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基于Van Der Pauw原理的溶液电导率计 被引量:5
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作者 余翔 张冰 +3 位作者 林桢 张潇 魏佳莉 王晓萍 《浙江大学学报(工学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第2期371-375,共5页
为实现对于电导率的准确测量,研究Van Der Pauw原理及其应用于电导率绝对测量的理论依据,设计径轴二维可调的四电极结构.分析电极的对称性、电导池的封闭性对测量结果的影响,实验结果证明对称性好、结构封闭的Van Der Pauw法电导率计,... 为实现对于电导率的准确测量,研究Van Der Pauw原理及其应用于电导率绝对测量的理论依据,设计径轴二维可调的四电极结构.分析电极的对称性、电导池的封闭性对测量结果的影响,实验结果证明对称性好、结构封闭的Van Der Pauw法电导率计,对溶液电导率具有较高的测量精度,并能够实现绝对测量.基于Van Der Pauw法的电导池常数κ仅与电极长度有关的原则,设计几种不同电极长度的电极,开展多种不同电导率溶液的测量实验,得出不同电导池常数κ的最佳测量范围.运用电导池常数为0.1cm-1的电极,对电导率为20~500μS/cm内的多个实际水样进行测量,相对误差小于1.0%.结果表明该新型电导率测量方法具有很好的应用前景和推广价值. 展开更多
关键词 VAN Der pauw原理 溶液电导率 四电极 绝对测量 电导池常数
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用Van der Pauw法研究硼重掺杂金刚石薄膜电学性质
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作者 陈光华 张兴旺 季亚英 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第8期598-602,共5页
以B2O3作掺杂剂,用热丝辅助化学气相沉积法成功合成了硼掺杂半导体金刚石薄膜.用VanderPauw法测量了掺硼金刚石薄膜的电阻率、霍耳迁移率以及载流子浓度随温度的变化关系.实验结果表明:杂质硼原子的激活能为0.078eV,室温迁移率为1... 以B2O3作掺杂剂,用热丝辅助化学气相沉积法成功合成了硼掺杂半导体金刚石薄膜.用VanderPauw法测量了掺硼金刚石薄膜的电阻率、霍耳迁移率以及载流子浓度随温度的变化关系.实验结果表明:杂质硼原子的激活能为0.078eV,室温迁移率为18cm2·V-1·s-1,远小于单晶金刚石的空穴迁移率.并根据实验结果对金刚石薄膜的导电机制、散射机制等作了分析. 展开更多
关键词 半导体 金刚石 掺杂 18Vander pauw
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Direct measurements of conductivity and mobility in millimeter-sized single-crystalline graphene via van der Pauw geometry 被引量:2
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作者 马瑞松 郇庆 +6 位作者 吴良妹 严佳浩 张余洋 鲍丽宏 刘云圻 杜世萱 高鸿钧 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2017年第6期307-314,共8页
We report the direct measurements of conductivity and mobility in millimeter-sized single-crystalline graphene on SiO2/Si via van der Pauw geometry by using a home-designed four-probe scanning tunneling microscope(4P... We report the direct measurements of conductivity and mobility in millimeter-sized single-crystalline graphene on SiO2/Si via van der Pauw geometry by using a home-designed four-probe scanning tunneling microscope(4P-STM). The gate-tunable conductivity and mobility are extracted from standard van der Pauw resistance measurements where the four STM probes contact the four peripheries of hexagonal graphene flakes, respectively. The high homogeneity of transport properties of the single-crystalline graphene flake is confirmed by comparing the extracted conductivities and mobilities from three setups with different geometry factors. Our studies provide a reliable solution for directly evaluating the entire electrical properties of graphene in a non-invasive way and could be extended to characterizing other two-dimensional materials. 展开更多
关键词 graphene conductivity MOBILITY four-probe measurement van der pauw method
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A Theoretical Study on Van Der Pauw Measurement Values of Inhomogeneous Compound Semiconductor Thin Films 被引量:2
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作者 Toru Matsumura Yuichi Sato 《Journal of Modern Physics》 2010年第5期340-347,共8页
