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锂离子电池用Si-Fe复合电极材料的制备及其性能 被引量:7
1
作者 杨娟 唐晶晶 +2 位作者 娄世菊 邹幽兰 周向阳 《中南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期859-864,共6页
以Fe粉与Si粉为混合粉原料,研究经机械球磨、退火热处理后混合粉的形貌、结构与恒电流充放电性能,同时对比研究Si-Fe合金粉的性能。研究结果表明:混合粉原料经过高能机械球磨,生成了Si-Fe合金相,而Si-Fe合金的生成改善了Si作为锂离子电... 以Fe粉与Si粉为混合粉原料,研究经机械球磨、退火热处理后混合粉的形貌、结构与恒电流充放电性能,同时对比研究Si-Fe合金粉的性能。研究结果表明:混合粉原料经过高能机械球磨,生成了Si-Fe合金相,而Si-Fe合金的生成改善了Si作为锂离子电池负极材料的循环性能;与工业级Si-Fe合金负极材料相比,合金化程度影响了合金材料的电化学性能,合金化程度越高,合金材料电化学性能越好;而退火热处理也可以在一定程度上改善合金材料的脱嵌锂性能。 展开更多
关键词 si-fe合金 锂离子电池 Si基负极 退火
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半固态成型Al-Si-Fe合金的组织及性能 被引量:8
2
作者 赵树国 袁晓光 +1 位作者 李胜 于海朋 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期34-38,共5页
采用半固态成型技术制备了Al-17Si-5Fe-3Mn-4Cu-1Mg(质量分数/%)合金,分析了合金的微观组织,检测了合金的力学性能,研究了合金的高温磨损行为。结果表明:经过半固态成型后,合金第二相发生了明显细化,尖角钝化,且分布更均匀;常温极限抗... 采用半固态成型技术制备了Al-17Si-5Fe-3Mn-4Cu-1Mg(质量分数/%)合金,分析了合金的微观组织,检测了合金的力学性能,研究了合金的高温磨损行为。结果表明:经过半固态成型后,合金第二相发生了明显细化,尖角钝化,且分布更均匀;常温极限抗拉强度达到了239.6MPa,伸长率达到了2.0%;150℃干磨和润滑条件下的磨损失重分别是390铝合金的30.78%和3.09%。 展开更多
关键词 半固态成型 Al—si-fe合金 微观组织 力学性能 磨损
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Si、Si-Fe合金助熔法制备SiC研究
3
作者 李亚琼 张彦辉 张立峰 《功能材料》 CAS CSCD 北大核心 2021年第7期7158-7161,7196,共5页
助熔剂法是一种高效生长SiC晶体的方法。本文采用助溶剂法对比考察了Si、Si-Fe合金熔体中SiC晶体生长行为特征,并结合光学显微镜以及电子显微探针对SiC晶体进行分析。研究发现,Si、Si-Fe合金熔体中SiC晶体均以SLS机制生长,受C在两种介... 助熔剂法是一种高效生长SiC晶体的方法。本文采用助溶剂法对比考察了Si、Si-Fe合金熔体中SiC晶体生长行为特征,并结合光学显微镜以及电子显微探针对SiC晶体进行分析。研究发现,Si、Si-Fe合金熔体中SiC晶体均以SLS机制生长,受C在两种介质中溶解度的影响,Si熔体中SiC析出尺寸较小,10~50μm,排列成线状分布在样品外侧;Si-Fe熔体中SiC晶体析出尺寸较大,50~200μm,分散在样品中。 展开更多
关键词 助溶剂法 SIC si-fe合金 SI
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A thermodynamic description of the Si-rich Si-Fe system 被引量:1
4
作者 Kai TANG Merete Tangstad 《Acta Metallurgica Sinica(English Letters)》 SCIE EI CAS CSCD 2012年第4期249-255,共7页
