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用于PHEMT可靠性研究的光谱解析成象系统
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作者 张孟伟 《光电工程》 CAS CSCD 1998年第6期75-79,共5页
介绍为进行PHEMT功率器件的可靠性研究而首次建立的一套光谱解析成象系统实验装置。叙述系统的工作原理及其构成。
关键词 光谱分析 成象系统 晶体管 可靠性 迁移率
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