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“高强韧PVD硬质防护及功能涂层”专题序言
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作者 张世宏 常可可 《表面技术》 北大核心 2025年第1期I0006-I0006,I0005,共2页
随着航空航天、精密机械等领域的关键部件向高可靠性、高效率和高精度方向持续转变,关/重部件对长寿命化要求也日益增加。通过对关/重部件表面进行高强韧PVD硬质防护/功能化涂层处理,可以赋予其抗磨、减摩、耐蚀、耐热等性能,提升其在... 随着航空航天、精密机械等领域的关键部件向高可靠性、高效率和高精度方向持续转变,关/重部件对长寿命化要求也日益增加。通过对关/重部件表面进行高强韧PVD硬质防护/功能化涂层处理,可以赋予其抗磨、减摩、耐蚀、耐热等性能,提升其在苛刻条件下的使役性能和服役寿命,助力制造业高质量发展,为新质生产力“蓄势赋能”。 展开更多
关键词 高强韧 服役寿命 pvd 苛刻条件 功能涂层 航空航天 精密机械 制造业
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316L不锈钢离子渗氮/PVD复合改性层的组织与性能 被引量:1
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作者 曹驰 张翔 +2 位作者 陈志林 陈东升 张琢 《金属热处理》 北大核心 2025年第1期299-307,共9页
为了提高不锈钢表面硬度、耐磨性和耐蚀性能,研究了单一离子渗氮和离子渗氮/物理气相沉积(PVD)复合处理工艺对316L奥氏体不锈钢组织、硬度、摩擦磨损及耐蚀性能的影响。结果表明,经单一离子渗氮处理的试样表面形成厚度约20μm、硬度约80... 为了提高不锈钢表面硬度、耐磨性和耐蚀性能,研究了单一离子渗氮和离子渗氮/物理气相沉积(PVD)复合处理工艺对316L奥氏体不锈钢组织、硬度、摩擦磨损及耐蚀性能的影响。结果表明,经单一离子渗氮处理的试样表面形成厚度约20μm、硬度约802 HV0.05的高氮硬化层;经渗氮/PVD复合处理的试样表面形成厚度约25μm、纳米硬度约29 GPa的改性层;两种工艺均形成了γ_(N)相,渗氮/PVD复合处理的试样表面形成的非晶薄膜未对中间层物相造成影响。与基体相比,单一渗氮试样在干摩擦和腐蚀摩擦工况下的摩擦因数分别降低至0.520和0.311;经渗氮/PVD复合处理试样则降低至0.074和0.119;单一渗氮试样和渗氮/PVD复合处理试样自腐蚀电流密度由4.602䦆Wingdings 2NC@10^(-8) A/cm^(2)分别降低至4.084䦆Wingdings 2NC@10^(-8) A/cm^(2)和3.318䦆Wingdings 2NC@10^(-8) A/cm^(2),自腐蚀电位由-0.213 V分别升高至-0.195 V和-0.182 V。综合比较,渗氮/PVD复合处理可以显著提高316L奥氏体不锈钢的表面硬度、耐磨性及耐蚀性。 展开更多
关键词 316L不锈钢 离子渗氮 物理气相沉积 组织 硬度 耐磨性 耐蚀性
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模具表面采用PVD制备多层硬化膜研究的进展
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作者 毛雨姗 刘宁 刘爱军 《热处理》 2025年第2期1-6,23,共7页
随着制造业的快速发展,对模具的表面性能要求也越来越高。物理气相沉积(PVD)技术具有操作简单、成本较低等优点,能在模具表面制备硬度较高、结合力较大的多层膜。基于此,简要介绍真空蒸镀、溅射镀、离子镀等PVD技术的发展,以及氮化物膜... 随着制造业的快速发展,对模具的表面性能要求也越来越高。物理气相沉积(PVD)技术具有操作简单、成本较低等优点,能在模具表面制备硬度较高、结合力较大的多层膜。基于此,简要介绍真空蒸镀、溅射镀、离子镀等PVD技术的发展,以及氮化物膜、多元膜、多层膜等硬化膜的研究进展。 展开更多
关键词 模具 表面性能 多层膜制备 物理气相沉积(pvd)
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基于状态机和规则引擎的群集式PVD设备晶圆传输算法设计
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作者 袁涛 邬远航 +1 位作者 刘港 邬啸宇 《中国集成电路》 2025年第7期83-86,91,共5页
为实现群集式PVD设备晶圆的高效传输,对设备的硬件架构和传输流程进行了抽象,基于状态机和规则引擎设计了传输调度算法,采用多线程和消息机制实现了算法模块。目前算法模块已成功应用于平面金属互连PVD设备上,运行稳定高效,能够满足大... 为实现群集式PVD设备晶圆的高效传输,对设备的硬件架构和传输流程进行了抽象,基于状态机和规则引擎设计了传输调度算法,采用多线程和消息机制实现了算法模块。目前算法模块已成功应用于平面金属互连PVD设备上,运行稳定高效,能够满足大批量生产的需要。 展开更多
