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层间热处理对SiO_2/ZrO_2双层膜的影响 被引量：1
1
作者 章春来 蒋晓东 +5 位作者 袁晓东 向霞 祖小涛 王毕艺 吕海兵 郑万国 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第9期1469-1473,共5页
以正硅酸乙酯和丙醇锆为前驱体,用溶胶-凝胶法在K9基片上提拉镀制SiO2/ZrO2双层膜。采用不同实验步骤制备了2个样品,样品1镀完SiO2后直接镀ZrO2,样品2镀完SiO2经热处理后再镀ZrO2。采用原子力显微镜、椭偏仪、紫外-可见分光光度计对薄... 以正硅酸乙酯和丙醇锆为前驱体,用溶胶-凝胶法在K9基片上提拉镀制SiO2/ZrO2双层膜。采用不同实验步骤制备了2个样品,样品1镀完SiO2后直接镀ZrO2,样品2镀完SiO2经热处理后再镀ZrO2。采用原子力显微镜、椭偏仪、紫外-可见分光光度计对薄膜进行表征。针对SiO2/ZrO2双层膜,考虑到膜间渗透的影响,采用3层Cauchy模型进行椭偏模拟,椭偏参数的模拟值曲线与椭偏仪的测量值曲线十分吻合,进而发现热处理可以使SiO2/ZrO2双层膜之间的渗透减少近23 nm,从而提高其峰值透射率。利用输出波长1.064μm,脉宽8.1 ns的激光束对样品进行了损伤阈值的测试,用光学显微镜观察损伤形貌,结果发现两者损伤阈值分别为13.6 J/cm2和14.18 J/cm2,均为膜的本征损伤。 展开更多
关键词 sio2/zro2双层膜 溶胶-凝胶 热处理 椭偏模拟 膜间渗透 激光损伤阈值
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溶胶-凝胶ZrO_2/SiO_2双层减反膜(英文) 被引量：2
2
作者 李海元 熊怀 +1 位作者 唐永兴 胡丽丽 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第S2期145-148,共4页
以锆酸丙酯[Zr(OPr)4]、正硅酸乙酯(TEOS)为原料,用溶胶-凝胶提拉法涂膜,制备了高透过的λ/4-λ/4型ZrO2/SiO2双层减反膜。以锆酸丙酯为前驱体,乙酰丙酮为络合剂,在盐酸的催化条件下,于乙醇溶剂中水解制备ZrO2溶胶。ZrO2溶胶具有很好的... 以锆酸丙酯[Zr(OPr)4]、正硅酸乙酯(TEOS)为原料,用溶胶-凝胶提拉法涂膜,制备了高透过的λ/4-λ/4型ZrO2/SiO2双层减反膜。以锆酸丙酯为前驱体,乙酰丙酮为络合剂,在盐酸的催化条件下,于乙醇溶剂中水解制备ZrO2溶胶。ZrO2溶胶具有很好的稳定性。制备的双层减反膜具有很好的减反效果,在石英玻璃基片二面涂膜,在激光三倍频波长351nm处透过率达到99.41%,在BK-7光学玻璃基片上涂制的双减反层膜在基频波长1053nm处透过率达到99.63%。该减反膜的均方根粗糙度(RMS)为1.038nm。膜层具有较高的激光损伤阈值,在激光波长为1064nm,脉冲宽度为1ns时,ZrO2膜的激光损伤阈值为19.6J/cm2,双层减反膜的激光损伤阈值为16.8J/cm2。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶 薄膜 zro2/sio2 双层减反
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ZrO_2-SiO_2膜的制备和结构研究 被引量：13
3
作者 黄永前 郑昌琼 +1 位作者 胡英 张育林 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第2期204-206,共3页
