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基于NMR与CMP实验的致密砂岩孔喉结构表征方法
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作者 李浩 樊志强 +5 位作者 谢雨芯 巩肖可 郝博斐 孙龙 雷小兰 闫健 《地质科技通报》 北大核心 2025年第1期25-35,共11页
致密砂岩储层孔隙结构复杂、纳米孔隙发育,需集成多种技术对孔隙结构进行综合表征,以更好地认识储层。在优选6块延长组长71储层代表性岩心基础上,采用场发射扫描电子显微镜(FESEM)、恒速压汞(CMP)和核磁共振(NMR)等方法,研究了岩心样品... 致密砂岩储层孔隙结构复杂、纳米孔隙发育,需集成多种技术对孔隙结构进行综合表征,以更好地认识储层。在优选6块延长组长71储层代表性岩心基础上,采用场发射扫描电子显微镜(FESEM)、恒速压汞(CMP)和核磁共振(NMR)等方法,研究了岩心样品的孔隙类型及结构特征。采用CMP数据对NMR孔隙分布进行了修正,识别了喉道半径与孔隙半径的分布范围,建立了适用于致密砂岩的孔隙半径分类方法。研究结果表明,目标储层可动水与不可动水孔隙度之比仅为0.14~0.47,渗流能力差。将NMR与CMP数据相结合可精确识别出目标储层喉道半径中值为0.151~0.525μm,孔隙半径中值为4.38~9.76μm。孔隙内赋存水类型分为可动水、束缚水和黏土结合水,对应的饱和度平均值分别为23.4%、14.8%和9.4%。微小孔(T_(2)<T_(2c1))、中孔(T_(2c1)<T_(2)<T_(2c2))和大孔(T_(2c2)<T_(2))的平均孔隙度分别为3.12%、3.42%和1.35%。孔喉半径r_(2c1)可作为储层渗流能力划分的评价指标,r_(2c1)的降低会导致微小孔(即吸附孔)孔隙度的降低,以及中孔和大孔(即渗流孔)孔隙度的增加。研究成果为优选致密砂岩优质储层,提高致密油采收率提供了参考和借鉴。 展开更多
关键词 致密砂岩 孔隙结构 孔径分布 喉道 恒速压汞(cmp) 核磁共振(NMP)
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磨料对集成电路CMP工艺质量的影响
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作者 张海磊 谢亚伟 《时代汽车》 2025年第21期130-132,共3页
CMP技术通过化学腐蚀与机械研磨协同作用实现晶圆表面纳米级平坦化,广泛应用于集成电路制造及先进封装领域。抛光设备、抛光垫和抛光液是决定抛光质量的三大关键要素。磨料为抛光液的核心成分之一,直接影响抛光速率和质量。文章阐述了... CMP技术通过化学腐蚀与机械研磨协同作用实现晶圆表面纳米级平坦化,广泛应用于集成电路制造及先进封装领域。抛光设备、抛光垫和抛光液是决定抛光质量的三大关键要素。磨料为抛光液的核心成分之一,直接影响抛光速率和质量。文章阐述了集成电路CMP工艺中磨料的作用,生产中常用的磨料种类、典型案例,分析了选择磨料的原则,通过案例,深入讨论了磨料对于CMP质量的影响。 展开更多
关键词 集成电路 cmp 磨料
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从《Project 2025》看特朗普第二任期遏制“一带一路”倡议动向
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作者 毛新雅 《海外投资与出口信贷》 2025年第3期13-15,共3页
《Project 2025》由美国保守派公共政策智库传统基金会(Heritage Foundation)编写,着重为应对美国最深层次的挑战提出政策建议。《Project 2025》对中国“一带一路”倡议持竞争和对抗态度,其提出采取强化美国在拉美地区影响力、继续实... 《Project 2025》由美国保守派公共政策智库传统基金会(Heritage Foundation)编写,着重为应对美国最深层次的挑战提出政策建议。《Project 2025》对中国“一带一路”倡议持竞争和对抗态度,其提出采取强化美国在拉美地区影响力、继续实施“印太战略”、变革能源产业政策和针对性恢复国际发展援助等方式,遏制中国“一带一路”倡议,可能对特朗普第二任期相关政策产生影响。 展开更多
关键词 中美关系 “一带一路” 传统基金会 project 2025》
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“任务支持型”与“基于任务型”语言教学在PEP小学英语教材Project板块中的应用
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作者 周瓦 《英语学习(中英文)》 2025年第9期33-41,共9页
人教版小学《英语》(PEP)(2024年版)教材新增的Project板块为任务型语言教学实践提供了新的载体。然而,目前部分教师在授课时习惯将该板块的内容拆分融入单元其他板块,或简单沿用教材既定的“语言准备—任务实践—分享”三步骤,缺乏对... 人教版小学《英语》(PEP)(2024年版)教材新增的Project板块为任务型语言教学实践提供了新的载体。然而,目前部分教师在授课时习惯将该板块的内容拆分融入单元其他板块,或简单沿用教材既定的“语言准备—任务实践—分享”三步骤,缺乏对其内涵的深度挖掘与创新设计。本研究深入探讨教材Project板块的任务要素、类型特征及其教学理念,尝试在教学中应用“任务支持型”和“基于任务型”两种语言教学模式,探索任务设计的多元化与差异化路径,旨在提升小学低年级学生的综合语言应用能力,也为适合高年级学生的项目化教学深入实施提供新思路。 展开更多
关键词 PEP小学英语教材 project板块 “任务支持型”语言教学 教学设计创新
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半导体芯片CMP终点检测技术发展态势与我国发展对策研究
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作者 汪娅骅 张浩 +1 位作者 马晓迪 张曼丽 《中国发明与专利》 2025年第S1期6-15,共10页
