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6H-SiCOI MESFET器件结构参数对其特性的影响
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作者 龚欣 张进城 +1 位作者 郝跃 李培咸 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2004年第3期257-260,264,共5页
 采用二维器件仿真软件Medici,模拟分析了SiCOI(绝缘衬底上SiC)MESFET器件的结构参数,如有源层掺杂浓度、栅长和有源层厚度等,对器件特性(阈值电压和跨导)的影响。结果表明,其结构参数对器件特性有较大影响。同时,对所得结果从内部物...  采用二维器件仿真软件Medici,模拟分析了SiCOI(绝缘衬底上SiC)MESFET器件的结构参数,如有源层掺杂浓度、栅长和有源层厚度等,对器件特性(阈值电压和跨导)的影响。结果表明,其结构参数对器件特性有较大影响。同时,对所得结果从内部物理机制上进行了分析。 展开更多
关键词 sicoi MESFET 结构参数
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多台阶介质槽隔离的SiCOI MESFET器件
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作者 龚欣 张进城 郝跃 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期73-76,共4页
用二维器件仿真软件 MEDICI对 Si COI(Si C on insulator) MESFET的击穿特性进行了研究 ,提出了一种新的 Si COI MESFET器件介质槽隔离结构 ,即多台阶介质槽隔离结构 .研究结果表明 ,与单介质槽隔离 Si COI MES-FET相比 ,多台阶结构在... 用二维器件仿真软件 MEDICI对 Si COI(Si C on insulator) MESFET的击穿特性进行了研究 ,提出了一种新的 Si COI MESFET器件介质槽隔离结构 ,即多台阶介质槽隔离结构 .研究结果表明 ,与单介质槽隔离 Si COI MES-FET相比 ,多台阶结构在保持高击穿电压的情况下 ,可以大大提高器件的饱和漏电流和跨导 .多台阶介质槽隔离Si COI 展开更多
关键词 sicoi MESFET 多台阶介质槽隔离 击穿电压
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SiCOI制造技术
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作者 张永华 彭军 黄云霞 《半导体情报》 2001年第2期26-30,共5页
Si COI是一种新型的微电子 SOI材料 ,有望在高温、高频、大功率、抗辐射等电子学领域得到应用发展。本文介绍了近年来几种 Si
关键词 sicoi 晶片键合技术 智能剥离技术 微电子材料 制造技术
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SiCOI MESFET的特性分析
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作者 王旸 雷天民 张智 《电子科技》 2010年第6期19-21,共3页
提出了一种新的器件结构-SiCOI结构,即硅衬底上外延SiC制造MESFET器件,并建立了SiCOIMESFET器件结构与模型。使用ISE-TCAD二维器件仿真软件,对SiCOI MESFET的电学特性进行模拟分析。结果表明,通过调整器件结构参数,例如门极栅长、有源... 提出了一种新的器件结构-SiCOI结构,即硅衬底上外延SiC制造MESFET器件,并建立了SiCOIMESFET器件结构与模型。使用ISE-TCAD二维器件仿真软件,对SiCOI MESFET的电学特性进行模拟分析。结果表明,通过调整器件结构参数,例如门极栅长、有源层掺杂浓度、有源区厚度等,对器件转移特性、输出特性有较大影响。同时,还对SiCOI MESFET器件的击穿特性进行了模拟。这些电学特性数据为进一步设计及优化SiCOI MESFET器件提供理论基础。 展开更多
关键词 sicoi MESFET 结构参数
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一种新型介质槽隔离SiCOIMESFET
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作者 龚欣 张进城 郝跃 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2005年第1期60-64,共5页
提出了一种新型的 Si COIMESFET器件结构 ,即介质槽隔离 Si COIMESFET。模拟结果表明 ,新型结构器件与常规平面 Si COI MESFET器件相比 ,击穿电压得到很大提高 ,从 3 80 V提高到近 1 1 0 0 V,而饱和漏电流和跨导下降。但通过器件结构的... 提出了一种新型的 Si COIMESFET器件结构 ,即介质槽隔离 Si COIMESFET。模拟结果表明 ,新型结构器件与常规平面 Si COI MESFET器件相比 ,击穿电压得到很大提高 ,从 3 80 V提高到近 1 1 0 0 V,而饱和漏电流和跨导下降。但通过器件结构的优化设计可以保障在击穿电压提高的同时漏电流和跨导不会发生大的退化。该器件结构为高温、抗辐照和大功率集成电路研制打下基础。 展开更多
关键词 绝缘体上碳化硅 肖特基栅场效应晶体管 介质槽隔离 击穿电压
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发展中的SiCOI技术
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作者 张永华 彭军 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2002年第2期81-85,共5页
Si COI技术是 Si C材料与 SOI技术结合而形成的一种新的微电子技术 ,它的产生与发展不仅推动 Si C半导体技术的发展 ,还将弥补 Si SOI技术应用的局限性 ,并将在高温、高频、大功率、抗辐射等电子学领域得到应用和发展。文章介绍了近年来 Si
关键词 绝缘层上碳化硅 注氧隔离 晶片键合 蓝宝石上碳化硅 微电子技术 碳化硅半导体