以正硅酸乙酯和氧氯化锆为原料 ,用溶胶 -凝胶法制备了无支撑ZrO2 -SiO2 膜。应用DTA -TG、XRD、SEM和BET等测试技术对无支撑ZrO2 -SiO2 膜的结构、表面形貌和孔径进行了表征 ,结果表明ZrO2 -SiO2 凝胶膜虽在 46 7℃开始出现少量单斜ZrO... 以正硅酸乙酯和氧氯化锆为原料 ,用溶胶 -凝胶法制备了无支撑ZrO2 -SiO2 膜。应用DTA -TG、XRD、SEM和BET等测试技术对无支撑ZrO2 -SiO2 膜的结构、表面形貌和孔径进行了表征 ,结果表明ZrO2 -SiO2 凝胶膜虽在 46 7℃开始出现少量单斜ZrO2 ,但在 5 0 0℃和 12 0 0℃热处理后的主晶相均为四方ZrO2 ,显然SiO2 的存在阻碍了四方相ZrO2 向单斜相ZrO2 转变的过程 ,ZrO2 -SiO2 膜具有比ZrO2 膜更高的热稳定性 ,在95 0℃烧结的无支撑ZrO2 -SiO2 膜孔径稍呈双峰分布 ,其最可几孔径为 3 .3 5nm。 展开更多
关键词 zro2-sio2膜 溶胶-凝胶 制备 结构 热稳定性
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Sol-Gel法制备Al_2O_3-SiO_2-TiO_2-ZrO_2复合陶瓷膜的研究 被引量：4
4
作者 徐晓虹 吴建锋 +1 位作者 白占良 张英 《中国陶瓷》 CAS CSCD 2003年第6期21-23,共3页
将Sol-Gel法应用于无机膜的制备,成功的研制出一种新型的膜面平整、膜厚均匀且无宏观缺陷的Al2O3-SiO2-TiO2-ZrO2复合陶瓷膜,复合膜含有γ-Al2O3、SiO2、TiO2、ZrO2和Al2SiO5等晶相,改变体系组成含量,晶相组成和含量随之变化,从而引起... 将Sol-Gel法应用于无机膜的制备,成功的研制出一种新型的膜面平整、膜厚均匀且无宏观缺陷的Al2O3-SiO2-TiO2-ZrO2复合陶瓷膜,复合膜含有γ-Al2O3、SiO2、TiO2、ZrO2和Al2SiO5等晶相,改变体系组成含量,晶相组成和含量随之变化,从而引起膜的显微结构的变化。利用XRD、SEM、AFM、EPMA等测试手段重点研究了膜的表面形貌和显微结构,并分析了添加剂、热处理方式等对膜的表面形貌和显微结构影响。 展开更多
关键词 溶胶—凝胶法 Al2O3—sio2—TiO2—zro2复合陶瓷膜 表面形貌 显微结构
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ZrO_2/SiO_2多层膜的化学法制备研究 被引量：4
5
作者 杨帆 沈军 +4 位作者 吴广明 孙骐 付甜 张志华 王珏 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第4期326-330,共5页
　分别以ZrOCl2·8H2O和正硅酸乙酯为原料,采用溶胶 凝胶工艺制备了性能稳定的ZrO2和SiO2溶胶。用旋转镀膜法分别在K9玻璃和单晶硅片上制备了ZrO2/SiO2多层膜。采用溶剂替换和紫外光处理等手段,有效地解决了ZrO2/SiO2多层膜中膜层... 　分别以ZrOCl2·8H2O和正硅酸乙酯为原料,采用溶胶 凝胶工艺制备了性能稳定的ZrO2和SiO2溶胶。用旋转镀膜法分别在K9玻璃和单晶硅片上制备了ZrO2/SiO2多层膜。采用溶剂替换和紫外光处理等手段,有效地解决了ZrO2/SiO2多层膜中膜层开裂和膜间渗透等问题。应用扫描电子显微镜观测了薄膜的表面和剖面微观形貌,并用椭偏仪测得薄膜的厚度和折射率,研究了薄膜厚度、折射率与热处理温度、紫外光处理时间的关系,对所获得薄膜的紫外 可见、红外光谱进行了分析。用输出波长1064nm,脉宽15ns的电光调Q激光系统产生的强激光进行了单层膜的辐照实验,结果发现溶剂替换后激光损伤阈值有所提高。 展开更多
关键词 zro2/sio2多层膜 氧化锆 二氧化硅 化学法制备 溶胶-凝胶工艺 紫外光处理 激光损伤阈值 旋转镀膜法
