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Radiation Resistance of Fluorine-Implanted PNP Using Gated-Controlled Lateral PNP Transistor Structure 被引量:1
1
作者 王信 陆妩 +6 位作者 马武英 郭旗 王志宽 何承发 刘默寒 李小龙 贾金成 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2016年第8期85-87,共3页
The radiation damage responses of ttuorinated and non-fluorinated lateral PNP transistors are studied with specially designed gated-controlled lateral PNP transistors that allow for the extraction of the oxide trapped... The radiation damage responses of ttuorinated and non-fluorinated lateral PNP transistors are studied with specially designed gated-controlled lateral PNP transistors that allow for the extraction of the oxide trapped charge (Not) and interface trap (Nit) densities. All the samples are exposed in the Co-60γ ray with the dose rate of 0.5 Gy(Si)/s. After the irradiation, the buildup of Not and Nit of the samples with total dose is investigated by the gate sweep test technique. The results show that the radiation resistance of fluorinated lateral PNP transistors is significantly enhanced compared with the non-fluorinated ones. 展开更多
关键词 of in is on pnp Radiation Resistance of Fluorine-Implanted pnp Using Gated-Controlled Lateral pnp transistor Structure
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Estimation of enhanced low dose rate sensitivity mechanisms using temperature switching irradiation on gate-controlled lateral PNP transistor 被引量:1
2
作者 Xiao-Long Li Wu Lu +7 位作者 Xin Wang Xin Yu Qi Guo Jing Sun Mo-Han Liu Shuai Yao Xin-Yu Wei Cheng-Fa He 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第3期342-350,共9页
The mechanisms occurring when the switched temperature technique is applied,as an accelerated enhanced low dose rate sensitivity(ELDRS)test technique,are investigated in terms of a specially designed gate-controlled l... The mechanisms occurring when the switched temperature technique is applied,as an accelerated enhanced low dose rate sensitivity(ELDRS)test technique,are investigated in terms of a specially designed gate-controlled lateral PNP transistor(GLPNP)that used to extract the interface traps(Nit)and oxide trapped charges(Not).Electrical characteristics in GLPNP transistors induced by ^(60)Co gamma irradiation are measured in situ as a function of total dose,showing that generation of Nit in the oxide is the primary cause of base current variations for the GLPNP.Based on the analysis of the variations of Nit and Not,with switching the temperature,the properties of accelerated protons release and suppressed protons loss play critical roles in determining the increased Nit formation leading to the base current degradation with dose accumulation.Simultaneously the hydrogen cracking mechanisms responsible for additional protons release are related to the neutralization of Not extending enhanced Nit buildup.In this study the switched temperature irradiation has been employed to conservatively estimate the ELDRS of GLPNP,which provides us with a new insight into the test technique for ELDRS. 展开更多
关键词 ionizing radiation damage enhanced low dose rate sensitivity(ELDRS) switched temperature irradiation gate-controlled lateral pnp transistor(GLpnp)
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Impact of doped boron concentration in emitter on high-and low-dose-rate damage in lateral PNP transistors 被引量:2
3
作者 郑玉展 陆妩 +3 位作者 任迪远 王义元 王志宽 杨永晖 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第3期45-49,共5页