[目的/意义]本文分析半导体芯片CMP终点检测技术专利申请态势、创新主体的竞争状况以及该领域技术开发方向,有助于为国内创新主体技术发展和专利布局提供参考。[方法/过程]本文通过CMP终点检测技术相关中英文关键词结合国际专利分类号... [目的/意义]本文分析半导体芯片CMP终点检测技术专利申请态势、创新主体的竞争状况以及该领域技术开发方向,有助于为国内创新主体技术发展和专利布局提供参考。[方法/过程]本文通过CMP终点检测技术相关中英文关键词结合国际专利分类号进行全球专利检索,对检索结果进行研究分析。[结果/结论]结果显示,CMP终点检测技术近年处于快速发展时期,尤其是中国专利申请保持持续增长的势头,有很好的发展潜力,我国创新主体需要加强海外专利布局,不断开展技术的创新和研发。 展开更多
关键词 cmp 专利申请 专利布局 技术路线
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Global burden of cervical cancer:current estimates,temporal trend and future projections based on the GLOBOCAN 2022 被引量:3
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作者 Jie Wu Qianyun Jin +10 位作者 Yunmeng Zhang Yuting Ji Jingjing Li Xiaomin Liu Hongyuan Duan Zhuowei Feng Ya Liu Yacong Zhang Zhangyan Lyu Lei Yang Yubei Huang 《Journal of the National Cancer Center》 2025年第3期322-329,共8页
Background Cervical cancer is the only cancer that can be eliminated worldwide.Tracking the latest burden of cervical cancer is critical toward the targets set by World Health Organization(WHO)to eliminate cervical ca... Background Cervical cancer is the only cancer that can be eliminated worldwide.Tracking the latest burden of cervical cancer is critical toward the targets set by World Health Organization(WHO)to eliminate cervical cancer as a major public health problem.Methods All data were extracted from the Global Cancer Observatory(GLOBOCAN)2022.Age-standardized incidence rate(ASIR)and mortality rates(ASMR)of cervical cancer were compared and linked to Human Development Index(HDI)between populations.The estimated annual percentage changes(EAPCs)were used to characterize the temporal trend in ASIR/ASMR,and demographic estimates were projected up to 2050.Results Globally,an estimated 662,044 cases(ASIR:14.12/100,000)and 348,709 deaths(ASMR:7.08/100,000)from cervical cancer occurred in 2022,corresponding to the fourth cause of cancer morbidity and mortality in women worldwide.Specifically,42%of cases and 39%of deaths occurred in China(23%and 16%)and India(19%and 23%).Both ASIR and ASMR of cervical cancer decreased with HDI,and similar decreasing links were observed for both early-onset(0–39 years)and late-onset(≥40 years)cervical cancer.Both ASIR and ASMR of overall cervical cancer showed decreasing trends during 2003–2012(EAPC:0.04%and-1.03%);however,upward trends were observed for early-onset cervical cancer(EAPC:1.16%and 0.57%).If national rates in 2022 remain stable,the estimated cases and deaths from cervical cancer are projected to increase by 56.8%and 80.7%up to 2050.Moreover,the projected increase of early-onset cervical cancer is mainly observed in transitioning countries,while decreased burden is expected in transitioned countries.Conclusions Cervical cancer remains a common cause of cancer death in many countries,especially in transitioning countries.Unless scaling-up preventive interventions,human papillomavirus(HPV)vaccination and cervical cancer screening,as well as systematic cooperation within government,civil societies,and private enterprises,the global burden of cervical cancer would be expected to increase in the future. 展开更多