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溶胶-凝胶法制备SiO_2/ZrO_2无机复合膜的研究 被引量：7
6
作者 张克铮 邱春阳 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期251-254,共4页
以硅酸乙酯和氧氯化锆为先驱体,用乙醇为溶剂,采用溶胶——凝胶法于室温下在Al2O3基体上制备了ZrO2/SiO2无机复合膜.重点考察了涂膜温度、ZrOCl2摩尔百分含量、溶胶浓度及添加剂对膜性能的影响.结果表明:在较高的温度下涂膜可以提高膜... 以硅酸乙酯和氧氯化锆为先驱体,用乙醇为溶剂,采用溶胶——凝胶法于室温下在Al2O3基体上制备了ZrO2/SiO2无机复合膜.重点考察了涂膜温度、ZrOCl2摩尔百分含量、溶胶浓度及添加剂对膜性能的影响.结果表明:在较高的温度下涂膜可以提高膜的性能;ZrOCl2的存在对渗透比的影响不大,但能够提高溶胶的交联度,从而提高制膜效率,同时也有利于渗透通量的提高;采用浓溶胶和稀溶胶结合的方式涂膜不但可以提高制膜效率,还可以提高膜的性能.添加剂TEABr能够均化膜孔径,提高膜的性能. 展开更多
关键词 溶胶——凝胶法 zro2/sio2 渗透比 渗透通量 无机复合膜
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氨处理抑制SiO_2/ZrO_2薄膜膜间渗透 被引量：1
7
作者 章春来 尹伟 +6 位作者 祖小涛 王毕艺 向霞 袁晓东 蒋晓东 吕海兵 郑万国 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第8期711-715,共5页
以正硅酸乙酯和丙醇锆为原料,用溶胶-凝胶法在K9基片上提拉镀制SiO2/ZrO2双层膜,样品1镀完SiO2后直接镀ZrO2,样品2镀完SiO2经氨处理后再镀ZrO2。研究表明,ψ和Δ两个椭偏参数的模拟值曲线与椭偏仪的测量值曲线十分吻合,进而发现氨处理... 以正硅酸乙酯和丙醇锆为原料,用溶胶-凝胶法在K9基片上提拉镀制SiO2/ZrO2双层膜,样品1镀完SiO2后直接镀ZrO2,样品2镀完SiO2经氨处理后再镀ZrO2。研究表明,ψ和Δ两个椭偏参数的模拟值曲线与椭偏仪的测量值曲线十分吻合,进而发现氨处理可有效抑制SiO2/ZrO2双层膜之间的渗透,氨处理后渗透层减少近45 nm。利用激光束对两种样品进行了损伤阈值的测试,用光学显微镜观察损伤形貌,结果发现两者损伤阈值分别为14.8和15.03 J/cm2,损伤形貌均为熔融型。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶 sio2/zro2 氨处理 椭偏模拟 膜间渗透 激光损伤阈值
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Al_2O_3-SiO_2-TiO_2-ZrO_2复合陶瓷膜的制备与表征 被引量：1
8
作者 徐晓虹 张英 +1 位作者 吴建锋 白占良 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 2003年第5期28-31,共4页
采用Sol-Gel法制备出掺杂SiO2 ,TiO2 及ZrO2 改性的γ -Al2 O3 膜 ,并通过SEM ,EPMA ,AFM等测试手段对膜结构和性能进行表征。探讨了制膜工艺条件对膜性能及结构的影响。制备的Al2 O3 复合膜膜厚为 1～ 2 μm ,结构均匀无缺陷。
关键词 AL2O3 sio2 TiO2 zro2 复合陶瓷膜 制备 表征 膜结构 性能 掺杂 Γ-AL2O3膜
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单层SiO_2和ZrO_2薄膜激光辐照损伤的对比 被引量：1
9
