扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope, SEM)的图像质量高度依赖于扫描电路输出信号的精度与稳定性。而现有研究对扫描信号至图像质量的影响仍缺乏深入分析。基于此,首先建立了从扫描信号到图像质量的传递机制,分析了扫描信号...扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope, SEM)的图像质量高度依赖于扫描电路输出信号的精度与稳定性。而现有研究对扫描信号至图像质量的影响仍缺乏深入分析。基于此,首先建立了从扫描信号到图像质量的传递机制,分析了扫描信号性能指标对图像影响;然后,通过高精度数字万用表与示波器对实际扫描信号进行精准测量,并结合端点拟合法进行数据处理,从而量化了场扫描与行扫描信号在512×512像素模式下误差水平;进一步通过MATLAB仿真各类误差对标准网格图像的影响,并导入实测信号数据,评估其在实际成像中的表现。研究表明,扫描信号整体线性性能良好,中心区域平均误差为1.884像素,优于边缘区域的2.749像素。展开更多
文摘扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope, SEM)的图像质量高度依赖于扫描电路输出信号的精度与稳定性。而现有研究对扫描信号至图像质量的影响仍缺乏深入分析。基于此,首先建立了从扫描信号到图像质量的传递机制,分析了扫描信号性能指标对图像影响;然后,通过高精度数字万用表与示波器对实际扫描信号进行精准测量,并结合端点拟合法进行数据处理,从而量化了场扫描与行扫描信号在512×512像素模式下误差水平;进一步通过MATLAB仿真各类误差对标准网格图像的影响,并导入实测信号数据,评估其在实际成像中的表现。研究表明,扫描信号整体线性性能良好,中心区域平均误差为1.884像素,优于边缘区域的2.749像素。
