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Hotspots of disagreement across global urban land projections until 2100
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作者 Jasper van Vliet Hang Yang +9 位作者 Nathalie Benz Changxiu Cheng Jonathan Doelman Jing Gao Qingxu Huang Eric Koomen Xuecao Li Lu Niu Elizabeth A.Schrammeijer Yuyu Zhou 《Geography and Sustainability》 2026年第1期155-165,共11页
Projections of future urban land change are essential for a range of sustainability assessments,including those related to biodiversity loss,carbon emissions,and agricultural land conversion.However,to what extent and... Projections of future urban land change are essential for a range of sustainability assessments,including those related to biodiversity loss,carbon emissions,and agricultural land conversion.However,to what extent and where current projections agree or disagree remains unknown.Here,we systematically compare existing global projections that are consistent with the Shared Socioeconomic Pathways.We find that the total global urban land area is expected to increase by 112%between 2020 and 2100(averaged across all projections),with a coefficient of variation of 0.81.This variation is mostly caused by the selection of the underlying drivers that are included in the different models.Regionally,the highest average growth rates are found in sub-Saharan Africa(+679%to+730%),while this region also has the highest variation across projections(coefficient of variation ranging from 2.02 to 2.18).When ranking scenarios within a study from the highest to the lowest projected increase in urban land,rankings are relatively similar for regions in the Global North,but not for regions in the Global South.The large disagreement across projections can lead to high uncertainties in assessments of future urban land change impacts,which can undermine the effectiveness of long-term planning,policymaking,and resource management decisions. 展开更多
关键词 GLOBAL Urban BUILT-UP projections SSPs Model comparison
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基于项目化学习的小学英语Project板块教学研究——以“Project:Make a poster of a happy family”为例
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作者 龚秋萍 《教育界》 2026年第4期134-136,共3页
当下,小学英语板块教学存在活动形式单一化、探究活动浅表化等问题,综合育人价值未能完全发挥。为改变这一现状,文章以人教版英语(PEP)四年级上册Unit 1“Helping at home”的“Project:Make a poster of a happy family”为例,以项目... 当下,小学英语板块教学存在活动形式单一化、探究活动浅表化等问题,综合育人价值未能完全发挥。为改变这一现状,文章以人教版英语(PEP)四年级上册Unit 1“Helping at home”的“Project:Make a poster of a happy family”为例,以项目化学习为支架,围绕项目设计、过程实施、评价反馈、成果展示等维度探究有效教学策略,旨在优化Project板块的教学模式,引导学生在项目化学习中提升语言运用能力和综合实践能力。 展开更多
关键词 项目化学习 小学英语 project板块
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Predictable and Unpredictable Modes of Northern Hemisphere Atmospheric Circulation in CMIP6:Evaluation and Projections
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作者 Kairan YING Dabang JIANG Linhao ZHONG 《Advances in Atmospheric Sciences》 2026年第1期135-156,共22页
