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掺硅类金刚石薄膜的制备与表征 被引量：7
1
作者 赵飞 李红轩 +3 位作者 吉利 权伟龙 周惠娣 陈建敏 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第4期11-14,共4页
利用射频等离子增强化学气相沉积(R.F.PECVD)与非平衡磁控溅射相结合的技术,通过调节甲烷与氩气的比例,在不锈钢基底上制备了一系列硅含量不同的掺硅类金刚石(Si–DLC)薄膜。通过XPS谱图获得了各Si–DLC薄膜的化学组成及Si元素的相对含... 利用射频等离子增强化学气相沉积(R.F.PECVD)与非平衡磁控溅射相结合的技术,通过调节甲烷与氩气的比例,在不锈钢基底上制备了一系列硅含量不同的掺硅类金刚石(Si–DLC)薄膜。通过XPS谱图获得了各Si–DLC薄膜的化学组成及Si元素的相对含量。采用非接触式三维轮廓仪测量了薄膜的表面形貌、粗糙度和厚度。采用纳米压痕技术获得了各薄膜的纳米硬度。在UMT–2MT摩擦试验机采用划痕法评价了各薄膜的结合强度,并在CSM摩擦试验机上考察了各薄膜在空气及水环境下的摩擦学性能。结果表明,各薄膜的纳米硬度和结合强度有相似的变化规律,其最佳值均出现在CH4/Ar=5/6处;而当CH4/Ar=7/6时,薄膜在水环境下的摩擦学性能能得到显著提高,摩擦因数仅为0.012。 展开更多
关键词 r.f.pecvd 掺硅类金刚石薄膜 水环境 结合强度 摩擦因数
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高阻隔碳氢膜的制备及性能研究 被引量：5
2
作者 陈光良 葛袁静 +8 位作者 张越飞 张广秋 张谷令 王久丽 刘元福 顾伟超 冯文然 刘赤子 杨思泽 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期818-823,共6页
利用射频等离子体化学气象沉积法 (r.f.PECVD) ,在 12 μm厚的聚对苯二甲酸乙二醇酯 (PET)上制备了碳氢膜 .用原子力显微镜 (AFM) ,x射线光电子能谱 (XPS) ,激光拉曼光谱 ,傅里叶红外光谱等仪器 ,对碳氢膜的表面形貌和内部结构特性进行... 利用射频等离子体化学气象沉积法 (r.f.PECVD) ,在 12 μm厚的聚对苯二甲酸乙二醇酯 (PET)上制备了碳氢膜 .用原子力显微镜 (AFM) ,x射线光电子能谱 (XPS) ,激光拉曼光谱 ,傅里叶红外光谱等仪器 ,对碳氢膜的表面形貌和内部结构特性进行了较详细研究 .镀碳氢膜PET的阻隔性能在标准透水蒸气测试仪上进行检测 .实验结果证明 :沉积工艺参数对碳氢膜的生长速率及结构性能有重要影响 ;在PET上沉积的是纳米碳氢膜 ,该膜主要由sp2 和sp3杂化的碳氢化合物组成 ;当PET上碳氢膜厚度为 90 0nm时 ,阻水蒸气性能可提高 7倍 . 展开更多
关键词 PET 制备 聚对苯二甲酸乙二醇酯 性能研究 阻隔 水蒸气 杂化 x射线光电子能谱(XPS) 傅里叶红外光谱 射频等离子体
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