Phase equilibria in the Si-rich domain of the Si-Fe system have been reassessed based on the recent DTA experimental results. Thermodynamic properties of liquid phase have been reassessed using the associated solution... Phase equilibria in the Si-rich domain of the Si-Fe system have been reassessed based on the recent DTA experimental results. Thermodynamic properties of liquid phase have been reassessed using the associated solution model. The properties of DIA- MOND_A4 mixture phase have been added in order to evaluate the phase equilibria for the pure silicon materials. The assessed system is able to reproduce the experi- mental values in the whole composition range of the Si-Fe system. 展开更多
关键词 si-fe THERMODYNAMIC ASSESSMENT Phase equilibrium DTA
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甲醇在絲光型Si-Fe沸石分子筛上吸附的研究
5
作者 余有禄 丁莹如 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS 1988年第9期931-934,共4页
本文用程序升温脱附-质谱联合、红外光谱、穆斯堡尔谱等手段研究了甲醇在丝光型Si-Fe沸石上的吸附过程并探讨了吸附机理。研究结果表明,甲醇不仅可能吸附在沸石的酸中心上,也可能吸附在沸石的碱中心上。酸碱中心在甲醇吸附时起着一定的... 本文用程序升温脱附-质谱联合、红外光谱、穆斯堡尔谱等手段研究了甲醇在丝光型Si-Fe沸石上的吸附过程并探讨了吸附机理。研究结果表明,甲醇不仅可能吸附在沸石的酸中心上,也可能吸附在沸石的碱中心上。酸碱中心在甲醇吸附时起着一定的协同作用。文中给出了吸附模型。 展开更多
关键词 si-fe沸石 甲醇吸附
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Stable operation of highly loaded pure Si-Fe anode under ambient pressure via carboxy silane-directed robust solid electrolyte interphase
6
作者 Guntae Lim Dong Guk Kang +6 位作者 Hyeon Gyu Lee Yen Hai Thi Tran Kihun An Junghyun Choi Kwang Chul Roh Do Youb Kim Seung-Wan Song 《Journal of Energy Chemistry》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第7期568-576,共9页
Incorporation of higher content Si anode material beyond 5 wt% to Li-ion batteries(LIBs)is challenging,owing to large volume change,swelling,and solid electrolyte interphase(SEI)instability issues.Herein,a strategy of... Incorporation of higher content Si anode material beyond 5 wt% to Li-ion batteries(LIBs)is challenging,owing to large volume change,swelling,and solid electrolyte interphase(SEI)instability issues.Herein,a strategy of diacetoxydimethylsilane(DAMS)additive-directed SEI stabilization is proposed for a stable operation of Si-0.33FeSi_(2)(named as Si-Fe)anode without graphite,which provides siloxane inorganics and organics enrichment that compensate insufficient passivation of fluoroethylene carbonate(FEC)additive and reduce a dependence on FEC.Unprecedented