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基于压电复合单晶薄膜衬底的B25 SAW双工器性能研究
1
作者 陆川 褚梦群 +3 位作者 杜雪松 蒋小龙 潘祺 肖强 《压电与声光》 北大核心 2025年第4期688-692,共5页
针对B25 SAW双工器设计需求,基于压电复合单晶薄膜(POI)衬底开展了仿真、实测与性能对比研究。首先通过有限元仿真和实测对比了42°LT-POI与50°LT-POI谐振器的主模和远端杂波特性;然后对B25双工器的发射端(TX)和接收端(RX)分... 针对B25 SAW双工器设计需求,基于压电复合单晶薄膜(POI)衬底开展了仿真、实测与性能对比研究。首先通过有限元仿真和实测对比了42°LT-POI与50°LT-POI谐振器的主模和远端杂波特性;然后对B25双工器的发射端(TX)和接收端(RX)分别进行了拓扑结构设计;最后通过实测对比了两种不同切型POI衬底的B25双工器电性能参数。结果显示,在其他指标相当的情况下,相较于50°LT-POI,采用42°LT-POI衬底的B25双工器具有更优的远端抑制性能。 展开更多
关键词 POI衬底 B25 saw双工器
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基于微流控芯片的SAW分选技术研究现状 被引量:3
2
作者 刘国君 何芳 +3 位作者 马祥 王记波 李新波 刘建芳 《微纳电子技术》 北大核心 2018年第9期642-651,共10页
声表面波(SAW)分选技术因其无接触性、生物相容性好等特点,在生物医学、诊断学等领域有着广阔的应用前景。概述了声表面波分选芯片的基本结构组成、叉指换能器(IDT)的基本结构及工作原理,分析了行波声表面波(TSAW)和驻波声表面波... 声表面波(SAW)分选技术因其无接触性、生物相容性好等特点,在生物医学、诊断学等领域有着广阔的应用前景。概述了声表面波分选芯片的基本结构组成、叉指换能器(IDT)的基本结构及工作原理,分析了行波声表面波(TSAW)和驻波声表面波(SSAW)进入流体后产生的复杂的声流效应。根据声表面波分选技术的分选机理不同,将声表面波分选技术分为驻波声表面波分选技术和行波声表面波分选技术。分别讨论了声表面波分选技术的分选原理和研究现状,指出了声表面波分选技术相对于其他分选技术的优势,并综合国内外研究现状分析了研究过程中存在的问题,提出了声表面波分选技术今后的研究方向。 展开更多
关键词 声表面波(saw) 分选技术 微流控芯片 叉指换能器(IDT) 驻波声表面波(Ssaw) 行波声表面波(Tsaw)
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小锤结构对SMR SAW谐振器的杂散抑制研究
3
作者 韩捷 帅垚 +2 位作者 罗文博 吴传贵 张万里 《压电与声光》 北大核心 2025年第4期693-697,共5页
为了适应5G新频段的发展,研究了SMR SAW谐振器中小锤结构对谐振器性能的影响。通过二维和三维有限元仿真,研究了谐振器结构参数对性能的影响,并通过流片验证了仿真结果。仿真结果表明,在三小锤结构下,当小锤长度为1.6倍半周期时,谐振器... 为了适应5G新频段的发展,研究了SMR SAW谐振器中小锤结构对谐振器性能的影响。通过二维和三维有限元仿真,研究了谐振器结构参数对性能的影响,并通过流片验证了仿真结果。仿真结果表明,在三小锤结构下,当小锤长度为1.6倍半周期时,谐振器的横向模态杂散较弱。提出一种新型的双小锤加权结构,通过在谐振器的上、下半部分分别设置不同长度的小锤,进一步抑制了带内杂散,提高了谐振器的性能。实验结果表明,双小锤加权结构在抑制带内杂散方面效果明显,谐振器的机电耦合系数和阻抗比得到提升。 展开更多
关键词 SMR saw 小锤结构 双小锤加权结构 阻抗比 横向模态杂散
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TC-SAW SiO_(2)温补层性能研究
4
作者 贺贞 李燕 +3 位作者 田本朗 马晋毅 肖强 梁柳洪 《压电与声光》 北大核心 2025年第1期88-91,共4页
为制备高性能的TC-SAW SiO_(2)温补层,分别采用电子束蒸发镀膜和反应磁控溅射制备SiO_(2)薄膜,研究两种制备工艺对SiO_(2)薄膜致密性、表面粗糙度及弹性模量的影响。采用扫描电子显微镜、原子力显微镜、X线衍射仪对SiO_(2)薄膜的形貌和... 为制备高性能的TC-SAW SiO_(2)温补层,分别采用电子束蒸发镀膜和反应磁控溅射制备SiO_(2)薄膜,研究两种制备工艺对SiO_(2)薄膜致密性、表面粗糙度及弹性模量的影响。采用扫描电子显微镜、原子力显微镜、X线衍射仪对SiO_(2)薄膜的形貌和晶体结构进行分析。采用椭偏仪测试薄膜折射率及腐蚀后的膜厚变化量,并通过纳米压痕仪测量计算薄膜的硬度和弹性模量。结果表明,反应磁控溅射制备的SiO_(2)薄膜更致密、薄膜表面粗糙度更小、弹性模量更大。采用反应磁控溅射制备的SiO_(2)薄膜作为TC-SAW温补层,可以获得频率温度系数为-8.6×10^(-6)/℃的TC-SAW器件。 展开更多