Climate models are essential for understanding past,present,and future changes in atmospheric circulation,with circulation modes providing key sources of seasonal predictability and prediction uncertainties for both g... Climate models are essential for understanding past,present,and future changes in atmospheric circulation,with circulation modes providing key sources of seasonal predictability and prediction uncertainties for both global and regional climates.This study assesses the performance of models participating in phase 6 of the Coupled Model Intercomparison Project in simulating interannual variability modes of Northern Hemisphere 500-hPa geopotential height during winter and summer,distinguishing predictable(potentially predictable on seasonal or longer timescales)and unpredictable(intraseasonal and essentially unpredictable at long range)components,using reanalysis data and a variance decomposition method.Although most models effectively capture unpredictable modes in reanalysis,their ability to reproduce dominant predictable modes-specifically the Pacific-North American pattern,Arctic Oscillation,and Western Pacific Oscillation in winter,and the East Atlantic and North Atlantic Oscillations in summer-varies notably.An optimal ensemble is identified to distinguish(a)predictable-external modes,dominated by external forcing,and(b)predictable-internal modes,associated with slow internal variability,during the historical period(1950-2014)and the SSP5-8.5 scenario(2036-2100).Under increased radiative forcing,the leading winter/summer predictable-external mode exhibits a more uniform spatial distribution,remarkably larger trend and annual variance,and enhanced height-sea surface temperature(SST)covariance under SSP5-8.5 compared to historical conditions.The dominant winter/summer predictable-internal modes also exhibit increased variance and height-SST covariance under SSP5-8.5,along with localized changes in spatial configuration.Minimal changes are observed in spatial distribution or variance for dominant winter/summer unpredictable modes under SSP5-8.5.This study,from a predictive perspective,deepens our understanding of model uncertainties and projected changes in circulations. 展开更多
关键词 interannual mode of atmospheric circulation CMIP6 predictable unpredictable EVALUATION projectION
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初中英语新教材Project板块教学实践初探
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作者 刘小菊 《视周刊》 2026年第5期9-10,共2页
随着教育改革的持续深入,初中英语教学需突破传统的知识灌输模式,构建能力本位、素养导向的教育模式,驱动学生的深度学习和主动思考。人教版初中英语新教材中的Project板块,是单元知识的综合运用平台,强调学生通过合作创作、自主探究与... 随着教育改革的持续深入,初中英语教学需突破传统的知识灌输模式,构建能力本位、素养导向的教育模式,驱动学生的深度学习和主动思考。人教版初中英语新教材中的Project板块,是单元知识的综合运用平台,强调学生通过合作创作、自主探究与成果展示,实现语言技能、思维品质、学习能力的全面提升。 展开更多
关键词 初中英语 project板块 新教材 能力本位
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Individual Software Expertise Formalization and Assessment from Project Management Tool Databases
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作者 Traian-Radu Plosca Alexandru-Mihai Pescaru +1 位作者 Bianca-Valeria Rus Daniel-Ioan Curiac 《Computers, Materials & Continua》 2026年第1期389-411,共23页
