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Optoelectronic properties of SnO2 thin films sprayed at different deposition times 被引量:1
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作者 Allag Abdelkrim Saad Rahmane +2 位作者 Ouahab Abdelouahab Attouche Hafida Kouidri Nabila 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第4期296-302,共7页
This article presents the elaboration of tin oxide (SnO2) thin films on glass substrates by using a home-made spray pyrolysis system. Effects of film thickness on the structural, optical, and electrical film propert... This article presents the elaboration of tin oxide (SnO2) thin films on glass substrates by using a home-made spray pyrolysis system. Effects of film thickness on the structural, optical, and electrical film properties are investigated. The films are characterized by several techniques such as x-ray diffraction (XRD), atomic force microscopy (AFM), ultraviolet- visible (UV-Vis) transmission, and four-probe point measurements, and the results suggest that the prepared films are uniform and well adherent to the substrates. X-ray diffraction (XRD) patterns show that SnO2 film is of polycrystal with cassiterite tetragonal crystal structure and a preferential orientation along the (110) plane. The calculated grain sizes are in a range from 32.93 nm to 56.88 nm. Optical transmittance spectra of the films show that their high transparency average transmittances are greater than 65% in the visible region. The optical gaps of SnO2 thin films are found to be in a range of 3.64 eV-3.94 eV. Figures of merit for SnO2 thin films reveal that their maximum value is about 1.15 x 10-4 Ω-1 at λ = 550 nm. Moreover, the measured electrical resistivity at room temperature is on the order of 10^-2 Ω.cm. 展开更多
关键词 thin film sno2 spray pyrolysis thickness PROPERTIES
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Sb掺杂对SnO2薄膜光电性能的影响研究 被引量:4
2
作者 周传仓 张飞鹏 +2 位作者 张忻 张静文 杨新宇 《电子元件与材料》 CAS CSCD 2016年第8期23-26,共4页
以乙醇为溶剂采用溶胶-凝胶法制备出了Sb掺杂的SnO_2复合透明导电薄膜,并利用XRD,SEM,紫外-可见分光光度计,四探针电阻仪等测试方法对Sb掺杂的SnO_2复合薄膜的结构和物性进行了研究。结果表明,当Sb掺杂量小于摩尔分数7%时,SnO_2复合薄... 以乙醇为溶剂采用溶胶-凝胶法制备出了Sb掺杂的SnO_2复合透明导电薄膜,并利用XRD,SEM,紫外-可见分光光度计,四探针电阻仪等测试方法对Sb掺杂的SnO_2复合薄膜的结构和物性进行了研究。结果表明,当Sb掺杂量小于摩尔分数7%时,SnO_2复合薄膜均呈四方金红石型晶体结构;随着Sb掺杂量的增加,薄膜电阻率先降低后增大,当Sb掺杂量为摩尔分数5%时,薄膜电阻率达到最小值1.4×10^(–3)?·cm。在350~700 nm波长范围内,当Sb掺杂量小于摩尔分数7%时,SnO_2复合薄膜的透过率均在80%以上。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 sno2薄膜 掺杂 表征 结构 光电性能
