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微结构调控对PS-PVD热障涂层抗CMAS腐蚀性能影响
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作者 冯晓龙 何箐 +1 位作者 李新慧 李建超 《表面技术》 北大核心 2026年第3期72-83,共12页
目的 改善等离子物理气相沉积(PS-PVD)工艺制备类柱状晶涂层的抗环境沉积物(CMAS)腐蚀能力。方法 采用氧化钇稳定氧化锆(8YSZ)、镱改性锆酸钆((Gd_(0.9)Yb_(0.1))_(2)Zr_(2)O_(7),GYbZ)作为陶瓷层及防护层材料。采用PS-PVD工艺,通过调... 目的 改善等离子物理气相沉积(PS-PVD)工艺制备类柱状晶涂层的抗环境沉积物(CMAS)腐蚀能力。方法 采用氧化钇稳定氧化锆(8YSZ)、镱改性锆酸钆((Gd_(0.9)Yb_(0.1))_(2)Zr_(2)O_(7),GYbZ)作为陶瓷层及防护层材料。采用PS-PVD工艺,通过调节喷涂参数实现了表面微结构由疏松类柱状晶向致密结构连续调控,获得了以液相沉积为主的致密表层。系统评价了涂层热震性能以及抗CMAS腐蚀能力,并利用扫描电子显微镜、X射线衍射等手段对涂层显微形貌、物相及元素分布进行了分析。结果 结果表明,防护层并不会导致涂层抗水淬热震性能明显下降,热震次数达110次,带有防护层样品涂层剥落处主要在防护层与陶瓷层界面处,避免了陶瓷层的整体剥落。在1 250℃、2 h腐蚀时间条件下开展的基于不同地域特征的CMAS腐蚀验证中,防护层对3种成分CMAS的渗透均起到了一定的阻碍作用,带有防护层的样品的平均渗透深度仅为无防护层样品的29.8%。结论 致密防护层对涂层准柱状晶间隙、羽毛状枝晶间隙、裂纹孔洞等开放性孔隙具有一定的封孔作用,显著阻碍了CMAS熔体在毛细管力作用下对陶瓷层的渗透,有效提升了涂层抗CMAS腐蚀能力。 展开更多
关键词 PS-pvd 热障涂层 环境沉积物 腐蚀行为 致密涂层
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PVD涂层对DD6单晶抗氧化及界面组织演变机制的影响
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作者 庄欢 祁圣英 +4 位作者 王玉锋 曹伟 杨岩 刘红斌 孙佳渭 《热加工工艺》 北大核心 2026年第1期142-148,共7页
为了满足航空发动机用DD6单晶叶片对热障涂层高温热防护的技术需求,采用多弧离子镀技术在DD6单晶基体上制备NiCoCrAlY金属粘结层,采用电子束物理气相沉积技术制备单层及双陶瓷面层,研究了涂层对DD6单晶抗氧化及界面组织演变机制的影响... 为了满足航空发动机用DD6单晶叶片对热障涂层高温热防护的技术需求,采用多弧离子镀技术在DD6单晶基体上制备NiCoCrAlY金属粘结层,采用电子束物理气相沉积技术制备单层及双陶瓷面层,研究了涂层对DD6单晶抗氧化及界面组织演变机制的影响。结果表明:在1100℃静态抗氧化条件下,DD6单晶涂覆涂层后,粘结层表面均形成了组织致密、连续的热生长氧化物(thermal growth oxide,TGO)层,涂层表现出优异的抗高温氧化性能;未涂覆涂层的DD6单晶表面形成了20~40μm的含Ni、Co、O尖晶石相非致密氧化膜,表面氧化膜存在局部剥落现象。双陶瓷涂层的TGO层厚度较单陶瓷层的TGO层厚度薄,主要原因是双陶瓷具有更低的热导率,能够缩短TGO层界面处于高温条件下的时间,从而引起TGO层生长变得更为缓慢;TGO层主要由Al_(2)O_(3)组成,内部有少量富HfO_(2)相的析出,在单陶瓷层界面处出现了少量Cr元素;而涂覆低热导率陶瓷层后,由于其具有更低的热导率,延缓了TGO层的生长,TGO层中未出现Cr元素,说明Al元素未出现贫化现象,低热导率陶瓷层的应用可进一步延长热障涂层的使用寿命,为低热导率新型热障涂层的应用提供了技术支撑。 展开更多
关键词 DD6单晶 高温氧化性能 EB-pvd NiCoCrAlY金属粘结层
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PVD镀膜设备阴极系统均匀布气结构的仿真与实验优化
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作者 蒋钊 马占吉 张延帅 《真空与低温》 2026年第2期123-128,共6页