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SiCOI材料及其在高温传感器中的应用
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《传感器世界》 2003年第8期39-39,共1页
关键词 sicoi材料 高温传感器 晶态SiC薄膜 直流磁控溅射
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SOI基3C-SiC薄膜的光谱表征
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作者 王飞 杨治美 +1 位作者 马瑶 龚敏 《光散射学报》 北大核心 2017年第2期187-190,共4页
本文探索在SOI基片上通过顶层Si直接与碳源反应,反向外延生长3C-SiC薄膜的工艺条件和技术。采用LPCVD技术,以CH_(4)和H_(2)混合气体为反应源,在SOI衬底上生长3C-SiC薄膜。采用X射线衍射分析仪、场发射扫描电子显微镜和傅里叶红外光谱来... 本文探索在SOI基片上通过顶层Si直接与碳源反应,反向外延生长3C-SiC薄膜的工艺条件和技术。采用LPCVD技术,以CH_(4)和H_(2)混合气体为反应源,在SOI衬底上生长3C-SiC薄膜。采用X射线衍射分析仪、场发射扫描电子显微镜和傅里叶红外光谱来研究样品的结构和性质;并研究反应前、后样品电压-电容特性的变化。研究结果表明,通过反向外延的方法,能够在SOI基片反向外延生长得到3C-SiC薄膜,但目前的工艺条件有待进一步的改善。 展开更多
关键词 立方碳化硅 SOI sicoi 碳化 反向外延
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Stokes soliton in integrated 4H-silicon-carbide microresonators
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作者 ADNAN ALI AFRIDI YONGSHENG WANG +4 位作者 SHUANGYOU ZHANG RUIXUAN WANG JINGWEI LI QING LI HAIYAN OU 《Photonics Research》 2026年第1期35-39,共5页
Silicon carbide on insulator(SiCOI)has emerged as a promising platform for microresonator-based frequency comb technology,owing to its exceptional optical properties—including a high refractive index,a broad transpar... Silicon carbide on insulator(SiCOI)has emerged as a promising platform for microresonator-based frequency comb technology,owing to its exceptional optical properties—including a high refractive index,a broad transparency window,and the coexistence of both second-and third-order optical nonlinearities.Recent demonstrations have shown efficient Raman laser and frequency comb generation in SiC integrated microresonators.In this work,we report the first observation,to our knowledge,of Stokes soliton generation in SiC integrated microresonators.Pumped at a resonance of TE10 mode(1555.2 nm)with 270 mW of on-chip power,a strong Stokes signal at 1769.2 nm,corresponding to a Raman shift of approximately 776 cm^(-1),is observed in a4H-SiCOI microresonator with a 36μm radius and a quality factor of 1.1 million for TE00 mode.As the pump wavelength is adiabatically tuned towards the resonance,the system undergoes a sequence of dynamical states—transitioning from Turing patterns to chaotic combs,and finally to a stable single soliton state.The pump laser serves a dual role:it acts as the energy source for Stokes comb generation and simultaneously compensates for thermal dynamics during Stokes soliton formation.These results demonstrate the low-noise frequency conversion into a longer wavelength range with the SiCOI platform,highlighting its potential for the mid-infrared soliton comb generation and gas spectroscopy applications. 展开更多
关键词 sic integrated microresonatorsin stokes soliton generation silicon carbide insulator sicoi Microresonator frequency comb generation Stokes soliton Frequency comb raman laser
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