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“高强韧PVD硬质防护及功能涂层”专题序言
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作者 张世宏 常可可 《表面技术》 北大核心 2025年第1期I0006-I0006,I0005,共2页
随着航空航天、精密机械等领域的关键部件向高可靠性、高效率和高精度方向持续转变,关/重部件对长寿命化要求也日益增加。通过对关/重部件表面进行高强韧PVD硬质防护/功能化涂层处理,可以赋予其抗磨、减摩、耐蚀、耐热等性能,提升其在... 随着航空航天、精密机械等领域的关键部件向高可靠性、高效率和高精度方向持续转变,关/重部件对长寿命化要求也日益增加。通过对关/重部件表面进行高强韧PVD硬质防护/功能化涂层处理,可以赋予其抗磨、减摩、耐蚀、耐热等性能,提升其在苛刻条件下的使役性能和服役寿命,助力制造业高质量发展,为新质生产力“蓄势赋能”。 展开更多
关键词 高强韧 服役寿命 pvd 苛刻条件 功能涂层 航空航天 精密机械 制造业
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316L不锈钢离子渗氮/PVD复合改性层的组织与性能 被引量:1
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作者 曹驰 张翔 +2 位作者 陈志林 陈东升 张琢 《金属热处理》 北大核心 2025年第1期299-307,共9页
为了提高不锈钢表面硬度、耐磨性和耐蚀性能,研究了单一离子渗氮和离子渗氮/物理气相沉积(PVD)复合处理工艺对316L奥氏体不锈钢组织、硬度、摩擦磨损及耐蚀性能的影响。结果表明,经单一离子渗氮处理的试样表面形成厚度约20μm、硬度约80... 为了提高不锈钢表面硬度、耐磨性和耐蚀性能,研究了单一离子渗氮和离子渗氮/物理气相沉积(PVD)复合处理工艺对316L奥氏体不锈钢组织、硬度、摩擦磨损及耐蚀性能的影响。结果表明,经单一离子渗氮处理的试样表面形成厚度约20μm、硬度约802 HV0.05的高氮硬化层;经渗氮/PVD复合处理的试样表面形成厚度约25μm、纳米硬度约29 GPa的改性层;两种工艺均形成了γ_(N)相,渗氮/PVD复合处理的试样表面形成的非晶薄膜未对中间层物相造成影响。与基体相比,单一渗氮试样在干摩擦和腐蚀摩擦工况下的摩擦因数分别降低至0.520和0.311;经渗氮/PVD复合处理试样则降低至0.074和0.119;单一渗氮试样和渗氮/PVD复合处理试样自腐蚀电流密度由4.602䦆Wingdings 2NC@10^(-8) A/cm^(2)分别降低至4.084䦆Wingdings 2NC@10^(-8) A/cm^(2)和3.318䦆Wingdings 2NC@10^(-8) A/cm^(2),自腐蚀电位由-0.213 V分别升高至-0.195 V和-0.182 V。综合比较,渗氮/PVD复合处理可以显著提高316L奥氏体不锈钢的表面硬度、耐磨性及耐蚀性。 展开更多
关键词 316L不锈钢 离子渗氮 物理气相沉积 组织 硬度 耐磨性 耐蚀性
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模具表面采用PVD制备多层硬化膜研究的进展
3
作者 毛雨姗 刘宁 刘爱军 《热处理》 2025年第2期1-6,23,共7页
随着制造业的快速发展,对模具的表面性能要求也越来越高。物理气相沉积(PVD)技术具有操作简单、成本较低等优点,能在模具表面制备硬度较高、结合力较大的多层膜。基于此,简要介绍真空蒸镀、溅射镀、离子镀等PVD技术的发展,以及氮化物膜... 随着制造业的快速发展,对模具的表面性能要求也越来越高。物理气相沉积(PVD)技术具有操作简单、成本较低等优点,能在模具表面制备硬度较高、结合力较大的多层膜。基于此,简要介绍真空蒸镀、溅射镀、离子镀等PVD技术的发展,以及氮化物膜、多元膜、多层膜等硬化膜的研究进展。 展开更多
关键词 模具 表面性能 多层膜制备 物理气相沉积(pvd)
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基于状态机和规则引擎的群集式PVD设备晶圆传输算法设计
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作者 袁涛 邬远航 +1 位作者 刘港 邬啸宇 《中国集成电路》 2025年第7期83-86,91,共5页