为了解决工业化PVD镀膜刀具批量生产中因气体分布不均导致的膜层外观色差问题,论文以单管喷嘴型布气管路为研究对象,开展了阴极系统均匀布气结构的设计与实验研究。通过建立三维流体仿真模型,分析了孔距相等与孔距渐变两种布气方式对气... 为了解决工业化PVD镀膜刀具批量生产中因气体分布不均导致的膜层外观色差问题,论文以单管喷嘴型布气管路为研究对象,开展了阴极系统均匀布气结构的设计与实验研究。通过建立三维流体仿真模型,分析了孔距相等与孔距渐变两种布气方式对气体流场分布的影响,并针对孔口束流效应优化了布气结构,使气体出口向下,以增强扩散混合。仿真结果表明,采用等差数列递减的孔距布置可使不同气孔中的气体流速偏差控制在5%以内,改善了气流分布的均匀性。在LIP1400型多弧离子镀设备中进行了TiCN薄膜沉积实验,EDS成分分析显示,采用孔距渐变布气结构后,上、中、下位置刀具试件膜层中C元素含量偏差小于10%,外观颜色由原来的黄褐-玫瑰金-浅黄梯度分布改善为均匀一致的玫瑰金色。研究表明,基于流场仿真优化的渐变孔距布气结构可有效提升PVD镀膜设备轴向沉积的均匀性,方法简便,适于工业化推广。 展开更多
关键词 pvd 阴极系统 均匀布气 TiCN薄膜 有限元仿真 薄膜均匀性
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EB-PVD制备Al_(2)O_(3)防护层的组织结构演变、高温氧化及熔盐腐蚀行为
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作者 牟仁德 丁宁 +1 位作者 刘冠熙 申造宇 《表面技术》 北大核心 2026年第3期84-95,共12页
目的研究带Al_(2)O_(3)防护层的NiCoCrAlYHf涂层的氧化及腐蚀行为机制。方法MCrAlY金属涂层作为一种成熟的高温防护涂层体系,广泛应用于航空发动机涡轮叶片表面,承受高温服役环境下的氧化和腐蚀,针对MCrAlY涂层体系的材料改性可一定程... 目的研究带Al_(2)O_(3)防护层的NiCoCrAlYHf涂层的氧化及腐蚀行为机制。方法MCrAlY金属涂层作为一种成熟的高温防护涂层体系,广泛应用于航空发动机涡轮叶片表面,承受高温服役环境下的氧化和腐蚀,针对MCrAlY涂层体系的材料改性可一定程度上提升涂层的抗氧化腐蚀性能,但无法从根本上阻隔熔盐等外来物与涂层的直接接触,针对上述挑战,本研究选用热化学稳定性优异的Al_(2)O_(3)为原材料,采用EB-PVD工艺在NiCoCrAlYHf金属涂层表面制备了Al_(2)O_(3)防护层,对Al_(2)O_(3)防护层体系进行了高温氧化与熔盐腐蚀性能测试,并通过显微组织结构演变与成分变化,阐述了高温氧化及腐蚀行为机制。结果Al_(2)O_(3)涂层为单一α相结构,呈现细小柱状晶排列,形成微观间隙,NiCoCrAlYHf涂层与NiCoCrAlYHf/Al_(2)O_(3)涂层的平均氧化速率分别为0.043 mg/(cm^(2)·h)与0.041 mg/(cm^(2)·h),Al_(2)O_(3)涂层对抗氧化性能提升不显著,但Al_(2)O_(3)涂层显著提升了涂层体系的抗熔盐腐蚀能力。结论在高温氧化性能过程中,Al_(2)O_(3)防护层中的微观间隙为氧原子提供扩散路径,促使NiCoCrAlYHf涂层发生选择性氧化,形成TGO层,TGO层生长以及Al_(2)O_(3)防护层高温烧结引起的纵向开裂,加剧了氧原子向内扩散。高温熔盐腐蚀过程中,熔盐向NiCoCrAlYHf金属涂层内部渗透,与涂层中的Cr元素发生反应,破坏了涂层的内部结构,而Al_(2)O_(3)在熔盐中化学稳定性优异,防护层结构有效阻隔了熔盐向内扩散,显著提升了涂层抗熔盐腐蚀性能。 展开更多
关键词 Al_(2)O_(3) 电子束物理气相沉积 NiCoCrAlYHf 高温氧化 熔盐腐蚀
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“高强韧PVD硬质防护及功能涂层”专题序言
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作者 张世宏 常可可 《表面技术》 北大核心 2025年第1期I0006-I0006,I0005,共2页
随着航空航天、精密机械等领域的关键部件向高可靠性、高效率和高精度方向持续转变,关/重部件对长寿命化要求也日益增加。通过对关/重部件表面进行高强韧PVD硬质防护/功能化涂层处理,可以赋予其抗磨、减摩、耐蚀、耐热等性能,提升其在... 随着航空航天、精密机械等领域的关键部件向高可靠性、高效率和高精度方向持续转变,关/重部件对长寿命化要求也日益增加。通过对关/重部件表面进行高强韧PVD硬质防护/功能化涂层处理,可以赋予其抗磨、减摩、耐蚀、耐热等性能,提升其在苛刻条件下的使役性能和服役寿命,助力制造业高质量发展,为新质生产力“蓄势赋能”。 展开更多
关键词 高强韧 服役寿命 pvd 苛刻条件 功能涂层 航空航天 精密机械 制造业
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316L不锈钢离子渗氮/PVD复合改性层的组织与性能 被引量:3