关键词 TC-saw SiO_(2)温补层 反应磁控溅射
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基于无线SAW压力传感器的FADS研究
5
作者 江城 李宁 倪世宏 《微纳电子技术》 CAS 2007年第7期153-155,167,共4页
嵌入式大气数据系统(FADS)是先进的大气数据系统。由于SAW压力传感器能进行无线测量,将无线SAW压力传感器应用于FADS,与MIMU相结合使之成为廉价的微型组合导航系统。研究了FADS的基本原理、无线双单端SAW谐振器压力传感器的基本原理以... 嵌入式大气数据系统(FADS)是先进的大气数据系统。由于SAW压力传感器能进行无线测量,将无线SAW压力传感器应用于FADS,与MIMU相结合使之成为廉价的微型组合导航系统。研究了FADS的基本原理、无线双单端SAW谐振器压力传感器的基本原理以及相关应用电路模块,并利用HP Esoft软件和SAW谐振器等效电路对无线SAW压力传感器进行了仿真。研究表明,无线SAW传感器能应用到先进的大气数据系统,具有重要的应用价值。 展开更多
关键词 saw传感器 无线saw传感器 saw压力传感器 嵌入式大气数据系统
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SAW芯片的质量控制与可靠性测试方法的研究
6
作者 艾毅智 杨怡 陈虹羽 《压电与声光》 北大核心 2025年第1期92-97,共6页
随着通信设备向便携化、轻薄化发展,对SAW芯片的小体积、高性能需求逐渐增加,为确保产品交付质量,需要在芯片研发、生产过程中开展有效的质量控制和可靠性测试。通过对SAW芯片故障模式及影响的分析,找出了设计和生产过程存在的风险点,... 随着通信设备向便携化、轻薄化发展,对SAW芯片的小体积、高性能需求逐渐增加,为确保产品交付质量,需要在芯片研发、生产过程中开展有效的质量控制和可靠性测试。通过对SAW芯片故障模式及影响的分析,找出了设计和生产过程存在的风险点,制定质量控制措施并研究可靠性测试方法,提升了芯片合格率,进而验证了质量控制措施和可靠性测试方法的有效性,在业内具有一定的借鉴意义。 展开更多
关键词 saw芯片 失效模式 质量控制 可靠性
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用于塑封模组的SAW器件封装可靠性研究
7
作者 温桎茹 杨桃均 +3 位作者 向星诚 蒲志勇 米佳 唐盘良 《压电与声光》 北大核心 2025年第5期823-827,共5页
针对塑封射频模组中使用不同封装SAW器件的设计方案,采用有限元数值模拟技术计算模组内部器件在温度循环载荷下的应力分布,根据可靠性试验和显微检测分析了模组的电学性能和内部结构状态。研究表明,CSP封装(芯片级封装)SAW器件在塑封模... 针对塑封射频模组中使用不同封装SAW器件的设计方案,采用有限元数值模拟技术计算模组内部器件在温度循环载荷下的应力分布,根据可靠性试验和显微检测分析了模组的电学性能和内部结构状态。研究表明,CSP封装(芯片级封装)SAW器件在塑封模组中承受温度循环载荷下的应力较高,在实际试验中大部分样品出现了电学性能异常、内部键合点断开的现象;WLP封装(晶圆级封装)SAW器件在塑封模组中承受温度循环载荷下的应力较低,该方案模组样品在试验过程中具有很好的稳定性。 展开更多
关键词 saw器件封装 塑封射频模组 可靠性 有限元数值模拟
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双通道协同解耦SAW应变传感器的结构设计与制造
8
作者 郑引荣 梁晓瑞 谭秋林 《微纳电子技术》 2025年第7期45-51,共7页
为满足发动机、燃气轮机等高温高旋环境下关键部件的健康监测需求,基于硅酸镓镧(LGS)基底,提出了一种双通道协同解耦的高温稳定型声表面波(SAW)应变传感结构。该传感系统采用独特的90°空间正交布局设计,由两个高性能谐振器构成传... 为满足发动机、燃气轮机等高温高旋环境下关键部件的健康监测需求,基于硅酸镓镧(LGS)基底,提出了一种双通道协同解耦的高温稳定型声表面波(SAW)应变传感结构。该传感系统采用独特的90°空间正交布局设计,由两个高性能谐振器构成传感单元对。通过高温稳定的铂浆料和铂丝引线,实现传感元件在800℃极端环境下的可靠互连。通过优化设计双通道协同解耦算法,可有效消除温度引起的干扰,在25~800℃的宽温域范围内实现0~600με的应变测量,且在全温范围内表现出卓越的稳定性,解耦误差控制在-6.8%~+7.6%之间,为极端环境监测提供了高可靠性的解决方案。 展开更多
关键词 并联声表面波(saw)应变传感器 硅酸镓镧(LGS) 双通道协同解耦 宽应变 耐高温
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Investigation of laboratory saw ginning and blending on cotton fiber quality measurement
9
作者 LIU Yongliang DELHOM Christopher D 《Journal of Cotton Research》 2025年第4期544-560,共17页
