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PT/PZT/PT薄膜微力传感器 被引量:8
1
作者 崔岩 孟汉柏 +2 位作者 王兢 石二磊 王立鼎 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第9期1404-1409,共6页
提出了一种基于PT/PZT/PT压电薄膜微悬臂梁结构的微力传感器。运用Sol-Gel(溶胶-凝胶)法制作了PT和PZT薄膜,采用X射线衍射技术表征了PZT和PT/PZT/PT两种薄膜的成相特征,用阻抗分析仪测试了PZT和PT/PZT/PT薄膜的介电常数。结果表明,在PZ... 提出了一种基于PT/PZT/PT压电薄膜微悬臂梁结构的微力传感器。运用Sol-Gel(溶胶-凝胶)法制作了PT和PZT薄膜,采用X射线衍射技术表征了PZT和PT/PZT/PT两种薄膜的成相特征,用阻抗分析仪测试了PZT和PT/PZT/PT薄膜的介电常数。结果表明,在PZT薄膜退火温度同为600℃时,PZT和PT/PZT/PT薄膜均为完整的钙钛矿结构,而且PT/PZT/PT薄膜沿(100)晶向强烈取向;在测试频率为1 kHz时,经600℃热处理条件下制备的PZT和PT/PZT/PT薄膜的相对介电常数分别为525和981。最后应用MEMS工艺制作了基于PT/PZT/PT压电薄膜微悬臂梁结构的微力传感器。在静态和准静态下对微力传感器的传感特性进行了测试。测试结果表明,力与位移或电荷具有良好的线性关系。两种尺寸微力传感器的灵敏度分别为0.045 mV/μN和0.007 mV/μN,力分辨率分别为3.7μN和16.9μN,满足了微牛顿量级微小力的测量。 展开更多
关键词 pt/pzt/pt薄膜 微悬臂梁 微力传感器
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不同PT厚度的PZT/PT复合薄膜的性能研究 被引量:1
2
作者 李于利 汪静 +1 位作者 姚熹 张良莹 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2006年第1期38-40,共3页
采用改进的sol-gel法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备PZT/PT复合薄膜(共10层),PT的层数分别为2,4,6和8层。结果表明,600℃热处理的PZT/PT复合薄膜为钙钛矿结构,无第二相。随着PT厚度的增加,εr变小,100kHz时为313~228。tgδ在频率低于100kHz... 采用改进的sol-gel法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备PZT/PT复合薄膜(共10层),PT的层数分别为2,4,6和8层。结果表明,600℃热处理的PZT/PT复合薄膜为钙钛矿结构,无第二相。随着PT厚度的增加,εr变小,100kHz时为313~228。tgδ在频率低于100kHz时,不随PT厚度变化,为0.015左右;频率为100kHz~1MHz时,PZT6/PT4tgδ最大,1MHz时仍小于0.06。 展开更多
关键词 无机非金属材料 复合薄膜 pzt/pt sol—gel法 介电性能
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一种新型硅基PT/PZT/PT夹心结构的电性能研究 被引量:5
3
作者 任天令 张林涛 +3 位作者 张武全 李春晓 刘理天 李志坚 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2000年第6期407-409,共3页
以无机锆盐为原料 ,用溶胶 -凝胶 (Sol- Gel)法成功地在 Pt/ Ti/ Si O2 / Si衬底上制备出一种新型Pb Ti O3/ Pb(Zr0 .5 3Ti0 .47) O3/ Pb Ti O3(PT/ PZT/ PT)夹心结构。这种新结构对于 PZT的晶化有很好的促进作用 ,其最终的退火温度为 7... 以无机锆盐为原料 ,用溶胶 -凝胶 (Sol- Gel)法成功地在 Pt/ Ti/ Si O2 / Si衬底上制备出一种新型Pb Ti O3/ Pb(Zr0 .5 3Ti0 .47) O3/ Pb Ti O3(PT/ PZT/ PT)夹心结构。这种新结构对于 PZT的晶化有很好的促进作用 ,其最终的退火温度为 70 0°C。 C- V特性、介电频率响应、漏电等电性能测试表明这一新型夹心结构具有良好的铁电和介电性能。 展开更多