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聚吡咯/SnO2/醋酸纤维素纳米复合膜的制备及其光催化合成聚甲基丙烯酸甲酯 被引量:3
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作者 李生英 魏云霞 +2 位作者 马明广 高锦章 杨武 《应用化学》 CAS CSCD 北大核心 2009年第4期413-420,共8页
以(NH4)2S2O8为氧化剂,在纳米SnO2存在下乳液聚合得到了粒径为30 nm的聚吡咯/SnO2(PPy/SnO2)复合纳米粉。以醋酸纤维素(CA)作为成膜剂,丙酮为溶剂制得PPy/SnO2/CA纳米复合膜。运用TG、XRD、TEM、SEM、AFM、FT-IR、DRS等测试技术对所得... 以(NH4)2S2O8为氧化剂,在纳米SnO2存在下乳液聚合得到了粒径为30 nm的聚吡咯/SnO2(PPy/SnO2)复合纳米粉。以醋酸纤维素(CA)作为成膜剂,丙酮为溶剂制得PPy/SnO2/CA纳米复合膜。运用TG、XRD、TEM、SEM、AFM、FT-IR、DRS等测试技术对所得产品进行了表征。以甲基丙烯酸甲酯(MMA)的聚合为目标反应,考察了产品的光催化性能,制得了平均粒径为18 nm的PMMA,重均分子量为1.42×105。 展开更多
关键词 PPy/sno2/CA 纳米复合膜 制备 光催化 PMMA
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微量Al掺杂对溅射于玻璃衬底的SnO2薄膜结构及光学特性的影响 被引量:1
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作者 李院院 张子怡 +7 位作者 管佳豪 李莉 李姝丽 成桢 杨睿 张云哲 赵小侠 徐可为 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2021年第5期1513-1517,共5页
采用射频(RF)磁控溅射法在玻璃衬底上制备了低浓度Al掺杂(≤1mol%)的SnO2系列薄膜。通过X射线衍射、扫描电镜、紫外-红外光谱仪及光致发光(PL)实验,展现了薄膜的晶体结构及光学特性。结果表明:当Al浓度增加时,薄膜晶格常数c减小,表明Al... 采用射频(RF)磁控溅射法在玻璃衬底上制备了低浓度Al掺杂(≤1mol%)的SnO2系列薄膜。通过X射线衍射、扫描电镜、紫外-红外光谱仪及光致发光(PL)实验,展现了薄膜的晶体结构及光学特性。结果表明:当Al浓度增加时,薄膜晶格常数c减小,表明Al原子成功替代Sn原子并产生了大量的氧空位。在400~800 nm的可见光范围,薄膜的平均透射率可达88%以上。当Al浓度持续增加时,由于Burstein-Moss(BM)效应使薄膜带隙增宽。此外,测量发现,在265 nm波长的光激发下,所制备薄膜的PL谱具有典型的近边带和深能级辐射发光,其峰值随Al浓度的增加而增大。 展开更多
关键词 sno2薄膜 射频磁控溅射 晶体结构 光学特性
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SnO2/Sn3O4复合膜的水热法制备及其光电化学特性 被引量:1
5
作者 胡娟 刘青 +2 位作者 高颖波 杜荣归 林昌健 《厦门大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2015年第5期721-725,共5页
应用水热法在掺杂氟的SnO2(fluorine-tin-oxide,FTO)导电玻璃表面成功制备SnO2/Sn3O4复合膜,采用X射线衍射法、拉曼光谱分析、场发射扫描电子显微镜和紫外-可见分光光度法对薄膜的结构、组成、形貌及其光学性能进行了表征.通过光电流测... 应用水热法在掺杂氟的SnO2(fluorine-tin-oxide,FTO)导电玻璃表面成功制备SnO2/Sn3O4复合膜,采用X射线衍射法、拉曼光谱分析、场发射扫描电子显微镜和紫外-可见分光光度法对薄膜的结构、组成、形貌及其光学性能进行了表征.通过光电流测试,检测了薄膜的光电化学特性.结果表明:制备的样品由Sn3O4和SnO2混合纳米片形成的微米花球组成复合物薄膜.前驱体溶液中柠檬酸钠的含量对制备的产物组成有大的影响.薄膜在白光和可见光照射下均有较好的光电响应,对不锈钢能提供光生阴极保护,因此,在太阳能转换方面有潜在的应用价值. 展开更多
关键词 水热法 sno2 Sn3O4 复合膜 光电化学特性
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添加剂对SnO2纳米薄膜微结构与光致发光性质影响的研究 被引量:1
6
作者 秦苏梅 邓红梅 +1 位作者 童梓洋 杨平雄 《分析测试学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第11期1194-1197,共4页