stable cycling performance of highly loaded(3.5 mA h cm^(-2))pure Si-Fe anode is achieved with 2 wt%DAMS combined with 9 wt%FEC additives under ambient pressure,yielding high capacity 1270 mA h g^(-1)at 0.5 C and significantly improved capacity retention of 81% after 100 cycles,whereas short circuit and rapid capacity fade occur with FEC only additive.DAMS-directed robust SEI layer dramatically suppresses swelling and particles crossover through separator,and therefore prevents short circuit,demonstrating a possible operation of pure Si or Sidominant anodes in the next-generation high-energy-density and safe LIBs. 展开更多
关键词 High-energy Li-ion battery Pure si-fe anode without graphite Silane additive SEI layer Suppressed swelling
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快冷6.5%Si-Fe合金的织构和磁性
7
作者 刘立新 华国平 柯成 《钢铁研究学报》 CAS CSCD 北大核心 1989年第S1期63-69,共7页
研究并讨论了快冷技术制备的薄带的晶粒结构及磁性能。实验结果表明:快冷技术具有技术简单和高效率的优越性。所制得的6.5%Si-Fe薄带银白色,平滑,易弯。铸态带为微晶(平均晶粒尺寸为5~15 μm),热处理大大改善薄带的晶粒织构和磁性。真... 研究并讨论了快冷技术制备的薄带的晶粒结构及磁性能。实验结果表明:快冷技术具有技术简单和高效率的优越性。所制得的6.5%Si-Fe薄带银白色,平滑,易弯。铸态带为微晶(平均晶粒尺寸为5~15 μm),热处理大大改善薄带的晶粒织构和磁性。真空6.65 × 10^(-4) Pa中(1050~1100℃)1h退火,晶粒具有(100)(OK1)织构和最佳磁性P_(5/1k)=5.55W/Kg几乎与3%取向硅钢的磁性相同。用计算机回归分析方法得到P=af^nB^m公式,频率和磁感的变化范围分别是400 Hz~4 kHz和0.5~1.0 T。薄带表面氧化层会抑制(100)晶粒的二次再结晶,施加适当弹性形变会增强(100)晶粒的二次再结晶。我们认为等效表面能的降低是薄带中二次再结晶的驱动力。 展开更多
关键词 二次再结晶 si-fe合金 薄带 晶粒结构 快冷 氧化层 取向硅钢 退火温度 平均晶粒尺寸 晶界能
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自由基刻蚀多晶硅及氟原子密度检测的研究
8
作者 高远 李筝 +3 位作者 曹勇 桑利军 刘博文 刘忠伟 《真空科学与技术学报》 北大核心 2025年第7期584-591,共8页
随着集成电路特征尺寸的不断缩小,传统刻蚀技术在选择性和物理损伤控制等方面面临挑战。自由基刻蚀技术具有高精度、低刻蚀损伤等优点,在微纳加工中具有重要应用价值与广阔的应用前景。研究利用自由基刻蚀技术,以CF_(4)/O_(2)/He混合气... 随着集成电路特征尺寸的不断缩小,传统刻蚀技术在选择性和物理损伤控制等方面面临挑战。自由基刻蚀技术具有高精度、低刻蚀损伤等优点,在微纳加工中具有重要应用价值与广阔的应用前景。研究利用自由基刻蚀技术,以CF_(4)/O_(2)/He混合气体为放电气体,系统研究了放电参数,如输入功率与气体流量对多晶硅刻蚀速率和F原子密度的影响。使用Ar作为标定气体定量测定刻蚀过程中的F原子密度。结果表明,F原子密度和刻蚀速率均随功率或CF_(4)流量的增加呈现先上升后趋于平稳的趋势;适当增加He或O_(2)比例可以提高刻蚀速率,但过高的He或O_(2)流量会导致F原子密度减少和刻蚀速率下降。研究揭示了自由基刻蚀过程中的关键参数,为优化刻蚀工艺提供了理论指导。 展开更多
关键词 多晶硅 自由基刻蚀 刻蚀速率 F 原子密度
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F原子与Si表面相互作用的动力学研究 被引量:6
9
