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欧洲“Early Steps体育课程体系”的框架、特点及启示
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作者 杨希 孙佳惠 《陕西学前师范学院学报》 2025年第9期50-57,共8页
欧洲ESPEC课程遵循“在体育活动中学习和通过体育活动学习”的理念,将体育活动中的直接学习与间接学习相结合,制定了社会与健康并重的双维化课程目标,构建了从单一技能到综合能力的递进式内容体系,采用情境化与趣味性驱动的课程实施过程... 欧洲ESPEC课程遵循“在体育活动中学习和通过体育活动学习”的理念,将体育活动中的直接学习与间接学习相结合,制定了社会与健康并重的双维化课程目标,构建了从单一技能到综合能力的递进式内容体系,采用情境化与趣味性驱动的课程实施过程,注重多主体与多维反馈的课程评估。其主要特色在于依托具身认知理念,构筑多领域融合的体育学习目标;坚持儿童中心,探索高效且有趣的体育活动路径;着眼终身发展,激发幼儿主动参与体育活动的内在动机;借助动态评估,持续优化幼儿体育学习的社会支持体系。据此,我国幼儿体育教育应破解技能化、碎片化等问题,通过构建“运动+”整合型幼儿体育课程,设计递进式、游戏化的内容体系,教师角色从“指令者”转向“支持者”,建立全周期、多主体的课程反馈机制等方面,实现理念革新、内容优化、实施转型和评估完善,助力幼儿体育教育高质量发展。 展开更多
关键词 Early steps体育课程体系 体育教育 幼儿园
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Key Steps and Catalyst Performance for Conversion of Cellulose to Isosorbide: AReview
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作者 Dan Wang Jihuan Song +2 位作者 Qiyuan Wang Chenmeng Cui Ying Yang 《Journal of Renewable Materials》 2025年第1期49-78,共30页
Upgrading of abundant cellulosic biomass to isosorbide can reduce the dependence on limited fossil resources and provide a sustainable way to produce isosorbide,utilized for polymers,medicine and health care product s... Upgrading of abundant cellulosic biomass to isosorbide can reduce the dependence on limited fossil resources and provide a sustainable way to produce isosorbide,utilized for polymers,medicine and health care product synth-esis.This review comprehensively examines the key steps and catalytic systems involved in the conversion of cel-lulose to isosorbide.Initially,the reaction pathway from cellulose to isosorbide is elucidated,emphasizing three critical steps:cellulose hydrolysis,glucose hydrogenation,and the two-step dehydration of sorbitol to produce isosorbide.Additionally,the activation energy and acidic sites during cellulose hydrolysis,the impact of metal particle size and catalyst support on hydrogenation,and the effects of catalyst acidity,pore structure,and reaction conditions on sorbitol dehydration have been thoroughly examined.Finally,the progress made in cellulose con-version to isosorbide is summarized,current challenges are highlighted,and future development trends are pro-jected in this review. 展开更多
关键词 CELLULOSE ISOSORBIDE reaction pathway key steps catalytic systems
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"Five steps four quadrants" modularized en bloc dissection technique for accessing hepatic hilum lymph nodes in laparoscopic pancreaticoduodenectomy 被引量:2
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作者 Xiao-Si Hu Yong Wang +5 位作者 Hong-Tao Pan Chao Zhu Shi-Lei Chen Hui-Chun Liu Qing Pang Hao Jin 《World Journal of Gastrointestinal Surgery》 SCIE 2024年第2期503-510,共8页
BACKGROUND Although en bloc dissection of hepatic hilum lymph nodes has many advantages in radical tumor treatment,the feasibility and safety of this approach for laparo-scopic pancreaticoduodenectomy(LPD)require furt... BACKGROUND Although en bloc dissection of hepatic hilum lymph nodes has many advantages in radical tumor treatment,the feasibility and safety of this approach for laparo-scopic pancreaticoduodenectomy(LPD)require further clinical evaluation and investigation.AIM To explore the application value of the"five steps four quadrants"modularized en bloc dissection technique for accessing hepatic hilum lymph nodes in LPD patients.METHODS A total of 52 patients who underwent LPD via the"five steps four quadrants"modularized en bloc dissection technique for hepatic hilum lymph nodes from April 2021 to July 2023 in our department were analyzed retrospectively.The patients'body mass index(BMI),preoperative laboratory indices,intraoperative variables and postoperative complications were recorded.The