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SnO_2-ZnO薄膜特性研究
1
作者
贾维国
丁铁柱
郭俊平
《内蒙古大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
1999年第2期166-168,共3页
用真空蒸发ＳｎＯ２－ＺｎＯ，获取超微粒结构的ＳｎＯ２－ＺｎＯ薄膜．实验发现ｗ（ＳｎＯ２）ｗ（ＺｎＯ）＝８０％２０％薄膜有较低的电阻率，对乙醇有较高的敏感性，是较好的酒敏材料．
关键词
真空蒸发
薄膜
气体锡
氧化锌
半导体
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职称材料
题名
SnO_2-ZnO薄膜特性研究
1
作者
贾维国
丁铁柱
郭俊平
机构
内蒙古大学物理学系
出处
《内蒙古大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
1999年第2期166-168,共3页
基金
内蒙古自然科学基金
文摘
用真空蒸发ＳｎＯ２－ＺｎＯ，获取超微粒结构的ＳｎＯ２－ＺｎＯ薄膜．实验发现ｗ（ＳｎＯ２）ｗ（ＺｎＯ）＝８０％２０％薄膜有较低的电阻率，对乙醇有较高的敏感性，是较好的酒敏材料．
关键词
真空蒸发
薄膜
气体锡
氧化锌
半导体
Keywords
sno
2
ZnO
vacuum
evaporation
thin film
gas sensitivies
分类号
TN304.21 [电子电信—物理电子学]
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作者
出处
发文年
被引量
操作
1
SnO_2-ZnO薄膜特性研究
贾维国
丁铁柱
郭俊平
《内蒙古大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
1999
0
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