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应用SSPDA单频激光干涉仪
1
作者 薛实福 李庆祥 +2 位作者 王伯雄 徐毓娴 于水 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1994年第1期39-44,共6页
本文介绍一种采用自扫描光电二极管列阵（ＳＳＰＤＡ）作为激光干涉条纹接收器的新型单频激光干涉仪。
关键词 sspda 单频激光器 干涉仪
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新型自扫描激光干涉系统
2
作者 徐毓娴 薛实福 李庆祥 《光学技术》 CAS CSCD 1998年第4期75-77,共3页
本文介绍了一种新型自扫描激光干涉系统的原理和结构。该系统采用自扫描光电二极管列阵（以下简称ＳＳＰＤＡ）接收器件，实现对干涉仪信号的调制，使测量信号转换成交流信号，避免了直流放大器零点漂移，消除了低频干扰。实验证明，该... 本文介绍了一种新型自扫描激光干涉系统的原理和结构。该系统采用自扫描光电二极管列阵（以下简称ＳＳＰＤＡ）接收器件，实现对干涉仪信号的调制，使测量信号转换成交流信号，避免了直流放大器零点漂移，消除了低频干扰。实验证明，该系统在采用普通器件的情况下，其分辨率优于０．０２μｍ。 展开更多
关键词 sspda 干涉仪 激光干涉系统 自扫描
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新型单频激光干涉技术 被引量：1
3
作者 薛实福 李庆祥 +2 位作者 王伯雄 徐毓娴 于水 《清华大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 1993年第2期39-45,共7页
论述了一种新型单频激光干涉技术的原理和测量系统。该测量系统在迈克逊单频激光干涉仪的基础上采用自扫描光电二极管列阵（ＳＳＰＤＡ）接收器件，将直流信号转换成交流信号、微处理机处理，具有波长自动补偿功能。实验证明它比一般单... 论述了一种新型单频激光干涉技术的原理和测量系统。该测量系统在迈克逊单频激光干涉仪的基础上采用自扫描光电二极管列阵（ＳＳＰＤＡ）接收器件，将直流信号转换成交流信号、微处理机处理，具有波长自动补偿功能。实验证明它比一般单频激光干涉仪具有较高的抗干扰性及测量精度，其分辨率为 ０．０２μｍ。 展开更多
关键词 sspda 单频 激光 干涉仪
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