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作者 曹驰 张翔 +2 位作者 陈志林 陈东升 张琢 《金属热处理》 北大核心 2025年第1期299-307,共9页
为了提高不锈钢表面硬度、耐磨性和耐蚀性能,研究了单一离子渗氮和离子渗氮/物理气相沉积(PVD)复合处理工艺对316L奥氏体不锈钢组织、硬度、摩擦磨损及耐蚀性能的影响。结果表明,经单一离子渗氮处理的试样表面形成厚度约20μm、硬度约80... 为了提高不锈钢表面硬度、耐磨性和耐蚀性能,研究了单一离子渗氮和离子渗氮/物理气相沉积(PVD)复合处理工艺对316L奥氏体不锈钢组织、硬度、摩擦磨损及耐蚀性能的影响。结果表明,经单一离子渗氮处理的试样表面形成厚度约20μm、硬度约802 HV0.05的高氮硬化层;经渗氮/PVD复合处理的试样表面形成厚度约25μm、纳米硬度约29 GPa的改性层;两种工艺均形成了γ_(N)相,渗氮/PVD复合处理的试样表面形成的非晶薄膜未对中间层物相造成影响。与基体相比,单一渗氮试样在干摩擦和腐蚀摩擦工况下的摩擦因数分别降低至0.520和0.311;经渗氮/PVD复合处理试样则降低至0.074和0.119;单一渗氮试样和渗氮/PVD复合处理试样自腐蚀电流密度由4.602䦆Wingdings 2NC@10^(-8) A/cm^(2)分别降低至4.084䦆Wingdings 2NC@10^(-8) A/cm^(2)和3.318䦆Wingdings 2NC@10^(-8) A/cm^(2),自腐蚀电位由-0.213 V分别升高至-0.195 V和-0.182 V。综合比较,渗氮/PVD复合处理可以显著提高316L奥氏体不锈钢的表面硬度、耐磨性及耐蚀性。 展开更多
关键词 316L不锈钢 离子渗氮 物理气相沉积 组织 硬度 耐磨性 耐蚀性
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模具表面采用PVD制备多层硬化膜研究的进展
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作者 毛雨姗 刘宁 刘爱军 《热处理》 2025年第2期1-6,23,共7页
随着制造业的快速发展,对模具的表面性能要求也越来越高。物理气相沉积(PVD)技术具有操作简单、成本较低等优点,能在模具表面制备硬度较高、结合力较大的多层膜。基于此,简要介绍真空蒸镀、溅射镀、离子镀等PVD技术的发展,以及氮化物膜... 随着制造业的快速发展,对模具的表面性能要求也越来越高。物理气相沉积(PVD)技术具有操作简单、成本较低等优点,能在模具表面制备硬度较高、结合力较大的多层膜。基于此,简要介绍真空蒸镀、溅射镀、离子镀等PVD技术的发展,以及氮化物膜、多元膜、多层膜等硬化膜的研究进展。 展开更多
关键词 模具 表面性能 多层膜制备 物理气相沉积(pvd)
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钼合金表面PS-PVD制备Mo-Si涂层及其性能研究
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作者 田昊阅 王珊 +3 位作者 何浩然 张云杰 王柳玉 何箐 《热喷涂技术》 2025年第4期118-125,共8页
为了探究不同PS-PVD工艺条件对MoSi_(2)涂层性能的影响,使用离心式喷雾干燥机、二流体喷雾干燥机制备了两种MoSi_(2)粉末,并采用等离子喷涂-物理气相沉积(PS-PVD)的方法在TZM钼合金表面制备不同工艺的MoSi_(2)涂层。通过扫描电子显微镜... 为了探究不同PS-PVD工艺条件对MoSi_(2)涂层性能的影响,使用离心式喷雾干燥机、二流体喷雾干燥机制备了两种MoSi_(2)粉末,并采用等离子喷涂-物理气相沉积(PS-PVD)的方法在TZM钼合金表面制备不同工艺的MoSi_(2)涂层。通过扫描电子显微镜与X射线衍射仪对涂层的截面形貌、元素分布、相组成及相对含量进行了分析,探究了工艺参数与粉末种类对涂层厚度、硬度、物相、显微组织的影响,并测试了涂层在1600℃的抗氧化性能,并对其氧化后的产物进行了表征分析。结果表明,在钼合金表面使用PS-PVD的方法制备的涂层为“致密柱状晶”结构;粒子沉积状态为气-液相混合共沉积;主要产物含有四方相MoSi_(2)(t-MoSi_(2))、四方相Mo_(5)Si_(3)(t-Mo_(5)Si_(3))、六方相MoSi_(2)(h-MoSi_(2))以及立方相Si(c-Si);原始粉末状态、喷涂距离对MoSi_(2)的沉积状态与物相组成具有较大的影响,继而造成涂层的硬度与沉积效率的变化。PS-PVD制备的Mo-Si涂层在氧化后分为四层:表层SiO_(2)层、Mo-Si-O混合层,Si渗入层、SiO_(2)反应层,涂层的氧化失效最先发生在SiO_(2)反应层。 展开更多
关键词 钼合金 PS-pvd Mo-Si涂层 抗氧化性 团聚造粒粉末