以SnCl2.2H2O及无水乙醇为原料,利用溶胶-凝胶法(sol-gel)制备了SnO2纳米薄膜。在溶胶中添加了多种添加剂,用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)和光致发光谱仪(PL)研究了添加剂对薄膜结构、形貌和光学性质的影响,结果表明氨水的加入能抑... 以SnCl2.2H2O及无水乙醇为原料,利用溶胶-凝胶法(sol-gel)制备了SnO2纳米薄膜。在溶胶中添加了多种添加剂,用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)和光致发光谱仪(PL)研究了添加剂对薄膜结构、形貌和光学性质的影响,结果表明氨水的加入能抑制晶粒快速长大,未加入氨水的SnO2薄膜在750℃和900℃热处理后平均晶粒尺寸分别为23.1 nm和50.5 nm,而加入氨水后的平均晶粒尺寸分别为19.6 nm和42.8 nm;丙三醇(GCR)的添加能抑制团聚和防止深裂痕,使薄膜光滑、平整;表面活性剂聚乙二醇2000、聚乙二醇4000能使薄膜产生空隙和大量孔洞,从而大大增加薄膜比表面积,使之气敏性能显著提高,同时还发现,相同量的聚乙二醇2000和聚乙二醇4000,后者产生的孔洞比前者密;对光致发光性质进行了研究,结果表明聚乙二醇2000的加入使发光强度增大。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 sno2薄膜 添加剂 微结构 光致发光
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不锈钢表面纳米SnO2/TiO2复合薄膜制备及防腐蚀性能 被引量:3
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作者 王爱萍 周爱华 《中国海洋大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2020年第3期81-87,共7页
采用溶胶凝胶法在不锈钢基体(304ss)上制备叠层式纳米SnO2/TiO2复合薄膜。使用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)表征纳米复合薄膜材料的晶体结构和微观形貌,通过交流阻抗技术(EIS)和极化曲线(Polarization Curves)电化学方法研究不... 采用溶胶凝胶法在不锈钢基体(304ss)上制备叠层式纳米SnO2/TiO2复合薄膜。使用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)表征纳米复合薄膜材料的晶体结构和微观形貌,通过交流阻抗技术(EIS)和极化曲线(Polarization Curves)电化学方法研究不锈钢表面纳米复合薄膜在模拟海水体系中的腐蚀行为。结果表明:制备叠层式纳米复合薄膜TiO2为锐钛矿型,SnO2为金红石型;不锈钢表面构筑叠层式纳米SnO2/TiO2复合薄膜颗粒粒径小,分布均匀且表面致密。电化学测试表明,叠层式纳米SnO2/TiO2复合薄膜阻抗值高于TiO2薄膜,且对不锈钢基体阳极反应有明显钝化过程,具有良好防腐蚀性能;同时叠层式纳米SnO2/TiO2复合薄膜存在最优叠加SnO2层数,叠加3层SnO2的纳米SnO2/TiO2复合薄膜电极防腐蚀性能最佳。 展开更多
关键词 二氧化钛 二氧化锡 叠层式纳米复合薄膜 电化学 耐腐蚀性
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二甲基二氯化锡前驱体CVD制备SnO2∶F薄膜及其性能研究 被引量:1
8
作者 陈峰 张振华 +2 位作者 赵会峰 鲍思权 姜宏 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第24期6-10,15,共6页
采用二甲基二氯化锡(DMTC)为新前驱体,通过常压CVD法在硼硅玻璃基板上制备SnO_2∶F透明导电薄膜,研究了DMTC、TFA和H_2O的含量对薄膜结构及光电性能的影响,研究表明当F/Sn物质的量比为1∶1、H2O/Sn物质的量比为3∶2时,制备出可见光透过... 采用二甲基二氯化锡(DMTC)为新前驱体,通过常压CVD法在硼硅玻璃基板上制备SnO_2∶F透明导电薄膜,研究了DMTC、TFA和H_2O的含量对薄膜结构及光电性能的影响,研究表明当F/Sn物质的量比为1∶1、H2O/Sn物质的量比为3∶2时,制备出可见光透过率84.17%、方块电阻9.2Ω/□且结晶性能良好的多晶SnO_2薄膜。通过与单丁基三氯化锡(MBTC)为前驱体所制备薄膜的性能进行比较,结果表明,两种前驱体所制备薄膜均具有四方金红石结构,利用DMTC不仅可以制备出与MBTC性能相近的薄膜,同时薄膜表面更加均匀。 展开更多
关键词 二甲基二氯化锡 化学气相沉积法 sno2∶F薄膜
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Conduction Properties and Scattering Mechanisms in F-doped Textured Transparent Conducting SnO_2 Films Deposited by APCVD 被引量:1
9
作者 Deheng ZHANG(Dept. of Physics, Shandong University, Jinan 250100, China)Honglei MA(Institute of Optoelectronic Materials and Devices, Shandong University, Jinan 250100, China) 《Journal of Materials Science & Technology》 SCIE EI CAS CSCD 1997年第1期50-56,共7页