relationships between preoperative data and intraoperative lymph node dissection time and blood loss were also analyzed.RESULTS Among the 52 patients,36 were males and 16 were females,and the average age was 62.2±11.0 years.There were 26 patients with pancreatic head cancer,16 patients with periampullary cancer,and 10 patients with distal bile duct cancer.The BMI was 22.3±3.3 kg/m²,and the median total bilirubin(TBIL)concentration was 57.7(16.0-155.7)µmol/L.All patients successfully underwent the"five steps four quadrants"modularized en bloc dissection technique without lymph node clearance-related complications such as postoperative bleeding or lymphatic leakage.Correlation analysis revealed significant associations between preoperative BMI(r=0.3581,P=0.0091),TBIL level(r=0.2988,P=0.0341),prothrombin time(r=0.3018,P=0.0297)and lymph node dissection time.Moreover,dissection time was significantly correlated with intraoperative blood loss(r=0.7744,P<0.0001).Further stratified analysis demonstrated that patients with a preoperative BMI≥21.9 kg/m²and a TIBL concentration≥57.7μmol/L had significantly longer lymph node dissection times(both P<0.05).CONCLUSION The"five steps four quadrants"modularized en bloc dissection technique for accessing the hepatic hilum lymph node is safe and feasible for LPD.This technique is expected to improve the efficiency of hepatic hilum lymph node dissection and shorten the learning curve;thus,it is worthy of further clinical promotion and application. 展开更多
关键词 Five steps four quadrants Hepatic hilum lymph node Modularized en bloc clearance Laparoscopic pancreaticoduodenectomy
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Half-integer Shapiro steps in MgB_(2) focused He ion beam Josephson junctions
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作者 殷大利 蔡欣炜 +5 位作者 徐铁权 孙瑞宁 韩颖 张焱 王越 甘子钊 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第8期483-489,共7页
Half-integer microwave induced steps(Shapiro steps)have been observed in many different Josephson junction systems,which have attracted a lot of attention because they signify the deviation of current phase relation(C... Half-integer microwave induced steps(Shapiro steps)have been observed in many different Josephson junction systems,which have attracted a lot of attention because they signify the deviation of current phase relation(CPR)and uncover many unconventional physical properties.In this article,we first report the discovery of half-integer Shapiro steps in MgB_(2)focused He ion beam(He-FIB)Josephson junctions.The half-integer steps'dependence on microwave frequency,temperature,microwave power,and magnetic field is also analyzed.We find that the existence of half-integer steps can be controlled by the magnetic field periodically,which is similar to that of high temperature superconductor(HTS)grain boundary junctions,and the similarity of the microstructures between gain boundary junctions and He-FIB junctions is discussed.As a consequence,we mainly attribute the physical origin of half-integer steps in MgB_(2)He-FIB junctions to the model that a He-FIB junction is analogous to a parallel junctions'array.Our results show that He-FIB technology is a promising platform for researching CPR in junctions made of different superconductors. 展开更多
关键词 Josephson junction half-integer Shapiro steps MgB_(2) focused helium ion beam
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A Clean Switch Inner Mongolian town takes giant steps in transitioning to clean energy production
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作者 XIA YUANYUAN 《ChinAfrica》 2024年第5期34-36,共3页
Staff at the Ruichen Wanniu Livestock Farm in Jungar Zhao Town,Jungar Banner,Inner Mongolia,are consistently busy,even during important festivals.