The characteristics of radiation damage under a high or low dose rate in lateral PNP transistors with a heavily or lightly doped emitter is investigated. Experimental results show that as the total dose increases, the... The characteristics of radiation damage under a high or low dose rate in lateral PNP transistors with a heavily or lightly doped emitter is investigated. Experimental results show that as the total dose increases, the base current of transistors would increase and the current gain decreases. Furthermore, more degradation has been found in lightly-doped PNP transistors, and an abnormal effect is observed in heavily doped transistors. The role of radiation defects, especially the double effects of oxide trapped charge, is discussed in heavily or lightly doped transistors. Finally, through comparison between the high- and low-dose-rate response of the collector current in heavily doped lateral PNP transistors, the abnormal effect can be attributed to the annealing of the oxide trapped charge. The response of the collector current, in heavily doped PNP transistors under high- and low-dose-rate irradiation is described in detail. 展开更多
关键词 doping concentration lateral pnp transistors radiation damage dose rates
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基区表面势对栅控横向PNP晶体管中子位移损伤的影响 被引量:4
4
作者 王晨辉 陈伟 +6 位作者 刘岩 李斌 杨善潮 金晓明 白小燕 齐超 林东生 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第11期171-176,共6页
通过在常规横向PNP晶体管基区表面氧化层上淀积栅电极,制作了可以利用栅极偏置调制基区表面势的栅控横向PNP晶体管。对无栅极偏置电压和偏置电压分别为-10V和10V的栅控横向PNP晶体管,在西安脉冲反应堆上开展注量为2×1012,4×10... 通过在常规横向PNP晶体管基区表面氧化层上淀积栅电极,制作了可以利用栅极偏置调制基区表面势的栅控横向PNP晶体管。对无栅极偏置电压和偏置电压分别为-10V和10V的栅控横向PNP晶体管,在西安脉冲反应堆上开展注量为2×1012,4×1012,6×1012,8×1012,1×1013 cm-2的中子辐照实验,研究基区表面势的增加和降低对栅控横向PNP晶体管中子位移损伤退化特性的影响。研究结果表明,基区表面势的增加引起栅控横向PNP晶体管共射极电流增益倒数的变化量随辐照中子注量的退化速率增加,基区表面势的降低对位移损伤退化速率无明显影响。 展开更多
关键词 基区表面势 栅控横向pnp晶体管 中子位移损伤
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栅控横向PNP双极晶体管电离辐射效应 被引量:2
5
作者 席善斌 陆妩 +4 位作者 任迪远 王志宽 周东 文林 孙静 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2012年第11期827-832,共6页
设计并制作了一种栅控横向PNP双极晶体管测试结构,将其与相同工艺条件下制作的常规横向PNP双极晶体管封装在同一管壳内。在相同条件下对两种器件进行60Co-γ辐照效应和退火特性研究。结果发现,栅控和常规双极晶体管在基极电流、集电极... 设计并制作了一种栅控横向PNP双极晶体管测试结构,将其与相同工艺条件下制作的常规横向PNP双极晶体管封装在同一管壳内。在相同条件下对两种器件进行60Co-γ辐照效应和退火特性研究。结果发现,栅控和常规双极晶体管在基极电流、集电极电流、过剩基极电流和归一化电流增益方面,对电离辐射响应高度一致。对栅控横向PNP双极晶体管辐照感生电荷进行了定量分离,研究国产栅控横向PNP双极晶体管辐照感生缺陷的定量变化就可以客观、科学地反应国产常规横向PNP双极晶体管辐照感生电荷变化。 展开更多
关键词 pnp双极晶体管 60Co-γ辐照 辐照感生电荷 电荷分离
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不同发射结深LPNP晶体管的抗辐照性能研究 被引量:2
6
作者 吕曼 张小玲 +4 位作者 张彦秀 谢雪松 孙江超 陈成菊 吕长志 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2013年第4期564-567,共4页
双极晶体管的辐照总剂量效应主要表现为电流增益下降和漏电流增加。工艺相同、发射结结深不同的LPNP双极晶体管的抗辐照敏感性不同,浅发射结LPNP的抗辐照性能更强。由于离子注入前氧化层的影响,厚氧化层形成的浅发射结LPNP具有更少的注... 双极晶体管的辐照总剂量效应主要表现为电流增益下降和漏电流增加。工艺相同、发射结结深不同的LPNP双极晶体管的抗辐照敏感性不同,浅发射结LPNP的抗辐照性能更强。由于离子注入前氧化层的影响,厚氧化层形成的浅发射结LPNP具有更少的注入损伤,界面态较少,同时具有高的表面杂质浓度,从而减少了辐照后发射区上方的SRH复合以及过剩基极电流的增加,提高了LPNP双极晶体管的抗辐照性能。 展开更多
关键词 横向pnp 双极晶体管 总剂量辐照
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横向PNP晶体管质子辐照损伤的缺陷间能级耦合机制 被引量:2
7
作者 刘岩 陈伟 +9 位作者 王忠明 王茂成 王迪 刘卧龙 王百川 杨业 姚志斌 郭晓强 王晨辉 白小燕 《现代应用物理》 2022年第1期75-82,共8页
为分析质子电离对位移损伤效应的影响机制,基于栅控电荷分离方法,对比分析了横向PNP晶体管3 MeV质子辐照与反应堆中子辐照位移损伤效应的差异,并对质子辐照后的长期退火特征进行了分析。通过对栅扫描峰值展宽机理的分析,提出了位移损伤... 为分析质子电离对位移损伤效应的影响机制,基于栅控电荷分离方法,对比分析了横向PNP晶体管3 MeV质子辐照与反应堆中子辐照位移损伤效应的差异,并对质子辐照后的长期退火特征进行了分析。通过对栅扫描峰值展宽机理的分析,提出了位移损伤深能级缺陷与界面浅能级缺陷之间的耦合机制。研究结果表明,当深能级与浅能级缺陷同时存在时,缺陷间的电荷转移将会显著加剧电子器件的载流子复合过程。 展开更多
关键词 位移损伤 缺陷能级 质子辐照 中子辐照 横向晶体管
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PNP和NPN型异质结双极晶体管的不同设计考虑
8
作者 严北平 罗晋生 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 1997年第3期212-217,共6页
PNP和NPN高频异质结双极晶体管的设计有明显不同,这主要归因于砷化镓中电子与空穴的迁移率存在显著差别。这种差别在基区和子集电区外延层的设计中体现得尤为明显。文中详细讨论了PNP和NPN两种类型的异质结双极晶体管各自外延层的设计... PNP和NPN高频异质结双极晶体管的设计有明显不同,这主要归因于砷化镓中电子与空穴的迁移率存在显著差别。这种差别在基区和子集电区外延层的设计中体现得尤为明显。文中详细讨论了PNP和NPN两种类型的异质结双极晶体管各自外延层的设计考虑。 展开更多
关键词 异质结 双极晶体管 pnp HBT NPN型
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一种用于功率IC中高性能PNP管的版图设计
9
作者 董艳燕 《中国计量学院学报》 2008年第1期78-81,共4页
在对传统横向PNP管版图和晶体管寄生效应分析的基础上,提出了一种基于双极工艺的横向PNP管设计方案,并给出了一个适用于功率集成电路中高性能横向PNP输出管的版图设计.