关键词 pzt pt 夹心结构 溶胶-凝胶法 硅基 电性能 铁电
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硅基PT/PZT/PT夹心结构的性能研究
4
作者 任天令 张林涛 +1 位作者 刘理天 李志坚 《电子器件》 EI CAS 2000年第3期169-172,共4页
在已有的以无机锆盐为原料 ,用 Sol- Gel方法制备硅基 Pb(Zr0 .5 3 Ti0 .47) O3 (PZT)铁电薄膜的工艺基础上 ,成功地制备出 Pb Ti O3 / Pb(Zr0 .5 3 Ti0 .47O3 / Pb Ti O3 (PT/ PZT/ PT)夹心式新结构。由于采用了这种夹心式结构 ,使得 ... 在已有的以无机锆盐为原料 ,用 Sol- Gel方法制备硅基 Pb(Zr0 .5 3 Ti0 .47) O3 (PZT)铁电薄膜的工艺基础上 ,成功地制备出 Pb Ti O3 / Pb(Zr0 .5 3 Ti0 .47O3 / Pb Ti O3 (PT/ PZT/ PT)夹心式新结构。由于采用了这种夹心式结构 ,使得 PZT铁电薄膜的退火温度由原来的 90 0℃降到了 70 0℃。通过实验检验了新结构的铁电和介电性能。发现夹心结构有助于提高 PZT薄膜的品质。 展开更多
关键词 夹心结构 pzt pt 硅基 性能 半导体
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PT/PZT/PT铁电薄膜的铁电畴和畴壁 被引量:5
5
作者 王龙海 于军 +7 位作者 刘锋 郑朝丹 李佳 王耘波 高峻雄 王志红 曾慧中 赵素玲 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期2590-2595,共6页
用sol-gel法制备出了具有良好铁电性、纯钙钛矿结构的PbTiO3/Pb(Zr0·3Ti0·7)O3/PbTiO3(PT/PZT/PT)新型夹心结构铁电薄膜.用扫描力显微镜(SFM)的压电响应模式获得了薄膜铁电畴的垂直于膜平面方向(OPP)、膜平面内(IPP)及OPP的... 用sol-gel法制备出了具有良好铁电性、纯钙钛矿结构的PbTiO3/Pb(Zr0·3Ti0·7)O3/PbTiO3(PT/PZT/PT)新型夹心结构铁电薄膜.用扫描力显微镜(SFM)的压电响应模式获得了薄膜铁电畴的垂直于膜平面方向(OPP)、膜平面内(IPP)及OPP的相位和幅度图像,结合理论分析指出薄膜的电畴主要由c畴和偏离垂直于膜平面方向上的c畴构成,薄膜取向的复杂性导致了复杂的畴结构.对于[111]取向的薄膜,当偏离垂直于膜平面方向上的c畴在垂直膜平面方向和面内方向都相反时构成180°的畴壁,在垂直膜平面方向上相同、面内方向相反或由垂直膜平面方向上相反、面内方向相同时构成90°畴壁. 展开更多
关键词 铁电薄膜 pt/pzt/pt 电畴和畴壁 扫描力显微镜(SFM)
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PZT,PT干凝胶的制备及应用 被引量:3
6
作者 汪静 张良莹 姚熹 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2004年第12期20-21,24,共3页