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基于状态机和规则引擎的群集式PVD设备晶圆传输算法设计
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作者 袁涛 邬远航 +1 位作者 刘港 邬啸宇 《中国集成电路》 2025年第7期83-86,91,共5页
为实现群集式PVD设备晶圆的高效传输,对设备的硬件架构和传输流程进行了抽象,基于状态机和规则引擎设计了传输调度算法,采用多线程和消息机制实现了算法模块。目前算法模块已成功应用于平面金属互连PVD设备上,运行稳定高效,能够满足大... 为实现群集式PVD设备晶圆的高效传输,对设备的硬件架构和传输流程进行了抽象,基于状态机和规则引擎设计了传输调度算法,采用多线程和消息机制实现了算法模块。目前算法模块已成功应用于平面金属互连PVD设备上,运行稳定高效,能够满足大批量生产的需要。 展开更多
关键词 群集式pvd设备 晶圆传输调度 状态机 规则引擎
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基于PVD涂层技术的螺纹刀具耐用性研究
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作者 徐扬 于东振 《中国高新科技》 2025年第17期32-34,共3页
文章围绕基于PVD涂层技术的螺纹刀具耐用性展开。通过分析PVD涂层技术与螺纹刀相关理论基础和结合机理,构建了耐用性预测模型,涵盖基于有限元分析的初始构建及多因素耦合的模型优化。实验表明,PVD涂层可显著提升螺纹刀具的耐用性,不同... 文章围绕基于PVD涂层技术的螺纹刀具耐用性展开。通过分析PVD涂层技术与螺纹刀相关理论基础和结合机理,构建了耐用性预测模型,涵盖基于有限元分析的初始构建及多因素耦合的模型优化。实验表明,PVD涂层可显著提升螺纹刀具的耐用性,不同的涂层、切削条件等对其有影响。可为刀具设计优化及切削工艺改进提供依据,满足高端制造对高精度、高耐用性加工需求。 展开更多
关键词 pvd涂层 螺纹刀具 耐用性
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Deposition patterns and mechanisms of PVD plasma erosion-resistant coatings based on boundary constraint conditions
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作者 Xiao HAN Quanzhi ZHANG Guangyu HE 《Chinese Journal of Aeronautics》 2025年第9期436-446,共11页
When immersed in sand and dust environment,aero-engine blades are exposed to harsh erosion which may lead to failure if erosion is severe.Using Physical Vapor Deposition(PVD)to prepare hard ceramic coatings can greatl... When immersed in sand and dust environment,aero-engine blades are exposed to harsh erosion which may lead to failure if erosion is severe.Using Physical Vapor Deposition(PVD)to prepare hard ceramic coatings can greatly enhance the operational capabilities of aero-engine.However,due to the“line-of-sight”processing characteristic of PVD process,uneven coating deposition rates occur when preparing coatings on obstructed areas such as blisks.Quantitative research on such phenomena is few,and it is even rarer in the study of aero-engine coatings.Based on the analyses and considerations of the geometric shape of blade surfaces and the influence of both