关键词 群集式pvd设备 晶圆传输调度 状态机 规则引擎
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基于PVD涂层技术的螺纹刀具耐用性研究
5
作者 徐扬 于东振 《中国高新科技》 2025年第17期32-34,共3页
文章围绕基于PVD涂层技术的螺纹刀具耐用性展开。通过分析PVD涂层技术与螺纹刀相关理论基础和结合机理,构建了耐用性预测模型,涵盖基于有限元分析的初始构建及多因素耦合的模型优化。实验表明,PVD涂层可显著提升螺纹刀具的耐用性,不同... 文章围绕基于PVD涂层技术的螺纹刀具耐用性展开。通过分析PVD涂层技术与螺纹刀相关理论基础和结合机理,构建了耐用性预测模型,涵盖基于有限元分析的初始构建及多因素耦合的模型优化。实验表明,PVD涂层可显著提升螺纹刀具的耐用性,不同的涂层、切削条件等对其有影响。可为刀具设计优化及切削工艺改进提供依据,满足高端制造对高精度、高耐用性加工需求。 展开更多
关键词 pvd涂层 螺纹刀具 耐用性
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Deposition patterns and mechanisms of PVD plasma erosion-resistant coatings based on boundary constraint conditions
6
作者 Xiao HAN Quanzhi ZHANG Guangyu HE 《Chinese Journal of Aeronautics》 2025年第9期436-446,共11页
When immersed in sand and dust environment,aero-engine blades are exposed to harsh erosion which may lead to failure if erosion is severe.Using Physical Vapor Deposition(PVD)to prepare hard ceramic coatings can greatl... When immersed in sand and dust environment,aero-engine blades are exposed to harsh erosion which may lead to failure if erosion is severe.Using Physical Vapor Deposition(PVD)to prepare hard ceramic coatings can greatly enhance the operational capabilities of aero-engine.However,due to the“line-of-sight”processing characteristic of PVD process,uneven coating deposition rates occur when preparing coatings on obstructed areas such as blisks.Quantitative research on such phenomena is few,and it is even rarer in the study of aero-engine coatings.Based on the analyses and considerations of the geometric shape of blade surfaces and the influence of both deposition and re-sputtering effect,an ideal model is established to analyze the deposition rate variation along blocked region in complex self-shadowing boundaries.The relative deposition rates at various locations on the blade surface within the inter-blade gaps are quantitatively calculated and experimentally validated.Furthermore,differences in erosion resistance of the coatings are tested.The conclusions are drawn as follows:the geometric configuration of the