关键词 Cervical cancer INCIDENCE MORTALITY Temporal trend Future projection
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集成电路CMP中金属腐蚀复配缓蚀剂的研究进展
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作者 武峥 牛新环 +4 位作者 何潮 董常鑫 李鑫杰 胡槟 李佳辉 《半导体技术》 CAS 北大核心 2025年第1期1-9,共9页
在化学机械抛光(CMP)过程中,集成电路金属多层布线因受抛光液中化学试剂的腐蚀而经常导致表面缺陷的出现。将两种及以上能够产生协同缓蚀效果的化学试剂复配可以得到较单一试剂更强的缓蚀性能。介绍了多试剂协同腐蚀抑制的机理,总结了... 在化学机械抛光(CMP)过程中,集成电路金属多层布线因受抛光液中化学试剂的腐蚀而经常导致表面缺陷的出现。将两种及以上能够产生协同缓蚀效果的化学试剂复配可以得到较单一试剂更强的缓蚀性能。介绍了多试剂协同腐蚀抑制的机理,总结了国内外多试剂协同中两种缓蚀剂、表面活性剂与缓蚀剂、两种表面活性剂的复配协同在集成电路CMP金属腐蚀抑制应用中的研究进展,并延伸到碳钢金属等防腐领域,最后对CMP领域中多试剂协同抑制的发展进行了展望。 展开更多
关键词 缓蚀剂 表面活性剂 化学机械抛光(cmp) 协同作用 金属腐蚀抑制
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嘧啶提高多晶硅CMP去除速率的机理研究
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作者 张潇 周建伟 +4 位作者 杨云点 罗翀 栾晓东 邵祥清 李瑾 《电子元件与材料》 北大核心 2025年第1期103-109,共7页
为了提高多晶硅去除速率,从化学作用和机械作用两个方面揭示嘧啶在多晶硅表面的影响机理。一方面,X射线光电子能谱实验表明嘧啶的加入在多晶硅表面产生吸附,促进了Si-Si键的极化断裂以及Si-O键的形成,加速了多晶硅表面软质层的形成以及... 为了提高多晶硅去除速率,从化学作用和机械作用两个方面揭示嘧啶在多晶硅表面的影响机理。一方面,X射线光电子能谱实验表明嘧啶的加入在多晶硅表面产生吸附,促进了Si-Si键的极化断裂以及Si-O键的形成,加速了多晶硅表面软质层的形成以及机械作用对其的去除。另一方面,Zeta电位、摩擦力、温度数据表明嘧啶水解产生的嘧啶阳离子降低了SiO2磨料之间的静电斥力,导致表面间的摩擦力增大,加强了机械作用;同时温度升高加快了CMP过程中化学反应的速率,从而促进了化学反应的进行。因此,嘧啶的加入既提高了化学作用,也加强了机械作用,使多晶硅去除速率提高了约2.8倍。 展开更多
关键词 化学机械抛光(cmp) 多晶硅 嘧啶 去除速率
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TAZ与LS-97对铜CMP协同缓蚀效应
9
作者 贺斌 高宝红 +3 位作者 霍金向 李雯浩宇 贺越 王建树 《半导体技术》 北大核心 2025年第5期473-480,共8页
极大规模集成电路(GLSI)中多层铜互连的化学机械抛光(CMP)是推动微电子技术发展的关键工艺之一。抑制剂是实现铜晶圆表面平坦化的重要因素,而表面活性剂可以改善铜晶圆的表面质量,因此抑制剂和表面活性剂的复配使用是研究的热点。通过... 极大规模集成电路(GLSI)中多层铜互连的化学机械抛光(CMP)是推动微电子技术发展的关键工艺之一。抑制剂是实现铜晶圆表面平坦化的重要因素,而表面活性剂可以改善铜晶圆的表面质量,因此抑制剂和表面活性剂的复配使用是研究的热点。通过抛光实验、电化学实验、接触角实验和表面表征测试,深入分析了LS-97和TAZ复配使用对铜表面的影响。研究结果表明,500 mg/L LS-97和2 mmol/L TAZ复配使用可以降低铜的抛光速率、改善润湿性、减少表面缺陷和降低表面粗糙度。LS-97和TAZ复配使用时,吸附层更致密、更稳定,铜晶圆表面质量更好。 展开更多
关键词 化学机械抛光(cmp) 缓蚀剂 表面活性剂 复配
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制备皱纹状介孔C-mSiO_(2)/CeO_(2)复合磨料及其SiO_(2)CMP的应用
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作者 王东伟 王胜利 +4 位作者 杨云点 罗翀 栾晓东 邵祥清 李瑾 《电子元件与材料》 北大核心 2025年第2期231-236,共6页