The influence of intermixing heterogeneous regions that have different electrical properties from the base materials on van der Pauw measurement values was theoretically studied by computer simulation using the finite... The influence of intermixing heterogeneous regions that have different electrical properties from the base materials on van der Pauw measurement values was theoretically studied by computer simulation using the finite-element method. The measurement samples selected were thin films of inhomogeneous semiconductors. Calculated electrical properties, such as resistivity, carrier density, and mobility of the thin films, varied in predictable ways when heterogeneous regions were dispersed in wide ranges over the samples. On the other hand, the mobility of the thin films showed a different change when heterogeneous regions were locally concentrated in the measurement samples. 展开更多
关键词 SEMICONDUCTOR HALL Effect VAN Der pauw Method INHOMOGENEOUS SEMICONDUCTOR
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Study of Copper Thin Films Resistivity by Using Van der Pauw Method at Low Frequencies
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作者 Désiré Allassem B. Mahamout Mahamat +6 位作者 Adoum Kriga Yaya Dagal Dari Mahamat Hassan Béchir Mahamat Ahmat Taha Yacoub Nassian Nimir Jean Pierre Chatelon Jean-Jacques Rousseau 《Open Journal of Applied Sciences》 CAS 2022年第11期1944-1953,共10页
The objective of this work research is the use of four-point measurements and so-called Van Der Pauw methods in measuring the resistivity of copper thin films widely used in the manufacture of planar components such a... The objective of this work research is the use of four-point measurements and so-called Van Der Pauw methods in measuring the resistivity of copper thin films widely used in the manufacture of planar components such as inductor and others. Aligned configuration and square configuration are commonly used to measure thin films resistivity before use. But differences in values between the two configurations according to frequency and thickness were observed according to the authors. Measurements with both configurations on the same thin films must make it possible to know measurements evolution as a function of frequency and thickness. The observation of measuring frequency ranges of each configuration and the minimum thicknesses to have solid copper resistivity are the main contributions of the paper. This electrical characterization is carried out on copper thin films deposited on alumina substrates (50 mm × 20 mm × 635 μm) using RF sputtering technique. Copper thin films with various thicknesses (3.3 μm, 3.6 μm and 5.2 μm) were characterized. Low-frequency electrical characterization of these thin films was performed by four-point measurement method and using an HP 4284A type LCRmeter over the frequency range of 20 Hz to 1 MHz. Van der Pauw’s method was used to calculate resistivity. These studies allowed us to know influence of measurement configurations and influence of parameters such as frequency and thickness of the copper thin films on resistivity. 展开更多
关键词 Thin Film Characterization Van der pauw RESISTIVITY Thickness LCRmeter
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Simple Proofs of Upper and Lower Envelopes of Van Der Pauw’s Equation for Hall-Plates with an Insulated Hole and Four Peripheral Point-Contacts
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作者 Udo Ausserlechner 《Journal of Applied Mathematics and Physics》 2022年第3期960-999,共40页