obstructed shape and resputtering phenomenon significantly influence the deposition rates within the inner wall of blade gaps.Taking the structural configuration as an example,in a 25 mm×60 mm×15 mm gap,the coating thickness can vary more than 252%from the thickest to the thinnest location.The deposition rates of various locations are proportional to the solid angle of incident ion in more obstructed regions,and the re-sputtering is more prominent in open regions.Obstructive boundaries directly affect the erosion resistance at various locations within the gaps,with erosion failure time decreasing by 40%in heavily blocked region compared to open region. 展开更多
关键词 pvd Anti-erosion coating Plasma sheath Re-sputtering Obstructive boundary
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PVD技术现状及其在汽车内饰件上的应用
7
作者 黄庆达 张立新 +2 位作者 郭庆铁 黄庆伟 范文博 《汽车工艺与材料》 2025年第6期46-51,共6页
物理气相沉积(PVD)技术是塑料表面金属化处理的重要手段,总结了蒸发镀、溅射镀和离子镀等PVD技术的概念和特点,阐述了蒸发镀和溅射镀的生产工艺流程及对比塑料电镀的优缺点,介绍了PVD技术在汽车内饰件上的应用情况以及相关试验验证项目... 物理气相沉积(PVD)技术是塑料表面金属化处理的重要手段,总结了蒸发镀、溅射镀和离子镀等PVD技术的概念和特点,阐述了蒸发镀和溅射镀的生产工艺流程及对比塑料电镀的优缺点,介绍了PVD技术在汽车内饰件上的应用情况以及相关试验验证项目,并对PVD的发展趋势进行了总结与展望。 展开更多
关键词 pvd 蒸发镀 溅射镀 汽车内饰
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PS-PVD YSZ/GZO复合涂层制备工艺优化
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作者 李新慧 何箐 +3 位作者 王世兴 由晓明 邹晗 赵乾 《中国表面工程》 北大核心 2025年第4期266-279,共14页
目前等离子物理气相沉积(PS-PVD)技术为制备高隔热、长寿命柱状结构热障涂层提供了巨大潜力,但PS-PVD工艺参数较多、工艺复杂,且各参数之间存在交互作用,导致涂层微结构及性能存在明显差异。为探究PS-PVD工艺参数对涂层微结构及性能影... 目前等离子物理气相沉积(PS-PVD)技术为制备高隔热、长寿命柱状结构热障涂层提供了巨大潜力,但PS-PVD工艺参数较多、工艺复杂,且各参数之间存在交互作用,导致涂层微结构及性能存在明显差异。为探究PS-PVD工艺参数对涂层微结构及性能影响的交互作用规律,采用田口试验方法(Taguchi method),以喷涂电流、喷涂步进和送粉速率等工艺参数为影响因子,以涂层微结构特征、燃气热冲击寿命等为响应值,分析各响应值均值的主效应图、方差以及交互作用。研究结果表明,在其他参数一定的情况下,对YSZ/GZO涂层寿命影响的显著性依次是喷涂步进>喷涂电流>送粉速率,这种情况下优选的工艺参数依次为喷涂步进200 mm,喷涂电流2200 A,送粉速率10 g/min,1350℃燃气热冲击寿命可达3062次。通过田口试验方法系统研究各工艺参数之间的交互作用以及对涂层微结构和燃气热冲击寿命的影响规律,有效提高试验数据的准确性、可靠性,降低研发成本及试验周期,制备出高性能、长寿命PS-PVD YSZ/GZO复合涂层,掌握了该复合涂层微结构调控及可控制备方法。 展开更多
关键词 等离子物理气相沉积 热障涂层 田口试验 热冲击寿命 交互作用
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海洋环境PVD抗磨蚀防护涂层的研究进展 被引量:1
9
作者 郭鹏 陈仁德 +4 位作者 李昊 杨葳 西村一仁 柯培玲 汪爱英 《中国表面工程》 CSCD 北大核心 2024年第6期1-20,共20页