作者 章春来 郭袁俊 +3 位作者 吕海兵 袁晓东 蒋晓东 祖小涛 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2011年第1期115-118,122,共5页
分别采用物理气相沉积和溶胶-凝胶技术在K9基片上镀制了4块光学厚度相近的Si O2和ZrO2单层膜。分别采用椭偏仪、透射式光热透镜和原子力显微镜对两类薄膜的孔隙率、热吸收和微观表面形貌进行了表征;利用Nd∶YAG激光器测试了样品的激光... 分别采用物理气相沉积和溶胶-凝胶技术在K9基片上镀制了4块光学厚度相近的Si O2和ZrO2单层膜。分别采用椭偏仪、透射式光热透镜和原子力显微镜对两类薄膜的孔隙率、热吸收和微观表面形貌进行了表征;利用Nd∶YAG激光器测试了样品的激光损伤阈值(LIDT;1 064 nm/8.1 ns),并用光学显微镜观察了两类薄膜的损伤形貌。结果表明,化学膜的孔隙率和表面粗糙度均大于相应的物理膜;对同一类薄膜而言,Si O2化学膜的孔隙率和表面粗糙度都比ZrO2化学膜大,物理膜则相反。化学膜有更小的热吸收,其损伤阈值普遍比物理膜高出1倍,其损伤形貌多为热熔型,而物理膜多为应力型。 展开更多
关键词 sio2/zro2薄膜 孔隙率 热吸收 激光损伤阈值 损伤形貌
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化学修饰法制备的ZrO_2-SiO_2系凝胶薄膜的感光特性研究 被引量：4
10
作者 赵桂荣 赵高扬 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第2期207-208,211,共3页
本研究采用溶胶 凝胶与化学修饰相结合的方法制备了xZrO2 ·(10 0 -x)SiO2 系薄膜 ,进一步研究了这种薄膜的紫外光谱特性 ,发现了当x >3 0时 ,这种凝胶薄膜在 3 3 5nm附近有较强的吸收峰 ,这一吸收峰对应于与Zr形成配位体的BzAc... 本研究采用溶胶 凝胶与化学修饰相结合的方法制备了xZrO2 ·(10 0 -x)SiO2 系薄膜 ,进一步研究了这种薄膜的紫外光谱特性 ,发现了当x >3 0时 ,这种凝胶薄膜在 3 3 5nm附近有较强的吸收峰 ,这一吸收峰对应于与Zr形成配位体的BzAcH的π π 迁移。当紫外光照射薄膜后 ,随着含Zr螯合物的分解 ,吸收峰也消失 ,并引起薄膜在有机溶剂中的溶解特性的显著变化 ,表现出明显的感光特性。这种薄膜经 40 0℃、3 0min热处理以后 ,薄膜中的有机物消失 ,可获得非晶质的ZrO2 SiO2 系薄膜 ,依据这一特性可以用紫外光对这类薄膜进行微细加工。 展开更多
关键词 熔胶-凝胶法 化学修饰 微细加工 吸光度 氧化锆-氧化硅薄膜
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酸碱催化法制备双层及复合SiO_2增透膜及其光学性能 被引量：1
11
作者 张慧 范多旺 +1 位作者 王成龙 苟树翻 《兰州交通大学学报》 CAS 2012年第4期152-154,共3页
以SiO2溶胶或正硅酸乙酯(TEOS)为主要原料,分别以稀盐酸或氨水为催化剂,通过溶胶-凝胶法制备出不同系列的SiO2增透膜.研究了不同催化剂对膜层性能的影响及不同膜系的透射率.结果表明:不同催化条件下制的膜的表面形貌,增透效果存在差异.... 以SiO2溶胶或正硅酸乙酯(TEOS)为主要原料,分别以稀盐酸或氨水为催化剂,通过溶胶-凝胶法制备出不同系列的SiO2增透膜.研究了不同催化剂对膜层性能的影响及不同膜系的透射率.结果表明:不同催化条件下制的膜的表面形貌,增透效果存在差异.碱酸共同催化的复合膜以及酸/碱双层膜的增透效果较好. 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 sio2 双层增透膜 复合增透膜
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溶胶-凝胶法制备高透光SiO2/ATO-SiO2双层疏尘薄膜 被引量：3