为实现群集式PVD设备晶圆的高效传输,对设备的硬件架构和传输流程进行了抽象,基于状态机和规则引擎设计了传输调度算法,采用多线程和消息机制实现了算法模块。目前算法模块已成功应用于平面金属互连PVD设备上,运行稳定高效,能够满足大... 为实现群集式PVD设备晶圆的高效传输,对设备的硬件架构和传输流程进行了抽象,基于状态机和规则引擎设计了传输调度算法,采用多线程和消息机制实现了算法模块。目前算法模块已成功应用于平面金属互连PVD设备上,运行稳定高效,能够满足大批量生产的需要。 展开更多
关键词 群集式pvd设备 晶圆传输调度 状态机 规则引擎
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基于PVD涂层技术的螺纹刀具耐用性研究
5
作者 徐扬 于东振 《中国高新科技》 2025年第17期32-34,共3页
文章围绕基于PVD涂层技术的螺纹刀具耐用性展开。通过分析PVD涂层技术与螺纹刀相关理论基础和结合机理,构建了耐用性预测模型,涵盖基于有限元分析的初始构建及多因素耦合的模型优化。实验表明,PVD涂层可显著提升螺纹刀具的耐用性,不同... 文章围绕基于PVD涂层技术的螺纹刀具耐用性展开。通过分析PVD涂层技术与螺纹刀相关理论基础和结合机理,构建了耐用性预测模型,涵盖基于有限元分析的初始构建及多因素耦合的模型优化。实验表明,PVD涂层可显著提升螺纹刀具的耐用性,不同的涂层、切削条件等对其有影响。可为刀具设计优化及切削工艺改进提供依据,满足高端制造对高精度、高耐用性加工需求。 展开更多
关键词 pvd涂层 螺纹刀具 耐用性
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Deposition patterns and mechanisms of PVD plasma erosion-resistant coatings based on boundary constraint conditions
6
作者 Xiao HAN Quanzhi ZHANG Guangyu HE 《Chinese Journal of Aeronautics》 2025年第9期436-446,共11页
When immersed in sand and dust environment,aero-engine blades are exposed to harsh erosion which may lead to failure if erosion is severe.Using Physical Vapor Deposition(PVD)to prepare hard ceramic coatings can greatl... When immersed in sand and dust environment,aero-engine blades are exposed to harsh erosion which may lead to failure if erosion is severe.Using Physical Vapor Deposition(PVD)to prepare hard ceramic coatings can greatly enhance the operational capabilities of aero-engine.However,due to the“line-of-sight”processing characteristic of PVD process,uneven coating deposition rates occur when preparing coatings on obstructed areas such as blisks.Quantitative research on such phenomena is few,and it is even rarer in the study of aero-engine coatings.Based on the analyses and considerations of the geometric shape of blade surfaces and the influence of both deposition and re-sputtering effect,an ideal model is established to analyze the deposition rate variation along blocked region in complex self-shadowing boundaries.The relative deposition rates at various locations on the blade surface within the inter-blade gaps are quantitatively calculated and experimentally