For plane singly-connected domains with insulating boundary and four point-sized contacts, C<sub>0</sub> &#8230;C<sub>3</sub>, van der Pauw derived a famous equation relating the two trans-... For plane singly-connected domains with insulating boundary and four point-sized contacts, C<sub>0</sub> &#8230;C<sub>3</sub>, van der Pauw derived a famous equation relating the two trans-resistances R<sub>01,23</sub>, R<sub>12,30</sub> with the sheet resistance without any other parameters. If the domain has one hole van der Pauw’s equation becomes an inequality with upper and lower bounds, the envelopes. This was conjectured by Szymański et al. in 2013, and only recently it was proven by Miyoshi et al. with elaborate mathematical tools. The present article gives new proofs closer to physical intuition and partly with simpler mathematics. It relies heavily on conformal transformation and it expresses for the first time the trans-resistances and the lower envelope in terms of Jacobi functions, elliptic integrals, and the modular lambda elliptic function. New simple formulae for the asymptotic limit of a very large hole are also given. 展开更多
关键词 Conformal Mapping Contraction Process Doubly Connected Domains ENVELOPES Hall Plate Large Hole Angle Sheet Resistance Small Hole Angle Van Der pauw
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A general and simple method for evaluating the electrical transport performance of graphene by the van der Pauw–Hall measurement 被引量:3
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作者 Fangzhu Qing Yang Shu +9 位作者 Linsen Qing Yuting Niu He Guo Shuyi Zhang Chunlin Liu Changqing Shen Wanli Zhang Samuel S.Mao Wenjuan Zhu Xuesong Li 《Science Bulletin》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第22期1521-1526,共6页
Expected for many promising applications in the field of electronics and optoelectronics, a reliable method for the characterization of graphene electrical transport properties is desired to predict its device perform... Expected for many promising applications in the field of electronics and optoelectronics, a reliable method for the characterization of graphene electrical transport properties is desired to predict its device performance or provide feedback for its synthesis.However, the commonly used methods of extracting carrier mobility from graphene field effect transistor or Hall-bar is time consuming, expensive, and significantly affected by the device fabrication process other than graphene itself.Here we reported a general and simple method to evaluate the electrical transport performance of graphene by the van der Pauw–Hall measurement.By annealing graphene in vacuum to remove the adsorbed dopants and then exposing it in ambient surroundings, carrier mobility as a function of density can be measured with the increase of carrier density due to the dopant re-adsorption from the surroundings.Further, the relationship between the carrier mobility and density can be simply fitted with a power equation to the first level approximation, with which any pair of measured carrier mobility and density can be normalized to an arbitrary carrier density for comparison.We experimentally demonstrated the reliability of the method, which is much simpler than making devices and may promote the standard making for graphene characterization. 展开更多
关键词 GRAPHENE VAN der pauw HALL Chemical vapor DEPOSITION (CVD)