先进表面涂层防护技术是海工装备关键金属运动系统磨损与腐蚀防护、保障海工装备高性能长寿命可靠服役的关键途径。其中,物理气相沉积(PVD)抗磨蚀防护涂层材料兼具耐老化、耐磨性、耐腐蚀等优势,特别是可满足深海或远海机械系统相关精... 先进表面涂层防护技术是海工装备关键金属运动系统磨损与腐蚀防护、保障海工装备高性能长寿命可靠服役的关键途径。其中,物理气相沉积(PVD)抗磨蚀防护涂层材料兼具耐老化、耐磨性、耐腐蚀等优势,特别是可满足深海或远海机械系统相关精密运动部件的高可靠性与稳定性要求,是抗磨蚀防护的有效技术手段之一。围绕海洋环境PVD抗磨蚀防护涂层材料及应用技术发展现状,重点介绍现有防护涂层材料体系,碳基、氮基涂层因优异耐磨及耐腐蚀性能而获得较多关注,改善膜基界面结合强度及涂层致密性等是提升其抗磨蚀性能的关键因素,而高熵涂层及过渡金属二硫属化物(TMD)涂层磨蚀防护性能也成为基础及应用研究的热点。总结主要的涂层磨蚀评价方法,目前在外加电位下开展涂层磨蚀测试性能评价的应用较多,引入理论计算研究涂层磨蚀性能及相关失效机理已逐渐开展。围绕疲劳/重载下磨蚀防护需求,介绍PVD复合喷涂、微弧氧化、热处理等兼具高承载、长寿命的复合强化抗磨蚀防护涂层材料技术的新进展。列举PVD抗磨蚀涂层在海水传动液压马达和液压泵、船舶低速柴油机柱塞、水下安全阀、钻井泵阀体阀座以及涉海直升机操纵杆等核心涉海装备部件上的典型应用,并对海洋环境PVD抗磨蚀防护涂层的未来发展方向进行思考与展望,为进一步发展高性能海洋抗磨蚀涂层材料技术提供参考。 展开更多
关键词 海洋环境 物理气相沉积(pvd)涂层 磨蚀性能 评价方法 典型应用
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PVD涂层刀具铣削45钢磨损机理分析
10
作者 杜佳轩 王琪 +2 位作者 邹长东 居殿春 黄杰 《工具技术》 北大核心 2024年第7期35-40,共6页
采用PVD涂层硬质合金刀具对45钢材料进行切削加工实验,研究其磨损机理。采用不同Ti, Al比例的TiAl金属靶材制备TiAlN和AlTiN涂层,同时延长AlTiN涂层时间;通过TiSi金属靶材实现Si的掺杂并制备TiAlSiN涂层,进一步提高涂层的硬度和自润滑... 采用PVD涂层硬质合金刀具对45钢材料进行切削加工实验,研究其磨损机理。采用不同Ti, Al比例的TiAl金属靶材制备TiAlN和AlTiN涂层,同时延长AlTiN涂层时间;通过TiSi金属靶材实现Si的掺杂并制备TiAlSiN涂层,进一步提高涂层的硬度和自润滑性。结果表明,在铣削45钢时,刀具前刀面出现涂层崩缺、黏结、微裂纹和崩刃等磨损形式,刀具后刀面出现黏结层、条纹、崩刃、凹坑等磨损形式。PVD涂层刀具的磨损机理主要为黏结磨损、磨粒磨损、扩散磨损和氧化磨损。 展开更多
关键词 pvd涂层 磨损机理 切削性能
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PVD技术在智能电动汽车上的创新运用
11
作者 严建华 吴晓林 《汽车零部件》 2024年第9期13-16,20,共5页
介绍了物理气相沉积(PVD)技术的原理、特点、工艺流程、相关设备等,研发了多种PVD技术并将其创新应用于智能电动汽车,包括:(1)取代电镀工艺;(2)应用于智能驾驶ACC系统中。研究表明,PVD技术可以取代传统高污染、高耗能、高耗水的电镀工艺... 介绍了物理气相沉积(PVD)技术的原理、特点、工艺流程、相关设备等,研发了多种PVD技术并将其创新应用于智能电动汽车,包括:(1)取代电镀工艺;(2)应用于智能驾驶ACC系统中。研究表明,PVD技术可以取代传统高污染、高耗能、高耗水的电镀工艺;可创新应用在智能驾驶ACC系统的设计中,使产品具备炫酷的外观效果和雷达波穿透功能。 展开更多
关键词 pvd 纳米复合技术 环保节能 ACC 光和波穿透 智能电动汽车
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转子钢20Cr13表面硬质PVD涂层摩擦磨损性能分析
12
作者 杨剑 沙鹏 +2 位作者 李伟 沈奎双 雷学林 《华东理工大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2024年第1期146-152,共7页
通过多弧离子镀与磁控溅射结合工艺在20Cr13表面分别制备CrN、TiN、TiAlCrN3种PVD涂层,研究3种涂层的摩擦磨损性能。结果表明,各类涂层均能提升基材性能,其中TiAlCrN涂层试样硬度较高(67 845 N/mm~2),CrN涂层试样薄膜结合力较高(30 N)... 通过多弧离子镀与磁控溅射结合工艺在20Cr13表面分别制备CrN、TiN、TiAlCrN3种PVD涂层,研究3种涂层的摩擦磨损性能。结果表明,各类涂层均能提升基材性能,其中TiAlCrN涂层试样硬度较高(67 845 N/mm~2),CrN涂层试样薄膜结合力较高(30 N)、表面质量较优,TiN涂层试样对比另外两种涂层试样性能较差。TiAlCrN涂层试样摩擦因数较高(0.619),其硬度高、结合力好、耐磨损能力较强。在摩擦磨损试验中TiAlCrN涂层与CrN涂层表面所形成的耐磨、抛光作用的氧化膜增强了基底耐磨性能。综合考虑,TiAlCrN涂层为转子表面理想耐磨涂层。 展开更多