validated.Furthermore,differences in erosion resistance of the coatings are tested.The conclusions are drawn as follows:the geometric configuration of the obstructed shape and resputtering phenomenon significantly influence the deposition rates within the inner wall of blade gaps.Taking the structural configuration as an example,in a 25 mm×60 mm×15 mm gap,the coating thickness can vary more than 252%from the thickest to the thinnest location.The deposition rates of various locations are proportional to the solid angle of incident ion in more obstructed regions,and the re-sputtering is more prominent in open regions.Obstructive boundaries directly affect the erosion resistance at various locations within the gaps,with erosion failure time decreasing by 40%in heavily blocked region compared to open region. 展开更多
关键词 pvd Anti-erosion coating Plasma sheath Re-sputtering Obstructive boundary
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PVD技术现状及其在汽车内饰件上的应用
7
作者 黄庆达 张立新 +2 位作者 郭庆铁 黄庆伟 范文博 《汽车工艺与材料》 2025年第6期46-51,共6页
物理气相沉积(PVD)技术是塑料表面金属化处理的重要手段,总结了蒸发镀、溅射镀和离子镀等PVD技术的概念和特点,阐述了蒸发镀和溅射镀的生产工艺流程及对比塑料电镀的优缺点,介绍了PVD技术在汽车内饰件上的应用情况以及相关试验验证项目... 物理气相沉积(PVD)技术是塑料表面金属化处理的重要手段,总结了蒸发镀、溅射镀和离子镀等PVD技术的概念和特点,阐述了蒸发镀和溅射镀的生产工艺流程及对比塑料电镀的优缺点,介绍了PVD技术在汽车内饰件上的应用情况以及相关试验验证项目,并对PVD的发展趋势进行了总结与展望。 展开更多
关键词 pvd 蒸发镀 溅射镀 汽车内饰
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PS-PVD YSZ/GZO复合涂层制备工艺优化
8
作者 李新慧 何箐 +3 位作者 王世兴 由晓明 邹晗 赵乾 《中国表面工程》 北大核心 2025年第4期266-279,共14页
目前等离子物理气相沉积(PS-PVD)技术为制备高隔热、长寿命柱状结构热障涂层提供了巨大潜力,但PS-PVD工艺参数较多、工艺复杂,且各参数之间存在交互作用,导致涂层微结构及性能存在明显差异。为探究PS-PVD工艺参数对涂层微结构及性能影... 目前等离子物理气相沉积(PS-PVD)技术为制备高隔热、长寿命柱状结构热障涂层提供了巨大潜力,但PS-PVD工艺参数较多、工艺复杂,且各参数之间存在交互作用,导致涂层微结构及性能存在明显差异。为探究PS-PVD工艺参数对涂层微结构及性能影响的交互作用规律,采用田口试验方法(Taguchi method),以喷涂电流、喷涂步进和送粉速率等工艺参数为影响因子,以涂层微结构特征、燃气热冲击寿命等为响应值,分析各响应值均值的主效应图、方差以及交互作用。研究结果表明,在其他参数一定的情况下,对YSZ/GZO涂层寿命影响的显著性依次是喷涂步进>喷涂电流>送粉速率,这种情况下优选的工艺参数依次为喷涂步进200 mm,喷涂电流2200 A,送粉速率10 g/min,1350℃燃气热冲击寿命可达3062次。通过田口试验方法系统研究各工艺参数之间的交互作用以及对涂层微结构和燃气热冲击寿命的影响规律,有效提高试验数据的准确性、可靠性,降低研发成本及试验周期,制备出高性能、长寿命PS-PVD YSZ/GZO复合涂层,掌握了该复合涂层微结构调控及可控制备方法。 展开更多