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基于半导体电阻测试系统的研究设计:以金属Pt薄膜为例
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作者 王亚林 陈明武 +4 位作者 陈家豪 冯金良 郭增莉 刘剑 王可 《科学技术与工程》 北大核心 2025年第26期11220-11229,共10页
经由磁控溅射生长的金属薄膜,其电阻率是反映所选取薄膜材料性和性能评估的重要依据。为得到高精度的薄膜电阻率,采用由Pt制备的薄膜电阻进行测试研究,通过范德堡(Van der Pauw)函数的反演优化四线法设计了测试系统,采用交/直流四线方... 经由磁控溅射生长的金属薄膜,其电阻率是反映所选取薄膜材料性和性能评估的重要依据。为得到高精度的薄膜电阻率,采用由Pt制备的薄膜电阻进行测试研究,通过范德堡(Van der Pauw)函数的反演优化四线法设计了测试系统,采用交/直流四线方式在该系统上进行实验数据采集。实验结果表明:范德堡修正因子f可以匹配0.7以下的值,增大了系统测试的适用范围;直流四线法更容易受到失调电压和测试电流大小的影响,交流四线法的抗干扰能力优于直流四线法。为了评定系统测试的准确性,将交流四线法测量的结果与美国吉时利生产的Keithley-2400源表和Keithley-2182A纳伏表测量的结果进行对比,其相对误差小于1.92%,为精密薄膜制备的均匀性检测领域提供重要参考,具有实际的应用价值。 展开更多
关键词 薄膜电阻 范德堡函数 反演优化 交/直流四线法
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Neurocomputing van der Pauw function for the measurement of a semiconductor's resistivity without use of the learning rate of weight vector regulation
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作者 李宏力 孙以材 +1 位作者 王伟 Harry Hutchinson 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第12期32-39,共8页
Van der Pauw's function is often used in the measurement of a semiconductor's resistivity. However, it is difficult to obtain its value from voltage measurements because it has an implicit form. If it can be express... Van der Pauw's function is often used in the measurement of a semiconductor's resistivity. However, it is difficult to obtain its value from voltage measurements because it has an implicit form. If it can be expressed as a polynomial, a semiconductor's resistivity can be obtained from such measurements. Normally, five orders of the abscissa can provide sufficient precision during the expression of any non-linear function. Therefore, the key is to determine the coefficients of the polynomial. By taking five coefficients as weights to construct a neuronetwork, neurocomputing has been used to solve this problem. Finally, the polynomial expression for van der Pauw's function is obtained. 展开更多
关键词 measurement of the semiconductor's resistivity van der pauw function reversal development neu-rocomputing polynomial match learning rate of weight vector regulation
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神经网络算法拟合双电测组合法修正函数
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作者 冯金良 王亚林 +2 位作者 王尚前 廖晓娟 王可 《机电工程技术》 2025年第7期28-32,136,共6页
随着现代科学技术的发展,电子器件被广泛应用于医疗器械、航天航空等领域,薄层电阻是器件生产过程中性能监测的参数之一,其中双电测组合法是一种常用测试方法。双电测组合法的修正函数包括辅助函数和厚度函数,其原始形式难以直接计算,... 随着现代科学技术的发展,电子器件被广泛应用于医疗器械、航天航空等领域,薄层电阻是器件生产过程中性能监测的参数之一,其中双电测组合法是一种常用测试方法。双电测组合法的修正函数包括辅助函数和厚度函数,其原始形式难以直接计算,为了解决这个问题,使用神经网络算法实现修正函数的拟合。首先提出迭代算法并讨论它的局限性,其虽能求解出修正函数的精确值,但存在计算耗时较长的问题。然后提出了神经网络拟合算法,应用迭代算法得到数据集作为神经网络的输入,使其能逼近修正函数,当目标函数收敛于极小值时,便可得到修正函数的拟合函数。通过分析拟合值与精确值之间的相对误差,结果表明拟合相对误差绝对值小于5×10^(-5),展示了较高的拟合精确度。这些拟合函数可直接应用于双电测组合法测量,有效地简化了辅助函数和厚度函数的数据处理,为测量薄层电阻带来了方便。 展开更多
关键词 修正函数 双电测组合法 神经网络 函数拟合 范德堡函数
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European Colonialism and the Berlin Debate about the New World:Cornelius de Pauw,Frederick the Great and the Taste of Conquest
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作者 Ottmar Ette 《Journal of Foreign Languages and Cultures》 2017年第1期28-48,共21页
