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基于Box-Behnken响应面法优化SC1清洗热氧化膜工艺
1
作者 王玉超 吴彬斌 +5 位作者 贾丽丽 管冯林 李虎 李芳 张瑜 李涛 《华东理工大学学报(自然科学版)》 北大核心 2025年第5期589-595,共7页
为控制SC1清洗导致的热氧化膜损失以及晶圆内不均匀性增加的问题,采用Box-Behnken设计法设计实验,并结合响应面法对SC1清洗工艺的3个关键参数(即药液温度、药液配比(V_(NH_(4)OH)∶V_(H_(2)O_(2))∶V_(H_(2)O),下同)和工艺时间)进行优... 为控制SC1清洗导致的热氧化膜损失以及晶圆内不均匀性增加的问题,采用Box-Behnken设计法设计实验,并结合响应面法对SC1清洗工艺的3个关键参数(即药液温度、药液配比(V_(NH_(4)OH)∶V_(H_(2)O_(2))∶V_(H_(2)O),下同)和工艺时间)进行优化。同时,探讨了各因素及其交互作用对清洗效果的影响。结果表明:当清洗时间固定为90 s且待清洗的热氧化膜厚度为3 nm时,药液温度为30℃、药液配比为1∶9.0∶50的SC1化学液对氧化膜表面的影响最小;当药液温度为60℃、药液配比为1∶3.0∶50时,热氧化膜的最大损失厚度为0.065 nm,且晶圆内不均匀性增量控制在1.00%以内;当药液温度为60℃、药液配比为1∶6.5∶50时,热氧化膜的最大损失厚度为0.043 nm,且晶圆内不均匀性增量控制在0.50%以内;当药液温度为55℃、药液配比为1∶8.0∶50时,热氧化膜损失厚度可维持在0.020 nm,且表面不均匀性增量控制在0.24%以内。本研究为集成电路制造中SC1清洗工艺的参数选择提供了参考。 展开更多
关键词 响应面优化 单片湿法工艺 sc1 热氧化膜损失 表面均匀性
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IC单片湿法清洗中SC1清洗工艺对热氧化硅膜刻蚀速率及表面均匀性的影响
2
作者 王玉超 吴彬斌 +5 位作者 贾丽丽 管冯林 李虎 李芳 张瑜 李涛 《微纳电子技术》 2025年第7期121-130,共10页
采用五因素五水平的单因素实验,研究了SC1清洗液清洗表面生长有热氧化硅膜硅片的过程。通过测量湿法清洗前后膜厚的变化,分析了硅片转速、清洗液体积流量、清洗液温度、清洗液体积配比、清洗时间五个工艺参数对热氧化硅膜刻蚀速率及表... 采用五因素五水平的单因素实验,研究了SC1清洗液清洗表面生长有热氧化硅膜硅片的过程。通过测量湿法清洗前后膜厚的变化,分析了硅片转速、清洗液体积流量、清洗液温度、清洗液体积配比、清洗时间五个工艺参数对热氧化硅膜刻蚀速率及表面均匀性的影响。结果表明:在设定参数范围内,当硅片转速为500~700 r/min、清洗液体积流量为1.7~2.3 L/min时,在刻蚀速率相近的情况下能够提高表面均匀性;刻蚀速率与刻蚀不均匀性随清洗液温度的升高呈近似指数增长,随H_(2)O_(2)体积分数的增加呈线性降低;使用温度高的SC1清洗液清洗时,随着清洗时间的延长,硅片表面刻蚀速率呈先增长后稳定的趋势,氧化膜损失厚度及刻蚀不均匀性整体上呈线性增长。 展开更多
关键词 湿法工艺 单片清洗 sc1 刻蚀速率 表面均匀性
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ISO/TC171年会及ISO/TC171/SC1和SC2标准动态分析
3
作者 宁三香 《数字与缩微影像》 2025年第1期24-27,共4页
ISO/TC171第37届年会于2024年5月在日本东京召开,会上ISO/TC171/SC1及SC2召开专业委员会,会议最终达成了8项ISO/TC171/SC1决议和9项ISO/TC171/SC2决议。笔者结合目前SC1和SC2分会的工作内容和标准现状,整理出相关信息,为文献影像标准化... ISO/TC171第37届年会于2024年5月在日本东京召开,会上ISO/TC171/SC1及SC2召开专业委员会,会议最终达成了8项ISO/TC171/SC1决议和9项ISO/TC171/SC2决议。笔者结合目前SC1和SC2分会的工作内容和标准现状,整理出相关信息,为文献影像标准化工作者提供了参考依据。 展开更多