Transparent conducting F-doped texture SnO2 films with resistivity as low as 5× 10-4 Ω ·cm,with carrier concentrations between 3.5 × 1020 and 7× 1020 cm-3 and Hall mobilities from 15.7 to 20.1 cm2... Transparent conducting F-doped texture SnO2 films with resistivity as low as 5× 10-4 Ω ·cm,with carrier concentrations between 3.5 × 1020 and 7× 1020 cm-3 and Hall mobilities from 15.7 to 20.1 cm2/(V/s) have been prepared by atmosphere pressure chemical vapour deposition (APCVD). These polycrystalline films possess a variable preferred orientation, the polycrystallite sizes and orientations vary with substrate temperature. The substrate temperature and fluorine flow rate dependence of conductivity, Hall mobility and carrier conentration fOr the resultingfilms have been obtained. The temperature dependence of the mobiity and carrier concentrationhave been measured over a temperature range 16~400 K. A systematically theoretical analysis on scattering mechanisms for the highly conductive SnO2 films has been given. Both theoretical analysis and experimental results indicate that for these degenerate, polycrystalline SnO2 :F films in the low temperature range (below 100 K), ionized impurity scattering is main scattering mechanism. However, when the temperature is higher than 100 K, the lattice vibration scattering becomes dominant. The grain boundary scattering makes a small contribution to limit the mobility of the films. 展开更多
关键词 SNO cm Conduction Properties and Scattering Mechanisms in F-doped Textured Transparent Conducting sno2 films Deposited by APCVD
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喷雾热解法制备SnO2:Sb+F透明导电薄膜
10
作者 赵高扬 魏征 +1 位作者 郅晓 张卫华 《中国材料科技与设备》 2006年第5期83-85,共3页
采用溶胶-凝胶与喷雾热解相结合的方法,在大面积浮法玻璃基板上制备出了SnO2:Sb+F透明导电薄膜,研究了F/Sn比例、基板温度与SnO2薄膜的结构、形貌、光电性能的关系。实验结果表明:在溶胶的Sn:Sb:F比例为1:0.04:0.5和基板温度... 采用溶胶-凝胶与喷雾热解相结合的方法,在大面积浮法玻璃基板上制备出了SnO2:Sb+F透明导电薄膜,研究了F/Sn比例、基板温度与SnO2薄膜的结构、形貌、光电性能的关系。实验结果表明:在溶胶的Sn:Sb:F比例为1:0.04:0.5和基板温度550℃的条件下,制备的SnO2:Sb+F薄膜具有最佳的导电性能及较高的透光率,薄膜方阻达25Ω/□,电阻率为7.5×10^-4Ω·cm,平均可见光透过率为77.4%,辐射率e=0.208,表现出了较好的低辐射性。 展开更多
关键词 透明导电薄膜 sno2:Sb+F 喷雾热解 光电性能 大面积
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溶胶凝胶法制备ZnO—SnO2复合交替透明导电薄膜
11
作者 李怀祥 秦洪武 +2 位作者 周宏伟 崔洪泰 董川 《纳米科技》 2009年第1期34-40,共7页
