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PVD-ARC[ION BOND]涂层工艺的特性及发展前景
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作者 胡兆友 《金属热处理》 CAS CSCD 北大核心 1989年第1期30-32,共3页
前言自从1961年苏联推出了第一台等离子涂层设备以来,等离子涂层被广泛地用于各种不同类型的高速钢刀具和硬质合金刀具。等离子TiN涂层工艺的出现,被认为是高速钢的一次革命。1986年西方国家每年大约有两千万件高速钢刀具采用了PVD涂层... 前言自从1961年苏联推出了第一台等离子涂层设备以来,等离子涂层被广泛地用于各种不同类型的高速钢刀具和硬质合金刀具。等离子TiN涂层工艺的出现,被认为是高速钢的一次革命。1986年西方国家每年大约有两千万件高速钢刀具采用了PVD涂层,在硬质合金刀具上的应用数量亦在增长。 展开更多
关键词 PVD涂层 pvd-arc 涂层
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硬质薄膜技术的最新发展 被引量:12
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作者 杨林生 王君 陈长琦 《真空》 CAS 北大核心 2009年第6期35-39,共5页
为满足各技术领域的要求,硬质薄膜业近年来得到了广泛的发展和应用。本文介绍了硬质薄膜技术的最新发展状况,阐述了各技术的特点和代表厂商。首先对CVD及其相关技术的发展情况进行了简介,再对PVD技术在硬质薄膜领域的应用进行了详述,最... 为满足各技术领域的要求,硬质薄膜业近年来得到了广泛的发展和应用。本文介绍了硬质薄膜技术的最新发展状况,阐述了各技术的特点和代表厂商。首先对CVD及其相关技术的发展情况进行了简介,再对PVD技术在硬质薄膜领域的应用进行了详述,最后对国内相关产业的发展进行了介绍和总结,同时本文对硬质薄膜技术在我国未来的发展提出了展望。 展开更多
关键词 硬质薄膜 化学气相沉积 物理气相沉积 阴极电弧 磁控溅射
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电子束物理气相沉积热障涂层抗冲蚀性能研究 被引量:5
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作者 蔡妍 李建平 +2 位作者 何利民 牟仁德 黄光宏 《真空》 CAS 2014年第2期27-30,共4页
本文采用真空电弧镀技术(AIP)在DZ408高温合金基体上沉积HY3(NiCrAlYSi)金属粘结层,采用电子束物理气相沉积技术(EB-PVD)在HY3粘结层上沉积YSZ陶瓷面层,研究了热障涂层的抗冲蚀性能。对于沉积热障涂层的试样进行了抗冲蚀试验,来评价其... 本文采用真空电弧镀技术(AIP)在DZ408高温合金基体上沉积HY3(NiCrAlYSi)金属粘结层,采用电子束物理气相沉积技术(EB-PVD)在HY3粘结层上沉积YSZ陶瓷面层,研究了热障涂层的抗冲蚀性能。对于沉积热障涂层的试样进行了抗冲蚀试验,来评价其抗冲蚀性能,通过扫描电镜(SEM)分析冲蚀前后的试样显微形貌,用X-射线衍射仪分析涂层的相结构,通过质量冲蚀率对涂层抗冲蚀性能进行表征。试验结果表明在相同冲蚀条件下,TBC涂层冲蚀率随冲蚀时间的增加而增加;涂层经光饰处理后降低了TBC的表面粗糙度,提高了TBC的抗冲蚀能力。 展开更多
关键词 冲蚀 热障涂层 电子束物理气相沉积 电弧离子镀
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类金刚石薄膜的光学性能的研究 被引量:7
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作者 梁海锋 严一心 《光学仪器》 2004年第2期183-186,共4页
利用脉冲真空电弧镀的方法,在硅基底上沉积类金刚石薄膜,研究薄膜的光学性能、光学常数和离子能量关系。结果表明:不同的离子能量可以得到不同折射率的薄膜,无氢类金刚石薄膜的折射率在2.5~2.7之间变化;通过改变工艺条件来制备不同折... 利用脉冲真空电弧镀的方法,在硅基底上沉积类金刚石薄膜,研究薄膜的光学性能、光学常数和离子能量关系。结果表明:不同的离子能量可以得到不同折射率的薄膜,无氢类金刚石薄膜的折射率在2.5~2.7之间变化;通过改变工艺条件来制备不同折射率的薄膜,和不同折射率的基底材料相互匹配;折射率和光学能隙随离子能量具有相反的变化趋势,和理论预测的趋势相一致;对于硅、锗等红外材料,要求的薄膜应具有1.8~2.1左右的折射率,因此提出一种基于物理汽相沉积和化学汽相沉积两种相互结合的方法,来降低薄膜的折射率,以达到和硅、锗等材料的折射率匹配。 展开更多
关键词 类金刚石薄膜 脉冲电弧 光学性能 物理汽相沉积 化学汽相沉积
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脉冲叠加直流偏压电弧离子镀TiCrN_x薄膜的制备与性能研究
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作者 葛高峰 赵广彬 +2 位作者 蒙志林 谭刚 肖鹏 《真空》 CAS 2013年第2期34-37,共4页
采用脉冲叠加直流偏压电弧离子镀技术在硬质合金刀具表面制备TiCrNx薄膜,利用XRD,SEM,多功能材料表面性能测试仪等对TiCrNx薄膜进行表征。结果表明,TiCrNx与TiN薄膜相比,硬度有所下降。膜-基结合力与靶材阴极弧电流及偏压有关。