Objective expertise evaluation of individuals,as a prerequisite stage for team formation,has been a long-term desideratum in large software development companies.With the rapid advancements in machine learning methods... Objective expertise evaluation of individuals,as a prerequisite stage for team formation,has been a long-term desideratum in large software development companies.With the rapid advancements in machine learning methods,based on reliable existing data stored in project management tools’datasets,automating this evaluation process becomes a natural step forward.In this context,our approach focuses on quantifying software developer expertise by using metadata from the task-tracking systems.For this,we mathematically formalize two categories of expertise:technology-specific expertise,which denotes the skills required for a particular technology,and general expertise,which encapsulates overall knowledge in the software industry.Afterward,we automatically classify the zones of expertise associated with each task a developer has worked on using Bidirectional Encoder Representations from Transformers(BERT)-like transformers to handle the unique characteristics of project tool datasets effectively.Finally,our method evaluates the proficiency of each software specialist across already completed projects from both technology-specific and general perspectives.The method was experimentally validated,yielding promising results. 展开更多
关键词 Expertise formalization transformer-based models natural language processing augmented data project management tool skill classification
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The Observed and Projected Changes of Global Monsoons:Current Status and Future Perspectives
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作者 Tianjun ZHOU Xiaolong CHEN +11 位作者 Wenxia ZHANG Bo WU Ziming CHEN Jie JIANG Xin HUANG Shuai HU Meng ZUO Wenmin MAN Lixia ZHANG Zhun GUO Pengfei LIN Lu WANG 《Advances in Atmospheric Sciences》 2026年第1期30-58,共29页
The global monsoon system,encompassing the Asian-Australian,African,and American monsoons,sustains two-thirds of the world’s population by regulating water resources and agriculture.Monsoon anomalies pose severe risk... The global monsoon system,encompassing the Asian-Australian,African,and American monsoons,sustains two-thirds of the world’s population by regulating water resources and agriculture.Monsoon anomalies pose severe risks,including floods and droughts.Recent research associated with the implementation of the Global Monsoons Model Intercomparison Project under the umbrella of CMIP6 has advanced our understanding of its historical variability and driving mechanisms.Observational data reveal a 20th-century shift:increased rainfall pre-1950s,followed by aridification and partial recovery post-1980s,driven by both internal variability(e.g.,Atlantic Multidecadal Oscillation)and external forcings(greenhouse