为了提高集成电路层间介质化学机械抛光(CMP)的去除速率并改善表面质量,先采用微乳液法制备皱纹状介孔SiO_(2),之后用化学沉积法包覆CeO_(2),成功制得皱纹状C-mSiO_(2)/CeO_(2)芯/壳复合磨料,并以此配置抛光液,对SiO_(2)层间介质进行CM... 为了提高集成电路层间介质化学机械抛光(CMP)的去除速率并改善表面质量,先采用微乳液法制备皱纹状介孔SiO_(2),之后用化学沉积法包覆CeO_(2),成功制得皱纹状C-mSiO_(2)/CeO_(2)芯/壳复合磨料,并以此配置抛光液,对SiO_(2)层间介质进行CMP实验。采用扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)对C-mSiO_(2)/CeO_(2)芯/壳复合磨料的结构、形貌进行表征,证明其具有完整包覆的壳核结构。利用粒径分析仪测量其平均粒径为241.4nm,Zeta电位为-29.93mV。CMP实验表明,采用质量分数1%、粒径约200nm的C-mSiO_(2)/CeO_(2)复合磨料对氧化硅镀膜片进行抛光,其去除速率达到112.1nm/min,比同样条件下CeO_(2)磨料的CMP速率提高128%。通过AFM表征可知,抛光后的氧化硅镀膜片表面粗糙度约为0.0514nm。因此,相较于传统CeO_(2)磨料,皱纹状C-mSiO_(2)/CeO_(2)芯/壳复合磨料在SiO_(2)层间介质的CMP过程中,表现出优越的CMP效果。 展开更多
关键词 化学机械抛光(cmp) 皱纹状 介孔SiO_(2) 复合材料 去除速率
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H_(2)O_(2)/Fe^(Ⅲ)-NTA体系下Ru无磨料CMP作用机理研究
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作者 尤羽菲 周建伟 罗翀 《电子元件与材料》 北大核心 2025年第6期728-734,共7页
随着集成电路的工艺尺寸不断缩小,传统的Cu互连层材料面临着电迁移效应及可靠性降低等越来越严峻的挑战,而Ru凭借其平均电子自由程短及稳定性高等特性,有望成为下一代集成电路互连层材料。为了提升Ru互联层在化学机械抛光(CMP)过程中的... 随着集成电路的工艺尺寸不断缩小,传统的Cu互连层材料面临着电迁移效应及可靠性降低等越来越严峻的挑战,而Ru凭借其平均电子自由程短及稳定性高等特性,有望成为下一代集成电路互连层材料。为了提升Ru互联层在化学机械抛光(CMP)过程中的去除速率及表面质量,基于无磨料CMP技术,探究了H_(2)O_(2)/Fe^(Ⅲ)-NTA体系对Ru去除速率及表面质量的影响。CMP及AFM实验表明,在无磨料的条件下,H_(2)O_(2)/Fe^(Ⅲ)-NTA体系能够显著提升Ru的去除速率及表面质量。ESR实验表明该体系能够产生自由基HO^(·)和O_(2)^(·-)。XPS、电化学及SEM实验表明,H_(2)O_(2)和自由基对Ru具有氧化和腐蚀的作用,且自由基的氧化能力更加优异,能够使抛光液的氧化能力和机械去除能力达到平衡状态。最终,Ru去除速率达到70.8 nm/min,表面粗糙度(S_(q))仅为1.11 nm。 展开更多
关键词 RU 化学机械抛光(cmp) 表面粗糙度(Sq) 自由基 Ru去除速率 类芬顿反应
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多层互连结构CMP后清洗中SiO_(2)颗粒去除的研究进展
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作者 张力飞 路新春 +1 位作者 闫妹 赵德文 《半导体技术》 北大核心 2025年第2期101-116,共16页
SiO_(2)磨料因其化学性质稳定及抛光后良好的表面平整度,作为关键磨料被广泛应用于化学机械抛光(CMP)。CMP后晶圆表面残留的颗粒物易引发划伤、击穿及短路等缺陷问题,严重削弱芯片的可靠性。基于SiO_(2)颗粒在Cu、Co和介质材料表面的吸... SiO_(2)磨料因其化学性质稳定及抛光后良好的表面平整度,作为关键磨料被广泛应用于化学机械抛光(CMP)。CMP后晶圆表面残留的颗粒物易引发划伤、击穿及短路等缺陷问题,严重削弱芯片的可靠性。基于SiO_(2)颗粒在Cu、Co和介质材料表面的吸附特性,综述了互连结构CMP后清洗技术和清洗液体系的原理、特点及研究现状。从颗粒清洗效率、表面质量、环境影响控制等多个维度对比了干法清洗和湿法清洗技术,分析了各类清洗技术的优势与局限性。此外,系统地探讨了pH调节剂、络合剂和表面活性剂等关键清洗液组分对颗粒去除的影响,从理论机制层面揭示了SiO_(2)磨料颗粒清洗所面临的核心挑战与解决方案;同时对未来互连结构CMP后清洗工艺的发展方向进行了前瞻性展望,旨在为后续研究提供有力的理论支撑与指导方向。 展开更多
关键词 互连结构 化学机械抛光(cmp)后清洗 SiO_(2)颗粒 清洗技术 清洗液化学组分
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From Pilot to Planet: Scaling United Nations’ Blockchain Projects for a Sustainable Future 被引量:1
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作者 Roberta Pisani 《Chinese Business Review》 2025年第3期87-98,共12页
Within the framework of the 2030 Agenda and to achieve the Sustainable Development Goals(SDGs),science,technology and innovation play an even more central role.Building on this foundation,the primary objective of this... Within the framework of the 2030 Agenda and to achieve the Sustainable Development Goals(SDGs),science,technology and innovation play an even more central role.Building on this foundation,the primary objective of this paper is to explore the potential applications of blockchain in supporting the achievement of these sustainability goals.Starting from a review of the relevant literature on