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模块化的半导体设备端通讯模型
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作者 吴燕林 孟晓云 +1 位作者 刘福强 田洪涛 《电子工业专用设备》 2025年第4期74-77,共4页
半导体生产设备依靠标准通讯协议实现了高度自动化。针对半导体标准通讯协议,建立了模块化的半导体设备端通讯模型,具体模块包括:数据管理、配方管理、报警管理、日志管理、通讯管理、任务管理、交互管理、界面管理等。通过建立模块化... 半导体生产设备依靠标准通讯协议实现了高度自动化。针对半导体标准通讯协议,建立了模块化的半导体设备端通讯模型,具体模块包括:数据管理、配方管理、报警管理、日志管理、通讯管理、任务管理、交互管理、界面管理等。通过建立模块化的半导体设备端通讯模型,为各种半导体设备端的通讯功能开发提供了参考,缩短了半导体设备端的通讯功能开发时间。 展开更多
关键词 半导体设备 标准通讯协议 模块化
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SECS/GEM标准模型分析及应用 被引量:9
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作者 张鹏程 张红雨 陈杨 《电子设计工程》 2011年第14期23-26,共4页
SECS/GEM是半导体自动化生产中广泛采用的一个行业标准。首先介绍了SECS/GEM标准的整体框架,并分析了其行业发展状况,然后依次说明了SECSⅠ/Ⅱ、GEM、HSMS各个分层标准的数据报文格式、传输控制模型、状态转换模型以及相互间的通信控制... SECS/GEM是半导体自动化生产中广泛采用的一个行业标准。首先介绍了SECS/GEM标准的整体框架,并分析了其行业发展状况,然后依次说明了SECSⅠ/Ⅱ、GEM、HSMS各个分层标准的数据报文格式、传输控制模型、状态转换模型以及相互间的通信控制方式等,最后分析了该标准在我国半导体自动化生产中的应用状况。实践表明,SECS/GEM标准设计严谨,适应面广,在我国半导体工业中应用前景广阔。 展开更多
关键词 SECS/GEM协议 HSMS协议 半导体通讯标准 半导体设备控制
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基于Agent的芯片制造生产线动态调度方法研究 被引量:3
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作者 李莉 乔非 +1 位作者 许潇红 吴启迪 《计算机集成制造系统》 EI CSCD 北大核心 2005年第12期1710-1717,共8页
基于智能体技术,提出了芯片制造生产线动态调度新方法,实现了投料调度、工件调度与设备维护调度的集成。首先,给出了基于智能体的动态调度模型,该模型中包括管理智能体、投料智能体、工件智能体、设备智能体、运输智能体与人员智能体。... 基于智能体技术,提出了芯片制造生产线动态调度新方法,实现了投料调度、工件调度与设备维护调度的集成。首先,给出了基于智能体的动态调度模型,该模型中包括管理智能体、投料智能体、工件智能体、设备智能体、运输智能体与人员智能体。投料智能体用于实现投料控制,工件调度通过工件智能体与设备智能体之间的协商实现,设备维护调度由设备智能体实现。通过智能体间的合作,能够实现投料控制、工件调度与设备维护调度的协同进行。然后给出了工件智能体与设备智能体间协商使用的协商协议(即带有时间约束的单步协商协议),以及智能体决策中使用的调度算法(包括投料调度算法、工件调度算法与设备维护调度算法)。最后,通过实例,给出了方法的使用过程,并进行了模拟仿真。仿真结果表明,集成的调度方法能更好地优化模型的生产率、加工周期与设备利用率,最终提高准时交货率。 展开更多
关键词 芯片制造 动态调度 智能体 集成 协商协议 调度算法
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基于AOCPN的半导体生产线多代理交互协议建模技术 被引量:4
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作者 翟文彬 张洁 +1 位作者 严隽琪 马登哲 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第7期1150-1154,共5页
提出了基于AOCPN的多代理交互协议的建模技术.在建模方面,提出了AUML模型向AOCPN模型的转换规则,以实现AUML模型向AOCPN模型的映射;在交互协议分析方面,对CPN模型简化规则进行了扩展,提出了集成简化规则和可达图的定性分析方法.以基于GP... 提出了基于AOCPN的多代理交互协议的建模技术.在建模方面,提出了AUML模型向AOCPN模型的转换规则,以实现AUML模型向AOCPN模型的映射;在交互协议分析方面,对CPN模型简化规则进行了扩展,提出了集成简化规则和可达图的定性分析方法.以基于GPGP-CN的半导体生产线多代理交互协议为实例,验证了该建模技术的有效性. 展开更多
关键词 半导体生产线 面向代理的有色赋值Petri网 交互协议
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计算机通信技术
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作者 贾正根 《半导体情报》 1999年第6期23-26,共4页
着重介绍了超高速光通信技术。
关键词 计算机通信 光通信 透明网
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一种SECS/GEM协议的实现方法 被引量:6
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作者 陈小飞 谢政华 汪昌来 《软件》 2019年第10期103-106,共4页
为实现半导体设备接入工厂信息化管理平台,提出一种半导体设备通讯标准SECS/GEM协议的实现方法。通过对协议的整体分析,将各层协议的通讯状态合并,并在动态链接库中实现状态间的转换,应用程序通过调用动态链接库的方式实现与设备本身特... 为实现半导体设备接入工厂信息化管理平台,提出一种半导体设备通讯标准SECS/GEM协议的实现方法。通过对协议的整体分析,将各层协议的通讯状态合并,并在动态链接库中实现状态间的转换,应用程序通过调用动态链接库的方式实现与设备本身特性相关的协议。详述了动态链接库的实现方法,实测结果验证了方法的有效性,具有良好的实用性和可移植性,适应于各种半导体设备的联网实现。 展开更多
关键词 SECS/GEM 半导体设备通讯标准 半导体协议 设备联网
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基于STM32的半导体激光器控制系统设计 被引量:3
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作者 但堂咏 张国庆 张红亮 《机电工程技术》 2021年第3期155-157,170,共4页
基于STM32与eView触摸屏,设计了一款新型半导体激光器控制系统,并成功应用于基于半导体激光器的激光熔覆与淬火自动化设备之中,通过试用,该控制系统性能稳定可靠。详细阐述了该控制系统的硬件电路与软件系统的设计思路与总体方案,该控... 基于STM32与eView触摸屏,设计了一款新型半导体激光器控制系统,并成功应用于基于半导体激光器的激光熔覆与淬火自动化设备之中,通过试用,该控制系统性能稳定可靠。详细阐述了该控制系统的硬件电路与软件系统的设计思路与总体方案,该控制系统以STM32F103ZET6为核心,基于Modbus通信协议,通过RS232串口连接,具有良好的可靠性及一定的防呆性,交互性强,具有自动报警与自诊断功能,控制响应速度快、控制精度高、较易扩展控制功能,能满足整机系统集成的要求,可推广应用于工业过程控制和智能自动化控制领域。 展开更多
关键词 STM32 人机交互 MODBUS协议 半导体激光器 控制系统
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