deposition and re-sputtering effect,an ideal model is established to analyze the deposition rate variation along blocked region in complex self-shadowing boundaries.The relative deposition rates at various locations on the blade surface within the inter-blade gaps are quantitatively calculated and experimentally validated.Furthermore,differences in erosion resistance of the coatings are tested.The conclusions are drawn as follows:the geometric configuration of the obstructed shape and resputtering phenomenon significantly influence the deposition rates within the inner wall of blade gaps.Taking the structural configuration as an example,in a 25 mm×60 mm×15 mm gap,the coating thickness can vary more than 252%from the thickest to the thinnest location.The deposition rates of various locations are proportional to the solid angle of incident ion in more obstructed regions,and the re-sputtering is more prominent in open regions.Obstructive boundaries directly affect the erosion resistance at various locations within the gaps,with erosion failure time decreasing by 40%in heavily blocked region compared to open region. 展开更多
关键词 pvd Anti-erosion coating Plasma sheath Re-sputtering Obstructive boundary
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PVD技术现状及其在汽车内饰件上的应用
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作者 黄庆达 张立新 +2 位作者 郭庆铁 黄庆伟 范文博 《汽车工艺与材料》 2025年第6期46-51,共6页
物理气相沉积(PVD)技术是塑料表面金属化处理的重要手段,总结了蒸发镀、溅射镀和离子镀等PVD技术的概念和特点,阐述了蒸发镀和溅射镀的生产工艺流程及对比塑料电镀的优缺点,介绍了PVD技术在汽车内饰件上的应用情况以及相关试验验证项目... 物理气相沉积(PVD)技术是塑料表面金属化处理的重要手段,总结了蒸发镀、溅射镀和离子镀等PVD技术的概念和特点,阐述了蒸发镀和溅射镀的生产工艺流程及对比塑料电镀的优缺点,介绍了PVD技术在汽车内饰件上的应用情况以及相关试验验证项目,并对PVD的发展趋势进行了总结与展望。 展开更多
关键词 pvd 蒸发镀 溅射镀 汽车内饰
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PS-PVD YSZ/GZO复合涂层制备工艺优化 被引量:1
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作者 李新慧 何箐 +3 位作者 王世兴 由晓明 邹晗 赵乾 《中国表面工程》 北大核心 2025年第4期266-279,共14页