this topic,the main fields in which blockchain can contribute to sustainable development will be identified.The main blockchain applications will then be analyzed and categorized according to these SDGs.This research will then critically present the main blockchain-based projects that emerged in the first stage of the study and were implemented by the United Nations.The main objectives and benefits of each project will be analyzed.This is where the originality of this paper lies.To the best of the author’s knowledge,this is one of the first attempts to present a comprehensive overview of the United Nations’projects related to SDGs 1,2,5,7,9,13,and 16.This paper,which bridges the gap between innovation management and the sustainability field,will contribute to the increasingly current debate on sustainability issues and be beneficial to scholars,practitioners,and policymakers alike. 展开更多
关键词 blockchain SDGs SUSTAINABILITY sustainable development innovation management case studies blockchain-based projects
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Color projector light intensity adaptive high dynamic range 3D measurement method
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作者 HUANG Hao-zhen NIU Bin +2 位作者 CHENG Shen QU Xing-hua ZHANG Fu-min 《中国光学(中英文)》 北大核心 2025年第5期1219-1229,共11页
The Fringe Projection Profilometry(FPP)system with a single exposure time or a single projection intensity is limited by the dynamic range of the camera,which can lead to overexposure and underexposure of the image,re... The Fringe Projection Profilometry(FPP)system with a single exposure time or a single projection intensity is limited by the dynamic range of the camera,which can lead to overexposure and underexposure of the image,resulting in point cloud loss or reduced accuracy.To address this issue,unlike the pixel modulation method of projectors,we utilize the characteristics of color projectors where the intensity of the three-channel LED can be controlled independently.We propose a method for separating the projector's three-channel light intensity,combined with a color camera,to achieve single exposure and multi-intensity image acquisition.Further,the crosstalk coefficient is applied to predict the three-channel reflectance of the measured object.By integrating clustering and channel mapping,we establish a pixel-level mapping model between the projector's three-channel current and the camera's three-channel image intensity,which realizes the optimal projection current prediction and the high dynamic range(HDR)image acquisition.The proposed method allows for high-precision three-dimensional(3D)data acquisition of HDR scenes with a single exposure.The effectiveness of this method has been validated through experiments with standard planes and standard steps,showing a significant reduction in mean absolute error(44.6%)compared to existing singleexposure HDR methods.Additionally,the number of images required for acquisition is significantly reduced(by 70.8%)compared to multi-exposure fusion methods.This proposed method has great potential in various FPP-related fields. 展开更多