关键词 功率集成电路 高性能pnp 版图设计
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国产pnp双极晶体管在宽总剂量范围辐照下的ELDRS 被引量:1
10
作者 魏昕宇 陆妩 +6 位作者 李小龙 王信 孙静 于新 姚帅 刘默寒 郭旗 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2018年第5期369-374,共6页
研究了不同偏置条件下国产商用pnp型双极晶体管在宽总剂量范围内的辐射损伤特性和变化规律。实验结果表明,在100 rad(Si)/s和0.01 rad(Si)/s剂量率辐照下,总累计剂量达到200 krad(Si)时,这一宽总剂量范围内辐射损伤趋势均随着总... 研究了不同偏置条件下国产商用pnp型双极晶体管在宽总剂量范围内的辐射损伤特性和变化规律。实验结果表明,在100 rad(Si)/s和0.01 rad(Si)/s剂量率辐照下,总累计剂量达到200 krad(Si)时,这一宽总剂量范围内辐射损伤趋势均随着总剂量值不断累积而增大,且并未出现饱和。相同剂量率辐照下,发射结施加反偏状态时国产商用pnp双极晶体管的过剩基极电流变化最大,正偏下最小,零偏介于二者之间。两款晶体管均表现出明显的低剂量率损伤增强效应(ELDRS),且在反偏下ELDRS更显著。并对出现这一实验结果的损伤机理进行了探讨。 展开更多
关键词 国产pnp型双极晶体管 宽总剂量范围 低剂量率损伤增强效应(ELDRS) 辐射损伤 剂量率
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次表面横向PNP管制作及辐射效应研究
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作者 赵杰 王清波 +1 位作者 孙有民 温富刚 《微电子学》 CAS 北大核心 2020年第4期593-596,共4页
依据总剂量辐射对横向PNP(LPNP)管的损伤机理,设计了一种辐射加固的次表面LPNP管。开发了通过高能离子注入工艺实现LPNP管的工艺方法,该工艺与常规双极工艺兼容。总剂量辐射试验结果表明,采用次表面LPNP管制作的LW5101线性稳压器的抗辐... 依据总剂量辐射对横向PNP(LPNP)管的损伤机理,设计了一种辐射加固的次表面LPNP管。开发了通过高能离子注入工艺实现LPNP管的工艺方法,该工艺与常规双极工艺兼容。总剂量辐射试验结果表明,采用次表面LPNP管制作的LW5101线性稳压器的抗辐射能力显著提高。 展开更多
关键词 横向pnp 抗辐射 高能离子注入
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一种SiGe BiCMOS高速PNP器件的设计 被引量:1
12
作者 刘冬华 郁芳 钱文生 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2013年第1期99-102,106,共5页
设计了一种适用于SiGe BiCMOS工艺的低成本、高性能垂直结构PNP器件。基于仿真结果,比较了不同发射区和基区制作方法对器件特性的影响。在确定器件结构和制作工艺的基础上,进一步优化了器件特性。基于仿真得到的工艺条件所制作的PNP器件... 设计了一种适用于SiGe BiCMOS工艺的低成本、高性能垂直结构PNP器件。基于仿真结果,比较了不同发射区和基区制作方法对器件特性的影响。在确定器件结构和制作工艺的基础上,进一步优化了器件特性。基于仿真得到的工艺条件所制作的PNP器件,其特性与仿真结果基本一致。最终优化的PNP器件的电流增益为38,击穿电压大于7V,特征频率为10GHz。该PNP晶体管改善了横向寄生硅基区PNP晶体管的性能,减少了垂直SiGe基区PNP晶体管工艺的复杂性,采用成本低廉的简单工艺实现了优良的器件性能。 展开更多
关键词 pnp晶体管 SIGE BICMOS 电流增益 特征频率
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POCl_3掺杂对PNP管特性的影响研究
13
作者 冯霞 梁涛 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2018年第3期425-428,共4页