用溶胶凝胶法制备了ZnO—SnO2交替薄膜,具有工艺设备简单、后处理温度低、对衬底要求比较宽、易于定量掺杂等特点,通过X光电子能谱、紫外-可见吸收光谱和扫描电子显微镜对样品的组成及形貌等进行了分析与表征,测量发现,随着温度的... 用溶胶凝胶法制备了ZnO—SnO2交替薄膜,具有工艺设备简单、后处理温度低、对衬底要求比较宽、易于定量掺杂等特点,通过X光电子能谱、紫外-可见吸收光谱和扫描电子显微镜对样品的组成及形貌等进行了分析与表征,测量发现,随着温度的升高薄膜的电阻变小,导电性变好? 展开更多
关键词 溶胶-凝胶 二氧化锡-氧化锌 透明导电膜 电流-电压关系
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立式雾化辅助CVD系统的设计与实现
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作者 赵丹 向星承 +4 位作者 詹宇 陈茵豪 秦源涛 肖黎 龚恒翔 《微纳电子技术》 2025年第1期152-157,共6页
雾化辅助化学气相沉积(CVD)技术是一种高质量氧化物薄膜的低成本制备方法。设计并搭建了一套立式雾化辅助CVD系统,该系统包含了雾化源、立式反应腔体、加热、水冷和尾气处理模块。采用该系统制备了SnO_(2)薄膜,采用X射线衍射仪(XRD)对... 雾化辅助化学气相沉积(CVD)技术是一种高质量氧化物薄膜的低成本制备方法。设计并搭建了一套立式雾化辅助CVD系统,该系统包含了雾化源、立式反应腔体、加热、水冷和尾气处理模块。采用该系统制备了SnO_(2)薄膜,采用X射线衍射仪(XRD)对薄膜样品进行分析,并用扫描电子显微镜(SEM)观察样品表面形貌。实验结果表明:采用所设计的立式雾化辅助CVD系统制备出了沿(200)晶面生长的SnO_(2)薄膜,其(200)衍射峰半高宽为0.22°。SnO_(2)薄膜表面较大的晶粒呈现类金字塔状,薄膜表面颗粒尺寸较为均匀。通过计算得出薄膜表面最大颗粒平均粒径为145 nm。所设计的系统结构合理、操作简单,制备的薄膜具有较高的质量。 展开更多
关键词 雾化辅助化学气相沉积(CVD) 薄膜沉积系统设计 立式腔体 SnO_(2)薄膜 结构与形貌
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Fe掺杂SnO2纳米晶薄膜的微观结构和性能 被引量:2
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作者 孙扬 刘晓芳 于荣海 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期346-350,共5页
采用反应磁控溅射法制备了Fe掺杂的SnO_2薄膜.沉积衬底为(100)的单晶硅,基片温度270℃,Ar为溅射气体.使用XRD,AFM和VSM研究氧分压对薄膜晶体结构和室温磁性能的影响.实验表明,氧分压为0.12Pa时,溅射得到的化学成分为Sn_(0.975)Fe_(0.025... 采用反应磁控溅射法制备了Fe掺杂的SnO_2薄膜.沉积衬底为(100)的单晶硅,基片温度270℃,Ar为溅射气体.使用XRD,AFM和VSM研究氧分压对薄膜晶体结构和室温磁性能的影响.实验表明,氧分压为0.12Pa时,溅射得到的化学成分为Sn_(0.975)Fe_(0.025)O_(2-δ)的薄膜样品具有明显的室温铁磁性,平均饱和原子磁矩达到1.8μ_B/Fe.通过HRTEM和EDS分析了此样品的显微结构和成分分布,实验结果表明,薄膜由粒径3~7nm的纳米晶构成,为四方金红石SnO_2相;Fe元素分布较为均匀,排除了磁性能是由第二相产生的可能;同时由于薄膜电阻率接近于绝缘体,室温磁性能不是由载流子诱导机制形成的,而与晶格内部大量缺陷的存在密切相关. 展开更多
关键词 反应磁控溅射 Fe掺杂sno2薄膜 微观结构 室温磁性能
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退火处理对SnO2:F薄膜光电性能的影响 被引量:4
14
作者 李铭 高倩 +2 位作者 刘涌 宋晨路 韩高荣 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第1期132-135,共4页
SnO2∶F薄膜作为low-e玻璃的表面功能层材料,广泛应用于节能镀膜玻璃。Low-e玻璃在后期退火(深加工)后,其性能的变化已经引起了学术研究和实际应用方面的的关注。我们对于用化学气相沉积法在玻璃表面沉积的约250nm厚的SnO2∶F薄膜进行... SnO2∶F薄膜作为low-e玻璃的表面功能层材料,广泛应用于节能镀膜玻璃。Low-e玻璃在后期退火(深加工)后,其性能的变化已经引起了学术研究和实际应用方面的的关注。我们对于用化学气相沉积法在玻璃表面沉积的约250nm厚的SnO2∶F薄膜进行不同的退火处理。并通过一系列的研究,结果发现,薄膜的结构、组成、电学、光学性能在氮气和空气两种不同的退火气氛下会有显著的变化。SnO2∶F薄膜的Low-e性能经过空气中高温退火后下降明显。通过计算对比退火后SnO2∶F薄膜的晶格常数和晶胞尺寸,提出了一种对于薄膜Low-e性能下降的合理解释。 展开更多
关键词 LOW-E sno2∶F薄膜 退火 常压化学气相沉积
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Pd掺杂SnO2厚膜CO2气体传感器的制备及其气敏特性研究 被引量:5