gases,aerosols),while ENSO drives interannual variability through ocean-atmosphere interactions.Future projections under greenhouse forcing suggest long-term monsoon intensification,though regional disparities and model uncertainties persist.Models indicate robust trends but struggle to quantify extremes,where thermodynamic effects(warming-induced moisture rise)uniformly boost heavy rainfall,while dynamical shifts(circulation changes)create spatial heterogeneity.Volcanic eruptions and proposed solar radiation modification(SRM)further complicate predictions:tropical eruptions suppress monsoons,whereas high-latitude events alter cross-equatorial flows,highlighting unresolved feedbacks.The emergent constraint approach is booming in terms of correcting future projections and reducing uncertainty with respect to the global monsoons.Critical challenges remain.Model biases and sparse 20th-century observational data hinder accurate attribution.The interplay between natural variability and anthropogenic forcings,along with nonlinear extreme precipitation risks under warming,demands deeper mechanistic insights.Additionally,SRM’s regional impacts and hemispheric monsoon interactions require systematic evaluation.Addressing these gaps necessitates enhanced observational networks,refined climate models,and interdisciplinary efforts to disentangle multiscale drivers,ultimately improving resilience strategies for monsoon-dependent regions. 展开更多
关键词 global monsoons interannual variability decadal variability detection and attribution climate extreme events projection uncertainty
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A Nexus for East Africa--China-supported projects help East Africans to boost energy, water and food security
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作者 RICHARD WETAYA 《ChinAfrica》 2026年第1期44-45,共2页
Andrew Wangota,a 48-year-old Ugandan farmer,has been using agrivoltaics technology,a solar technology that uses agricultural land for both food production and solar power generation,on his farm in Bunashimolo Parish,B... Andrew Wangota,a 48-year-old Ugandan farmer,has been using agrivoltaics technology,a solar technology that uses agricultural land for both food production and solar power generation,on his farm in Bunashimolo Parish,Bukyiende Subcounty in Uganda where he has been cultivating plantain,coffee and Irish potatoes for the past 16 years. 展开更多
关键词 water security solar technology NEXUS irish potatoes East Africa energy security China supported projects agrivoltaics technologya
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基于项目化学习的人教版初中英语教材Project 板块教学探究——以 Unit 4 My Favourite Subject为例
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作者 卢华英 丁旦群 《英语教师》 2026年第3期97-100,119,共5页
目前初中英语教学中项目化学习面临困境,而人教版初中英语教材中的Project板块为开展英语综合实践活动提供了载体,为提升学生用英语解决生活中实际问题的能力提供了平台。在实践中,教师可以以项目化学习的方式开展Project板块的教学。... 目前初中英语教学中项目化学习面临困境,而人教版初中英语教材中的Project板块为开展英语综合实践活动提供了载体,为提升学生用英语解决生活中实际问题的能力提供了平台。在实践中,教师可以以项目化学习的方式开展Project板块的教学。具体可分为四个环节:规划准备环节,以任务为驱动,引导学生进行内容选择和任务分工;实施制作环节,提供内容和工具支架,帮助学生打磨作品细节,完成成果制作;分享评价环节,师生对项目汇报及项目成果进行多元评价;反思复盘环节,引导学生复盘学习过程,进行自我反思。实践证明,项目化学习和Project板块的教学相互促进,能够促进学生综合能力的发展。 展开更多