After Cornelius de Pauw,one of the most eminent representatives of the European Enlightenment,had published the second volume of his Recherches philosophiques sur les Américains,which in many ways was even more p... After Cornelius de Pauw,one of the most eminent representatives of the European Enlightenment,had published the second volume of his Recherches philosophiques sur les Américains,which in many ways was even more provocative than the first,a violent debate arose in Berlin,spreading quickly to a number of European countries and especially overseas.There is good reason to identify the first phase of this dispute as the Berlin Debate about the New World,especially when considering that Brandenburg and Prussia had been active colonists and had attempted to secure their share in the European move towards expansion.Was it a coincidence that,in 1769,of all places,this debate entered the heated phase of international dispute about the New World in the Prussian capital,which—after all—was a tranquil and idyllic spot compared to Paris,Amsterdam,or London?Certainly,as King of Prussia,Frederick II was the type of leader who made it clear that he was planning to write new music for the symphony of great political powers.From the beginning,the Prussian King was aware of the far-ranging political dimensions of his most-famous operatic project Montezuma.As he told Francesco Algarotti as early as October 1753,he was aiming to send a precise and memorable political message.Is it possible to understand the libretto from Frederick’s royal hands,the performance of“his”opera with Carl Heinrich Graun’s music,Giuseppe Galli Bibiena’s stage architecture,Giovanna Astrua’s arias,and hundreds of other people involved as a prelude to the Berlin Debate about the New World,which had led to heated discussion in the worldwide République des Lettres since the late 1760s? 展开更多
关键词 Cornelius de pauw Frederick the Great Prussia Berlin Debate about the New World Montezuma Antimachiavel European Colonialism
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交/直流薄膜方块电阻测试系统设计与分析 被引量:4
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作者 陈明武 王亚林 +3 位作者 冯金良 王尚前 刘剑 王可 《半导体技术》 北大核心 2024年第1期85-90,共6页
四探针法测量薄膜方块电阻具有测量精度高、稳定性好等优点,被广泛应用于薄膜器件制备、半导体微区掺杂等领域。为了提高薄膜方块电阻的测试速度及精度,以改进的范德堡法原理为基础,采用压控电流源方式输出稳定的电流,利用LabVIEW软件... 四探针法测量薄膜方块电阻具有测量精度高、稳定性好等优点,被广泛应用于薄膜器件制备、半导体微区掺杂等领域。为了提高薄膜方块电阻的测试速度及精度,以改进的范德堡法原理为基础,采用压控电流源方式输出稳定的电流,利用LabVIEW软件搭建了一套能使用交/直流测量薄膜方块电阻的测试系统。为了验证该测试系统的合理性及测试速度,选取Pt金属薄膜作为被测样品进行方块电阻的测量。测试结果表明,直流法和交流法都能精确测量薄膜方块电阻,直流法和交流法的单次测试时间分别为0378 s和0317 s,系统的测试速度优于商用280SI半导体设备。交流法测试Pt金属薄膜方块电阻的抗干扰能力比直流法强。该系统为被测样品选取合适的测试电流和测试方法提供了参考,对薄膜样品进行变温电阻率连续测量具有重要意义。 展开更多
关键词 范德堡法 LABVIEW 交流 直流 方块电阻
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溶液电导率的绝对测量方法 被引量:18
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作者 宋小平 《化学分析计量》 CAS 2004年第6期88-89,共2页
概括论述了三种溶液电导率绝对测量方法 :基于精确测量电导池几何参数的测量方法、基于电容测量的溶液电导率测量方法和基于VanDerPauw方法的溶液电导率测量方法。前一种方法用于许多国家的溶液电导率基准测量 ,后两种方法可发展为溶液... 概括论述了三种溶液电导率绝对测量方法 :基于精确测量电导池几何参数的测量方法、基于电容测量的溶液电导率测量方法和基于VanDerPauw方法的溶液电导率测量方法。前一种方法用于许多国家的溶液电导率基准测量 ,后两种方法可发展为溶液电导率测量的基准方法。 展开更多
关键词 溶液电导率 绝对测量方法 电导池几何参数 电容测量 VAN Der pauw
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基于范德堡法的非饱和土电阻率测试方法 被引量:10
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作者 冯怀平 马德良 +1 位作者 王志鹏 常建梅 《岩土工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第4期690-696,共7页