15
作者 毕道广 罗兵 +2 位作者 张福增 王婷婷 姚英邦 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2021年第1期11-18,共8页
当前CO2的过度排放引发了一系列的环境问题,CO2的检测技术成为气体传感器研究领域的热点。半导体气敏传感器是气体传感器研究的主流方向之一,其中丝网印刷法是制备厚膜传感器的最常见的方法。本文采用纳米SnO2作为主要的气敏材料,制备... 当前CO2的过度排放引发了一系列的环境问题,CO2的检测技术成为气体传感器研究领域的热点。半导体气敏传感器是气体传感器研究的主流方向之一,其中丝网印刷法是制备厚膜传感器的最常见的方法。本文采用纳米SnO2作为主要的气敏材料,制备了不同Pd掺杂含量的SnO2浆料,然后采用丝网印刷法制备了SnO2厚膜CO2气体传感器。研究发现,当Pd的含量为SnO2的1%(质量分数)时,传感器在258℃工作温度下,对CO2有最大的响应值1.98。该传感器能够检测的CO2浓度下限为1000ppm,其响应值随着CO2浓度的升高而增大。 展开更多
关键词 CO2气体传感器 厚膜 sno2 Pd掺杂
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柔性PANI-SnO2复合薄膜的制备及其对NH3的气敏特性 被引量:3
16
作者 崔艳雷 张铭 +1 位作者 李雪伟 王如志 《微纳电子技术》 北大核心 2019年第7期570-574,592,共6页
以苯胺与二氧化锡(SnO2)为前体,通过将原位化学氧化聚合法与静电吸附相结合,在柔性衬底聚酰亚胺(PI)上制备了聚苯胺-二氧化锡(PANI-SnO2)复合薄膜。通过傅里叶红外光谱(FTIR)、扫描电子显微镜(SEM)与X射线衍射(XRD)对复合薄膜的结构与... 以苯胺与二氧化锡(SnO2)为前体,通过将原位化学氧化聚合法与静电吸附相结合,在柔性衬底聚酰亚胺(PI)上制备了聚苯胺-二氧化锡(PANI-SnO2)复合薄膜。通过傅里叶红外光谱(FTIR)、扫描电子显微镜(SEM)与X射线衍射(XRD)对复合薄膜的结构与形貌进行表征,证实了PANI-SnO2的成功合成与复合。对其在室温条件下进行了一系列气敏性能测试,结果表明SnO2的添加有效提升了PANI对氨气(NH3)的响应能力;该PANI-SnO2复合薄膜对体积分数为1×10^-5~6×10^-5的NH3具有良好的灵敏度,此外,该复合薄膜具有良好的重复性与选择性;而且在进行弯折处理后,PANI-SnO2对NH3的响应值并无明显变化。上述结果都表明PANI-SnO2复合薄膜对NH3的检测具有实际应用价值。 展开更多
关键词 PANI-sno2复合薄膜 氨气(NH3) 气体传感器 柔性衬底 气敏特性
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MOCVD法制备SnO2单晶薄膜的结构和光学性质 被引量:1
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作者 冯先进 马瑾 +1 位作者 杨帆 栾彩娜 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第A01期298-299,共2页
用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)法在蓝宝石(0001)衬底上制备出高质量的氧化锡(SnO2)单晶薄膜。对制备薄膜的结构和光学性质进行了研究。制备样品具有纯snO2的四方金红石结构,其外延生长方向为SnO2(100)∥Al2O3(0001)。薄... 用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)法在蓝宝石(0001)衬底上制备出高质量的氧化锡(SnO2)单晶薄膜。对制备薄膜的结构和光学性质进行了研究。制备样品具有纯snO2的四方金红石结构,其外延生长方向为SnO2(100)∥Al2O3(0001)。薄膜均匀、致密,具有很好的取向性和结晶性。透射谱测量结果表明,在可见光区薄膜的绝对透过率达到了90%以上。 展开更多
关键词 MOCVD sno2单晶薄膜 蓝宝石衬底
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Photoelectrocatalytic activity of two antimony doped SnO_2 films for oxidation of phenol pollutants 被引量:3
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作者 王艳 樊彩梅 +2 位作者 华勃 梁镇海 孙彦平 《中国有色金属学会会刊:英文版》 EI CSCD 2009年第3期778-783,共6页