关键词 CLEAN steps BANNER
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疏散模拟软件STEPS与Pathfinder对比研究 被引量:43
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作者 杜长宝 朱国庆 李俊毅 《消防科学与技术》 CAS 北大核心 2015年第4期456-460,共5页
为了了解两款疏散模拟软件STEPS与Pathfinder的功能差异及适用范围,采用理论研究与实际模拟相结合的方法进行对比分析。研究发现:STEPS软件采用元胞自动机(CA)模型,疏散规则简单,人员智能化程度低,疏散时人员行为特征与现实情况不完全相... 为了了解两款疏散模拟软件STEPS与Pathfinder的功能差异及适用范围,采用理论研究与实际模拟相结合的方法进行对比分析。研究发现:STEPS软件采用元胞自动机(CA)模型,疏散规则简单,人员智能化程度低,疏散时人员行为特征与现实情况不完全相符,但路径决策系统很好地解决了上述问题,可以真实地模拟常态下人员疏散;Pathfinder软件采用Agent-based模型,人员智能化程度高,个体可以回应环境刺激,人员可以轻松规避障碍物,人群中的个体行为特征丰富且与现实情况十分相符,但在出口选择上存在缺陷,人员只能选择前方的出口而忽略后方的出口,不能模拟常态下的人员疏散。分析得出,Pathfinder模拟结果与真实情况相符程度更高,STEPS更适合模拟常态下人员疏散。 展开更多
关键词 安全疏散 steps 元胞自动机 PATHFINDER Agent-base
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英格兰青少年足球训练理论与实践分析——基于四角模型和STEPS原则 被引量:7
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作者 陈志辉 梁斌 田建强 《海南师范大学学报(自然科学版)》 CAS 2017年第1期99-104,共6页
文章运用实地访谈法、文献资料法等方法对英格兰青少年足球运动员训练培养的内容与方法进行了研究.通过分析训练实例得出,四角模型能从技术、体能、心理和社交四个方面综合培养青少年足球运动员的比赛能力;STEPS原则广泛应用于英格兰青... 文章运用实地访谈法、文献资料法等方法对英格兰青少年足球运动员训练培养的内容与方法进行了研究.通过分析训练实例得出,四角模型能从技术、体能、心理和社交四个方面综合培养青少年足球运动员的比赛能力;STEPS原则广泛应用于英格兰青少年各个年龄阶段的足球训练,且不同年龄阶段培养、发展技能的侧重点十分明确;在训练内容的安排上,注重进阶,接近实战,训练内容和方法具有科学性、针对性和全面性.文章旨在为我国青少年足球运动员的训练培养提供参考. 展开更多
关键词 四角模型 steps原则 英格兰
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基于STEPS的某高校学生宿舍楼人群疏散 被引量:2
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作者 王丽 任常兴 曾坚 《消防科学与技术》 CAS 北大核心 2017年第6期779-781,共3页
建立实际的宿舍楼模型,通过STEPS进行模拟,研究宿舍楼出口数量、宽度、位置等因素对人员疏散时间的影响。根据不同疏散出口的开启情况设置7个场景,分析不同时刻的人员分布、不同场景下的疏散时间以及不同场景下各出口的利用率等。建议... 建立实际的宿舍楼模型,通过STEPS进行模拟,研究宿舍楼出口数量、宽度、位置等因素对人员疏散时间的影响。根据不同疏散出口的开启情况设置7个场景,分析不同时刻的人员分布、不同场景下的疏散时间以及不同场景下各出口的利用率等。建议此宿舍楼在突发状况下至少开启2个疏散出口,并对人员疏散加以引导。 展开更多
关键词 steps 学生宿舍楼 疏散出口 疏散时间 出口利用率 建筑防火
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基于STEPS的山区高含硫气井周边居民疏散模拟研究 被引量:1
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作者 王丽 刘茂 孟博 《南开大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2011年第6期81-87,共7页
我国高含硫气井都位于一些远郊区或偏远山区,在生产运行中已多次因出现井喷、井口溢气等险情而疏散周边居民.以山区某高含硫气井周围1 km内的居民疏散为研究对象,针对当地山峦起伏、山路坡陡等复杂地形的特点,使用STEPS软件进行模拟.根... 我国高含硫气井都位于一些远郊区或偏远山区,在生产运行中已多次因出现井喷、井口溢气等险情而疏散周边居民.以山区某高含硫气井周围1 km内的居民疏散为研究对象,针对当地山峦起伏、山路坡陡等复杂地形的特点,使用STEPS软件进行模拟.根据NASA 2009年的全球DEM数据、航拍图和实地调研结果,提供了在软件中直接绘制山区三维地形和道路网络模型的方法.在人员属性的设置中,考虑了地形坡度对不同性别和年龄的人员移动速度的影响.最后通过STEPS模拟,研究了气井周围三条主要道路上的疏散时间、疏散效率以及不同类型人员的疏散. 展开更多
关键词 山区 高含硫气井 复杂地形 steps 三维疏散模拟
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基于STEPS的音乐厅人员疏散模拟研究 被引量:2
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作者 李大燕 朱国庆 《消防科学与技术》 CAS 北大核心 2016年第8期1080-1083,共4页
介绍元胞自动机理论和STEPS软件。研究音乐厅人员疏散的设计,运用STEPS软件,分析火灾导致某安全出口失效的情况下音乐厅人员疏散过程,分析其他安全出口的利用率。模拟结果显示,安全出口利用不均衡,人员在疏散楼梯口以及个别直通室外的... 介绍元胞自动机理论和STEPS软件。研究音乐厅人员疏散的设计,运用STEPS软件,分析火灾导致某安全出口失效的情况下音乐厅人员疏散过程,分析其他安全出口的利用率。模拟结果显示,安全出口利用不均衡,人员在疏散楼梯口以及个别直通室外的安全出口发生拥堵。建议增大安全出口宽度,合理分流,统筹疏散;制定完善的管理制度和维护措施。将STEPS模拟结果与Pathfinder模拟结果进行对比,模拟结果基本一致。 展开更多