采用减压抽滤的方法成功制备了Pb(Zr0.5Ti0.5)O3,PbTiO3干凝胶,并用STA449C差热分析仪表征了干凝胶的性能。干凝胶溶解后得到了性能优良的PZT薄膜和PZT/PT复合膜。采用X射线衍射技术表征了两种薄膜的微观结构及成相特征。薄膜的介电性... 采用减压抽滤的方法成功制备了Pb(Zr0.5Ti0.5)O3,PbTiO3干凝胶,并用STA449C差热分析仪表征了干凝胶的性能。干凝胶溶解后得到了性能优良的PZT薄膜和PZT/PT复合膜。采用X射线衍射技术表征了两种薄膜的微观结构及成相特征。薄膜的介电性能及漏电流性能由HP4284ALCR及Keithley6517A来确定。试验结果表明:用减压抽滤得到的干凝胶的方法,可以彻底解决溶胶凝胶中先体存放的问题,得到的铁电薄膜有优良的介电与铁电性能。PZT的相对介电常数与介质损耗分别为424,0.033,PT作为中间层的复合膜的相对介电常数和介质损耗分别为261,0.014;PT薄膜可以调整和改进PZT薄膜的性能,使之达到应用于热释电探测器的要求。 展开更多
关键词 无机非金属材料 干凝胶 pzt pzt/pt 介电性能 漏电流性能
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PZT和PT陶瓷的热释电效应与晶格参数的关系 被引量:4
7
作者 孙大志 翟翠凤 +3 位作者 金绮华 姚春华 李晓辉 林盛卫 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1997年第5期715-719,共5页
测量了锆钛酸铅(PZT和钛酸铅(PT)陶瓷材料的热释电效应,利用X射线衍射测量了陶瓷材料在不同温度下晶格结构变化,研究了PZT和PT陶瓷材料的热释电效应与晶格参数之间的相互关系,实验表明,陶瓷材料的热释电系数的大小与晶格参数随... 测量了锆钛酸铅(PZT和钛酸铅(PT)陶瓷材料的热释电效应,利用X射线衍射测量了陶瓷材料在不同温度下晶格结构变化,研究了PZT和PT陶瓷材料的热释电效应与晶格参数之间的相互关系,实验表明,陶瓷材料的热释电系数的大小与晶格参数随温度变化的情形有关,c轴与c/a比随温度变化大的材料,其热释电系数较高. 展开更多
关键词 热释电 晶格参数 钛酸铅陶瓷 锆钛酸铅陶瓷 陶瓷
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PT种子层对PZT薄膜结晶及压电性能的影响
8
作者 李磊 余远根 +3 位作者 姜涛 祝元坤 王现英 郑学军 《电子科技》 2016年第4期1-5,共5页
采用溶胶-凝胶法(Sol-Gel)在Pt/Si衬底上制备了PbTiO_3(PT)薄膜和Pb(Zr_x,Ti_(1-x))O_3(PZT)薄膜,研究了退火温度以及PT种子层对PZT薄膜结晶及压电性能的影响。X射线衍射(XRD)结果表明,制备的PZT薄膜为纯钙钛矿结构的多晶薄... 采用溶胶-凝胶法(Sol-Gel)在Pt/Si衬底上制备了PbTiO_3(PT)薄膜和Pb(Zr_x,Ti_(1-x))O_3(PZT)薄膜,研究了退火温度以及PT种子层对PZT薄膜结晶及压电性能的影响。X射线衍射(XRD)结果表明,制备的PZT薄膜为纯钙钛矿结构的多晶薄膜,有PT种子层的PZT薄膜晶粒尺寸更大,(110)面取向度更高,结晶性能更好;原子力显微镜(AFM)结果表明,制备的薄膜表面形貌比较平整、均匀、无裂纹;压电力显微镜(PFM)结果表明,压电力显微镜(PFM)结果表明,有PT种子层时,PZT薄膜的平均压电系数d_(33)为128~237 pm/V,无PT种子层时平均压电系数d_(33)为21~29 pm/V。在升温速率为10℃/s的退火条件下保温10 min时,随着退火温度的升高,PZT薄膜晶粒尺寸增大,粗糙度增大,(110)面取向度升高,平均压电系数d_(33)增大。PT种子层能够有效的改善PZT薄膜的结晶性能和压电性能。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 pzt薄膜 退火温度 钙钛矿结构 pt种子层 压电系数
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多层PT/PZT薄膜的结构特性研究
9
作者 郑俊华 谭秋林 唐力程 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2015年第6期1034-1036,1042,共4页