关键词 人教版初中英语教材 项目化学习 project板块
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基于NMR与CMP实验的致密砂岩孔喉结构表征方法 被引量:1
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作者 李浩 樊志强 +5 位作者 谢雨芯 巩肖可 郝博斐 孙龙 雷小兰 闫健 《地质科技通报》 北大核心 2025年第1期25-35,共11页
致密砂岩储层孔隙结构复杂、纳米孔隙发育,需集成多种技术对孔隙结构进行综合表征,以更好地认识储层。在优选6块延长组长71储层代表性岩心基础上,采用场发射扫描电子显微镜(FESEM)、恒速压汞(CMP)和核磁共振(NMR)等方法,研究了岩心样品... 致密砂岩储层孔隙结构复杂、纳米孔隙发育,需集成多种技术对孔隙结构进行综合表征,以更好地认识储层。在优选6块延长组长71储层代表性岩心基础上,采用场发射扫描电子显微镜(FESEM)、恒速压汞(CMP)和核磁共振(NMR)等方法,研究了岩心样品的孔隙类型及结构特征。采用CMP数据对NMR孔隙分布进行了修正,识别了喉道半径与孔隙半径的分布范围,建立了适用于致密砂岩的孔隙半径分类方法。研究结果表明,目标储层可动水与不可动水孔隙度之比仅为0.14~0.47,渗流能力差。将NMR与CMP数据相结合可精确识别出目标储层喉道半径中值为0.151~0.525μm,孔隙半径中值为4.38~9.76μm。孔隙内赋存水类型分为可动水、束缚水和黏土结合水,对应的饱和度平均值分别为23.4%、14.8%和9.4%。微小孔(T_(2)<T_(2c1))、中孔(T_(2c1)<T_(2)<T_(2c2))和大孔(T_(2c2)<T_(2))的平均孔隙度分别为3.12%、3.42%和1.35%。孔喉半径r_(2c1)可作为储层渗流能力划分的评价指标,r_(2c1)的降低会导致微小孔(即吸附孔)孔隙度的降低,以及中孔和大孔(即渗流孔)孔隙度的增加。研究成果为优选致密砂岩优质储层,提高致密油采收率提供了参考和借鉴。 展开更多
关键词 致密砂岩 孔隙结构 孔径分布 喉道 恒速压汞(cmp) 核磁共振(NMP)
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磨料对集成电路CMP工艺质量的影响
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作者 张海磊 谢亚伟 《时代汽车》 2025年第21期130-132,共3页
CMP技术通过化学腐蚀与机械研磨协同作用实现晶圆表面纳米级平坦化,广泛应用于集成电路制造及先进封装领域。抛光设备、抛光垫和抛光液是决定抛光质量的三大关键要素。磨料为抛光液的核心成分之一,直接影响抛光速率和质量。文章阐述了... CMP技术通过化学腐蚀与机械研磨协同作用实现晶圆表面纳米级平坦化,广泛应用于集成电路制造及先进封装领域。抛光设备、抛光垫和抛光液是决定抛光质量的三大关键要素。磨料为抛光液的核心成分之一,直接影响抛光速率和质量。文章阐述了集成电路CMP工艺中磨料的作用,生产中常用的磨料种类、典型案例,分析了选择磨料的原则,通过案例,深入讨论了磨料对于CMP质量的影响。 展开更多
关键词 集成电路 cmp 磨料
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从《Project 2025》看特朗普第二任期遏制“一带一路”倡议动向
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作者 毛新雅 《海外投资与出口信贷》 2025年第3期13-15,共3页
《Project 2025》由美国保守派公共政策智库传统基金会(Heritage Foundation)编写,着重为应对美国最深层次的挑战提出政策建议。《Project 2025》对中国“一带一路”倡议持竞争和对抗态度,其提出采取强化美国在拉美地区影响力、继续实... 《Project 2025》由美国保守派公共政策智库传统基金会(Heritage Foundation)编写,着重为应对美国最深层次的挑战提出政策建议。《Project 2025》对中国“一带一路”倡议持竞争和对抗态度,其提出采取强化美国在拉美地区影响力、继续实施“印太战略”、变革能源产业政策和针对性恢复国际发展援助等方式,遏制中国“一带一路”倡议,可能对特朗普第二任期相关政策产生影响。 展开更多
关键词 中美关系 “一带一路” 传统基金会 project 2025》
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“任务支持型”与“基于任务型”语言教学在PEP小学英语教材Project板块中的应用
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作者 周瓦 《英语学习(中英文)》 2025年第9期33-41,共9页
人教版小学《英语》(PEP)(2024年版)教材新增的Project板块为任务型语言教学实践提供了新的载体。然而,目前部分教师在授课时习惯将该板块的内容拆分融入单元其他板块,或简单沿用教材既定的“语言准备—任务实践—分享”三步骤,缺乏对... 人教版小学《英语》(PEP)(2024年版)教材新增的Project板块为任务型语言教学实践提供了新的载体。然而,目前部分教师在授课时习惯将该板块的内容拆分融入单元其他板块,或简单沿用教材既定的“语言准备—任务实践—分享”三步骤,缺乏对其内涵的深度挖掘与创新设计。本研究深入探讨教材Project板块的任务要素、类型特征及其教学理念,尝试在教学中应用“任务支持型”和“基于任务型”两种语言教学模式,探索任务设计的多元化与差异化路径,旨在提升小学低年级学生的综合语言应用能力,也为适合高年级学生的项目化教学深入实施提供新思路。 展开更多
关键词 PEP小学英语教材 project板块 “任务支持型”语言教学 教学设计创新
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集成电路CMP中金属腐蚀复配缓蚀剂的研究进展 被引量:1
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作者 武峥 牛新环 +4 位作者 何潮 董常鑫 李鑫杰 胡槟 李佳辉 《半导体技术》 CAS 北大核心 2025年第1期1-9,共9页