关键词 元胞自动机 steps 音乐厅 人员疏散 疏散模拟 建筑防火
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基于STEPS的超高层建筑人员疏散模拟研究 被引量:3
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作者 白磊 王刘兵 《消防科学与技术》 北大核心 2017年第6期776-779,共4页
选取某超高层写字楼,使用STEPS软件进行人员疏散模拟。按照建筑设计容量和人员密度计算各楼层的人员荷载。将楼梯、不同分布高度的电梯、避难层三种疏散设施相组合,设置5种疏散方案进行模拟研究,得出不同方案下建筑内部剩余人数随时间... 选取某超高层写字楼,使用STEPS软件进行人员疏散模拟。按照建筑设计容量和人员密度计算各楼层的人员荷载。将楼梯、不同分布高度的电梯、避难层三种疏散设施相组合,设置5种疏散方案进行模拟研究,得出不同方案下建筑内部剩余人数随时间变化的曲线以及不同方案中由电梯疏散的人数占总人数的百分比,分析各疏散方案的疏散效率。研究结果表明,"楼梯+电梯+避难层"的组合为最优疏散方案,疏散效率和安全性最高。 展开更多
关键词 超高层建筑 steps 人员疏散 电梯疏散 避难层 疏散效率
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基于STEPS的历史地段火灾疏散模拟研究 被引量:5
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作者 朱剡 《上海城市规划》 2016年第1期45-50,共6页
作为具有生命力的遗产,历史地段不断受到来自火灾的严重威胁。在保护历史地段自身安全的同时,地段内公众的疏散避难安全应得到保证。为了在保护历史地段的基础上保障公众的火灾疏散避难安全性,应用基于细胞自动机的理论的STEPS软件,以... 作为具有生命力的遗产,历史地段不断受到来自火灾的严重威胁。在保护历史地段自身安全的同时,地段内公众的疏散避难安全应得到保证。为了在保护历史地段的基础上保障公众的火灾疏散避难安全性,应用基于细胞自动机的理论的STEPS软件,以宁波走马塘古村落为例,以疏散时间、出口距离、通道使用强度3个指标为依据,对历史地段进行火灾疏散避难模拟分析,对历史地区空间规划提出相应的改造策略,并进行进一步的模拟验证。 展开更多
关键词 历史地段 火灾 steps软件 疏散模拟
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基于FDS和STEPS模拟的大型商业综合体地下商业区火灾模拟与安全疏散研究 被引量:11
13
作者 何中旭 常力 +3 位作者 姜雯 谢飞 宋云龙 宋文华 《南开大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2017年第4期76-82,共7页
大型商业综合体尤其是其地下商业区,具有建筑空间超大、格局复杂、用电负荷大和人员疏散困难等特点,火灾发生时含氧急剧下降会导致有毒气体增多,人员的安全疏散就成为消防安全设计的核心问题.采用FDS对大型商业综合体地下商业区的超市... 大型商业综合体尤其是其地下商业区,具有建筑空间超大、格局复杂、用电负荷大和人员疏散困难等特点,火灾发生时含氧急剧下降会导致有毒气体增多,人员的安全疏散就成为消防安全设计的核心问题.采用FDS对大型商业综合体地下商业区的超市区域和餐饮区域发生火灾时的烟气蔓延特性进行模拟分析,利用STEPS软件对人员疏散进行模拟计算与分析.火灾计算和模拟结果表明,在给出的6个不同火灾场景中,人员能在有限时间内安全逃离火灾区域,但是安全余量时间较少;保证喷淋系统、排烟系统、疏散楼梯及避难走道等消防设施正常工作,是满足安全疏散的基本要求. 展开更多
关键词 大型商业综合体 地下商业区 FDS模拟 steps模拟 安全疏散
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基于FDS和STEPS的大型商业综合体IMAX影厅火灾模拟与安全疏散研究 被引量:7
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作者 张学智 常力 +3 位作者 姜雯 谢飞 宋云龙 宋文华 《南开大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2017年第4期83-87,共5页
针对IMAX影厅面积普遍超过规范要求、火灾危险性大和人员疏散困难等因素,选取大型商业综合体的IMAX影厅为研究对象,在影厅及附近公共走道部分设计为独立防火分区,影厅内喷淋有效、排烟有效的条件下,采用FDS和STEPS软件进行厅内火灾模拟... 针对IMAX影厅面积普遍超过规范要求、火灾危险性大和人员疏散困难等因素,选取大型商业综合体的IMAX影厅为研究对象,在影厅及附近公共走道部分设计为独立防火分区,影厅内喷淋有效、排烟有效的条件下,采用FDS和STEPS软件进行厅内火灾模拟和人员疏散模拟.结果表明,影厅内烟气不会蔓延至走道等公共区域,环境未达到人员耐受极限,人员能安全疏散至公共区域,安全余量时间较大有利于消防队员的扑救和财产转移. 展开更多
关键词 大型商业综合体 IMAX影厅 FDS模拟 steps模拟 安全疏散
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在STEPS中的三维宿舍火灾的人群疏散研究 被引量:2
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作者 唐涛 李星华 +1 位作者 何亮 李连营 《地理空间信息》 2011年第1期91-93,96,共4页
在STEPS里建立了一个三维火灾逃生模型,在这个模型当中,首先找到最近的安全出口模拟人群疏散,同时记录每个时段的疏散人数及总的疏散时间;然后以此来研究起火楼层、备用出口的位置和个数、人的反应时间一致性等因素对总的疏散时间的影响。
关键词 steps Fruin分布 疏散时间 正态分布
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远程抄表STEPS系统在校园中的应用 被引量:1
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作者 万彬 喻恺 章继涛 《江西科技学院学报》 2006年第2期75-80,共6页