通过溶胶-凝胶(Sol-Gel)法在Pt/Ti/SiO_2/Si基底上制备了多层PT/PZT(PbTiO_3/Pb(Zr_(0.52)Ti_(0.48))O_3)薄膜,研究了不同退火时间对其纳米结构、结晶性能及相变特性的影响。利用FESEM测试了不同退火时间对薄膜纳米结构的影响,选用XRD与... 通过溶胶-凝胶(Sol-Gel)法在Pt/Ti/SiO_2/Si基底上制备了多层PT/PZT(PbTiO_3/Pb(Zr_(0.52)Ti_(0.48))O_3)薄膜,研究了不同退火时间对其纳米结构、结晶性能及相变特性的影响。利用FESEM测试了不同退火时间对薄膜纳米结构的影响,选用XRD与Raman分析了薄膜的结晶取向及相变特点。实验结果表明,随着退火时间的增加,薄膜的三方相向四方相转变,并具有(110)择优取向。退火时间为20min是PZT薄膜的最佳退火时间,此时薄膜的结晶效果良好、晶粒大小均匀、具有纯钙钛矿结构,此种结构的薄膜有望应用于MEMS器件中。 展开更多
关键词 多层pt/pzt薄膜 压电材料 溶胶-凝胶法 钙钛矿结构 退火时间
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基于PMN-PT的宽带高灵敏双谐振式声发射传感器研究 被引量:1
10
作者 宋洋 唐正凯 +3 位作者 史汝川 林迪 韩韬 罗骋韬 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第1期112-117,123,共7页
声发射传感器被广泛应用于局部放电检测中,而基于PZT压电陶瓷的声发射传感器难以同时满足越来越高的灵敏度和带宽需求。该文设计了一种双谐振式声发射传感器,采用高性能铁电单晶PMN-PT作为压电振子,并使用谐振峰耦合,可同时提升灵敏度... 声发射传感器被广泛应用于局部放电检测中,而基于PZT压电陶瓷的声发射传感器难以同时满足越来越高的灵敏度和带宽需求。该文设计了一种双谐振式声发射传感器,采用高性能铁电单晶PMN-PT作为压电振子,并使用谐振峰耦合,可同时提升灵敏度和带宽。所制备的传感器实现了76.2 dB的高灵敏度,20~105 kHz的大带宽,且具备良好的稳定性。对比基于PZT-5H的声发射传感器,其具有更高的灵敏度和信噪比。 展开更多
关键词 PMN-pt单晶 pzt-5H陶瓷 双谐振式声发射传感器 局部放电检测 有限元模型
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Structure and electrical properties of PZT/LNO/PT multilayer films on stainless steel substrates 被引量:1
11
作者 Zhao, Xuelian Jiang, Dan +1 位作者 Yu, Shengwen Cheng, Jinrong 《Rare Metals》 SCIE EI CAS CSCD 2012年第3期272-275,共4页
PbZr0.53Ti0.47O3 (PZT) ferroelectric thin films were deposited on LaNiO3 (LNO) by sol-gel method. The PbTiO3 (PT) seed layer was depos-ited between the LNO buffer layer and stainless steel (SS) substrate, which effect... PbZr0.53Ti0.47O3 (PZT) ferroelectric thin films were deposited on LaNiO3 (LNO) by sol-gel method. The PbTiO3 (PT) seed layer was depos-ited between the LNO buffer layer and stainless steel (SS) substrate, which effectively decreased the annealing temperature of LNO layer from 750 C to 650 C. X-ray diffraction (XRD) reveals that LNO layers with PT layer crystallize into a perovskite phase on annealing at 650 C for 10 min. PZT deposited on LNO buffer layer with PT seed layer exhibits good ferroelectric property. 展开更多
