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聚酰亚胺绝缘膜的真空性能及在电真空器件中的应用研究 被引量：3
1
作者 李玲珍 郑姚生 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2001年第3期220-222,228,共4页
利用固体质谱仪和气体质谱仪分别进行了聚酰亚胺绝缘膜的表面成分及在高温烘烤过程中的放气性能和气体成分分析。结果表明 ,聚酰亚胺材料中不存在污染阴极的有害成分 ,并且经高温烘烤后 ,在 30 0℃时的平衡压强小于 1 9× 10 -3Pa... 利用固体质谱仪和气体质谱仪分别进行了聚酰亚胺绝缘膜的表面成分及在高温烘烤过程中的放气性能和气体成分分析。结果表明 ,聚酰亚胺材料中不存在污染阴极的有害成分 ,并且经高温烘烤后 ,在 30 0℃时的平衡压强小于 1 9× 10 -3Pa。因此 。 展开更多
关键词 聚酰亚胺 放气特性 质谱分析 绝缘薄膜 电真空器件 应用 真空性能
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