关键词 转子 多弧离子镀 磁控溅射 pvd涂层 摩擦磨损
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新型PVD刀具切削排水板试验研究
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作者 陆杰 《建筑科技》 2024年第9期92-96,共5页
基于隧道工程中排水板清障工程,设计一种新型的PVD刀具,并开展对排水板的切削试验。试验结果表明:PVD刀具可以对排水板倒下(状态1)和排水板竖立(状态2)下的排水板进行良好的切削;状态1的普遍切削受力未超过0.5 kN,拉断时的z向力为0.96 ... 基于隧道工程中排水板清障工程,设计一种新型的PVD刀具,并开展对排水板的切削试验。试验结果表明:PVD刀具可以对排水板倒下(状态1)和排水板竖立(状态2)下的排水板进行良好的切削;状态1的普遍切削受力未超过0.5 kN,拉断时的z向力为0.96 kN,状态2不同切深下的刀具受力变化较小,所有工况均超过0.5 kN。试验证明了新型PVD刀具可以应用于排水板切削清障工程中。 展开更多
关键词 pvd刀具 排水板 刀具切削 盾构工程
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用于PVD电源的新型三相LCC变换器
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作者 王欣 乐卫平 +2 位作者 刘涛 张香港 马泽鹤 《电力设备管理》 2024年第1期294-296,共3页
PVD直流等离子体电源在电源领域属于特种应用产品,广泛应用于集成电路制造中的金属及非金属材料溅射镀膜。针对集成电路制造产业中对PVD直流等离子体电源的应用需求,本文提出一种用于PVD电源的新型三相LCC变换器。
关键词 LCC变换器 pvd直流电源 第三代半导体 限流保护
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不同等离子气比例对PS-PVD射流及涂层结构影响研究
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作者 张云杰 邹晗 +2 位作者 由晓明 何箐 赵乾 《热喷涂技术》 2024年第2期55-64,共10页
等离子物理气相沉积(PS-PVD)一般采用高氦气流量和高喷枪输入功率的工艺,获得具备优异性能的柱状/准柱状结构热障涂层。研究了低氦气流量和低喷枪输入功率条件下,沉积位置对应等离子射流中心的能量变化规律,及对涂层微结构的影响。结果... 等离子物理气相沉积(PS-PVD)一般采用高氦气流量和高喷枪输入功率的工艺,获得具备优异性能的柱状/准柱状结构热障涂层。研究了低氦气流量和低喷枪输入功率条件下,沉积位置对应等离子射流中心的能量变化规律,及对涂层微结构的影响。结果表明:采用适配工艺优化的氧化锆粉体材料,在90 L/min等离子气总流量条件下,Ar/He体积比从1∶2调整至2∶1,氦气流量降低,均能获得准柱状结构涂层。Ar/He体积比1∶1条件下射流能量最高,此时He对等离子射流收束作用减弱,制备涂层的柱状晶厚度降低、柱状晶间冷凝颗粒增多,涂层沉积效率明显降低;总气流量120 L/min,Ar/He体积比2∶1,可获得液相沉积为主的致密涂层结构。结合各元素特征峰的光谱分析结果,ZrⅠ特征峰强度在Ar/He体积比1∶1条件下最高,之后随着Ar/He体积比降低,He对等离子射流气相的约束及对等离子射流的能量场的综合影响决定了涂层微结构特性。 展开更多
关键词 等离子物理气相沉积 等离子射流特性 光学发射光谱 气体比例 微结构
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国内PVD技术应用与研究现状 被引量:11
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作者 梁红樱 赵海波 +2 位作者 王辉 张欣苑 李祝 《工具技术》 北大核心 2007年第6期33-36,共4页
在总结目前国内商业应用刀具PVD技术的发展状况的基础上,介绍了国内纳米超硬薄膜的研究现状及特点;分析了国内当前PVD技术应用与研究所存在的问题,提出了研究、开发的新思路。
关键词 pvd 超硬薄膜 纳米 制备技术
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EB-PVD热障涂层对IC10合金力学性能的影响 被引量:11
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作者 吴小梅 贺世美 +1 位作者 李建平 何利民 《航空材料学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期77-80,共4页
