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PtSi/p-Si异质薄膜研究的新进展 被引量：1
1
作者 李雪 殷景华 《半导体情报》 2001年第5期22-27,共6页
综述了 Pt Si/p- Si异质薄膜近年来研究的新进展 ,包括 Pt Si/p- Si的制备工艺、相形成与分布、Pt Si/p- Si界面的微结构、价电子结构以及 Pt Si/p- Si肖特基势垒的研究现状 ,并且探讨了 Pt Si/p- Si的发展方向。
关键词 异质薄膜 微结构 硅 ptsi/p-si 半导体材料
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利用X射线光电子谱对PtSi/p-Si(111)的电子结构研究
2
作者 李雪 殷景华 《哈尔滨理工大学学报》 CAS 2001年第5期108-111,共4页
利用磁控溅射方法制备了不同工艺条件下的 ＰｔＳｉ／ ｐ-Ｓｉ异质薄膜，采用Ｘ射线光电子讲（ＸＰＳ）测试其芯能级和价电子能谱．结果表明，其相形成由表面到界面为Ｐｔ，Ｐｔ＿２Ｓｉ，ＰｔＳｉ，材底温度的升高与沉积薄Ｐｔ膜有利... 利用磁控溅射方法制备了不同工艺条件下的 ＰｔＳｉ／ ｐ-Ｓｉ异质薄膜，采用Ｘ射线光电子讲（ＸＰＳ）测试其芯能级和价电子能谱．结果表明，其相形成由表面到界面为Ｐｔ，Ｐｔ＿２Ｓｉ，ＰｔＳｉ，材底温度的升高与沉积薄Ｐｔ膜有利于单一ＰｔＳｉ的形成，并揭示其价电子谱中谱峰出现的原因． 展开更多
关键词 X射线光电子谱 电子结构 介电子谱 ptsi/p-si 硅化铂 光电子学 硅基光电材料 过渡金属硅化物 硅 薄膜
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