关键词 等离子物理气相沉积 热障涂层 田口试验 热冲击寿命 交互作用
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国内PVD技术应用与研究现状 被引量:11
9
作者 梁红樱 赵海波 +2 位作者 王辉 张欣苑 李祝 《工具技术》 北大核心 2007年第6期33-36,共4页
在总结目前国内商业应用刀具PVD技术的发展状况的基础上,介绍了国内纳米超硬薄膜的研究现状及特点;分析了国内当前PVD技术应用与研究所存在的问题,提出了研究、开发的新思路。
关键词 pvd 超硬薄膜 纳米 制备技术
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EB-PVD热障涂层对IC10合金力学性能的影响 被引量:11
10
作者 吴小梅 贺世美 +1 位作者 李建平 何利民 《航空材料学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期77-80,共4页
采用电弧离子镀技术在IC10合金基体上制备NiCrAlYSi粘结层,利用电子束物理气相沉积(EB-PVD)技术在粘结层上制备YSZ陶瓷面层。研究了YSZ热障涂层对IC10合金拉伸、持久、疲劳性能的影响。结果表明:IC10合金沉积YSZ热障涂层后,980℃/200MP... 采用电弧离子镀技术在IC10合金基体上制备NiCrAlYSi粘结层,利用电子束物理气相沉积(EB-PVD)技术在粘结层上制备YSZ陶瓷面层。研究了YSZ热障涂层对IC10合金拉伸、持久、疲劳性能的影响。结果表明:IC10合金沉积YSZ热障涂层后,980℃/200MPa高温持久寿命与IC10合金相当;900℃高温抗拉强度σb、屈服强度σ0.2、伸长率δ和断面收缩率ψ与基体相比,基本保持不变;室温抗拉强度σb、屈服强度σ0.2与基体相比稍有下降;800℃/447MPa疲劳寿命与基体合金相当。因此,IC10合金沉积TBCs涂层后,对IC10合金力学性能无明显影响,不影响合金的实际使用。 展开更多
关键词 IC10合金 EB—pvd热障涂层 力学性能
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PVD陶瓷覆膜工艺对控压节流阀耐冲蚀性能影响研究 被引量:6
11
作者 王国荣 朱颢 +1 位作者 楚飞 陶思宇 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2015年第2期145-149,共5页
采用PVD陶瓷覆膜工艺对控压钻井节流阀阀芯表面处理,通过实验对比研究不同表面覆膜处理的阀芯耐冲蚀性能。结果表明,经过冲蚀后,Ti Al N涂层材料阀芯的质量损失约为Ti N涂层材料的1/3,Ti Al N涂层材料阀芯冲蚀最严重处表面轮廓损失约为T... 采用PVD陶瓷覆膜工艺对控压钻井节流阀阀芯表面处理,通过实验对比研究不同表面覆膜处理的阀芯耐冲蚀性能。结果表明,经过冲蚀后,Ti Al N涂层材料阀芯的质量损失约为Ti N涂层材料的1/3,Ti Al N涂层材料阀芯冲蚀最严重处表面轮廓损失约为Ti N涂层材料的1/2,Ti Al N涂层材料在提升控压钻井节流阀耐冲蚀性能和使用可靠性上较Ti N涂层材料优越。 展开更多
关键词 控压钻井 节流阀 pvd 冲蚀
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摩擦力—划痕法评定PVD多层薄膜结合强度研究 被引量:4
12
作者 朱有利 黄元林 +1 位作者 石宗利 李重庵 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第11期984-986,共3页
采用摩擦力 -划痕法评定了 PVD Ag- Cu/Ti/stainless!steel双层薄膜的结合强度 ,测得其顶层与底层及底层与基体间的临界荷载值分别为 LC1、LC2 ,其中 LC1随膜厚的增加而减小 ,LC2 随膜厚的增加变化不大 ,且和Ti单层膜的 LC值相近。这与... 采用摩擦力 -划痕法评定了 PVD Ag- Cu/Ti/stainless!steel双层薄膜的结合强度 ,测得其顶层与底层及底层与基体间的临界荷载值分别为 LC1、LC2 ,其中 LC1随膜厚的增加而减小 ,LC2 随膜厚的增加变化不大 ,且和Ti单层膜的 LC值相近。这与膜厚及膜内应力变化有关。实验结果表明 ,采用摩擦力 -划痕法评定多层薄膜结合强度有其独特的优点。可以确定多层膜中不同膜层的 LCi值 ,并以此来表征各层或某些层的结合强度值。 展开更多
关键词 摩擦力-划痕法 pvd 多层薄膜 综合强度
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低温PVD法制备多组分超硬薄膜研究 被引量:7