Two types of Sb-doped SnO2 films on titanium substrate were prepared by the combination of electro-deposition and dip-coating (Ti/SnO2-Sb2O4/SnO2-Sb2O4) and single dip-coating (Ti/SnO2-Sb2O4), respectively. The surfac... Two types of Sb-doped SnO2 films on titanium substrate were prepared by the combination of electro-deposition and dip-coating (Ti/SnO2-Sb2O4/SnO2-Sb2O4) and single dip-coating (Ti/SnO2-Sb2O4), respectively. The surface morphology and crystalline structure of both film electrodes were characterized using X-ray diffractometry(XRD) and scanning electron microscopy(SEM). XRD spectra indicate that the rutile SnO2 forms in two films and a TiO2 crystallite exists only in Ti/SnO2-Sb2O4 electrode. SEM images show that the surface morphology of two films is typically cracked-mud structure. The photooxidation experiment was proceeded to further confirm the two electrode activity. The results show that the photoelectrocatalytic degradation efficiency of Ti/SnO2-Sb2O4 electrode with sub-layer is higher than that of simple Ti/SnO2-Sb2O4 electrode using phenol as a model organic pollutant. The Ti/SnO2-Sb2O4/SnO2-Sb2O4 photoanode has a better photoelectrochemical performance than Ti/SnO2-Sb2O4 photoanode for the removal of organic pollutants from water. 展开更多
关键词 光电催化活性 sno2薄膜 有机污染物 二氧化钛 苯酚 锑掺杂 X射线衍射谱 扫描电子显微镜
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Preparation and Characterization of CeO_2-TiO_2/SnO_2:Sb Films Deposited on Glass Substrates by R.F.Sputtering 被引量:6
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作者 ZHAO Qingnan DONG Yuhong NI Jiamiao WANG Peng ZHAO Xiujian 《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》 SCIE EI CAS 2008年第4期443-447,共5页
CeO2-TiO2 films and CeO2-TiO/SnO2:Sb (6 mol%) double films were deposited on glass substrates by radio-frequency magnetron sputtering (R.F. Sputtering), using SnO2:Sb(6 mol%) target, and CeO2- TiO2 targets wit... CeO2-TiO2 films and CeO2-TiO/SnO2:Sb (6 mol%) double films were deposited on glass substrates by radio-frequency magnetron sputtering (R.F. Sputtering), using SnO2:Sb(6 mol%) target, and CeO2- TiO2 targets with different molar ratio of CeO2 to TiO2 (CeO2:TiO2-0:1.0; 0.1:0.9; 0.2:0.8; 0.3:0.7; 0.4:0.6; 0.5:0.5; 0.6:0.4; 0.7:0.3; 0.8:0.2; 0.9:0.1; 1.0:0). The films are characterized by UV-visible transmission and infrared reflection spectra, scanning electron microscopy (SEM), Raman spectroscopy, X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) and X-ray diffraction (XRD), respectively. The obtained results show that the