在化学机械抛光(CMP)过程中,集成电路金属多层布线因受抛光液中化学试剂的腐蚀而经常导致表面缺陷的出现。将两种及以上能够产生协同缓蚀效果的化学试剂复配可以得到较单一试剂更强的缓蚀性能。介绍了多试剂协同腐蚀抑制的机理,总结了... 在化学机械抛光(CMP)过程中,集成电路金属多层布线因受抛光液中化学试剂的腐蚀而经常导致表面缺陷的出现。将两种及以上能够产生协同缓蚀效果的化学试剂复配可以得到较单一试剂更强的缓蚀性能。介绍了多试剂协同腐蚀抑制的机理,总结了国内外多试剂协同中两种缓蚀剂、表面活性剂与缓蚀剂、两种表面活性剂的复配协同在集成电路CMP金属腐蚀抑制应用中的研究进展,并延伸到碳钢金属等防腐领域,最后对CMP领域中多试剂协同抑制的发展进行了展望。 展开更多
关键词 缓蚀剂 表面活性剂 化学机械抛光(cmp) 协同作用 金属腐蚀抑制
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半导体芯片CMP终点检测技术发展态势与我国发展对策研究
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作者 汪娅骅 张浩 +1 位作者 马晓迪 张曼丽 《中国发明与专利》 2025年第S1期6-15,共10页
[目的/意义]本文分析半导体芯片CMP终点检测技术专利申请态势、创新主体的竞争状况以及该领域技术开发方向,有助于为国内创新主体技术发展和专利布局提供参考。[方法/过程]本文通过CMP终点检测技术相关中英文关键词结合国际专利分类号... [目的/意义]本文分析半导体芯片CMP终点检测技术专利申请态势、创新主体的竞争状况以及该领域技术开发方向,有助于为国内创新主体技术发展和专利布局提供参考。[方法/过程]本文通过CMP终点检测技术相关中英文关键词结合国际专利分类号进行全球专利检索,对检索结果进行研究分析。[结果/结论]结果显示,CMP终点检测技术近年处于快速发展时期,尤其是中国专利申请保持持续增长的势头,有很好的发展潜力,我国创新主体需要加强海外专利布局,不断开展技术的创新和研发。 展开更多
关键词 cmp 专利申请 专利布局 技术路线
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Current status and diversity of fish resources in the Pinglu Canal Century Project 被引量:1
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作者 LU Jia TANG Wei +3 位作者 WANG Li XU Shengxian ZHANG Peng YANG Shengfa 《水利水电技术(中英文)》 北大核心 2025年第4期131-144,共14页
[Objective]The channel straightening project of the Pinglu Canal has fragmented the river course,compromising the integrity of original river course and causing ecosystem patchiness.Understanding the current status of... [Objective]The channel straightening project of the Pinglu Canal has fragmented the river course,compromising the integrity of original river course and causing ecosystem patchiness.Understanding the current status of fish resources and the characteristics of their diversity is crucial for the ecological management of the Pinglu Canal.[Methods]During the spring and autumn in 2021 and 2022,a survey of fish resources and species diversity in the Pinglu Canal was conducted using multi-mesh gill nets.A total of 125 fish species were collected,belonging to 10 orders,34 families,and 89 genera.[Results]The result showed that the Pinglu Canal contained three nationally protected Class II species,two endemic species of the Qinjiang River,three anadromous/migratory species,and eight invasive species,accounting for 2.4%,1.6%,2.4%,and 6.4%of the total species,respectively.The fish community primarily consisted of mid-and bottom-dwelling,adhesive-egg-laying,and omnivorous species.The Shannon-Wiener,Simpson,Margalef,and Pielou indices of the fish community in the Pinglu Canal ranged from 2.347 to 2.757,0.081 to 0.151,3.493 to 4.382,and 0.812 to 0.892,respectively.These indices showed relatively uniform distribution across different river reaches.[Conclusion]The result indicate that the fish community structure in the Pinglu Canal is relatively uniform.The reach from the Yujiang River to the Shaping River shows higher stability,while other river reaches experience moderate or severe disturbances.This study provides supplementary baseline data on the fish community structure in the Pinglu Canal and explores the potential impact of inter-basin connectivity on fish resources,aiming to provide a scientific basis for habitat restoration assessments after the channel straightening project. 展开更多