关键词 ISO/TC171/sc1 ISO/TC171/SC2 年会 标准
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重寄生链霉菌F46与链霉菌SC1融合子的筛选 被引量：8
4
作者 王记侠 宗兆锋 刘冰 《西北农业学报》 CAS CSCD 北大核心 2005年第6期125-127,共3页
运用原生质体融合技术将重寄生链霉菌F46与生防链霉菌SC1融合,获得40株融合子。依据形态特征、皿内拈抗试验对获得的融合子进行初筛,发酵液抑菌活性测定,筛选出2株抑制效果明显的融合子FSf-11 和FSf-13。皿内拮抗试验结果表明,2个融合... 运用原生质体融合技术将重寄生链霉菌F46与生防链霉菌SC1融合,获得40株融合子。依据形态特征、皿内拈抗试验对获得的融合子进行初筛,发酵液抑菌活性测定,筛选出2株抑制效果明显的融合子FSf-11 和FSf-13。皿内拮抗试验结果表明,2个融合子对灰葡萄孢(B．cinerea)有明显的抑制作用,抑制率比亲本SC1 分别提高了27．99％和20．56％,镜检发现灰葡萄孢的基内菌丝畸形,经FSf-13处理后还出现原生质凝聚现象。融合于的发酵滤液对胶孢炭疽菌(C．gloeosporioides)抑制效果显著,抑菌圈直径超过了20 mm;融合子 FSf-11的发酵滤液对尖镰孢萎蔫专化型(F．oxysporum f．sp．vasinfectum)和大丽轮枝菌(V．dahliae)的孢子萌发抑制作用最强,其孢子萌发率低于10％;融合子FSf-13对2种靶标菌的孢子萌发抑制率也超过了50％。 展开更多
关键词 重寄生链霉菌F46 链霉菌sc1 融合子 原生质体融合
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嗅鞘细胞分泌蛋白SC1促进神经元突触形成 被引量：2
5
作者 段答 姜淼 +4 位作者 叶玉勤 葛丽特 贺晓生 陈平 卢明 《中华神经外科疾病研究杂志》 CAS 2015年第3期204-207,共4页
目的探讨嗅鞘细胞(OECs)诱导神经干细胞(NSCs)分化后,其分泌蛋白SC1对分化后神经元突触形成的作用。方法用小鼠OECs条件培养基诱导小鼠神经干细胞系C17.2分化后,用突触前膜抗体bassoon标记突触并计数,同时用Western blot检测bassoon的... 目的探讨嗅鞘细胞(OECs)诱导神经干细胞(NSCs)分化后,其分泌蛋白SC1对分化后神经元突触形成的作用。方法用小鼠OECs条件培养基诱导小鼠神经干细胞系C17.2分化后,用突触前膜抗体bassoon标记突触并计数,同时用Western blot检测bassoon的表达量。结果 OECs诱导组突触数目及bassoon的表达量明显高于全反式维甲酸(RA)诱导组,在RA诱导组加入小鼠SC1重组蛋白后,突触数目及bassoon的表达量与OECs诱导组接近。结论 OECs分泌蛋白SC1能促进C17.2 NSCs分化后神经元的突触形成。 展开更多
关键词 嗅鞘细胞 神经干细胞 sc1蛋白 突触形成
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SC1(pluripotin)对昆明小鼠胚胎干细胞分离培养的影响 被引量：1
6
作者 任卫青 张志平 +5 位作者 王新庄 吕婧玉 许晓婷 蒋金航 翟明胜 石凯文 《中国兽医学报》 CAS CSCD 北大核心 2013年第7期1132-1136,共5页