13
作者 彭志坚 齐龙浩 +2 位作者 刘大鹏 李文治 苗赫濯 《材料科学与工程》 CSCD 北大核心 2003年第1期110-116,共7页
对薄膜淀积的各种PVD技术和新型薄膜研究进展进行了综述 ,讨论了多组分硬质薄膜低温制备存在的问题 ,指出了解决的办法 ;归纳了影响多组分硬质薄膜在三维基体上均匀、均质淀积的因素 ,重点讨论了基体旋转与靶源配置问题 ;指出了用低温PV... 对薄膜淀积的各种PVD技术和新型薄膜研究进展进行了综述 ,讨论了多组分硬质薄膜低温制备存在的问题 ,指出了解决的办法 ;归纳了影响多组分硬质薄膜在三维基体上均匀、均质淀积的因素 ,重点讨论了基体旋转与靶源配置问题 ;指出了用低温PVD法淀积多组分超硬薄膜研究方向。 展开更多
关键词 低温pvd 制备 多组分超硬薄膜 物理气相沉积
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PVD法及与电镀复合制备光纤腐蚀传感器的Fe-C合金敏感膜 被引量:7
14
作者 雒娅楠 邱志刚 +3 位作者 宋诗哲 董飒英 王洪仁 于辉 《化工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第6期947-951,共5页
用PVD法制备光纤腐蚀传感器 (FOCS)的Fe C合金敏感膜 ,在光纤纤芯上得到厚度大约 1 μm的Fe C合金膜 ,而且光信号对敏感膜的腐蚀信息有响应 .为了增加敏感膜的厚度 ,根据平面波导与圆柱波导的相似性 ,采用PVD与电镀复合的方法在平板石... 用PVD法制备光纤腐蚀传感器 (FOCS)的Fe C合金敏感膜 ,在光纤纤芯上得到厚度大约 1 μm的Fe C合金膜 ,而且光信号对敏感膜的腐蚀信息有响应 .为了增加敏感膜的厚度 ,根据平面波导与圆柱波导的相似性 ,采用PVD与电镀复合的方法在平板石英玻璃上制备Fe C合金膜 ,研究该膜层的形貌、结构和在不同NaCl溶液中的耐蚀性 .结果表明 :复合制备的Fe C合金膜的结构和耐蚀性与普通碳钢近似 ,并初步监测了光信号对敏感膜腐蚀信息的响应 。 展开更多
关键词 pvd 光纤腐蚀传感器(FOCS) 电镀 FE-C合金
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Kinetic Monte Carlo模拟PVD薄膜生长的算法研究 被引量:3
15
作者 赫晓东 单英春 +1 位作者 李明伟 史丽萍 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第10期1542-1544,共3页
提出kinetic Monte Carlo模拟物理气相沉积(physical vapor deposition,简写为PVD)薄膜生长的新算法:用红黑树搜索实现跃迁路径选择及系统跃迁概率更新,通过比较红黑树搜索、线性查找、满二元树搜索的计算效率,综合分析了这3种方法的时... 提出kinetic Monte Carlo模拟物理气相沉积(physical vapor deposition,简写为PVD)薄膜生长的新算法:用红黑树搜索实现跃迁路径选择及系统跃迁概率更新,通过比较红黑树搜索、线性查找、满二元树搜索的计算效率,综合分析了这3种方法的时间复杂度和空间复杂度。结果表明红黑树搜索优于其它两种搜索方法,模拟效率最高,更适合用于执行大系统的kinetic Monte Carlo模拟。 展开更多
关键词 KINETIC MONTE Carlo 红黑树 pvd 薄膜
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PVD-TiAlN和PVD-TiAlSiN涂层氮化硅刀具的切削性能研究 被引量:9
16
作者 曾俊杰 龙莹 伍尚华 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第9期2450-2455,共6页
采用物理气相沉积(Physical vapor deposition,PVD)工艺在氮化硅陶瓷刀具表面分别沉积Ti Al N和Ti Al Si N涂层。采用扫描电子显微镜(SEM)研究Ti Al N和Ti Al Si N涂层表面形貌和微观结构,X射线衍射仪(XRD)研究涂层晶体结构,显微硬度计... 采用物理气相沉积(Physical vapor deposition,PVD)工艺在氮化硅陶瓷刀具表面分别沉积Ti Al N和Ti Al Si N涂层。采用扫描电子显微镜(SEM)研究Ti Al N和Ti Al Si N涂层表面形貌和微观结构,X射线衍射仪(XRD)研究涂层晶体结构,显微硬度计表征涂层硬度。采用Ti Al N和Ti Al Si N涂层氮化硅刀具对灰铸铁进行连续干切削试验,分别研究Ti Al N和Ti Al Si N涂层对刀具寿命、磨损性能的影响,并探讨涂层刀具磨损机理。实验结果表明:Ti Al Si N涂层晶粒比Ti Al N涂层细小,从而具有更高的表面硬度。Ti Al N涂层可将氮化硅陶瓷刀具寿命提高50%左右,Ti Al Si N涂层可将刀具寿命提高1倍。切削过程中,Ti Al N涂层刀具在磨损初期的主要磨损机理是磨粒磨损和少量粘结磨损,而后转为严重的粘结磨损;而Ti Al Si N涂层刀具主要的磨损机制为磨粒磨损和粘结磨损。 展开更多
