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全自动半导体RCA清洗机 被引量：6
1
作者 段成龙 祝福生 《清洗世界》 CAS 2013年第1期42-46,共5页
RCA清洗工艺是一种在半导体制造过程中被广泛应用的工艺,是去除硅片表面各类玷污的有效方法。本文介绍了RCA清洗工艺的原理、过程以及应用,并详细介绍了全自动半导体RCA清洗机的组成、各单元结构及功能。
关键词 rca清洗工艺 化学清洗 清洗设备 全自动设备
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半导体湿制程设备清洗技术对产品质量的影响
2
作者 张立军 马玉水 《计算机应用文摘》 2025年第13期256-257,260,共3页
随着半导体技术节点向3nm及以下制程演进,湿制程清洗技术已成为决定芯片良率、电学性能及长期可靠性的核心环节。文章系统分析了湿法清洗在晶圆制造全流程中的关键作用,结合RCA清洗、单片清洗等主流技术,揭示了清洗工艺对颗粒污染控制... 随着半导体技术节点向3nm及以下制程演进,湿制程清洗技术已成为决定芯片良率、电学性能及长期可靠性的核心环节。文章系统分析了湿法清洗在晶圆制造全流程中的关键作用,结合RCA清洗、单片清洗等主流技术,揭示了清洗工艺对颗粒污染控制、界面性能优化及晶体缺陷抑制的直接影响机制。研究结果表明,湿法清洗步骤占晶圆制造总工序的30%以上,清洗不彻底导致的纳米级颗粒残留可使良率下降15%~20%;通过优化SC1/SC2溶液配比及兆声波清洗参数,可使0.1μm级颗粒去除率达99.99%。 展开更多
关键词 湿制程清洗 纳米级颗粒 rca工艺 SiC清洗 良率提升
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再生混凝土集料研究进展 被引量：29
3
作者 梅迎军 郑建华 《混凝土》 CAS CSCD 北大核心 2010年第1期89-93,共5页
再生混凝土集料的性能对再生混凝土性能有重要的影响。对再生粗集料的生产工艺、分级方法与标准、基本性能指标、界面改性处理技术措施等方面进行了研究和总结。针对目前国内外研究进展,分析了再生集料研究的不足,提出了再生集料在混凝... 再生混凝土集料的性能对再生混凝土性能有重要的影响。对再生粗集料的生产工艺、分级方法与标准、基本性能指标、界面改性处理技术措施等方面进行了研究和总结。针对目前国内外研究进展,分析了再生集料研究的不足,提出了再生集料在混凝土应用中的3个研究方向:①制定适合我国国情的再生混凝土分选、破碎与筛分工艺;②制定再生集料分级技术标准,给出不同等级再生集料推荐应用范围;③再生集料表面改性技术措施。 展开更多
关键词 再生混凝土集料 破碎工艺 性能指标 分级 界面改性
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通过添加表面活性剂和螯合剂改进硅片化学清洗工艺的研究 被引量：7
4
作者 黄绍春 刘新 +1 位作者 叶嗣荣 刘小芹 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2014年第3期468-471,共4页
通过在传统RCA清洗法所用的SC-1液中,添加表面活性剂四甲基氢氧化铵(TMAH)和/或螯合剂乙二胺四乙酸(EDTA),实验比较了不同清洗方法对颗粒粘污、金属粘污的去除效率;并测试了其对硅片表面粗糙度的影响。用MOS电容结构的击穿电场强度Weib... 通过在传统RCA清洗法所用的SC-1液中,添加表面活性剂四甲基氢氧化铵(TMAH)和/或螯合剂乙二胺四乙酸(EDTA),实验比较了不同清洗方法对颗粒粘污、金属粘污的去除效率;并测试了其对硅片表面粗糙度的影响。用MOS电容结构的击穿电场强度Weibull分布,评价了不同清洗方法所得氧化层的质量。结果表明,上述改进能够显著提高对颗粒粘污和金属粘污的去除效果,同时能省去RCA的SC-2清洗步骤,具有节省工时、化学试剂消耗量小的优势。 展开更多
关键词 rca清洗法 湿法化学清洗 四甲基氢氧化铵(TMAH) 乙二胺四乙酸(EDTA)
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中越服装服饰加工贸易出口竞争力比较研究