本文阐述了远程集中抄表系统与传统抄表模式的比较,结合我国校园自身的特点,建立和推出适合学校用电管理状况的新型的三层用电管理系统(STEPS)。为学校的用电管理系统在现行的用电管理系统的基础上探索出一条行之有效的新路和解决方案。
关键词 传统抄表的比较 steps 用电管理系统 集抄系统
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Recovery of waste rare earth fluorescent powders by two steps acid leaching 被引量:17
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作者 Shen-Gen Zhang Min Yang +2 位作者 Hu Liu De-An Pan Jian-Jun Tian 《Rare Metals》 SCIE EI CAS CSCD 2013年第6期609-615,共7页
The effects of the acid leaching and alkali fusion on the leaching efficiency of Y,Eu,Ce,and Tb from the waste rare earth fluorescent powders were investigated in this paper.The results show that hydrochloric acid is ... The effects of the acid leaching and alkali fusion on the leaching efficiency of Y,Eu,Ce,and Tb from the waste rare earth fluorescent powders were investigated in this paper.The results show that hydrochloric acid is better than sulfuric acid in the first acid leaching,and NaOH is better than Na2CO3in the alkali fusion.In the first acid leaching,the Wloss is 20.94%when the waste rare earth fluorescent powders are acid leached in H?concentration 3 mol L-1and S/L ratio 1:3 for 4 h due to red powders dissolved.The better results of the alkali fusion can be got at 800℃ for 2 h when the NaOH is used.The blue powders and the green powders can be dissolved into NaAlO2and oxides such as rare earth oxide(REO).The REO can be dissolved in H?concentration 5 mol L-1,S/L1:10 for 3 h in the second acid leaching.The leaching rates of the Y,Eu,Ce,and Tb are 99.06%,97.38%,98.22%,and 98.15%,respectively.The leaching rate of the total rare earth is 98.60%. 展开更多
关键词 Waste rare earth fluorescent powders Two steps acid leaching Alkali fusion
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基于STEPS的某学校餐厅人员疏散模拟研究 被引量:6
18
作者 周晓峰 《中国制造业信息化(应用版)》 2008年第12期66-68,共3页
本文基于STEPS计算机安全疏散模拟软件,对典型人员密集场所某学校餐厅人员疏散进行了研究,首先建立了合理简化后的某学校餐厅的疏散模型。通过STEPS模拟,主要研究了餐厅不同满座率对人员疏散时间的影响;研究了是否使用备用疏散楼梯对疏... 本文基于STEPS计算机安全疏散模拟软件,对典型人员密集场所某学校餐厅人员疏散进行了研究,首先建立了合理简化后的某学校餐厅的疏散模型。通过STEPS模拟,主要研究了餐厅不同满座率对人员疏散时间的影响;研究了是否使用备用疏散楼梯对疏散时问的影响,量化了使用备用楼梯的作用;研究了疏散时各楼梯的使用情况,提出了确定更加合理的人员疏散楼梯使用比例的方法,为安全紧急疏散分区提供理论依据,为进一步缩短了疏散时间,提高了人员安全疏散水平指明方向。 展开更多
关键词 人员疏散 steps 模拟
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Three-Steps-Meshing Based Multiple Crack Identification for Structures and Its Experimental Studies 被引量:3
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作者 LI Bing CHEN Xuefeng HE Zhengjia 《Chinese Journal of Mechanical Engineering》 SCIE EI CAS CSCD 2013年第2期400-405,共6页