作者 赵成利 邓朝勇 +6 位作者 孙伟中 吕晓丹 陈峰 贺平逆 张浚源 刘玉杰 苟富均 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第1期53-58,共6页
采用分子动力学方法模拟了F原子与Si表面相互作用,F原子入射能量分别为0.3,1,3,5,7和9 eV。在模拟过程中,F原子的沉积率与Si表面悬键密度有关,而Si原子的刻蚀率与表面晶格结构破坏程度有关,随着Si原子刻蚀率的增加,样品高度降低。在不... 采用分子动力学方法模拟了F原子与Si表面相互作用,F原子入射能量分别为0.3,1,3,5,7和9 eV。在模拟过程中,F原子的沉积率与Si表面悬键密度有关,而Si原子的刻蚀率与表面晶格结构破坏程度有关,随着Si原子刻蚀率的增加,样品高度降低。在不同能量F原子作用下,样品Si表面形成Si-F反应层。Si-F反应层的厚度随入射能量的增加而增加,其组成成分对产物有至关重要的影响。 展开更多
关键词 分子动力学 沉积 刻蚀 si-f反应层
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内蒙古欧布拉格斑岩型铜金矿床中磷灰石类型、特征及其对成矿的指示
10
作者 钟景雨 张雅南 +1 位作者 苏尚国 陈学根 《地学前缘》 北大核心 2025年第5期308-325,共18页
欧布拉格斑岩型铜金矿床位于中亚—蒙古成矿带中的狼山成矿带,是典型的与流体相关的矿床。通过岩相学、阴极发光特征和主微量元素分析发现矿床中存在两类磷灰石。Ap-Ⅰ常在角闪石、黑云母中呈包体产出,粒度较大,在100~200μm,自形,具暗... 欧布拉格斑岩型铜金矿床位于中亚—蒙古成矿带中的狼山成矿带,是典型的与流体相关的矿床。通过岩相学、阴极发光特征和主微量元素分析发现矿床中存在两类磷灰石。Ap-Ⅰ常在角闪石、黑云母中呈包体产出,粒度较大,在100~200μm,自形,具暗绿色褐色阴极发光,为典型的硅酸盐熔体结晶的磷灰石。Ap-Ⅱ多分布于流体造成的矿物裂隙中,与硫化物、方解石、多硅白云母、钾长石、钠长石、金红石等平衡共生构成流体晶矿物组合,粒度较小,多在30~50μm,自形半自形,阴极发光呈绿色黄绿色,为与挥发分流体相关磷灰石。Ap-Ⅱ与Ap-Ⅰ相比,具相对高的F、SiO_(2)、Al_(2)O_(3)、MnO、SO_(3)等主量元素含量和高的δEu,低的Ga含量和Th/U值,表明挥发分流体为富F、Si、Al、Mn的氧化流体。同时Ap-Ⅱ也具高的W、Bi、Sn含量和高于地幔标准值的Nb/Ta值及通过共生矿物金红石Zr温度计计算得到的784.69℃的生成温度,表明与成矿相关的挥发分流体是一种高温超临界流体。早先生成的Ap-Ⅰ、石榴石等矿物放射状裂隙发育,表明其经历了流体超压作用。这些特征刻画了富F、Si、Al和Mn的外源深部高温氧化(超临界)流体携带金属参与了成矿作用。 展开更多
关键词 磷灰石 富F、Si超临界流体 流体超压作用 欧布拉格斑岩型铜金矿床 内蒙古
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Bragg光栅解调系统设计
11
作者 张嵩 王玉华 《武汉理工大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第8期106-108,共3页
光纤光栅的解调技术是光纤光栅传感器的关键技术。提出了基于单片机的光纤光栅解调系统模型,研究了可调谐F-P滤波法解调原理以及解调系统的框架,经实践证明,系统测量精度达到5 pm,是低成本、通用的解调系统,是Bragg光栅传感器实用化的... 光纤光栅的解调技术是光纤光栅传感器的关键技术。提出了基于单片机的光纤光栅解调系统模型,研究了可调谐F-P滤波法解调原理以及解调系统的框架,经实践证明,系统测量精度达到5 pm,是低成本、通用的解调系统,是Bragg光栅传感器实用化的关键。 展开更多
关键词 si-fe 包覆粉 单片机
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C_f/Si-O-C复杂形状应用构件的制备 被引量:6
12
作者 马青松 陈朝辉 +1 位作者 郑文伟 胡海峰 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第12期43-45,共3页
结合树脂传递模塑 (RTM)和先驱体浸渍裂解技术 ,以聚硅氧烷 (PSO)为先驱体 ,制备出复杂形状的 Cf/ Si-O- C陶瓷基复合材料应用构件。根据 RTM的工艺要求 ,研究了二乙烯基苯 (DVB) / PSO的交联和裂解 ,DVB/ PSO粘度与温度和时间的关系 ,D... 结合树脂传递模塑 (RTM)和先驱体浸渍裂解技术 ,以聚硅氧烷 (PSO)为先驱体 ,制备出复杂形状的 Cf/ Si-O- C陶瓷基复合材料应用构件。根据 RTM的工艺要求 ,研究了二乙烯基苯 (DVB) / PSO的交联和裂解 ,DVB/ PSO粘度与温度和时间的关系 ,DVB/ PSO与碳纤维的润湿性以及用作脱模剂的 Ti O2 展开更多