关键词 pt seed layer LNO pzt ferroelectric thin films
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PZT压电厚膜用PT过渡层的制备及表征
12
作者 段中夏 刘俊标 韩立 《纳米科技》 2011年第5期28-31,72,共5页
用溶胶-凝胶法在Pt(111)/Cr/SiO2/Si衬底上制备了(100)取向PT过渡层,探讨了制备工艺条件对胛过渡层成膜情况的影响,结果表明,快速热处理工艺制备的PT过渡层结晶较好,而热解时间过长和退火时间过长都会引起铅的损失,造成TiO... 用溶胶-凝胶法在Pt(111)/Cr/SiO2/Si衬底上制备了(100)取向PT过渡层,探讨了制备工艺条件对胛过渡层成膜情况的影响,结果表明,快速热处理工艺制备的PT过渡层结晶较好,而热解时间过长和退火时间过长都会引起铅的损失,造成TiO杂相的出现,从而对PT过渡层的结晶产生不利影响。 展开更多
关键词 pt 过渡层 (100)取向 制备工艺 pzt
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硅基PZT铁电薄膜的制备与性能研究 被引量:4
13
作者 张林涛 任天令 +2 位作者 张武全 刘理天 李志坚 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2001年第1期49-52,共4页
用溶胶-凝胶(Sol-Gel)方法制备了硅基Pb(Zr_0.53Ti_0.47)0_3(PZT铁电薄膜。分析了PZT铁电薄膜的表面形貌、晶化程度、界面状态等性质。基于上述分析结果提出并实现了低温退火处理制备有PT过渡... 用溶胶-凝胶(Sol-Gel)方法制备了硅基Pb(Zr_0.53Ti_0.47)0_3(PZT铁电薄膜。分析了PZT铁电薄膜的表面形貌、晶化程度、界面状态等性质。基于上述分析结果提出并实现了低温退火处理制备有PT过渡层的PZT铁电薄膜的工艺流程。测试了低温制备的PZT铁电薄膜的C-V、漏电等电性能,发现在Sol-Gel法制备PZT铁电薄膜的工艺中加入PT过渡层,有助于提高PZT薄膜的品质。 展开更多
关键词 SOL-GEL法 pzt pt 铁电薄膜
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PT种子层对微力传感器性能的影响
14
作者 孟汉柏 崔岩 +2 位作者 王兢 陈会林 王立鼎 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第3期461-464,共4页
为了提高微牛顿量级微力传感器的灵敏度,比较了有PT种子层和无PT种子层的PZT压电薄膜对微力传感器性能的影响。运用Sol-Gel(溶胶-凝胶)法制作了PZT和PT/PZT/PT薄膜,采用X射线衍射技术表征了PZT和PT/PZT/PT两种薄膜的成相特征,用半导体... 为了提高微牛顿量级微力传感器的灵敏度,比较了有PT种子层和无PT种子层的PZT压电薄膜对微力传感器性能的影响。运用Sol-Gel(溶胶-凝胶)法制作了PZT和PT/PZT/PT薄膜,采用X射线衍射技术表征了PZT和PT/PZT/PT两种薄膜的成相特征,用半导体参数测试仪测试了PZT和PT/PZT/PT两种薄膜的漏电流。结果表明,在同为600℃退火温度下,两种薄膜均具有钙钛矿结构,而且PT/PZT/PT薄膜沿(100)晶向强烈取向。当外加电压增加时,PZT薄膜的漏电流基本保持不变;PT/PZT/PT薄膜的漏电流变化在1nA左右。最后应用MEMS工艺分别制作了基于PZT,PT/PZT/PT压电薄膜微悬臂梁结构的微力传感器,并在静态和准静态下对微力传感器的传感特性进行了测试。测试结果表明,添加PT种子层对微悬臂梁的弹性系数基本没有影响,但微悬臂梁的灵敏度显著增加。 展开更多