关键词 fringe projection profilometry crosstalk coefficient optimal projection currents high dynamic range
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Understanding Complexity at the Pre-Construction Stage of Project Planning for Construction Projects
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作者 Mehran Barani Shikhrobat Roger Flanagan Shabnam Kabiri 《American Journal of Operations Research》 2025年第1期1-27,共27页
The construction projects’ dynamic and interconnected nature requires a comprehensive understanding of complexity during pre-construction. Traditional tools such as Gantt charts, CPM, and PERT often overlook uncertai... The construction projects’ dynamic and interconnected nature requires a comprehensive understanding of complexity during pre-construction. Traditional tools such as Gantt charts, CPM, and PERT often overlook uncertainties. This study identifies 20 complexity factors through expert interviews and literature, categorising them into six groups. The Analytical Hierarchy Process evaluated the significance of different factors, establishing their corresponding weights to enhance adaptive project scheduling. A system dynamics (SD) model is developed and tested to evaluate the dynamic behaviour of identified complexity factors. The model simulates the impact of complexity on total project duration (TPD), revealing significant deviations from initial deterministic estimates. Data collection and analysis for reliability tests, including normality and Cronbach alpha, to validate the model’s components and expert feedback. Sensitivity analysis confirmed a positive relationship between complexity and project duration, with higher complexity levels resulting in increased TPD. This relationship highlights the inadequacy of static planning approaches and underscores the importance of addressing complexity dynamically. The study provides a framework for enhancing planning systems through system dynamics and recommends expanding the model to ensure broader applicability in diverse construction projects. 展开更多
关键词 project Planning project Complexity Measurement Uncertainty Management project Risk Management Strategic project Scheduling
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CMP体系下基于历史文脉传承的淮安城市遗产价值评估
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作者 单超 杨芮 冯靖茹 《华中建筑》 2025年第1期12-17,共6页