电阻率法是实现无干扰土体压实度及水分迁移测试的一种有效方法。范德堡法(vdP法)广泛应用于半导体等材料的电阻率测量领域,有较高的精度,将该方法引入非饱和土电阻率测试,研发了一种只接触土体表面而不破坏土体结构的土体电阻率测试装... 电阻率法是实现无干扰土体压实度及水分迁移测试的一种有效方法。范德堡法(vdP法)广泛应用于半导体等材料的电阻率测量领域,有较高的精度,将该方法引入非饱和土电阻率测试,研发了一种只接触土体表面而不破坏土体结构的土体电阻率测试装置及方法,装置由钛电极片、交流恒流源、电压采集及数据处理系统4部分组成。采用此装置对某粉黏土的电阻率进行了测试研究,验证了电极尺寸、试样高度以及温度对于测试精度的影响;测试了不同含水率、压实度下土体电阻率的变化规律,试验表明所提供的测试方法具有精度高、测试稳定、对土样无干扰等优点。 展开更多
关键词 范德堡法 非饱和土 电阻率 含水率
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范德堡方法在ZnO薄膜测试中的应用 被引量:6
15
作者 朱俊杰 刘磁辉 +2 位作者 林碧霞 谢家纯 傅竹西 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期317-319,共3页
近年来 ,随着对宽禁带半导体材料 ,氧化锌薄膜研究的快速发展 ,对其电学性质的研究也显得尤为重要。主要介绍范德堡方法在ZnO薄膜电学性质测量中的应用 。
关键词 范德堡方法 ZnO膜薄 欧姆接触 霍尔效应
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利用多项式拟合规范化方法实现范德堡函数的高精度反演 被引量:17
16
作者 王静 孙以材 刘新福 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第8期817-821,共5页
薄层电阻是IC生产过程中在线工艺监控测试的项目之一 ,其中经常使用范德堡法和Rymaszewski法作为普通四探针法的补充方法 .应用这两种测试方法时必须要用到范德堡函数 ,而已知的范德堡公式是隐函数 ,只见报道其显函数的近似表达式 ,精度... 薄层电阻是IC生产过程中在线工艺监控测试的项目之一 ,其中经常使用范德堡法和Rymaszewski法作为普通四探针法的补充方法 .应用这两种测试方法时必须要用到范德堡函数 ,而已知的范德堡公式是隐函数 ,只见报道其显函数的近似表达式 ,精度低 ,未见到有精确的多项式拟合公式 .为此 ,本文利用非线性反演和规范化拟合的办法给出了范德堡函数的多项式形式 ,其精度可达到± 0 19% 。 展开更多
关键词 范德堡函数 非线性反演 规范化多项式拟合
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非饱和粉土路基内水分迁移规律试验研究 被引量:19
17
作者 杨志浩 岳祖润 冯怀平 《岩土力学》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第7期2241-2251,共11页
动载作用下非饱和粉土路基内部的水分迁移规律,对研究重载铁路在浸水状态下的路基稳定具有重要意义。基于范德堡原理,利用土样的电阻率特性,研制出一套基于GDS动三轴仪的非饱和土样含水率分布规律测试系统。利用该系统开展浸水动三轴试... 动载作用下非饱和粉土路基内部的水分迁移规律,对研究重载铁路在浸水状态下的路基稳定具有重要意义。基于范德堡原理,利用土样的电阻率特性,研制出一套基于GDS动三轴仪的非饱和土样含水率分布规律测试系统。利用该系统开展浸水动三轴试验,并对试验过程中非饱和试样的分层含水率进行连续测试,探究土样的初始压实度、动载的动应力幅值对非饱和土样内部水分迁移的影响规律。结果表明:该测试系统可在动三轴试验过程中对非饱和试样的分层含水率进行实时、无损、连续地测定,测试结果的最大误差为0.7%;非饱和土样在动载作用下随其含水率逐渐增大,土样的初始压实度对电阻率的影响程度减弱,接近饱和含水率时可忽略;土样初始压实度、含水率与土体电阻率具有确定的函数表达式,并具有良好的相关性及唯一性。结合试验结果分析认为:降雨及动荷载共同作用下,路基内水分在某一深度土体积聚,该区域孔隙水压力增大,强度降低,导致翻浆冒泥病害的发生;路基压实度及列车轴重增大,均会抑制路基内水分向下部迁移,有助于路基的稳定,但轴重增加,可能导致路基的失稳,当轴重大于临界动应力时,路基将发生破坏。 展开更多
关键词 范德堡法 非饱和土样 动三轴试验 水分迁移
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微区薄层电阻四探针测试仪及其应用 被引量:12
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作者 孙以材 刘新福 +2 位作者 高振斌 孟庆浩 孙冰 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2002年第1期93-93,共1页
用斜置的四探针方法 ,依靠显微镜观察 ,将针尖置于微区图形的四个角区 ,用改进的范德堡公式可以得到微区的薄层电阻。文中对测准条件作了分析。并用该仪器测定了硼扩散片的薄层电阻分布。在测试过程中应用微处理器 。
关键词 微区薄层电阻 探针技术 范德堡法 四探针测试仪
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基于范德堡法的溶液电导率绝对测量方法 被引量:6
19
作者 林桢 张潇 +2 位作者 魏佳莉 王晓萍 余翔 《计量学报》 CSCD 北大核心 2015年第2期176-180,共5页
将范德堡电阻率测量方法用于溶液电导率的测量中,设计了封闭式四电极电导池;测量系统采用交流微电流源提供激励信号,对响应信号进行放大与处理,通过微机系统实现与上位机的通信与控制。研究了范德堡法电导率测量的影响因素,通过对... 将范德堡电阻率测量方法用于溶液电导率的测量中,设计了封闭式四电极电导池;测量系统采用交流微电流源提供激励信号,对响应信号进行放大与处理,通过微机系统实现与上位机的通信与控制。研究了范德堡法电导率测量的影响因素,通过对标准溶液的测量,验证了该方法测量范围可达0~40 mS/cm、测量误差控制在±1%,可以作为电导率基准测量方法。 展开更多
关键词 计量学 溶液电导率 范德堡法 绝对测量法 电导池常数
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MOCVD生长GaN:Si单晶膜的研究 被引量:6
20
作者 江风益 李述体 +4 位作者 王立 熊传兵 彭学新 辛勇 姚冬敏 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第2期120-124,共5页
获得高质量的n型GaN单晶膜是制作GaN基光电子器件的关键之一。采用立式MOCVD系统生长GaN:Si单晶膜,通过优化生长工艺,获得了电子载流于浓度高达2 ×1019cm-3,迁移率达120cm2/V·s的n... 获得高质量的n型GaN单晶膜是制作GaN基光电子器件的关键之一。采用立式MOCVD系统生长GaN:Si单晶膜,通过优化生长工艺,获得了电子载流于浓度高达2 ×1019cm-3,迁移率达120cm2/V·s的n型GaN:Si单晶膜;并有效地抑制了GaN中由深能级引起的黄带发射,大大提高带边发光强度。研究结果还表明:随着S掺杂量的增大,GaN:Si单晶膜的电子载流于浓度增加,迁移率下降,X光双晶衍射峰半高宽增大。首次报道了随掺S量增大,GaN:Si单晶膜的生长速率显著下降的现象。 展开更多
关键词 MOCVD 单晶膜 氮化镓
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