关键词 pvd涂层 氮化硅刀具 切削性能
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刀具 PVD 涂层技术的发展 被引量:5
17
作者 李忠厚 刘小平 徐重 《工具技术》 北大核心 1999年第2期3-6,共4页
介绍了刀具PVD涂层技术和材料的发展现状及趋势,指出在进一步开发新型超硬涂层的同时,具有良好应用前景的软涂层已成为研究开发的另一热点。
关键词 刀具 pvd 涂层 超硬材料 软涂层 发展趋势 化学气相沉积 硬质合金
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普通碳钢的一种PVD镀膜及其耐蚀性研究 被引量:2
18
作者 王煦 许露之 +2 位作者 张明 韦进勇 周丽娜 《西南石油大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2011年第6期143-146,213-214,共4页
为了提高水力喷射压裂中喷嘴的耐蚀耐磨性,使用普通碳钢进行PVD镀膜,研究了3种镀膜试样的表面物理性能和脉冲负偏压的影响,采用失重法、电化学法和XRD等测试了PVD镀膜的耐蚀性。结果表明:脉冲负偏压在–400~–700 V,镀层的沉积速率和... 为了提高水力喷射压裂中喷嘴的耐蚀耐磨性,使用普通碳钢进行PVD镀膜,研究了3种镀膜试样的表面物理性能和脉冲负偏压的影响,采用失重法、电化学法和XRD等测试了PVD镀膜的耐蚀性。结果表明:脉冲负偏压在–400~–700 V,镀层的沉积速率和显微硬度随负偏压的增大而降低,膜基结合力先增加后减小;在高流速下,3种试样均表现出良好的耐磨蚀性,模拟地层水流速为6 m/s时,碳钢的磨蚀速率是镀膜试样的4倍;单因素条件下,3种镀膜的腐蚀速率随Cl浓度增加先增加后减小,随pH值增加而减小;3种镀膜中AlCrN(厚)镀膜的耐蚀性最佳,这与镀膜的致密性和牺牲阳极保护作用有关。 展开更多
关键词 碳钢 pvd 镀膜 地层水 腐蚀
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PVD涂层工业化应用及发展现状 被引量:5
19
作者 柳琪 王进 +2 位作者 王小连 周鹏 孙树峰 《铸造技术》 CAS 2018年第2期440-444,共5页
结合PVD涂层技术的特点和发展现状,简述了各种表面处理方法的工作原理及其在PVD涂层工业制备过程中的应用。PVD涂层工业制备过程中涉及的表面处理方法主要包括:超声清洗、去毛刺、喷砂、钝化、抛光、脱气及退涂等。结合各种表面处理方... 结合PVD涂层技术的特点和发展现状,简述了各种表面处理方法的工作原理及其在PVD涂层工业制备过程中的应用。PVD涂层工业制备过程中涉及的表面处理方法主要包括:超声清洗、去毛刺、喷砂、钝化、抛光、脱气及退涂等。结合各种表面处理方法的特点及使用效果,对不同工作条件的待镀产品制定相对应的前、后处理工艺,确保涂层产品质量,大幅提升其工作寿命。 展开更多
关键词 pvd涂层 表面处理 工业制备 工作寿命
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模具PVD涂层值得关注的几个问题 被引量:8
20
作者 张而耕 孔令超 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第4期110-112,共3页
PVD涂层近年来在模具行业的应用越来越多,涂层时必须考虑使用条件、模具材料、热处理工艺等因素。根据多年涂层行业的工作经验,认为保证模具涂层后基体仍具有高的硬度至关重要,归纳了拉伸模具、剪切模具、铝合金压铸模具和汽车冷镦模具... PVD涂层近年来在模具行业的应用越来越多,涂层时必须考虑使用条件、模具材料、热处理工艺等因素。根据多年涂层行业的工作经验,认为保证模具涂层后基体仍具有高的硬度至关重要,归纳了拉伸模具、剪切模具、铝合金压铸模具和汽车冷镦模具等涂层时应该注意的关键技术问题。 展开更多
关键词 pvd涂层 模具 表面处理 表面强化 热处理
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