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光干涉式甲烷测定器检定方法被引量：1: 1; 作者任星星田锐王海波《上海计量测试》 2024年第1期45-48,共4页; 提出了对光干涉式甲烷测定器测微组示值量化的建议及具体的检定方法,在检定过程中采用增加读数显微镜的原理将示值进行量化分析。应用不确定度评定原则,可有效降低由于光干涉式甲烷测定器示值所引入的不确定度误差分量,提高光干涉式甲... 展开更多; 关键词光干涉式甲烷测定器读数显微镜读取示值不确定度; 在线阅读下载PDF 职称材料

高等别线纹尺校准装置及校准方法研究被引量：9: 2; 作者孙双花叶孝佑 +5 位作者邹玲丁任国营张旭东孙骏栖沈雪萍高宏堂《计量学报》 CSCD 北大核心 2017年第S1期13-17,共5页; 高等别线纹尺广泛用于精密加工及精密测量设备的定位、标定及校准等。为满足长三角地区高端装备制造业对高等别线纹尺的量值溯源需求,提升地方计量机构的量传能力,研制开发了新的激光干涉比长仪装置。在主体结构设计、激光干涉测长、环... 展开更多; 关键词计量学高等别线纹尺激光干涉比长仪光电显微镜; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于空间频域算法的三维微观形貌的测量被引量：5: 3; 作者徐永祥张乾方 +1 位作者刘松松刘义《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2014年第8期16-21,共6页; 白光干涉术测量表面形貌,解决了单色光干涉测量中的相位不确定困扰。基于扫描白光干涉术的空间频域算法,具有受噪声影响小、计算精度高的优点。运用这一算法通过Mirau扫描干涉显微镜对台阶状样品表面进行了两次白光扫描测试,得出了台阶... 展开更多; 关键词白光干涉空间频域算法三维形貌干涉显微镜; 在线阅读下载PDF 职称材料

表面微观形貌的显微干涉检测原理及干涉显微镜发展现状被引量：4: 4; 作者高志山陈进榜《光学仪器》 1999年第6期36-42,共7页; 追踪分析世界上表面微观形貌检测方面显微干涉检测原理的最新进展 ,比较干涉显微镜用于检测表面微观形貌时具有的形式、结构特点 ,分析选型研制干涉显微镜可能遇到的问题及应该研究的方面。; 关键词干涉显微镜干涉检验微观形貌; 在线阅读下载PDF 职称材料

近场扫描干涉无孔径显微术: 5; 作者王佳刘秀梅李达成《光学技术》 EI CAS CSCD 1997年第6期12-15,共4页; 本文介绍了国外研究的一种新型近场扫描无孔径干涉显微镜的原理及结构。这种显微镜的分辨率可达到１ｎｍ，开辟了在亚纳米尺度成像和进行光谱分析的可能性，特别是在化学和生物学研究领域具有潜在的应用前景。; 关键词近场光学干涉显微镜无孔径显微术显微镜; 原文传递

基于数码相机的膜厚测量实验: 6; 作者梁秀萍李叶芳《大学物理实验》 2004年第3期31-33,共3页; 本文介绍了借助于数码相机将干涉显微镜正气图像展示在计算机屏幕上的方法 ,解决了膜厚测量实验中的常见问题 ,加快了实验调节的速度 ,提高了教学效果。; 关键词大学教育物理实验教学数码相机膜厚测量干涉显微镜; 在线阅读下载PDF 职称材料

相移干涉显微镜中移相误差分析被引量：7: 7; 作者丁志华王桂英王之江《计量学报》 CSCD 1995年第4期262-268,共7页; 本文具体分析了影响移相误差的多种因素，比较了在不同移相术中移相误差量对检测精度的影响，从而论证了五步移相术的合理性和利用压电陶瓷微位移传感器的现有定位精度实现０．１ｎｍ级检测精度的可行性。文中还给出了有关的数值计算结... 展开更多; 关键词移相术相移干涉显微镜检测精度显微镜; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于白光干涉法测量微光栅形貌及相关几何参量的研究被引量：5: 8; 作者牛渊张敏 +1 位作者王俊杰徐永祥《光学仪器》 2017年第2期1-7,共7页; 基于显微白光干涉术,利用扫描干涉显微镜对四台阶面阵微光栅记录了128幅白光干涉图,并分别运用重心法、空间频域算法、移相算法及包络曲线拟合法对扫描干涉图进行了分析处理。被测微光栅的形貌及周期在各算法下均完全吻合,台阶总高最大... 展开更多; 关键词白光干涉干涉显微镜重心法空间频域算法移相算法包络曲线拟合法微光栅; 在线阅读下载PDF 职称材料

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