比较了在无血清培养体系中分别添加小分子化学物质pluripotin(SC1)和白血病抑制因子(LIF)对昆明小鼠ES细胞未分化状态的维持作用,并探讨了SC1在培养液中的最佳浓度。以小鼠胎儿成纤维细胞(MEF)为饲养层,以含LIF的添加血清替代品(KSR)的... 比较了在无血清培养体系中分别添加小分子化学物质pluripotin(SC1)和白血病抑制因子(LIF)对昆明小鼠ES细胞未分化状态的维持作用,并探讨了SC1在培养液中的最佳浓度。以小鼠胎儿成纤维细胞(MEF)为饲养层,以含LIF的添加血清替代品(KSR)的培养基(ESC-SR)为对照,分别用SC1浓度为0.3、1、3μmol/L的ESC-SR培养液对昆明小鼠胚胎进行分离培养。结果显示:胚胎在添加3μmol/L SC1的ESC-SR培养液中ICM形成率显著高于对照组(P<0.05),形成的ES集落与对照组形态差异不明显,最高传至第7代,并且在无饲养层条件下可以传至第6代而保持未分化状态。不同浓度SC1培养液中,胚胎在SC1浓度为0.3μmol/L组的F2代形成率显著高于1μmol/L组和3μmol/L组(P<0.05),所分离的细胞AKP染色呈阳性,Oct4、Nanog和Sox2的免疫荧光染色均显阳性,具有ES细胞的特点。结果表明,ESC-SR培养液中SC1可以替代LIF用于小鼠ES细胞未分化状态的维持,并且可以在无饲养层条件下进行昆明小鼠ES细胞的培养。 展开更多
关键词 昆明小鼠 sc1 胚胎干细胞 分离培养
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合成抗痫新药SC1OO1Na对海马脑片锥体细胞突触传递的影响
7
作者 吴前 谢扬高 柴慧霞 《四川生理科学杂志》 1992年第Z1期15-16,共2页
目前认为抗痫药可通过抑制NMDA受体介导的兴奋性突触传递和增强GABA能的 IPSI发挥作用。SC1001Na是一种合成抗痫药。本实验在47只SD成年大鼠海马脑片上运用低镁模型及双脉冲抑制模型观察了该药对锥体细胞突触传递的影响并探讨其作用机... 目前认为抗痫药可通过抑制NMDA受体介导的兴奋性突触传递和增强GABA能的 IPSI发挥作用。SC1001Na是一种合成抗痫药。本实验在47只SD成年大鼠海马脑片上运用低镁模型及双脉冲抑制模型观察了该药对锥体细胞突触传递的影响并探讨其作用机理。经典制备海马脑片,人工脑脊液(ACSF)孵育1.5小时后进行实验。 展开更多
关键词 锥体细胞 sc1OO1Na 海马脑片 突触传递 抑制模型 大鼠 作用机理 药对 兴奋性突触 NMDA
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2014年国际标准化组织ISO/TC110/SC1和SC2会议概况
8
作者 赵春晖 《起重运输机械》 2015年第2期100-104,共5页
2014年ISO/TC110/SC1和SC2会议,于2014年9月23日至25日在意大利米兰召开,会议由意大利国家标准化协会（UNI）承办。来自澳大利亚、中国、德国、法国、日本、瑞典、英国、美国共8个国家的代表出席了会议。我国由北京起重运输机械设计研... 2014年ISO/TC110/SC1和SC2会议,于2014年9月23日至25日在意大利米兰召开,会议由意大利国家标准化协会（UNI）承办。来自澳大利亚、中国、德国、法国、日本、瑞典、英国、美国共8个国家的代表出席了会议。我国由北京起重运输机械设计研究院组成5人代表团（北起院2人、安徽合力2人、杭叉集团1人）代表国家标准化管理委员会（SAC）参加了系列会议,包括ISO／TC110／SC1／WG2“工业车辆承载属具术语”工作组会议、SCl“通用术语”分技术委员会会议、ISO／TC110／SC2／WG11“稳定性”工作组会议、SC2“机动工业车辆安全”分技术委员会会议及拟成立的SC5“可持续”性分技术委员会非正式预备会议。 展开更多
关键词 ISO/TC110/sc1 SC2 技术委员会 标准化协会 工业车辆 标准化管理 意大利米兰 工作组会议 安徽合力 起重运输机械