12
作者 刘俊成 高亚男 董北平 《天津工业大学学报》 CAS 北大核心 2021年第1期6-11,共6页
为了避免灰尘在户外玻璃上的粘附导致透过率下降的现象,采用溶胶-凝胶法在石英玻璃上制备高透光SiO2/ATO-SiO2双层疏尘薄膜,研究SiO2基层薄膜对薄膜组织和性能的影响;利用原子力显微镜、紫外-可见-近红外分光光度计、霍尔效应测量仪、... 为了避免灰尘在户外玻璃上的粘附导致透过率下降的现象,采用溶胶-凝胶法在石英玻璃上制备高透光SiO2/ATO-SiO2双层疏尘薄膜,研究SiO2基层薄膜对薄膜组织和性能的影响;利用原子力显微镜、紫外-可见-近红外分光光度计、霍尔效应测量仪、自制落灰实验装置对薄膜的三维表面形貌进行表征,并对其光电性能、疏尘性能进行了测试。结果表明:SiO2基层影响SiO2/ATO-SiO2双层薄膜的表面形貌,但对表层ATO-SiO2薄膜的方块电阻影响不大;SiO2/ATO-SiO2双层薄膜呈柱状结构生长,透过率高于单层ATO-SiO2薄膜的透过率,约4.15%,并且具有良好的疏尘性能,疏尘性能略优于单层ATO-SiO2薄膜;随着SiO2基层碱催化剂含量的增加,SiO2/ATO-SiO2双层薄膜的粗糙度显著增加,平均可见光透过率先增加后减小,方块电阻先减小后增加,其中,B-2/ATO-SiO2双层薄膜的平均可见光透过率最高,为86.952%,方块电阻最小,为3.74×10^6Ω/sq,疏尘性能最好。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶 sio2/ATO-sio2双层薄膜 高透光 疏尘
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光敏性ZrO_2-SiO_2有机-无机杂化光学薄膜
13
作者 徐键 董建峰 +1 位作者 杨任尔 徐清波 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第A02期244-247,共4页
以锆和硅的醇盐为原料,合成了平面波导用紫外光敏性ZrO2-SiO2有机-无机杂化溶胶-凝胶光学材料,用旋涂法在单晶硅片上制备了其光学薄膜。用棱镜耦合仪、FTIR红外光谱仪和原子力显微镜(AFM)等测试了薄膜的厚度和折射率、结构基团和薄膜表... 以锆和硅的醇盐为原料,合成了平面波导用紫外光敏性ZrO2-SiO2有机-无机杂化溶胶-凝胶光学材料,用旋涂法在单晶硅片上制备了其光学薄膜。用棱镜耦合仪、FTIR红外光谱仪和原子力显微镜(AFM)等测试了薄膜的厚度和折射率、结构基团和薄膜表面粗糙度,并用棱镜耦合法测试了其平板型光波导的光传输损耗。结果表明:该杂化材料可用于制备厚达约20μm、折射率在1.45～1.50间可调、表面粗糙度小(约0.2nm)的均匀光学薄膜;以这些杂化薄膜为导光层和衬底层的平板型光波导的光传输损耗小于1dB/cm。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶 光学薄膜 有机-无机杂化材料 光敏材料 zro2·sio2
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β-BBO基ZrO_2/SiO_2倍频增透膜的结构和成分对光学性能的影响
14
作者 陈长琦 鲁嘉 +3 位作者 方应翠 王君 李万福 周瑞 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期413-417,430,共6页