关键词 pzt薄膜 pt/pzt/pt薄膜 微悬臂梁 微力传感器 压电系数
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PZT铁电薄膜Sol-Gel技术制备和电性能研究 被引量:6
15
作者 夏冬林 刘梅冬 +1 位作者 赵修建 周学东 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第2期354-360,共7页
以乙酸铅(Pb(CH3COO)2·3H2O)、钛酸四丁酯(Ti(OC4H9)4)、硝酸锆(Zr(NO3)4·5H2O)替代锆醇盐为原料,通过在Pt/Ti/siO2/si基片与PZT薄膜之间引入PT种子层,采用改进的sol-gel工艺制备出无裂纹,致密性好,晶粒尺寸小且分布均匀的单... 以乙酸铅(Pb(CH3COO)2·3H2O)、钛酸四丁酯(Ti(OC4H9)4)、硝酸锆(Zr(NO3)4·5H2O)替代锆醇盐为原料,通过在Pt/Ti/siO2/si基片与PZT薄膜之间引入PT种子层,采用改进的sol-gel工艺制备出无裂纹,致密性好,晶粒尺寸小且分布均匀的单一钙钛矿结构的Pb(Zr0.53Ti0.47)O3铁电薄膜.实验结果表明,具有PT种子层的PZT铁电薄膜电性能较好.经600℃热处理的具有PT种子层的PZT薄膜,在1kHz测试频率下,其剩余极化强度和矫顽场分别为20μC/cm2和59kV/cm,介电常数和介电损耗分别为385和0.030. 展开更多
关键词 锆钛酸铅 pzt铁电薄膜 电性能 pt种子层 SOL-GEL法 热处理 电滞回线 I-V特性 介电常数
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PZT厚膜拾振器微图形化工艺研究 被引量:6
16
作者 方华斌 刘景全 +4 位作者 徐峥谊 王莉 陈迪 蔡炳初 刘悦 《微细加工技术》 EI 2005年第4期48-51,共4页
采用sol-gel方法制备了PZT铁电厚膜,构成了SiO2/Si/SiO2/Ti/Pt/PZT/Ti/Pt形式的拾振器敏感元结构。基于半导体光刻技术,通过干法刻蚀电极和化学湿法刻蚀PZT厚膜等技术,成功地实现了敏感元的微图形化,解决了Pt/Ti下电极刻蚀难、制作的PZ... 采用sol-gel方法制备了PZT铁电厚膜,构成了SiO2/Si/SiO2/Ti/Pt/PZT/Ti/Pt形式的拾振器敏感元结构。基于半导体光刻技术,通过干法刻蚀电极和化学湿法刻蚀PZT厚膜等技术,成功地实现了敏感元的微图形化,解决了Pt/Ti下电极刻蚀难、制作的PZT膜形貌不好和上电极容易起壳等问题,为基于PZT厚膜的高性能拾振器的研制打下了良好的基础。 展开更多
关键词 拾振器 pzt厚膜 pt/TI电极 湿法化学刻蚀 干法刻蚀
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溅射法制备高取向Pt薄膜的工艺研究 被引量:7
17
作者 鲁健 吴建华 +2 位作者 赵刚 王海 褚家如 《微细加工技术》 EI 2004年第1期41-46,共6页
采用射频磁控溅射工艺在SiO2/Si衬底上成功制备了适用于PZT铁电薄膜底电极的180nm厚、沿(111)晶向强烈取向的Pt薄膜。厚约50nm的Ti膜被用作过渡层,以增强Pt薄膜与衬底之间的黏着性。实验表明,在Pt薄膜的制备过程中,较高的衬底温度有利... 采用射频磁控溅射工艺在SiO2/Si衬底上成功制备了适用于PZT铁电薄膜底电极的180nm厚、沿(111)晶向强烈取向的Pt薄膜。厚约50nm的Ti膜被用作过渡层,以增强Pt薄膜与衬底之间的黏着性。实验表明,在Pt薄膜的制备过程中,较高的衬底温度有利于薄膜晶化,促使Pt薄膜沿(111)晶向择优取向生长。而在薄膜沉积后加入适当的热处理工艺,能有效地提高Pt薄膜的择优取向性,同样可以得到沿(111)晶向强烈取向的Pt薄膜。原子力显微镜分析表明,制得的薄膜结构相对致密,结晶状况良好,晶粒尺寸约为50nm。 展开更多
关键词 pt薄膜 射频磁控溅射工艺 pzt铁电薄膜 微机电系统 热处理工艺
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电极对PZT铁电薄膜的微观结构和电性能的影响 被引量:9