目前等离子物理气相沉积(PS-PVD)技术为制备高隔热、长寿命柱状结构热障涂层提供了巨大潜力,但PS-PVD工艺参数较多、工艺复杂,且各参数之间存在交互作用,导致涂层微结构及性能存在明显差异。为探究PS-PVD工艺参数对涂层微结构及性能影... 目前等离子物理气相沉积(PS-PVD)技术为制备高隔热、长寿命柱状结构热障涂层提供了巨大潜力,但PS-PVD工艺参数较多、工艺复杂,且各参数之间存在交互作用,导致涂层微结构及性能存在明显差异。为探究PS-PVD工艺参数对涂层微结构及性能影响的交互作用规律,采用田口试验方法(Taguchi method),以喷涂电流、喷涂步进和送粉速率等工艺参数为影响因子,以涂层微结构特征、燃气热冲击寿命等为响应值,分析各响应值均值的主效应图、方差以及交互作用。研究结果表明,在其他参数一定的情况下,对YSZ/GZO涂层寿命影响的显著性依次是喷涂步进>喷涂电流>送粉速率,这种情况下优选的工艺参数依次为喷涂步进200 mm,喷涂电流2200 A,送粉速率10 g/min,1350℃燃气热冲击寿命可达3062次。通过田口试验方法系统研究各工艺参数之间的交互作用以及对涂层微结构和燃气热冲击寿命的影响规律,有效提高试验数据的准确性、可靠性,降低研发成本及试验周期,制备出高性能、长寿命PS-PVD YSZ/GZO复合涂层,掌握了该复合涂层微结构调控及可控制备方法。 展开更多
关键词 等离子物理气相沉积 热障涂层 田口试验 热冲击寿命 交互作用
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国内PVD技术应用与研究现状 被引量:11
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作者 梁红樱 赵海波 +2 位作者 王辉 张欣苑 李祝 《工具技术》 北大核心 2007年第6期33-36,共4页
在总结目前国内商业应用刀具PVD技术的发展状况的基础上,介绍了国内纳米超硬薄膜的研究现状及特点;分析了国内当前PVD技术应用与研究所存在的问题,提出了研究、开发的新思路。
关键词 pvd 超硬薄膜 纳米 制备技术
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EB-PVD热障涂层对IC10合金力学性能的影响 被引量:11
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作者 吴小梅 贺世美 +1 位作者 李建平 何利民 《航空材料学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期77-80,共4页
采用电弧离子镀技术在IC10合金基体上制备NiCrAlYSi粘结层,利用电子束物理气相沉积(EB-PVD)技术在粘结层上制备YSZ陶瓷面层。研究了YSZ热障涂层对IC10合金拉伸、持久、疲劳性能的影响。结果表明:IC10合金沉积YSZ热障涂层后,980℃/200MP... 采用电弧离子镀技术在IC10合金基体上制备NiCrAlYSi粘结层,利用电子束物理气相沉积(EB-PVD)技术在粘结层上制备YSZ陶瓷面层。研究了YSZ热障涂层对IC10合金拉伸、持久、疲劳性能的影响。结果表明:IC10合金沉积YSZ热障涂层后,980℃/200MPa高温持久寿命与IC10合金相当;900℃高温抗拉强度σb、屈服强度σ0.2、伸长率δ和断面收缩率ψ与基体相比,基本保持不变;室温抗拉强度σb、屈服强度σ0.2与基体相比稍有下降;800℃/447MPa疲劳寿命与基体合金相当。因此,IC10合金沉积TBCs涂层后,对IC10合金力学性能无明显影响,不影响合金的实际使用。 展开更多
关键词 IC10合金 EB—pvd热障涂层 力学性能
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PVD陶瓷覆膜工艺对控压节流阀耐冲蚀性能影响研究 被引量:6
16
作者 王国荣 朱颢 +1 位作者 楚飞 陶思宇 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2015年第2期145-149,共5页
采用PVD陶瓷覆膜工艺对控压钻井节流阀阀芯表面处理,通过实验对比研究不同表面覆膜处理的阀芯耐冲蚀性能。结果表明,经过冲蚀后,Ti Al N涂层材料阀芯的质量损失约为Ti N涂层材料的1/3,Ti Al N涂层材料阀芯冲蚀最严重处表面轮廓损失约为T... 采用PVD陶瓷覆膜工艺对控压钻井节流阀阀芯表面处理,通过实验对比研究不同表面覆膜处理的阀芯耐冲蚀性能。结果表明,经过冲蚀后,Ti Al N涂层材料阀芯的质量损失约为Ti N涂层材料的1/3,Ti Al N涂层材料阀芯冲蚀最严重处表面轮廓损失约为Ti N涂层材料的1/2,Ti Al N涂层材料在提升控压钻井节流阀耐冲蚀性能和使用可靠性上较Ti N涂层材料优越。 展开更多
关键词 控压钻井 节流阀 pvd 冲蚀
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摩擦力—划痕法评定PVD多层薄膜结合强度研究 被引量:4
17
作者 朱有利 黄元林 +1 位作者 石宗利 李重庵 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第11期984-986,共3页