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固体氧化物燃料电池电解质10Sc1CeSZ的固液复合合成方法研究
9
作者 袁芳 王建新 王蔚国 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第22期39-42,共4页
结合当前国内外关于固体氧化物燃料电池电解质10Sc1CeSZ合成技术的研究现状,提出了一种新颖的合成方法,即固液复合法(SLM),这种方法具有低成本和环境友好的特点,表现出良好的应用潜力。主要考察了氧化锆比表面积对粉体晶体结构的影响,... 结合当前国内外关于固体氧化物燃料电池电解质10Sc1CeSZ合成技术的研究现状,提出了一种新颖的合成方法,即固液复合法(SLM),这种方法具有低成本和环境友好的特点,表现出良好的应用潜力。主要考察了氧化锆比表面积对粉体晶体结构的影响,并探讨了该方法的主要合成机理。结果表明,氧化锆比表面积大于60m2/g时可以获得纯的立方相粉体。与传统的共沉淀合成法相比,SLM法合成的粉体具有更好的微结构和烧结性能、电解质性能。烧结后的电解质片的电导率在10Sc1CeSZ电解质中处于较高水平,在800℃时达到了0.14S/cm。 展开更多
关键词 固体氧化物燃料电池 电解质 合成 10sc1CeSZ
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TC93／SC1第四次委员会议在昆明召开
10
作者 王恩权 《地矿测绘》 1994年第1期40-40,共1页
ＴＣ９３／ＳＣ１第四次委员会议在昆明召开王恩权（云南省地矿局测绘队昆明６５０２１８）全国区域地质矿产地质标准化分技术委员会会议暨《固体矿产勘查报告格式规定》评审会于１９９３年１２月２７日至２９日在昆明召开。会议由地矿... ＴＣ９３／ＳＣ１第四次委员会议在昆明召开王恩权（云南省地矿局测绘队昆明６５０２１８）全国区域地质矿产地质标准化分技术委员会会议暨《固体矿产勘查报告格式规定》评审会于１９９３年１２月２７日至２９日在昆明召开。会议由地矿部地勘行业管理司副司长钱大都主任委... 展开更多
关键词 钱大都 委员会议 sc1 TC93 地勘行业 矿产地质 地矿部 技术委员会 报告格式 固体矿产勘查
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改革创新 支撑发展 加强工业机械电气系统标准体系建设——SAC/TC231及SC1、SC2换届成立大会在长沙成功举办
11
《制造技术与机床》 北大核心 2014年第8期163-165,共3页
2014年5月15-17日,全国工业机械电气系统标准化技术委员会(SAC/TC231)及第一(SC1)、第二(SC2)分技术委员会换届成立大会暨2013年年会在湖南长沙举行。国家标准化管理委员会工业二部项方怀处长,工业和信息化部装备司机械处苏铮副处长,中... 2014年5月15-17日,全国工业机械电气系统标准化技术委员会(SAC/TC231)及第一(SC1)、第二(SC2)分技术委员会换届成立大会暨2013年年会在湖南长沙举行。国家标准化管理委员会工业二部项方怀处长,工业和信息化部装备司机械处苏铮副处长,中国机械工业联合会标准工作部谭湘宁副主任,新一届全国工业机械电气系统标准化技术委员会主任委员北京机床研究所王晓林副所长。 展开更多
关键词 工业机械 SAC/TC231 sc1 SC2 电气系统 机械工业联合会 标准体系建设 北京机床研究所 王晓林 技术委员会
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ISO/TC156/SC1“腐蚀控制工程全生命周期”秘书处2017年工作汇报
12
作者 王昊 《全面腐蚀控制》 2018年第2期18-21,共4页