关键词 Pinglu Canal project inter-basin connectivity fish resources community structure BIODIVERSITY influencing factors
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中国式职业教育现代化视域下服装专业群国际化教学创新——基于“One Day Project”教学实践 被引量:1
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作者 李玲 《浙江纺织服装职业技术学院学报》 2025年第2期93-97,F0003,共6页
针对中国高职院校服装专业群国际化教学面临的挑战,推出了一种创新的教学形式——“One Day Project”。教学特点是中外学生跨专业、跨文化合作;教学形式是将服装设计、服装工艺、时尚传媒、时装管理、人物形象、时尚表演等相关专业的... 针对中国高职院校服装专业群国际化教学面临的挑战,推出了一种创新的教学形式——“One Day Project”。教学特点是中外学生跨专业、跨文化合作;教学形式是将服装设计、服装工艺、时尚传媒、时装管理、人物形象、时尚表演等相关专业的师生聚合,同一天共同完成项目目标。这一教学形式不仅提升了学生的国际化视野和创新能力,还提高了教学质量和水平,为培养具备国际竞争力的服装专业人才,为我国职业教育现代化和国际化发展提供了有益探索。 展开更多
关键词 职业教育 服装专业群 One Day project
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嘧啶提高多晶硅CMP去除速率的机理研究
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作者 张潇 周建伟 +4 位作者 杨云点 罗翀 栾晓东 邵祥清 李瑾 《电子元件与材料》 北大核心 2025年第1期103-109,共7页
为了提高多晶硅去除速率,从化学作用和机械作用两个方面揭示嘧啶在多晶硅表面的影响机理。一方面,X射线光电子能谱实验表明嘧啶的加入在多晶硅表面产生吸附,促进了Si-Si键的极化断裂以及Si-O键的形成,加速了多晶硅表面软质层的形成以及... 为了提高多晶硅去除速率,从化学作用和机械作用两个方面揭示嘧啶在多晶硅表面的影响机理。一方面,X射线光电子能谱实验表明嘧啶的加入在多晶硅表面产生吸附,促进了Si-Si键的极化断裂以及Si-O键的形成,加速了多晶硅表面软质层的形成以及机械作用对其的去除。另一方面,Zeta电位、摩擦力、温度数据表明嘧啶水解产生的嘧啶阳离子降低了SiO2磨料之间的静电斥力,导致表面间的摩擦力增大,加强了机械作用;同时温度升高加快了CMP过程中化学反应的速率,从而促进了化学反应的进行。因此,嘧啶的加入既提高了化学作用,也加强了机械作用,使多晶硅去除速率提高了约2.8倍。 展开更多
关键词 化学机械抛光(cmp) 多晶硅 嘧啶 去除速率
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TAZ与LS-97对铜CMP协同缓蚀效应
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作者 贺斌 高宝红 +3 位作者 霍金向 李雯浩宇 贺越 王建树 《半导体技术》 北大核心 2025年第5期473-480,共8页
极大规模集成电路(GLSI)中多层铜互连的化学机械抛光(CMP)是推动微电子技术发展的关键工艺之一。抑制剂是实现铜晶圆表面平坦化的重要因素,而表面活性剂可以改善铜晶圆的表面质量,因此抑制剂和表面活性剂的复配使用是研究的热点。通过... 极大规模集成电路(GLSI)中多层铜互连的化学机械抛光(CMP)是推动微电子技术发展的关键工艺之一。抑制剂是实现铜晶圆表面平坦化的重要因素,而表面活性剂可以改善铜晶圆的表面质量,因此抑制剂和表面活性剂的复配使用是研究的热点。通过抛光实验、电化学实验、接触角实验和表面表征测试,深入分析了LS-97和TAZ复配使用对铜表面的影响。研究结果表明,500 mg/L LS-97和2 mmol/L TAZ复配使用可以降低铜的抛光速率、改善润湿性、减少表面缺陷和降低表面粗糙度。LS-97和TAZ复配使用时,吸附层更致密、更稳定,铜晶圆表面质量更好。 展开更多
关键词 化学机械抛光(cmp) 缓蚀剂 表面活性剂 复配
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4H-SiC CMP中基于ReaxFF-MD的氧化去除机理
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作者 张天宇 王子睿 +5 位作者 朱睿 彭洋 朱玉广 尤胜杰 王永光 王传洋 《金刚石与磨料磨具工程》 北大核心 2025年第6期846-855,共10页
4H-SiC具备高温稳定性、高电子迁移率和宽能隙的性能优点,在新能源汽车、光伏和集成电路等领域得到了广泛应用。但行业内已对4H-SiC晶圆提出了原子级表面加工质量的严苛要求,而4H-SiC材料具有极高的硬度、脆性和化学惰性,加工困难。为此... 4H-SiC具备高温稳定性、高电子迁移率和宽能隙的性能优点,在新能源汽车、光伏和集成电路等领域得到了广泛应用。但行业内已对4H-SiC晶圆提出了原子级表面加工质量的严苛要求,而4H-SiC材料具有极高的硬度、脆性和化学惰性,加工困难。为此,采用基于反应力场的分子动力学(ReaxFF-MD)方法,从原子/分子水平上揭示CMP过程中4H-SiC在H_(2)O_(2)水溶液中的氧化去除机理。结果表明:4H-SiC的原子去除数量随抛光压力和划擦速度的增加而增加;纳米划痕实验显示,化学氧化和电化学氧化处理后的两组4HSiC工件的穿透深度更大,表面微裂纹更明显,且微裂纹呈U型磨削特征,这与MD模拟的表面形貌一致;对4H-SiC表面的氧化过程进行模拟,发现其表面的Si和C原子与H_(2)O_(2)水溶液反应形成Si—OH、Si—H_(2)O、Si—O—C、Si—O—Si和Si—H键,且整个反应过程中这些键不断形成和断裂,进而生成了表面氧化层,显著降低了4H-SiC的表面硬度,有利于其表面材料的去除。 展开更多
关键词 4H-SIC 反应力场 材料去除机理 分子动力学模拟 纳米划痕 化学机械抛光
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