关键词 复杂形状应用构件 制备 Cf/Si-O-C复合材料 树脂传递模塑 聚硅氧烷 陶瓷基复合材料
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土遗址裂隙注浆材料PS-(C+F)与SH-(C+F)性能对比研究 被引量:11
13
作者 谌文武 刘建 +3 位作者 崔凯 韩宁 杨光 任晓峰 《文物保护与考古科学》 北大核心 2017年第5期70-76,共7页
西北干旱、半干旱地区保存有大量的土遗址,裂隙、淘蚀、洞穴、冲沟、坍塌等一系列病害对遗址的破坏作用明显。就裂隙注浆材料而言,本研究基于PS-(C+F)的成功应用,为使注浆材料多元化,对比研究SH-(C+F)浆液作为注浆材料的适用性。通过室... 西北干旱、半干旱地区保存有大量的土遗址,裂隙、淘蚀、洞穴、冲沟、坍塌等一系列病害对遗址的破坏作用明显。就裂隙注浆材料而言,本研究基于PS-(C+F)的成功应用,为使注浆材料多元化,对比研究SH-(C+F)浆液作为注浆材料的适用性。通过室内对两种材料的力学性能、水理性质、抗冻性、抗老化性的比较以及现场对裂隙加固效果的检测,最终分析数据得出结论,SH-(C+F)与PS-(C+F)的力学性能相当,但SH-(C+F)的抗渗性、抗崩解性、抗冻性、抗老化性等略好一些。因此,SH-(C+F)浆液适宜作为注浆材料应用于土遗址裂隙加固中。试验结果对西北地区土遗址裂隙加固材料的多元化有重要的参考意义和指导作用。 展开更多
关键词 裂隙注浆 SH-(C+F) PS-(C+F) 强度 贯入阻力 波速
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丙烯酸氟硅烷共聚树脂基防污涂层的制备与性能研究 被引量:3
14
作者 曹京宜 张海永 +5 位作者 张寒露 严明龙 李亚坤 王臣业 刘连河 陈蓉蓉 《涂料工业》 CAS CSCD 北大核心 2016年第8期1-5,11,共6页
以丙烯酰氧基三异丙基硅烷(TIPSA)、甲基丙烯酸三氟乙酯(TFEMA)、甲基丙烯酸甲酯(MMA)、丙烯酸丁酯(BA)、丙烯酸甲氧基乙酯(2-MEA)为共聚单体,通过溶液聚合法合成出丙烯酸氟硅烷共聚树脂。通过红外光谱(FT-IR)对聚合物的结构进行了表征... 以丙烯酰氧基三异丙基硅烷(TIPSA)、甲基丙烯酸三氟乙酯(TFEMA)、甲基丙烯酸甲酯(MMA)、丙烯酸丁酯(BA)、丙烯酸甲氧基乙酯(2-MEA)为共聚单体,通过溶液聚合法合成出丙烯酸氟硅烷共聚树脂。通过红外光谱(FT-IR)对聚合物的结构进行了表征;通过X射线光电子能谱分析(XPS)探讨了共聚树脂在海水及海藻溶液浸泡前后的表面元素变化。通过将丙烯酸氟硅烷共聚树脂与50%松香溶液混合,以氧化锌、滑石粉为助剂,氧化亚铜为防污剂,制备了以丙烯酸氟硅烷共聚树脂为基体树脂的自抛光防污涂料,并通过浅海浸泡实验对防污涂料的防污性能进行了评价。结果表明,以合成的丙烯酸氟硅烷共聚树脂为基体树脂制备的防污涂料具有良好的实海防污性能。 展开更多
关键词 自抛光 防污涂层 丙烯酸氟硅烷共聚树脂
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氟硅单体合成的研究进展 被引量:13
15
作者 朱淮军 李凤仪 廖洪流 《有机硅材料》 CAS 2005年第2期30-32,共3页
综述了氟硅单体合成的研究进展 ,重点介绍了氟硅单体的特性、原料、合成方法 。
关键词 单体合成 合成方法 原料 特性 研究进展 综述
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Y-Al-Si-O-N-F氧氟氮微晶玻璃的显微结构与力学性能 被引量:2
16
作者 罗志伟 卢安贤 +1 位作者 瞿高 罗辉林 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第4期1099-1106,共8页
在氮气保护F由钼电阻炉中加热(1550~1580℃)制得Y-Al-Si-O-N-F氧氟氮基础玻璃。采用差示扫描量热法(DSC)测定玻璃的玻璃转变温度(≈)和析晶峰温度(毛)。利用XRD结合能谱分析(EDS)鉴定氧氟氮微晶玻璃中的物相,采用扫描电了... 在氮气保护F由钼电阻炉中加热(1550~1580℃)制得Y-Al-Si-O-N-F氧氟氮基础玻璃。采用差示扫描量热法(DSC)测定玻璃的玻璃转变温度(≈)和析晶峰温度(毛)。利用XRD结合能谱分析(EDS)鉴定氧氟氮微晶玻璃中的物相,采用扫描电了显微镜(SEM)观察微晶玻璃样品的微观形貌。结果表明:F含量的增加降低玻璃的名和屯,并影响微晶玻璃的微观结构以及晶体的尺寸和形貌;N含量的增加对析出晶相和微观结构产生较大影响;基础玻璃样品热处理后析出的主晶相为Y2Si207,次晶相随N含量的提高由莫来石(A16Si2O13)转变成Si3A16012N2。与基础玻璃相比,微晶玻璃的显微硬度和抗弯强度有一定程度的提高。 展开更多