关键词 脉冲叠加直流偏压电弧离子镀 TiCrNx 薄膜 PVD
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添加Cu对PVD AlTiN涂层组织结构和性能的影响 被引量:4
6
作者 潘晨曦 陈康华 +3 位作者 徐银超 王云志 祝昌军 陈浩 《粉末冶金材料科学与工程》 EI 北大核心 2016年第5期717-721,共5页
采用阴极弧蒸发离子镀在硬质合金刀具基体上分别沉积AlTiN和AlTiN-Cu涂层。采用扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、纳米压痕仪等分析测试手段研究涂层形貌、组织结构和力学性能的影响规律,并对两种涂层刀具的切削性能进行研究。结果表明... 采用阴极弧蒸发离子镀在硬质合金刀具基体上分别沉积AlTiN和AlTiN-Cu涂层。采用扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、纳米压痕仪等分析测试手段研究涂层形貌、组织结构和力学性能的影响规律,并对两种涂层刀具的切削性能进行研究。结果表明:Cu元素以单质的形式存在于AlTiN涂层中,Cu的添加使涂层晶粒由柱状晶转变成等轴晶,细化了涂层晶粒,使涂层的择优取向由(111)面变成(200)面;涂层的纳米硬度由29.01GPa降低到22.04GPa,弹性模量由347.10GPa降低到268.25GPa。Cu元素的添加使AlTiN涂层刀具切削钛合金寿命提高了约36%。 展开更多
关键词 AlTiN CU PVD 阴极弧离子镀 纳米涂层
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太阳能高反射薄膜制备技术对薄膜性能的影响 被引量:4
7
作者 李海兵 徐勇军 +2 位作者 蔡其文 涂伟萍 廖俊旭 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第3期34-40,共7页
采用磁过滤阴极真空弧沉积(FCVAD)与磁控溅射(MS)两种技术在玻璃上制备厚度分别为75 nm和165 nm的Glass/Al高反射薄膜,利用Lambda 950分光光度计、扫描电子显微镜、原子力显微镜、附着力测试仪、摩擦试验机和加速老化试验箱分别表... 采用磁过滤阴极真空弧沉积(FCVAD)与磁控溅射(MS)两种技术在玻璃上制备厚度分别为75 nm和165 nm的Glass/Al高反射薄膜,利用Lambda 950分光光度计、扫描电子显微镜、原子力显微镜、附着力测试仪、摩擦试验机和加速老化试验箱分别表征薄膜的反射率、表面形貌、粗糙度、附着力、耐摩擦和耐老化性能,通过薄膜性能评估分析两种技术制备高反射膜性能的差异。结果表明:在双方优化工艺下,FCVAD制备的薄膜表面形貌和附着力优于MS薄膜;FCVAD制备的75 nm和165 nm薄膜反射率比同厚度MS薄膜高出3.3%-4.2%;75 nm厚的薄膜方均根粗糙度明显小于同厚度的MS薄膜;FCVAD制备的75 nm薄膜老化后反射率仅下降1.2%,而MS同厚度薄膜反射率下降了3.3%-4%。说明FCVAD在制备高反射膜方面比磁控溅射更有优势。 展开更多
关键词 光学薄膜 物理气相沉积 磁过滤阴极真空弧沉积 磁控溅射 高反射膜
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多弧物理气相沉积技术制备(TiAl)N 超硬膜 被引量:1
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作者 刘全顺 张静茹 王金发 《真空与低温》 1998年第2期108-110,共3页
主要介绍采用多弧物理气相沉积(PVD)技术研制新型(TiAl)N超硬膜的工艺技术特点。对其膜层相结构、化学成分、显微组织等方面做了分析研究。结合工业生产实际应用进行了(TiAl)N与TiN涂层刀具切削耐用度对比试验。
关键词 多弧 物理气相沉积 超硬膜 薄膜 (TiAl)N
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转子钢20Cr13表面硬质PVD涂层摩擦磨损性能分析
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作者 杨剑 沙鹏 +2 位作者 李伟 沈奎双 雷学林 《华东理工大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2024年第1期146-152,共7页
通过多弧离子镀与磁控溅射结合工艺在20Cr13表面分别制备CrN、TiN、TiAlCrN3种PVD涂层,研究3种涂层的摩擦磨损性能。结果表明,各类涂层均能提升基材性能,其中TiAlCrN涂层试样硬度较高(67 845 N/mm~2),CrN涂层试样薄膜结合力较高(30 N)... 通过多弧离子镀与磁控溅射结合工艺在20Cr13表面分别制备CrN、TiN、TiAlCrN3种PVD涂层,研究3种涂层的摩擦磨损性能。结果表明,各类涂层均能提升基材性能,其中TiAlCrN涂层试样硬度较高(67 845 N/mm~2),CrN涂层试样薄膜结合力较高(30 N)、表面质量较优,TiN涂层试样对比另外两种涂层试样性能较差。TiAlCrN涂层试样摩擦因数较高(0.619),其硬度高、结合力好、耐磨损能力较强。在摩擦磨损试验中TiAlCrN涂层与CrN涂层表面所形成的耐磨、抛光作用的氧化膜增强了基底耐磨性能。综合考虑,TiAlCrN涂层为转子表面理想耐磨涂层。 展开更多
关键词 转子 多弧离子镀 磁控溅射 PVD涂层 摩擦磨损
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