Background Small-scale research or individual seed cotton samples from breeders and geneticists are ginned using laboratory saws or roller gins.The objective of this study was to examine the effects of two different l... Background Small-scale research or individual seed cotton samples from breeders and geneticists are ginned using laboratory saws or roller gins.The objective of this study was to examine the effects of two different laboratory saw ginning(SG)rates and subsequent mechanical blending on fiber high volume instrument(HVI)and advanced fiber information system(AFIS)quality measurement.Seed cottons from diverse upland cotton cultivars,years,and locations were evaluated.Results As the SG rate was increased,HVI results for uniformity index(UI),short fiber index(SFI),and two non-lint parameters(area%,particle count),as well as AFIS results for some properties,were impacted,with significant effects on HVI UI and AFIS short fiber content(SFC).Apparent fiber blending impacts were observed for HVI UI,strength(STR),reflectance(Rd),SFI,and two trashes as well as for all AFIS parameters,with significant effects on HVI Rd and two trashes and all AFIS parameters except the length and maturity measurements.A combination of ginning and blending processes indicated statistically significant interactions for HVI STR,Rd,SFI,and two trashes,and also for AFIS neps,L(w)CV,UQL(w),L(n)CV,SFC(n),L5%(n),immature fiber content(IFC),fineness,total count,dust count,particle count,and visible foreign matter(VFM).Further analysis implied a few impacts of ginning and blending on correlations between HVI and relevant AFIS qualities.Conclusion Despite the observation,the laboratory saw gin and blending methods should continue to be a practical tool to study the differences when all samples are processed identically. 展开更多
关键词 AFIS BLENDING Cotton fiber HVI Laboratory saw gin Ginning rate
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用浮动零点法消除温度对SAW加速度计测量准确度的影响 被引量:1
10
作者 刘骏跃 陈明 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2005年第3期611-613,共3页