采用电弧离子镀技术在IC10合金基体上制备NiCrAlYSi粘结层,利用电子束物理气相沉积(EB-PVD)技术在粘结层上制备YSZ陶瓷面层。研究了YSZ热障涂层对IC10合金拉伸、持久、疲劳性能的影响。结果表明:IC10合金沉积YSZ热障涂层后,980℃/200MP... 采用电弧离子镀技术在IC10合金基体上制备NiCrAlYSi粘结层,利用电子束物理气相沉积(EB-PVD)技术在粘结层上制备YSZ陶瓷面层。研究了YSZ热障涂层对IC10合金拉伸、持久、疲劳性能的影响。结果表明:IC10合金沉积YSZ热障涂层后,980℃/200MPa高温持久寿命与IC10合金相当;900℃高温抗拉强度σb、屈服强度σ0.2、伸长率δ和断面收缩率ψ与基体相比,基本保持不变;室温抗拉强度σb、屈服强度σ0.2与基体相比稍有下降;800℃/447MPa疲劳寿命与基体合金相当。因此,IC10合金沉积TBCs涂层后,对IC10合金力学性能无明显影响,不影响合金的实际使用。 展开更多
关键词 IC10合金 EB—pvd热障涂层 力学性能
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摩擦力—划痕法评定PVD多层薄膜结合强度研究 被引量:4
18
作者 朱有利 黄元林 +1 位作者 石宗利 李重庵 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第11期984-986,共3页
采用摩擦力 -划痕法评定了 PVD Ag- Cu/Ti/stainless!steel双层薄膜的结合强度 ,测得其顶层与底层及底层与基体间的临界荷载值分别为 LC1、LC2 ,其中 LC1随膜厚的增加而减小 ,LC2 随膜厚的增加变化不大 ,且和Ti单层膜的 LC值相近。这与... 采用摩擦力 -划痕法评定了 PVD Ag- Cu/Ti/stainless!steel双层薄膜的结合强度 ,测得其顶层与底层及底层与基体间的临界荷载值分别为 LC1、LC2 ,其中 LC1随膜厚的增加而减小 ,LC2 随膜厚的增加变化不大 ,且和Ti单层膜的 LC值相近。这与膜厚及膜内应力变化有关。实验结果表明 ,采用摩擦力 -划痕法评定多层薄膜结合强度有其独特的优点。可以确定多层膜中不同膜层的 LCi值 ,并以此来表征各层或某些层的结合强度值。 展开更多
关键词 摩擦力-划痕法 pvd 多层薄膜 综合强度
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PVD陶瓷覆膜工艺对控压节流阀耐冲蚀性能影响研究 被引量:5
19
作者 王国荣 朱颢 +1 位作者 楚飞 陶思宇 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2015年第2期145-149,共5页
采用PVD陶瓷覆膜工艺对控压钻井节流阀阀芯表面处理,通过实验对比研究不同表面覆膜处理的阀芯耐冲蚀性能。结果表明,经过冲蚀后,Ti Al N涂层材料阀芯的质量损失约为Ti N涂层材料的1/3,Ti Al N涂层材料阀芯冲蚀最严重处表面轮廓损失约为T... 采用PVD陶瓷覆膜工艺对控压钻井节流阀阀芯表面处理,通过实验对比研究不同表面覆膜处理的阀芯耐冲蚀性能。结果表明,经过冲蚀后,Ti Al N涂层材料阀芯的质量损失约为Ti N涂层材料的1/3,Ti Al N涂层材料阀芯冲蚀最严重处表面轮廓损失约为Ti N涂层材料的1/2,Ti Al N涂层材料在提升控压钻井节流阀耐冲蚀性能和使用可靠性上较Ti N涂层材料优越。 展开更多
关键词 控压钻井 节流阀 pvd 冲蚀
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低温PVD法制备多组分超硬薄膜研究 被引量:7
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作者 彭志坚 齐龙浩 +2 位作者 刘大鹏 李文治 苗赫濯 《材料科学与工程》 CSCD 北大核心 2003年第1期110-116,共7页
对薄膜淀积的各种PVD技术和新型薄膜研究进展进行了综述 ,讨论了多组分硬质薄膜低温制备存在的问题 ,指出了解决的办法 ;归纳了影响多组分硬质薄膜在三维基体上均匀、均质淀积的因素 ,重点讨论了基体旋转与靶源配置问题 ;指出了用低温PV... 对薄膜淀积的各种PVD技术和新型薄膜研究进展进行了综述 ,讨论了多组分硬质薄膜低温制备存在的问题 ,指出了解决的办法 ;归纳了影响多组分硬质薄膜在三维基体上均匀、均质淀积的因素 ,重点讨论了基体旋转与靶源配置问题 ;指出了用低温PVD法淀积多组分超硬薄膜研究方向。 展开更多
关键词 低温pvd 制备 多组分超硬薄膜 物理气相沉积
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