Multiple crack identification plays an important role in vibration-based crack identification of structures. Traditional crack detection method of single crack is difficult to be used in multiple crack diagnosis. A th... Multiple crack identification plays an important role in vibration-based crack identification of structures. Traditional crack detection method of single crack is difficult to be used in multiple crack diagnosis. A three-step-meshing method for the multiple cracks identification in structures is presented. Firstly, the changes in natural frequency of a structure with various crack locations and depth are accurately obtained by means of wavelet finite element method, and then the damage coefficient method is used to determine the number and the region of cracks. Secondly, different regions in the cracked structure are divided into meshes with different scales, and then the small unit containing cracks in the damaged area is gradually located by iterative computation. Lastly, by finding the points of intersection of three frequency contour lines in the small unit, the crack location and depth are identified. In order to verify the effectiveness of the presented method, a multiple cracks identification experiment is carried out. The diagnostic tests on a cantilever beam under two working conditions show the accuracy of the proposed method: with a maximum error of crack location identification 2.7% and of depth identification 5.2%. The method is able to detect multiple crack of beam with less subdivision and higher precision, and can be developed as a multiple crack detection approach for complicated structures. 展开更多
关键词 multiple cracks structure three steps meshing
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TWO STEPS CHEMICAL-MECHANICAL POLISHING OF RIGID DISK SUBSTRATE TO GET ATOM-SCALE PLANARIZATION SURFACE 被引量:11
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作者 LEI Hong LUO Jianbin LU Xinchun 《Chinese Journal of Mechanical Engineering》 SCIE EI CAS CSCD 2006年第4期496-499,共4页
In order to get atomic smooth rigid disk substrate surface, ultra-fined alumina slurry and nanometer silica slurry are prepared, and two steps chemical-mechanical polishing (CMP) of rigid disk substrate in the two s... In order to get atomic smooth rigid disk substrate surface, ultra-fined alumina slurry and nanometer silica slurry are prepared, and two steps chemical-mechanical polishing (CMP) of rigid disk substrate in the two slurries are studied. The results show that, during the first step CMP in the alumina slurry, a high material removal rate is reached, and the average roughness (Ra) and the average waviness (Wa) of the polished surfaces can be decreased from previous 1.4 nm and 1.6 nm to about 0.6 nm and 0.7 nm, respectively. By using the nanometer silica slurry and optimized polishing process parameters in the second step CMP, the Ra and the Wa of the polished surfaces can be further reduced to 0.038 nm and 0.06 am, respectively. Atom force microscopy (AFM) analysis shows that the final polished surfaces are ultra-smooth without micro-defects. 展开更多
关键词 TWo steps Chemical-mechanical polishing(CMP) Rigid disk substrateAtom-scale planarization Slurry
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