分析了温度漂移对声表面波谐振器(SAWR)及其声表面波振荡器(SAWO)频率特性、以及对SAW加速度计测量准确性的影响,探讨了提高SAW加速度计测量准确度的方法,提出了一种基于浮动零点原理抑制温度共模干扰的双对SAWR加速度计设计方案。本方... 分析了温度漂移对声表面波谐振器(SAWR)及其声表面波振荡器(SAWO)频率特性、以及对SAW加速度计测量准确性的影响,探讨了提高SAW加速度计测量准确度的方法,提出了一种基于浮动零点原理抑制温度共模干扰的双对SAWR加速度计设计方案。本方案不仅通过设置浮动零点SAWR抑制了SAWO频率-温度漂移对SAW加速度计测量准确度的干扰,还在一定程度上降低了对SAWR表面制造工艺的要求。 展开更多
关键词 saw加速度计 sawO浮动零点 测量准确度
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Key Technologies and Development Trends in Advanced Intelligent Sawing Equipments 被引量:3
11
作者 Yangyu Wang Yongle Zhang +1 位作者 Dapeng Tan Yongchao Zhang 《Chinese Journal of Mechanical Engineering》 SCIE EI CAS CSCD 2021年第3期175-194,共20页
As a starting point in equipment manufacturing,sawing plays an important role in industrial production.Intelligent manufacturing equipment is an important carrier of intelligent manufacturing technologies.Due to the b... As a starting point in equipment manufacturing,sawing plays an important role in industrial production.Intelligent manufacturing equipment is an important carrier of intelligent manufacturing technologies.Due to the backwardness of intelligent technology,the comprehensive performance of sawing equipments in China is obviously different from that in foreign countries.State of the art of advanced sawing equipments is investigated along with the technical bottleneck of sawing machine tool manufacturing,and a new industrial scheme of replacing turning-milling by sawing is described.The key technologies of processing-measuring integrated control,multi-body dynamic optimization,the collaborative sawing network framework,the distributed cloud sawing platform,and the self-adapting service method are analyzed;with consideration of the problems of poor processing control stableness,low single machine intelligence level,no on-line processing data service and active flutter suppression of sawing with wide-width and heavy-load working conditions.Suggested directions for further research,industry implementation,and industry-research collaboration are provided. 展开更多
关键词 sawing equipments Processing-measuring integrated control Collaborative sawing framework Intelligent network middleware sawing cloud service platform
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悬臂梁式SAW加速度计差频信号系统分析与设计
12
作者 刘骏跃 苗国耀 +2 位作者 韩小菊 马惠成 陈明 《测控技术》 CSCD 2008年第7期6-8,共3页