淮安,中国大运河线上最重要的水利枢纽城市之一。自元明清三朝定都北京,大运河重新疏浚、改线、贯通后,北方巨量的物资需求促使漕运兴盛,时值淮安城扼漕运、盐运、河工、榷关、邮驿之机杼,风光一时无两。现下,运河城市遗产的保护传承利... 淮安,中国大运河线上最重要的水利枢纽城市之一。自元明清三朝定都北京,大运河重新疏浚、改线、贯通后,北方巨量的物资需求促使漕运兴盛,时值淮安城扼漕运、盐运、河工、榷关、邮驿之机杼,风光一时无两。现下,运河城市遗产的保护传承利用逐渐成为城市发展中的重要部分,淮安城市遗产反映着其城市文化特征,也是城市职能的直接体现。该文利用CMP(保护规划管理)从场所意义出发,对淮安城市遗产进行价值评估,并试图以此构建基于历史文脉保护利用传承导则,助推大运河文化带建设。 展开更多
关键词 历史文脉 淮安 cmp 城市遗产 价值评估
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Projective synchronization control and simulation of drive system and response network
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作者 LI De-kui 《兰州大学学报(自然科学版)》 北大核心 2025年第2期208-214,共7页
Projective synchronization problems of a drive system and a particular response network were investigated,where the drive system is an arbitrary system with n+1 dimensions;it may be a linear or nonlinear system,and ev... Projective synchronization problems of a drive system and a particular response network were investigated,where the drive system is an arbitrary system with n+1 dimensions;it may be a linear or nonlinear system,and even a chaotic or hyperchaotic system,the response network is complex system coupled by N nodes,and every node is showed by the approximately linear part of the drive system.Only controlling any one node of the response network by designed controller can achieve the projective synchronization.Some numerical examples were employed to verify the effectiveness and correctness of the designed controller. 展开更多
关键词 pinning control projective synchronization drive system response network
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哌嗪对硅衬底CMP速率影响的机理
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作者 刘文博 罗翀 +4 位作者 王辰伟 岳泽昊 栾晓东 邵祥清 李瑾 《微纳电子技术》 2025年第2期165-174,共10页
为了在硅衬底化学机械抛光(CMP)过程中提高对硅片的去除速率,利用实验与密度泛函理论(DFT)计算相结合的方式研究了绿色环保添加剂哌嗪对硅片表面的作用机理。Zeta电位测试结果表明哌嗪的加入使磨料与抛光硅片表面的Zeta电位降低,二者间... 为了在硅衬底化学机械抛光(CMP)过程中提高对硅片的去除速率,利用实验与密度泛函理论(DFT)计算相结合的方式研究了绿色环保添加剂哌嗪对硅片表面的作用机理。Zeta电位测试结果表明哌嗪的加入使磨料与抛光硅片表面的Zeta电位降低,二者间静电排斥力减小,吸附程度增加,增大了机械作用。接触角测试结果发现哌嗪的加入使抛光液在硅片表面的接触角更小,具有良好的润湿性能。抛光液可以更好地与晶圆表面接触,使去除速率加快。同时通过摩擦系数测试进一步证明了哌嗪提高了抛光过程中的摩擦力,从而提升了抛光速率。X射线光电子能谱(XPS)分析显示,哌嗪与硅片表面发生了化学反应,生成了新的Si—N键,对临近的Si—Si键产生极化,使其在磨料作用下更容易被去除。采用DFT的量子化学计算和分子动力学模拟更深入地表明了哌嗪和硅在分子水平上产生了化学吸附。结果显示,当磨料质量分数为0.5%、哌嗪质量分数为0.5%时,去除速率可达580 nm/min。此外,哌嗪作为一种相对绿色环保的添加剂,更适合实际生产应用。 展开更多
关键词 化学机械抛光(cmp) 硅衬底 哌嗪 去除速率 密度泛函理论(DFT)计算
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Current status and diversity of fish resources in the Pinglu Canal Century Project
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作者 LU Jia TANG Wei +3 位作者 WANG Li XU Shengxian ZHANG Peng YANG Shengfa 《水利水电技术(中英文)》 北大核心 2025年第4期131-144,共14页