2016年7月,国标委批复（标委外函【2016】97号文）同意由中国工业防腐蚀技术协会承担国际标准化组织腐蚀控制工程全生命周期标委会（ISO/TC156/SC1）秘书处。2017年,协会严格按照ISO程序和要求,以及国标委有关规定,开展秘书处工作,履行... 2016年7月,国标委批复（标委外函【2016】97号文）同意由中国工业防腐蚀技术协会承担国际标准化组织腐蚀控制工程全生命周期标委会（ISO/TC156/SC1）秘书处。2017年,协会严格按照ISO程序和要求,以及国标委有关规定,开展秘书处工作,履行秘书处职责。截至目前,主要开展了以下工作。一、工作成果1.加强委员会成员管理截至目前,委员会共有10个P成员国（中国、美国、德国、日本、韩国、荷兰、奥地利、瑞典、 展开更多
关键词 全生命周期 腐蚀控制 ISO/TC156/sc1 TC SC
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由我国主持的ISO/TC20/SC1第18次会议在美国召开
13
作者 陈汉初 《航空标准化与质量》 1991年第1期49-49,共1页
ISO/TC20/SC1“航空航天电气要求”分技术委员会第18次会议于1990年10月2日至5日在美国加州的长滩举行。这是我国主持SC1秘书处工作以来第二次主持召开这类会议。本届会议的主席和秘书分别由我国航空航天部615所的陆润生和301所的陈汉... ISO/TC20/SC1“航空航天电气要求”分技术委员会第18次会议于1990年10月2日至5日在美国加州的长滩举行。这是我国主持SC1秘书处工作以来第二次主持召开这类会议。本届会议的主席和秘书分别由我国航空航天部615所的陆润生和301所的陈汉初担任。 展开更多
关键词 秘书处工作 技术委员会 ISO/TC20/sc1 航空航天 陈汉 国际标准草案 日至 长滩 工程师学会 耐火电缆
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ISO／TC38／SC1第20次会议和SC2第16次会议举行
14
《纺织标准与质量》 2004年第4期48-48,共1页
关键词 ISO/TC38/sc1第20次会议 SC2第16次会议 2004年 纺织业 世界 技术交流
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SAC/TC189/SC1换届工作会议暨标准审查会在厦门召开
15
《电器与能效管理技术》 2014年第18期67-68,共2页
2014年9月23日,全国低压电器标准化技术委员会家用断路器及类似设备分技术委员会（SAC/TC189/SC1）第二届换届工作会议暨标准审查会在秋色宜人的厦门隆重举行。SAC/TC189/SC1在全国低压电器标委会（SAC/TC189）领导下,负责家用断路器和... 2014年9月23日,全国低压电器标准化技术委员会家用断路器及类似设备分技术委员会（SAC/TC189/SC1）第二届换届工作会议暨标准审查会在秋色宜人的厦门隆重举行。SAC/TC189/SC1在全国低压电器标委会（SAC/TC189）领导下,负责家用断路器和类似设备领域标准化的技术归口工作,并承担国际标准化组织IEC／SC23E的国内对口工作。 展开更多
关键词 标准审查会 SAC/TC189/sc1 低压电器 设备领域 技术委员会 换届工作 获奖证书 分标 工作细则 工作总结
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赴日参加ISO/TC17/SC1钢铁化学分析国际标准会议报告
16
作者 储岩 《冶金标准化与质量》 1994年第11期15-19,共5页
1994年6月6日至10日在日本神户先后召开了国际钢铁工业化学分析家委员会(ICASI)第二次会议和 ISO/TC17/SC1钢铁化学分析委员会第十五次会议。我国派冶金部信息标准研究院储岩出席了会议,其会议情况总结如下。
关键词 钢铁化学分析 国际标准 ISO/TC17/sc1
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ISO TC22/SC1(点火装置)会议在意大利举行
17
