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TiO_2/V_2O_5双层薄膜的TMA气敏特性研究 被引量：14
1
作者 童茂松 戴国瑞 +2 位作者 何秀丽 吴远大 高鼎三 《传感器技术》 CSCD 2000年第4期5-6,10,共3页
报道了以TiCl4 和V2 O5为源 ,采用等离子增强化学气相沉积 (PECVD)和溶胶 -凝胶 (sol-gel)技术制备了TiO2 /V2 O5双层薄膜 ,将该薄膜沉积在带有金梳状电极的陶瓷管和硅片上 ,进行了X射线衍射(XRD)分析 ,并且测量其对三甲基胺 (TMA)的气... 报道了以TiCl4 和V2 O5为源 ,采用等离子增强化学气相沉积 (PECVD)和溶胶 -凝胶 (sol-gel)技术制备了TiO2 /V2 O5双层薄膜 ,将该薄膜沉积在带有金梳状电极的陶瓷管和硅片上 ,进行了X射线衍射(XRD)分析 ,并且测量其对三甲基胺 (TMA)的气敏特性。结果发现该双层薄膜对TMA具有高灵敏度、良好的选择特性和快速的响应恢复特性。 展开更多
关键词 双层薄膜 prcvd 溶胶-凝胶 三甲基胺 气敏特性
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