利用Macload软件对四层ZrO2/SiO2膜系进行优化设计,以β-偏硼酸钡晶体(-βBaB2O4)为基底,采用电子束蒸发方法、离子束辅助沉积技术和真空退火处理,制备出ZrO2/SiO2非规整倍频增透膜,其在波长532 nm和1064 nm处反射率小于0.35%和透射率高... 利用Macload软件对四层ZrO2/SiO2膜系进行优化设计,以β-偏硼酸钡晶体(-βBaB2O4)为基底,采用电子束蒸发方法、离子束辅助沉积技术和真空退火处理,制备出ZrO2/SiO2非规整倍频增透膜,其在波长532 nm和1064 nm处反射率小于0.35%和透射率高于90%,与软件设计膜系得到的理论值相一致。研究结果表明薄膜的填隙密度越高,致密度越好,其光学性能也越好。 展开更多
关键词 zro2/sio2非规整倍频增透膜 光学性能 电子束蒸发 离子束辅助沉积技术 真空退火
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Al_2O_3-SiO_2-TiO_2-ZrO_2复合膜与基体结合性的研究
15
作者 徐晓虹 白占良 +1 位作者 吴建锋 张英 《陶瓷学报》 CAS 2003年第3期133-138,共6页
采用Sol-Gel法制备了Al2 O3-SiO2 -TiO2 -ZrO2 复合多孔膜 ,并在不同基体上进行了涂膜实验研究。结果表明 ,以孔隙率为46.8%、最可几孔径为几个微米的α -Al2 O3作基体 ,可以制备出膜厚为 1～ 2 μm纳米级孔径的Al2 O3-SiO2 -TiO2 -ZrO2... 采用Sol-Gel法制备了Al2 O3-SiO2 -TiO2 -ZrO2 复合多孔膜 ,并在不同基体上进行了涂膜实验研究。结果表明 ,以孔隙率为46.8%、最可几孔径为几个微米的α -Al2 O3作基体 ,可以制备出膜厚为 1～ 2 μm纳米级孔径的Al2 O3-SiO2 -TiO2 -ZrO2 复合多孔膜 ,Al2 O3复合膜与α -Al2 O3基体的结合性最好。通过对α -Al2 O3基体分析发现 ,基体的成型压力、烧成后基体的孔径大小以及膜与基体之间的应力作用对Al2 O3-SiO2 -TiO2 -ZrO2 复合多孔膜形成影响甚大。对膜与基体的结合强度进行了研究 ,结果表明 ,膜的热稳定性高 ,耐酸、耐碱性好 ,相对硬度介于 6～ 展开更多
关键词 A12O3-sio2-TiO2-zro2复合多孔膜 基体 结合性 SOL-GEL法 无机陶瓷膜
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SiO_2-ZrO_2复合无机膜的制备研究 被引量：3
16
作者 靳延辉 王丽曼 +1 位作者 王宇瑶 张克铮 《玻璃与搪瓷》 CAS 2012年第3期13-17,28,共6页
用溶胶-凝胶法在Al2O3基体上制备了SiO2-ZrO2复合无机膜,其中以正硅酸四乙酯(TEOS)、氧氯化锆(ZrOCl2.8H2O)和水为原料,乙醇(EtOH)为溶剂,盐酸(HCl)为催化剂,N,N-二甲基甲酰胺(DMF)为添加剂。考察了提拉速度、溶胶浓度、涂膜方式以及DM... 用溶胶-凝胶法在Al2O3基体上制备了SiO2-ZrO2复合无机膜,其中以正硅酸四乙酯(TEOS)、氧氯化锆(ZrOCl2.8H2O)和水为原料,乙醇(EtOH)为溶剂,盐酸(HCl)为催化剂,N,N-二甲基甲酰胺(DMF)为添加剂。考察了提拉速度、溶胶浓度、涂膜方式以及DMF对膜性能的影响。结果表明,采用6 cm/min的提拉速度可以得到较好的涂层;采用稀溶胶虽然涂膜周期较长,但膜的综合性能较好;此外采用浓稀交替的涂膜方式也可以提高膜性能,添加DMF能够均化膜孔径,同样有助于膜性能的提高。 展开更多
关键词 复合无机膜 sio2-zro2 溶胶-凝胶法
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PECVDSiO_2/Si_3N_4双层膜驻极体性能
17
作者 陈治宇 吕知秋 +4 位作者 张锦文 金玉丰 李婷 田大宇 王颖 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第1期125-128,共4页