amorphous phases composed of CeO2-TiO2 play an important role in absorbing UV, there are Ce^3-, Ce^4- and Ti^4- on the surface of the films; the glass substrates coated with CeO2-TiO2 (Ce/Ti=0.5:0.5; 0.6:0.4)/SnO2:Sb(6 mol%) double films show high absorbing UV(〉99), high visible light transmission (75%) and good infrared reflection (〉70%). The sheet resistance of the films is 30-50 Ω/□. The glass substrates coated with the double functional films can be used as window glass of buildings, automobile and so on. 展开更多
关键词 coating glass CeO2-TiO/sno2:Sb double thin films absorbing UV IR reflection R.F. sputterin
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Optimization of Gas Sensing Performance of Nanocrystalline SnO_2 Thin Films Synthesized by Magnetron Sputtering 被引量:2
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作者 N.Panahi M.T.Hosseinnejad +1 位作者 M.Shirazi M.Ghoranneviss 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2016年第6期99-103,共5页
Tin oxide (SnO2) is one of the most promising transparent conducting oxide materials, which is widely used in thin film gas sensors. We investigate the dependence of the deposition time on structural, morphologicaJ ... Tin oxide (SnO2) is one of the most promising transparent conducting oxide materials, which is widely used in thin film gas sensors. We investigate the dependence of the deposition time on structural, morphologicaJ and hydrogen gas sensing properties of SnO2 thin films synthesized by dc magnetron sputtering. The deposited samples are characterized by XRD, SEM, AFM, surface area measurements and surface profiler. Also the H2 gas sensing properties of SnO2 deposited samples are performed against a wide range of operating temperature. The XRD analysis demonstrates that the degree of crystallinity of the deposited SnO2 films strongly depends on the deposition time. SEM and AFM analyses reveal that the size of nanoparticles or agglomerates, and both average and rms surface roughness is enhanced with the increasing deposition time. Also gas sensors based on these SnO2 nanolayers show an acceptable response to hydrogen at various operating temperatures. 展开更多
关键词 of on as it or in Optimization of Gas Sensing Performance of Nanocrystalline sno2 Thin films Synthesized by Magnetron Sputtering SNO by
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