18
作者 杜文娟 陆维 +1 位作者 郑萍 孟中岩 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 2004年第3期289-293,共5页
采用溶胶-凝胶(sol-gel)工艺分别在Pt/Ti/SiO2/Si和LNO/Si电极上制备Pb(Zr0.53Ti0.47(PZT)铁电薄膜。研究了不同电极材料对PZT铁电薄膜的微结构及电性能的影响。(100)择优取的PZT/LNO薄膜的介电性能和铁电性能较(111)/(100)取向的PZT/P... 采用溶胶-凝胶(sol-gel)工艺分别在Pt/Ti/SiO2/Si和LNO/Si电极上制备Pb(Zr0.53Ti0.47(PZT)铁电薄膜。研究了不同电极材料对PZT铁电薄膜的微结构及电性能的影响。(100)择优取的PZT/LNO薄膜的介电性能和铁电性能较(111)/(100)取向的PZT/Pt薄膜略有下降,但在抗疲劳特性和漏电流特性方面都有了很大提高。PZT/LNO薄膜1010次极化反转后剩余极化几乎保持未变,直至1012次反转后,剩余极化仅下降了17%。 展开更多
关键词 pzt 铁电薄膜 微观结构 电性能 电极 疲劳 锆钛酸铅
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玻璃基Pt/Pb(Zr_(0.4)Ti_(0.6))O_3/ITO电容器的结构及物理性能研究
19
作者 周阳 程春生 +4 位作者 赵敬伟 郑红芳 赵庆勋 彭英才 刘保亭 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第3期242-246,共5页
采用溶胶-凝胶方法在玻璃基ITO电极上制备了Pt/Pb(Zr0.4Ti0.6)O3(PZT)/ITO电容器.采用X射线衍射仪、铁电测试仪、分光光度计对其微观结构、电学性能及光学性能进行了测量.结果表明PZT薄膜结晶良好,具有(101)高度择优取向.铁电电容器具... 采用溶胶-凝胶方法在玻璃基ITO电极上制备了Pt/Pb(Zr0.4Ti0.6)O3(PZT)/ITO电容器.采用X射线衍射仪、铁电测试仪、分光光度计对其微观结构、电学性能及光学性能进行了测量.结果表明PZT薄膜结晶良好,具有(101)高度择优取向.铁电电容器具有良好的保持特性和抗疲劳特性,具有较大的剩余极化强度和电阻率,5V电压下的剩余极化强度和电阻率分别为41.7μC/cm2和2.5×109Ω.cm;漏电流测量结果表明电压小于0.8V时为欧姆导电机制,当电压大于0.8V时,漏电流满足肖特基发射机制.光学透射谱结果表明在短波范围内,PZT表现出强吸收作用;在长波范围内,PZT表现为强透射,最大透射率达到95%. 展开更多
关键词 pt/pzt/ITO 溶胶-凝胶法 电学性能
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不同退火工艺Pt电极上沉积溶胶凝胶Pb(Zr,Ti)O_3薄膜的织构演化(英文)
20
作者 杨帆 费维栋 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第10期1760-1765,共6页
利用溶胶凝胶工艺在Pt电极上沉积了PZT薄膜,选用传统退火及其快速退火工艺制备两种Pt基底(CTA-Pt和RTA-Pt),并采用X射线衍射广角及其ω扫描技术分别研究了Pt电极退火工艺对溶胶凝胶PZT结构及其织构演化的影响。研究结果显示:在传统退火... 利用溶胶凝胶工艺在Pt电极上沉积了PZT薄膜,选用传统退火及其快速退火工艺制备两种Pt基底(CTA-Pt和RTA-Pt),并采用X射线衍射广角及其ω扫描技术分别研究了Pt电极退火工艺对溶胶凝胶PZT结构及其织构演化的影响。研究结果显示:在传统退火工艺制备Pt电极上沉积的薄膜为(111)择优取向,而在快速退火工艺制备Pt电极上沉积的薄膜表现为(100)织构;分析表明PZT薄膜的织构演化可能与Pt电极在不同退火工艺下的内应力差异有关。 展开更多
关键词 pzt薄膜 织构 X射线衍射 pt电极
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