《汽车与配件》 1985年第3期54-54,共1页
经国家科委批准,应ISO TC22/SC1秘书处及意大利CUNA的邀请,中国汽车工业公司与机械部电工局组织并选派南京火花塞研究所副总工程师章熙清、长春汽车研究所发动机室副主任王瑞芹两位同志代表ISO
关键词 长春汽车研究所 ISO TC22/sc1 国家科委 发动机室 点火装置 归口单位 汽车工业 副总工程师 副主任 点火线圈
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2016国际标准ISO/TC149/SC1年会在上海召开
18
作者 智勰 薛征征 《中国自行车》 2016年第6期80-81,共2页
2016年5月10—13日,国际标准化组织/自行车技术委员会/自行车及其主要组件分技术委员会（ISO/TC149/SC1）年会和工作组会在上海召开。国家标准化管理委员会作为ISO中国国家成员体主办本次会议,由中国自行车协会作为支持单位,上海协津自... 2016年5月10—13日,国际标准化组织/自行车技术委员会/自行车及其主要组件分技术委员会（ISO/TC149/SC1）年会和工作组会在上海召开。国家标准化管理委员会作为ISO中国国家成员体主办本次会议,由中国自行车协会作为支持单位,上海协津自行车科技服务有限公司承办,天津市自行车研究院、无锡市产品质量监督检验所协办。 展开更多
关键词 TC149/sc1 中国自行车协会 自行车产业 技术委员会 主要组件 标准化管理 凤凰自行车 儿童自行车 标准化工作 检测中心
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ISO/TC8/SC1救生消防分技委年会概况
19
作者 郭娅 《船舶标准化与质量》 2017年第3期43-44,共2页
2017年ISO/TC8/SC1（国际标准化组织/船舶与海洋技术委员会/救生与消防分技术委员会）年会于5月23日至5月25日在日本东京举行,相关工作组会议同期举行。中船重工第714研究所代表参会。本次会议对船舶网络安全管理、救生设备的人员培训... 2017年ISO/TC8/SC1（国际标准化组织/船舶与海洋技术委员会/救生与消防分技术委员会）年会于5月23日至5月25日在日本东京举行,相关工作组会议同期举行。中船重工第714研究所代表参会。本次会议对船舶网络安全管理、救生设备的人员培训、引航员软梯、客船逃生撤离的人员定位要求等议题进行了研讨,未来SC1将在上述领域开展国际标准研制工作,以更好的满足行业需求, 展开更多
关键词 ISO/TC8/sc1 修订项目 SC 工作组 TC
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2025年国际自动识别与数据采集分委会全体会议及工作组会议召开
20
作者 董晓文 《条码与信息系统》 2025年第4期8-8,共1页
6月17日至20日,2025年国际标准化组织和国际电工委员会第一联合技术委员会第31分技术委员会(ISO/IEC JTC1/SC31)全体会议及工作组会议在韩国首尔召开。来自中国、韩国、美国、德国、加拿大、日本、法国、奥地利、瑞士等国家成员体以及... 6月17日至20日,2025年国际标准化组织和国际电工委员会第一联合技术委员会第31分技术委员会(ISO/IEC JTC1/SC31)全体会议及工作组会议在韩国首尔召开。来自中国、韩国、美国、德国、加拿大、日本、法国、奥地利、瑞士等国家成员体以及国际自动识别制造商协会(AIM Global)、电气与电子工程师学会(IEEE)、国际物品编码组织(GS1)、无线射频识别联盟(RAIN RFID Alliance)等联络组织的50余位专家参加了本次全体会议。我国代表团由来自中国物品编码中心与应用企业的7名技术专家组成。 展开更多
关键词 ISOIEC JTC1SC31 全体会议 工作组会议 韩国首尔
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