5
作者 艾民 薛晨菁 《西安财经学院学报》 CSSCI 2013年第4期64-69,共6页
文章采用显性比较优势指数(RCA)对中越两国服装服饰业加工贸易出口竞争力进行对比,并依据中越两国1995—2010年分类数据,对主要服装产品贸易竞争力进行分类计算,进而分析中国与越南不同类型服装服饰加工贸易出口产品的比较优势及劣势,... 文章采用显性比较优势指数(RCA)对中越两国服装服饰业加工贸易出口竞争力进行对比,并依据中越两国1995—2010年分类数据,对主要服装产品贸易竞争力进行分类计算,进而分析中国与越南不同类型服装服饰加工贸易出口产品的比较优势及劣势,通过预测未来五年中越两国服装服饰类加工贸易出口产品的RCA,得出越南已成为我国服装服饰加工贸易出口强劲竞争对手的结论。 展开更多
关键词 中越贸易 服装服饰产品 加工贸易 显性比较优势指数
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半导体晶圆自动清洗设备 被引量：8
6
作者 王锐延 《电子工业专用设备》 2004年第9期8-12,共5页
主要介绍了半导体晶圆RCA清洗工艺以及半导体晶圆自动清洗设备在生产中的结构设计和应用情况。在工艺模块和伺服机械传送方面体现了湿法化学的独创性和实用性。解决了晶圆清洗技术中晶圆清洗效果的一致性,在半导体IC、材料、器件领域的... 主要介绍了半导体晶圆RCA清洗工艺以及半导体晶圆自动清洗设备在生产中的结构设计和应用情况。在工艺模块和伺服机械传送方面体现了湿法化学的独创性和实用性。解决了晶圆清洗技术中晶圆清洗效果的一致性,在半导体IC、材料、器件领域的清洗工艺中得到广泛使用,具有极大的社会经济效益。 展开更多
关键词 湿法化学 工艺模块 QDR rca清洗
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RCA在改进妇科术前准备流程预防患者跌倒的应用
7
作者 黄燕 雷岸江 龙德蓉 《药物与人》 2014年第10期19-20,共2页
目的：改进妇科手术患者术前准备流程，避免患者跌倒；方法：通过对术前患者跌倒发生的原因进行根因分析，确定患者跌倒根本原因，制定改进措施；结果：术前准备流程不规范，术前评估制度不完善，护士评估不全面，护士对患者跌倒后处理... 目的：改进妇科手术患者术前准备流程，避免患者跌倒；方法：通过对术前患者跌倒发生的原因进行根因分析，确定患者跌倒根本原因，制定改进措施；结果：术前准备流程不规范，术前评估制度不完善，护士评估不全面，护士对患者跌倒后处理不当，肠道准备方法较陈旧是患者发生跌倒的根本原因。通过改进流程，2013年全年无患者跌倒发生.结论：通过RCA分析，确认术前患者发生跌倒的根本原因，以优化流程，并避免患者跌倒发生。 展开更多
关键词 根因分析 术前准备 流程
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中国产业国际竞争力的动态变化分析——基于贸易增加值前向分解法 被引量：22
8
作者 郑乐凯 王思语 《数量经济技术经济研究》 CSSCI CSCD 北大核心 2017年第12期110-126,共17页
研究目标:准确度量中国在全球生产网络下的产业国际竞争力。研究方法:利用贸易增加值前向分解法,并基于区分贸易类型的Tiva投入产出数据,重新估算1995~2011年中国16个制造行业和15个服务行业的显示性比较优势(RCA)及其动态变化情况。研... 研究目标:准确度量中国在全球生产网络下的产业国际竞争力。研究方法:利用贸易增加值前向分解法,并基于区分贸易类型的Tiva投入产出数据,重新估算1995~2011年中国16个制造行业和15个服务行业的显示性比较优势(RCA)及其动态变化情况。研究发现:传统统计方法以及贸易增加值后向分解法都高估了中国纺织服装、皮革鞋类与机电等传统优势产业的出口竞争优势,却低估了部分资本、技术密集型产品和服务出口的国际竞争力。研究创新:从生产要素投入价值的角度考查中国各产业的贸易出口额。研究价值:客观评估中国产业出口的国际竞争力水平。 展开更多
关键词 贸易增加值 国际竞争力 加工贸易 制造业服务化
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