本文研究了在带有Cr/Au电极的玻璃衬底上利用PECVD制备的SiO2/Si3N4双层膜驻极体性能。针对这种驻极体提出了一个简单的工艺流程暴露出一部分金属电极,并在电晕注极过程中将底电极引出接地。通过实验改变电晕注极过程中的注极时间、温... 本文研究了在带有Cr/Au电极的玻璃衬底上利用PECVD制备的SiO2/Si3N4双层膜驻极体性能。针对这种驻极体提出了一个简单的工艺流程暴露出一部分金属电极,并在电晕注极过程中将底电极引出接地。通过实验改变电晕注极过程中的注极时间、温度等因素,希望得到对PECVD制备的SiO2/Si3N4双层膜驻极体性能的优化。本文证实了PECVD双层膜具备良好的驻极体性能,有望广泛应用于微器件中。 展开更多
关键词 驻极体 sio2/Si3N4双层膜 PECVD
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退火工艺对SiN膜及SiO_2/SiN双层膜钝化特性的影响
18
作者 章曙东 周国华 +2 位作者 张光春 施正荣 朱拓 《江南大学学报（自然科学版）》 CAS 2008年第2期183-186,共4页
针对硅太阳电池的背表面钝化，研究了在多晶硅P型衬底上SiN膜及SiO2／SiN双层膜的热稳定性及在不同温度下两种膜的退火特性．通过准稳态光电导衰减法测试其少数载流子寿命，发现SiN膜比较适合于在500℃以内的温度下进行常规炉热退火，而... 针对硅太阳电池的背表面钝化，研究了在多晶硅P型衬底上SiN膜及SiO2／SiN双层膜的热稳定性及在不同温度下两种膜的退火特性．通过准稳态光电导衰减法测试其少数载流子寿命，发现SiN膜比较适合于在500℃以内的温度下进行常规炉热退火，而SiO2／SiN双层膜则比较适合在600—700℃之间的温度下进行常规炉热退火．对SiN膜进行链式炉热退火实验表明，低温（700—850℃）条件下表面钝化效果最好． 展开更多
关键词 背面钝化 SiN膜 sio2/SiN双层膜 退火
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ZrO_2-SiO_2二元系统平面光波导薄膜的制备与性能表征
19
作者 华斌 钱国栋 +2 位作者 徐静 何赛灵 王民权 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 2004年第3期35-37,共3页
应用溶胶-凝胶技术,以TEOS与ZrOCl2·8H2O为先驱体,研制了用于有源光波导基质材料的ZrO2-SiO2二元系统薄膜,探明了ZrO2-SiO2二元系统薄膜折射率、厚度与薄膜组分、匀胶速度、陈化时间、热处理温度的内在关系,实现薄膜厚度和薄膜折... 应用溶胶-凝胶技术,以TEOS与ZrOCl2·8H2O为先驱体,研制了用于有源光波导基质材料的ZrO2-SiO2二元系统薄膜,探明了ZrO2-SiO2二元系统薄膜折射率、厚度与薄膜组分、匀胶速度、陈化时间、热处理温度的内在关系,实现薄膜厚度和薄膜折射率在一定范围内的连续可调,为研制一类新型的光通信窗口有源光波导材料提供了基质材料。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 zro2-sio2二元薄膜 平面光波导 制备 性能 折射率 膜厚
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PECVD Sin/SiO_2双层膜的应力特性
20
作者 杨绪华 孙青 《微电子学与计算机》 CSCD 北大核心 1989年第4期9-11,共3页
采用激光束偏转法研究PECVD SiN及SiO_2的应力特性,结果表明,SiN膜的应力较大,在SiN/Si间插入一层SiO_2膜,能有效地减小SiN膜的应力。
关键词 SiN膜 sio2膜 应力特性 PECVD法
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