采用摩擦力 -划痕法评定了 PVD Ag- Cu/Ti/stainless!steel双层薄膜的结合强度 ,测得其顶层与底层及底层与基体间的临界荷载值分别为 LC1、LC2 ,其中 LC1随膜厚的增加而减小 ,LC2 随膜厚的增加变化不大 ,且和Ti单层膜的 LC值相近。这与... 采用摩擦力 -划痕法评定了 PVD Ag- Cu/Ti/stainless!steel双层薄膜的结合强度 ,测得其顶层与底层及底层与基体间的临界荷载值分别为 LC1、LC2 ,其中 LC1随膜厚的增加而减小 ,LC2 随膜厚的增加变化不大 ,且和Ti单层膜的 LC值相近。这与膜厚及膜内应力变化有关。实验结果表明 ,采用摩擦力 -划痕法评定多层薄膜结合强度有其独特的优点。可以确定多层膜中不同膜层的 LCi值 ,并以此来表征各层或某些层的结合强度值。 展开更多
关键词 摩擦力-划痕法 pvd 多层薄膜 综合强度
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低温PVD法制备多组分超硬薄膜研究 被引量:7
18
作者 彭志坚 齐龙浩 +2 位作者 刘大鹏 李文治 苗赫濯 《材料科学与工程》 CSCD 北大核心 2003年第1期110-116,共7页
对薄膜淀积的各种PVD技术和新型薄膜研究进展进行了综述 ,讨论了多组分硬质薄膜低温制备存在的问题 ,指出了解决的办法 ;归纳了影响多组分硬质薄膜在三维基体上均匀、均质淀积的因素 ,重点讨论了基体旋转与靶源配置问题 ;指出了用低温PV... 对薄膜淀积的各种PVD技术和新型薄膜研究进展进行了综述 ,讨论了多组分硬质薄膜低温制备存在的问题 ,指出了解决的办法 ;归纳了影响多组分硬质薄膜在三维基体上均匀、均质淀积的因素 ,重点讨论了基体旋转与靶源配置问题 ;指出了用低温PVD法淀积多组分超硬薄膜研究方向。 展开更多
关键词 低温pvd 制备 多组分超硬薄膜 物理气相沉积
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PVD法及与电镀复合制备光纤腐蚀传感器的Fe-C合金敏感膜 被引量:7
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作者 雒娅楠 邱志刚 +3 位作者 宋诗哲 董飒英 王洪仁 于辉 《化工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第6期947-951,共5页
用PVD法制备光纤腐蚀传感器 (FOCS)的Fe C合金敏感膜 ,在光纤纤芯上得到厚度大约 1 μm的Fe C合金膜 ,而且光信号对敏感膜的腐蚀信息有响应 .为了增加敏感膜的厚度 ,根据平面波导与圆柱波导的相似性 ,采用PVD与电镀复合的方法在平板石... 用PVD法制备光纤腐蚀传感器 (FOCS)的Fe C合金敏感膜 ,在光纤纤芯上得到厚度大约 1 μm的Fe C合金膜 ,而且光信号对敏感膜的腐蚀信息有响应 .为了增加敏感膜的厚度 ,根据平面波导与圆柱波导的相似性 ,采用PVD与电镀复合的方法在平板石英玻璃上制备Fe C合金膜 ,研究该膜层的形貌、结构和在不同NaCl溶液中的耐蚀性 .结果表明 :复合制备的Fe C合金膜的结构和耐蚀性与普通碳钢近似 ,并初步监测了光信号对敏感膜腐蚀信息的响应 。 展开更多
关键词 pvd 光纤腐蚀传感器(FOCS) 电镀 FE-C合金
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Kinetic Monte Carlo模拟PVD薄膜生长的算法研究 被引量:3
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作者 赫晓东 单英春 +1 位作者 李明伟 史丽萍 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第10期1542-1544,共3页
提出kinetic Monte Carlo模拟物理气相沉积(physical vapor deposition,简写为PVD)薄膜生长的新算法:用红黑树搜索实现跃迁路径选择及系统跃迁概率更新,通过比较红黑树搜索、线性查找、满二元树搜索的计算效率,综合分析了这3种方法的时... 提出kinetic Monte Carlo模拟物理气相沉积(physical vapor deposition,简写为PVD)薄膜生长的新算法:用红黑树搜索实现跃迁路径选择及系统跃迁概率更新,通过比较红黑树搜索、线性查找、满二元树搜索的计算效率,综合分析了这3种方法的时间复杂度和空间复杂度。结果表明红黑树搜索优于其它两种搜索方法,模拟效率最高,更适合用于执行大系统的kinetic Monte Carlo模拟。 展开更多
关键词 KINETIC MONTE Carlo 红黑树 pvd 薄膜
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