[Objective]The channel straightening project of the Pinglu Canal has fragmented the river course,compromising the integrity of original river course and causing ecosystem patchiness.Understanding the current status of... [Objective]The channel straightening project of the Pinglu Canal has fragmented the river course,compromising the integrity of original river course and causing ecosystem patchiness.Understanding the current status of fish resources and the characteristics of their diversity is crucial for the ecological management of the Pinglu Canal.[Methods]During the spring and autumn in 2021 and 2022,a survey of fish resources and species diversity in the Pinglu Canal was conducted using multi-mesh gill nets.A total of 125 fish species were collected,belonging to 10 orders,34 families,and 89 genera.[Results]The result showed that the Pinglu Canal contained three nationally protected Class II species,two endemic species of the Qinjiang River,three anadromous/migratory species,and eight invasive species,accounting for 2.4%,1.6%,2.4%,and 6.4%of the total species,respectively.The fish community primarily consisted of mid-and bottom-dwelling,adhesive-egg-laying,and omnivorous species.The Shannon-Wiener,Simpson,Margalef,and Pielou indices of the fish community in the Pinglu Canal ranged from 2.347 to 2.757,0.081 to 0.151,3.493 to 4.382,and 0.812 to 0.892,respectively.These indices showed relatively uniform distribution across different river reaches.[Conclusion]The result indicate that the fish community structure in the Pinglu Canal is relatively uniform.The reach from the Yujiang River to the Shaping River shows higher stability,while other river reaches experience moderate or severe disturbances.This study provides supplementary baseline data on the fish community structure in the Pinglu Canal and explores the potential impact of inter-basin connectivity on fish resources,aiming to provide a scientific basis for habitat restoration assessments after the channel straightening project. 展开更多
关键词 Pinglu Canal project inter-basin connectivity fish resources community structure BIODIVERSITY influencing factors
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水溶性聚合物提高多晶硅CMP表面质量的机理
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作者 张潇 周建伟 +4 位作者 杨云点 罗翀 栾晓东 邵祥清 李瑾 《微纳电子技术》 2025年第4期99-107,共9页
通过实验探究了在抛光液中加入羟丙基甲基纤维素(HPMC)和聚乙烯吡咯烷酮(PVP)两种水溶性聚合物对多晶硅表面的影响机理。HPMC的加入在多晶硅表面形成氢键,并形成一层保护层,改变多晶硅表面的润湿性,减少抛光液中碱性物质和多晶硅的化学... 通过实验探究了在抛光液中加入羟丙基甲基纤维素(HPMC)和聚乙烯吡咯烷酮(PVP)两种水溶性聚合物对多晶硅表面的影响机理。HPMC的加入在多晶硅表面形成氢键,并形成一层保护层,改变多晶硅表面的润湿性,减少抛光液中碱性物质和多晶硅的化学反应,减少磨料与多晶硅表面/抛光垫的直接接触,减小了摩擦。加入的PVP与SiO_(2)颗粒之间通过氢键吸附形成软磨料,提高了抛光液的分散性,减少了SiO_(2)颗粒与多晶硅表面/抛光垫的摩擦。两种水溶性聚合物的协同作用,使得表面缺陷数量减少了94.5%,粗糙度降低至0.2 nm,提高了多晶硅表面质量。 展开更多
关键词 化学机械抛光(cmp) 多晶硅 羟丙基甲基纤维素(HPMC) 聚乙烯吡咯烷酮(PVP) 表面质量
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