关键词 Y-Al-Si-O-N-F 微晶玻璃 热处理 显微结构 力学性能
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有机硅/氟改性苯丙乳液的研究 被引量:6
17
作者 李忠铭 郑琦 杜金萍 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2006年第9期37-39,共3页
以八甲基环四硅氧烷、甲基乙烯基环四硅氧烷、三氟乙酸丙烯酯作为改性单体,采取壳核聚合工艺对苯丙乳液进行改性。用透射电子显微镜观察乳液粒子的微观形态,探讨了聚合工艺对乳液胶粒形态的影响。结果表明,通过对有机硅/氟进行预处理和... 以八甲基环四硅氧烷、甲基乙烯基环四硅氧烷、三氟乙酸丙烯酯作为改性单体,采取壳核聚合工艺对苯丙乳液进行改性。用透射电子显微镜观察乳液粒子的微观形态,探讨了聚合工艺对乳液胶粒形态的影响。结果表明,通过对有机硅/氟进行预处理和温度控制,可以改善有机硅、有机氟与苯乙烯、丙烯酸丁酯等的共聚效果。 展开更多
关键词 有机硅/氟 壳核聚合工艺 预处理 改性乳液
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用1/f噪声表征MOSFET的负温偏不稳定性 被引量:2
18
作者 庄奕琪 孙青 侯洵 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第5期38-42,共5页
负温偏不稳定性是MOS器件最重要的可靠性问题之一。本文从实验上发现MOS-FET的1/f噪声与其负温偏不稳定性相关,初始1/f噪声谱密度正比于负温偏应力下的跨导退化量。理论分析表明,导致负温偏不稳定性的与产生1/f噪... 负温偏不稳定性是MOS器件最重要的可靠性问题之一。本文从实验上发现MOS-FET的1/f噪声与其负温偏不稳定性相关,初始1/f噪声谱密度正比于负温偏应力下的跨导退化量。理论分析表明,导致负温偏不稳定性的与产生1/f噪声的均为Si-SiO2界面过渡层内的电荷与陷阱。据此,1/f噪声测量可作为快速评价与分析MOS器件负温偏不稳定性的一种有效手段。 展开更多
关键词 1/f噪声 不稳定性 MOSFET 场效应器件
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火气系统在海洋石油工业中的应用研究 被引量:26
19
作者 张峰 冯传令 《石油化工自动化》 CAS 2009年第3期20-22,共3页
面对海洋石油中火灾和气体泄漏的实时探测及控制问题,介绍了火气系统的概念、火气系统的结构和组成,以具体应用为例描述了火气系统的功能和作用。在IEC的层模式理论的基础上,论述了火气系统与ESD以及DCS的关系,总结出了火气系统在设计... 面对海洋石油中火灾和气体泄漏的实时探测及控制问题,介绍了火气系统的概念、火气系统的结构和组成,以具体应用为例描述了火气系统的功能和作用。在IEC的层模式理论的基础上,论述了火气系统与ESD以及DCS的关系,总结出了火气系统在设计安装过程中需要遵循的几个指导性原则。 展开更多
关键词 火气系统 安全仪表系统 海洋石油 设计原理
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Si过渡层对氟化类金刚石薄膜附着特性的影响 被引量:1
20
作者 杨亦赏 江舸 +1 位作者 周杨 江美福 《苏州大学学报(自然科学版)》 CAS 2012年第4期51-57,共7页
研究了不锈钢基片上Si过渡层对F-DLC薄膜附着特性的影响.采用反应磁控溅射法,以Ar为源气体,在316L不锈钢基片制备了Si薄层,并在Si薄层上沉积了F-DLC薄膜,通过划痕实验测试了各个样品的膜/基结合强度.结果表明,引入Si过渡层可以明显增强... 研究了不锈钢基片上Si过渡层对F-DLC薄膜附着特性的影响.采用反应磁控溅射法,以Ar为源气体,在316L不锈钢基片制备了Si薄层,并在Si薄层上沉积了F-DLC薄膜,通过划痕实验测试了各个样品的膜/基结合强度.结果表明,引入Si过渡层可以明显增强氟化类金刚石薄膜和不锈钢基片之间的结合强度,在200 W下制备的Si过渡层上,F-DLC薄膜的结合强度最佳.根据薄膜表面形貌的扫描电镜观察、晶粒尺寸的分析以及薄膜键结构的红外光谱、拉曼光谱分析,F-DLC薄膜的结合强度与Si—C键等基团的形成、含量以及Si的键入方式有关. 展开更多
关键词 磁控溅射 Si过渡层 氟化类金刚石薄膜 结合强度
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