑电力市场和计算机技术的发展,使系统具有开放性和可扩展性。 展开更多
关键词 技术支持系统 自动化 发电市场 电力工业 中国
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基于PMOS型固态功率电子开关的宇航智能配电系统研究 被引量:4
12
作者 仪德英 陈恒智 +2 位作者 于磊 王林涛 武逸然 《电子科技》 2020年第9期50-55,共6页
针对当前使用NMOS固态功率电子开关的载人航天器智能配电系统存在NOMS隔离驱动控制电路占用大量硬件资源,且不能满足能源系统自主健康管理遥测信息采集需求的问题,文中提出了一种基于PMOS固态功率电子开关构建的智能配电系统设计方案。... 针对当前使用NMOS固态功率电子开关的载人航天器智能配电系统存在NOMS隔离驱动控制电路占用大量硬件资源,且不能满足能源系统自主健康管理遥测信息采集需求的问题,文中提出了一种基于PMOS固态功率电子开关构建的智能配电系统设计方案。相对于NMOS,PMOS用于正线开关的非隔离驱动特性避免了配置隔离控制电路带来的系统资源代价问题,在简化硬件电路设计的同时获得了更多的遥测信息,解决了有限硬件资源与更多遥测参数需求的矛盾。针对SSPC负载短路保护特性带来的固态配电系统母线电压跳变问题,文中给出了提高固态配电器可靠性的辅助电路方案,可使负载短路保护故障不影响母线稳定。 展开更多
关键词 载人航天器 智能配电系统 直流配电 固态功率电子开关 pmos 自主健康管理
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表面态密度分布和源漏电阻对6H-SiC PMOS器件特性的影响 被引量:7
13
作者 郜锦侠 张义门 +1 位作者 张玉明 汤晓燕 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第4期408-413,共6页
建立了一个价带附近的界面态密度分布模型 ,并用该模型较好地模拟了 6 H- Si C PMOS器件的阈值电压随温度变化的趋势、C- V特性以及转移特性 .理论 C- V特性曲线是用数值解泊松方程的方法得到的 ,在解泊松方程的过程中考虑了场致离化效... 建立了一个价带附近的界面态密度分布模型 ,并用该模型较好地模拟了 6 H- Si C PMOS器件的阈值电压随温度变化的趋势、C- V特性以及转移特性 .理论 C- V特性曲线是用数值解泊松方程的方法得到的 ,在解泊松方程的过程中考虑了场致离化效应 .由于 Si C PMOS器件的源漏电阻比较大 ,因此 ,在计算强反型情况下的漏电流时 ,同时考虑了源漏电阻的影响 .结果表明 。 展开更多
关键词 表面态密度分布 源漏电阻 6H-SiCpmos 器件特性
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pMOSFET多管级联结构辐照响应特性研究 被引量:2
14
作者 范隆 郭旗 +2 位作者 任迪远 余学峰 严荣良 《核电子学与探测技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第6期420-423,436,共5页
p MOSFET剂量计多管级联结构电离辐射响应特性比单管能明显提高辐射响应灵敏度。多管共衬底级联与不共衬底级联灵敏度提高倍数较大。比较了多管共衬底级联结构在两种辐照偏置条件下的辐照响应差异 ,实验结果表明 ,辐照时 ,保持恒流注入... p MOSFET剂量计多管级联结构电离辐射响应特性比单管能明显提高辐射响应灵敏度。多管共衬底级联与不共衬底级联灵敏度提高倍数较大。比较了多管共衬底级联结构在两种辐照偏置条件下的辐照响应差异 ,实验结果表明 ,辐照时 ,保持恒流注入条件 ,其响应灵敏度、线性度和稳定性均高于零偏置的结果。同时 ,研究了多管级联结构完全退火后的二次辐照响应 ,结果表明 ,响应灵敏度与线性度均高于第 展开更多
关键词 pmosFET 级联结构 辐照响应 灵敏度 辐射剂量计
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PMOS总剂量监测技术的卫星应用 被引量:2
15
作者 范隆 任迪远 +4 位作者 郭旗 严荣良 朱光武 王世金 梁金宝 《核电子学与探测技术》 CAS CSCD 北大核心 2002年第4期293-296,共4页
利用 PMOS剂量计技术 ,研制出国产 PMOS剂量仪 ,随“实践五号”科学实验卫星升空 ,入轨后对卫星内部进行了电离辐射总剂量监测 .取得了卫星内部的总剂量深度分布结果 .介绍了 PMOS剂量仪的原理技术和飞行结果 .与国外同类监测设备在轨... 利用 PMOS剂量计技术 ,研制出国产 PMOS剂量仪 ,随“实践五号”科学实验卫星升空 ,入轨后对卫星内部进行了电离辐射总剂量监测 .取得了卫星内部的总剂量深度分布结果 .介绍了 PMOS剂量仪的原理技术和飞行结果 .与国外同类监测设备在轨结果进行对比 ,介绍并讨论了该技术的研究发展方向和我国的空间应用展望。 展开更多
关键词 总剂量监测技术 pmos剂量计 电离辐射 卫星 空间辐射 空间环境
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界面电荷位置对短沟道pMOS器件阈值电压的影响 被引量:2
16
作者 孙瑞泽 刘毅 +2 位作者 张准 贺威 曹建民 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2016年第5期369-373,共5页