鉴于现有声表面波(SAW)器件的制作工艺和技术水平,进一步改进了SAW加速度计的设计方案。尽管改进方案降低了一些灵敏度,但容易使实际制作的一对SAWR具有尽可能相同的频率响应特性,进而把实现其抑制温度干扰的优点落实到了工程实处。由... 鉴于现有声表面波(SAW)器件的制作工艺和技术水平,进一步改进了SAW加速度计的设计方案。尽管改进方案降低了一些灵敏度,但容易使实际制作的一对SAWR具有尽可能相同的频率响应特性,进而把实现其抑制温度干扰的优点落实到了工程实处。由于改进方案浮动零点SAWR的谐振频率相对固定,因而便于借鉴无线通信理论的现成技术成果,进行混频和差频滤波电路设计。 展开更多
关键词 悬臂梁式saw加速度计 saw器件制作能力 混频 滤波
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MEMS-SAW陀螺仪研究
13
作者 李泉溪 银兵 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2010年第11期61-63,66,共4页
采用耦合模(COM)理论对声表面波(SAW)谐振器进行数字模拟,并采用梅森(Mason)正交场模型对陀螺仪和传感器进行模拟设计,最后对SAW谐振器和SAW传感器进行实验评价。这种陀螺仪具有额外的能力,可以作为无线陀螺仪和集成在SAW加速度传感器上。
关键词 微机电系统 声表面波 陀螺仪 saw谐振器 saw传感器
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Cu/15°YX-LiNbO_(3)SAW谐振器的横向模抑制研究 被引量:4
14
作者 肖强 董加和 +5 位作者 白涛 陈彦光 陈尚权 李桦林 陈正林 马晋毅 《压电与声光》 CAS 北大核心 2022年第2期202-204,共3页
Cu/15°YX-LiNbO_(3)声表面波(SAW)谐振器作为宽带SAW滤波器的核心单元,其横向模式的存在极大地影响了SAW滤波器的通带性能,将引起带内波纹,增大器件插损,从而降低系统信噪比,引起信号误读。该文基于Piston技术抑制Cu/15°YX-Li... Cu/15°YX-LiNbO_(3)声表面波(SAW)谐振器作为宽带SAW滤波器的核心单元,其横向模式的存在极大地影响了SAW滤波器的通带性能,将引起带内波纹,增大器件插损,从而降低系统信噪比,引起信号误读。该文基于Piston技术抑制Cu/15°YX-LiNbO_(3) SAW谐振器的横向模式,利用有限元仿真优化了指条末端尺寸。仿真结果表明,慢速区域尺寸占空比为0.692,长度约为0.65λ(λ为波长)时,主模附近的横向模得到完全抑制,并通过实验验证了其有效性。这为Piston技术应用于Cu/15°YX-LiNbO_(3)宽带SAW滤波器的横向模抑制提供了指导。 展开更多
关键词 声表面波(saw)谐振器 宽带声表面波(saw)滤波器 横向模式 Piston技术
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谐振式SAW压力传感器敏感元件研究与设计 被引量:9
15
作者 何鹏举 戴冠中 +1 位作者 陈明 徐苛杰 《传感技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期374-378,共5页
量程和温度特性是传感器的两个主要指标,SAW压力传感器的量程由基片材料的结构尺寸决定,温度效应一般采用双端对谐振器来消除,目前关于两个谐振器的位置确定还没有一个确定的方法。通过力学分析得出了圆形石英膜片的半径、厚度、和最大... 量程和温度特性是传感器的两个主要指标,SAW压力传感器的量程由基片材料的结构尺寸决定,温度效应一般采用双端对谐振器来消除,目前关于两个谐振器的位置确定还没有一个确定的方法。通过力学分析得出了圆形石英膜片的半径、厚度、和最大载荷的关系;对石英圆形膜片的应力应变关系进行了有限元数值计算,得出了正负应力在圆形石英膜片的分界点,为设计SAW谐振式压力传感器的物理结构和合理的安排谐振器的位置提供了依据。 展开更多
关键词 saw压力传感器 敏感片结构 谐振器位置 有限元
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谐振型SAW无线无源传感器的测试系统研究 被引量:8
16
作者 王睿 张万里 +3 位作者 彭斌 邓森洋 邓言文 姜建英 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2016年第4期566-569,共4页
采用一种低成本、高效率的电路系统实现对谐振型无线无源声表面波(SAW)传感器的测试。该电路利用直接数字频率合成(DDS)技术产生不同频率的射频信号用以激励SAW传感器。在接收端采用功率探测器检测回波信号的包络,通过包络的变化得到待... 采用一种低成本、高效率的电路系统实现对谐振型无线无源声表面波(SAW)传感器的测试。该电路利用直接数字频率合成(DDS)技术产生不同频率的射频信号用以激励SAW传感器。在接收端采用功率探测器检测回波信号的包络,通过包络的变化得到待测物理化学参量的变化。该测试系统产生的激励信号功率最高可达10dBm,测试时间约为0.5s,与矢网测试结果相比,其测试相对误差仅为0.002 4%。实验结果表明,该系统能够稳定、可靠地实现谐振型SAW传感器的快速检测。 展开更多