通过二维数值模拟的方法,研究了短沟道器件中不同位置的界面电荷对pMOS器件阈值电压的影响。把pMOS器件栅氧化层等分成不同的区域,随即可以在不同的区域设置不同的界面电荷,从而很好地模拟了器件界面电荷处于不同位置时阈值电压漂移的... 通过二维数值模拟的方法,研究了短沟道器件中不同位置的界面电荷对pMOS器件阈值电压的影响。把pMOS器件栅氧化层等分成不同的区域,随即可以在不同的区域设置不同的界面电荷,从而很好地模拟了器件界面电荷处于不同位置时阈值电压漂移的变化情况,并同时考虑了不同漏极偏置的影响;为了探究其变化机制,还提取和比较了一些特殊情况下器件的表面势。这些研究有助于明确器件哪些位置的界面电荷对阈值电压漂移影响更大,这对深刻理解带漏极偏置的负偏压温度不稳定性效应有一定的帮助和促进。 展开更多
关键词 金属氧化物半导体场效应晶体管器件 负偏压温度不稳定性 器件模拟 界面电荷
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PMOSFET的NBTI效应 被引量:1
17
作者 李若瑜 李斌 +1 位作者 陈平 韩静 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2005年第5期62-66,27,共6页
随着工艺的发展,器件尺寸的不断缩小,PMOSFET受负温度不稳定性(NBTI)效应影响而失效的现象愈来愈严重,NBTI效应的影响成为器件可靠性的一个焦点问题。本文综述了NBTI效应的产生机理、影响因素、减缓方法及其相关的一些前沿问题。
关键词 pmos场效应晶体管 负温度不稳定性 栅氧化层可靠性 器件失效
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PMOS剂量计的长期室温退火
18
作者 范隆 严荣良 +4 位作者 张国强 余学锋 陆妩 郭旗 赵元富 《核技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第9期642-645,共4页
为掌握PMOS剂量计的应用方式并提高其应用精度,研究了PMOS剂量计的辐照剂量记录-阈电压在室温下的长期退火表现。结果表明:氧化物电荷的隧道退火与界面态的后生长效应是造成退火的原因,PMOS剂量计辐照及贮藏偏置是决定... 为掌握PMOS剂量计的应用方式并提高其应用精度,研究了PMOS剂量计的辐照剂量记录-阈电压在室温下的长期退火表现。结果表明:氧化物电荷的隧道退火与界面态的后生长效应是造成退火的原因,PMOS剂量计辐照及贮藏偏置是决定其退火方向和程度大小的重要因素。负偏置条件能较好地保持其辐照记录,在正偏置贮存下的退火较大。 展开更多
关键词 pmos剂量计 阈电压 室温退火 辐射剂量测量
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PMOS剂量计的稳定性研究
19
作者 范隆 严荣良 +2 位作者 张国强 任迪远 艾尔肯 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2000年第4期433-438,共6页
在室温条件下 ,研究了辐照偏置、总剂量和剂量率对 PMOS剂量计辐照剂量记录 -阈电压的稳定性影响 ,观察了辐照后阈电压在不同栅偏条件下的变化趋势和幅度。分析认为慢界面陷阱中电荷的“充放电”是造成不稳定的首要原因。结果表明 ,该... 在室温条件下 ,研究了辐照偏置、总剂量和剂量率对 PMOS剂量计辐照剂量记录 -阈电压的稳定性影响 ,观察了辐照后阈电压在不同栅偏条件下的变化趋势和幅度。分析认为慢界面陷阱中电荷的“充放电”是造成不稳定的首要原因。结果表明 ,该种由慢界面态造成的阈电压变化在每次开机测量下具有重复性。讨论了在 PMOS剂量计中提高稳定性的办法。 展开更多
关键词 剂量计 稳定性 pmos 辐射探测
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深亚微米pMOS器件的HCI和NBTI耦合效应与物理机制 被引量:2
20
作者 刘红侠 郝跃 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第9期1813-1817,共5页
研究了深亚微米pMOS器件的热载流子注入(hot-carrier injection,HCI)和负偏压温度不稳定效应(negative bias temperature instability,NBTI)的耦合效应和物理机制.器件在室温下的损伤特性由HCI效应来控制.高温条件下,器件受到HCI和NBTI... 研究了深亚微米pMOS器件的热载流子注入(hot-carrier injection,HCI)和负偏压温度不稳定效应(negative bias temperature instability,NBTI)的耦合效应和物理机制.器件在室温下的损伤特性由HCI效应来控制.高温条件下,器件受到HCI和NBTI效应的共同作用,二者的混合效应表现为NBTI不断增强的HCI效应.在HCI条件下器件的阈值电压漂移依赖沟道长度,而NBTI效应中器件的阈值电压漂移与沟道长度无关,给出了分解HCI和NBTI耦合效应的方法. 展开更多
关键词 深亚微米pmos器件 热载流子注入 负偏压温度不稳定性 界面态 氧化层固定正电荷
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