关键词 谐振型声表面波(saw)传感器 无线无源 直接数字频率合成 功率探测器
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SAW传感器及其在无源标识器中的应用 被引量:6
17
作者 刘积学 段成丽 +2 位作者 钟先信 彭江陵 张元勇 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2005年第6期591-594,共4页
声表面波(SAW)器件作为信号处理器在现代扩频技术中已获得广泛的应用,推动了信号保密、抗干扰技术在通信、雷达、电子对抗等军用电子系统中的应用。然而,随着信息技术的深入发展,作为模拟技术的SAW技术,在信号处理领域依然展示着其实时... 声表面波(SAW)器件作为信号处理器在现代扩频技术中已获得广泛的应用,推动了信号保密、抗干扰技术在通信、雷达、电子对抗等军用电子系统中的应用。然而,随着信息技术的深入发展,作为模拟技术的SAW技术,在信号处理领域依然展示着其实时强大的信号处理能力,同时在信息敏感方面也展现出卓越的优势,如其灵敏度高、直接频率和相位输出、多参量综合信号转换能力、性能稳定、无源低功耗、工艺简单且与半导体工艺兼容易于实现片上集成等特点,在多种物理、化学、生物传感器系统获得应用,广受重视。近年来,随着SAW器件工作频率提高到GHz以上,使得集信息敏感与信号处理、信号传输于一体的单芯片SAW无源标识器(SAW IDT)技术在多种SAW传感器系统获得广泛的应用,成为当今SAW和传感器两个技术领域的一个新发展亮点。本文基于信息敏感的角度对SAW传感器的理论、设计、结构、系统研究方向,在无源标识器(IDT)应用军方面进行了探讨。 展开更多
关键词 saw传感器 无源标识器(IDT) 信息敏感
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剥离工艺制作SAW滤波器IDT的研究 被引量:6
18
作者 陈颖慧 高杨 +1 位作者 郑英彬 赵兴海 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2012年第2期124-128,共5页
研究了用于声表面波滤波器的微米尺度的叉指换能器的制作工艺。利用剥离工艺,分别采用铝和铬金两种金属制作了叉指换能器的电极,分析了剥离工艺制作叉指电极时的工艺特性。对加工样品的测量分析结果表明,利用剥离工艺制备的叉指换能器... 研究了用于声表面波滤波器的微米尺度的叉指换能器的制作工艺。利用剥离工艺,分别采用铝和铬金两种金属制作了叉指换能器的电极,分析了剥离工艺制作叉指电极时的工艺特性。对加工样品的测量分析结果表明,利用剥离工艺制备的叉指换能器电极线条光滑、陡直、清晰,但是成品率较低。对比分析了采用铝和铬金制作的叉指换能器样品结构,结果表明两种金属材料在剥离液中的腐蚀时间不同,铝材料需要较长的剥离时间;两种材料制作的电极图形质量也有差异,铝材料制作的电极更为陡直、精细。 展开更多
关键词 声表面波(saw) 滤波器 叉指换能器(IDT) 剥离 陡直度
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双通道结构SAW压力传感器测量电路设计 被引量:1
19
作者 蒋建伟 蒋华 郭兴龙 《国外电子测量技术》 北大核心 2022年第8期181-187,共7页
针对声表面波(SAW)传感器输出的模拟信号难以准确变换和处理的问题,提出了延迟线型SAW压力传感器等效电路模型,设计了一种双通道结构模数混合测量电路,包括改进的SAW振荡器、混频器、低通滤波器、整形器、单片机等。通过ADS和Multisim... 针对声表面波(SAW)传感器输出的模拟信号难以准确变换和处理的问题,提出了延迟线型SAW压力传感器等效电路模型,设计了一种双通道结构模数混合测量电路,包括改进的SAW振荡器、混频器、低通滤波器、整形器、单片机等。通过ADS和Multisim仿真验证了测量电路的功能,其中改进的SAW振荡器中心频率为40MHz,采用双通道结构混频后,经过低通滤波器输出频率为1kHz的正弦波,再经过整形器将正弦波转换成频率为1kHz的方波。相对于单通道高频振荡信号,该测量电路不仅输出频率更准确,而且将高频模拟信号转换为低频数字信号更易于采用单片机处理。 展开更多
关键词 saw振荡器 saw压力传感器 双通道结构 测量电路
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La_3Ga_5SiO_(14)单晶的生长、性能及SAW应用 被引量:14
20
作者 武安华 徐家跃 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第6期559-564,共6页
本文综述了新型压电晶体La3 Ga5SiO14 的最新研究进展 ,详细讨论了该晶体的生长问题 ,简单介绍了该晶体的性能及其在SAW和BAW方面的应用 ,分析了该晶体在压电应用方面的优势。
关键词 单晶 应用 saw La3Ga5SiO14 Gzochralski LPE 晶体生长 压电性能 声表面波
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