PNP管的结构是由P型发射区、N型基区、P型集电区组成的三层两结。PNP管的基区宽度和基区掺杂对PNP管电特性的影响很大。在常规IC工艺中,通常采用先做试片的方式来确定基区的磷掺杂扩散时间,工艺加工效率低。为了解决这个问题,从磷源POCl... PNP管的结构是由P型发射区、N型基区、P型集电区组成的三层两结。PNP管的基区宽度和基区掺杂对PNP管电特性的影响很大。在常规IC工艺中,通常采用先做试片的方式来确定基区的磷掺杂扩散时间,工艺加工效率低。为了解决这个问题,从磷源POCl3的温度、扩散时间两方面入手,对PNP管的电流增益β进行了实验研究。结果表明,在POCl3温度为(20±1)℃、预扩散时间为(46±2)min、β不小于80的条件下,PNP管的β变化量小于50%。该研究用于实际PNP管的制造工艺中,工艺加工效率提高了100%。 展开更多
关键词 pnp POCl3 基区掺杂 预扩散 扩散时间
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硅PNP型大功率达林顿晶体管 被引量:1
14
作者 裴军胜 《现代电子技术》 2006年第17期147-148,共2页
达林顿晶体管增益大、可靠性高,尤其在大功率应用中更加简便。介绍了20 A硅PNP达林顿晶体管的设计思路、芯片的内部结构、工艺流程和工艺参数,同时列出了制造的产品的电性能测试结果。
关键词 达林顿晶体管 pnp 大功率 工艺流程
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悬浮集电极pnp管的新结构
15
作者 胡国元 雷培明 +1 位作者 段春丽 税有先 《微电子学与计算机》 CSCD 北大核心 1990年第11期40-42,共3页
本文叙述了一种悬浮集电极pnp 管的新结构,这种pnp 管具有饱和压降低、负载能力强、开关速度快、增益高、一致性好等优点,可广泛用于集成电路输出管的制作.
关键词 悬浮集电极 pnp 集成电路
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3CD104型硅PNP大功率晶体管的研制
16
作者 李致远 《现代电子技术》 2006年第20期139-141,145,共4页
讲述TO 257金属扁平封装3CD104型PNP大功率晶体管的研制过程。根据产品技术要求,进行产品结构及工艺流程设计,通过合理地减少发射区条形宽度,增大发射区周长和面积之比值。通过合理选取和控制基区宽度,解决大功率和高频率相矛盾的问题... 讲述TO 257金属扁平封装3CD104型PNP大功率晶体管的研制过程。根据产品技术要求,进行产品结构及工艺流程设计,通过合理地减少发射区条形宽度,增大发射区周长和面积之比值。通过合理选取和控制基区宽度,解决大功率和高频率相矛盾的问题。测试和试验表明,该产品各项参数均满足设计指标。 展开更多
关键词 pnp 大功率 高频率 晶体管
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一种基于两步式SAR ADC架构的智能温度传感器
17
作者 曹亦栋 陈雷 +3 位作者 初飞 李建成 张健 李全利 《半导体技术》 北大核心 2025年第6期603-611,共9页
针对高速接口芯片的局部结温监测问题,设计了一种基于两步式逐次逼近型模数转换器(SAR ADC)的片上智能温度传感器,该传感器可配合上位机实现对全芯片温度的实时监测,并输出数字温度码。电路对横向pnp管的基极-发射极电压进行采样,设计... 针对高速接口芯片的局部结温监测问题,设计了一种基于两步式逐次逼近型模数转换器(SAR ADC)的片上智能温度传感器,该传感器可配合上位机实现对全芯片温度的实时监测,并输出数字温度码。电路对横向pnp管的基极-发射极电压进行采样,设计了温度监测模块进行量化比较。电路采用了两步式SAR ADC进行10 bit数字温度码的转换输出,两步式SAR ADC通过调节电阻阵列实现粗量化,调节比较器输入管阵列进行细量化。电路基于28 nm CMOS工艺设计,模块面积为0.049 mm^(2)。仿真结果表明,27℃、1.8 V电源电压下温度传感器的最大动态功耗为379μW,在10 MHz参考时钟下的输出响应时间为37.1μs。测试结果表明,芯片温度为62.8~124.5℃时温度传感器温度测量的误差为±1.5℃。 展开更多
关键词 高速接口芯片 温度传感器 横向pnp 温度监测模块 两步式逐次逼近型模数转换器(SAR ADC)
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一种PN结隔离互补双极工艺 被引量:3
18
作者 欧宏旗 刘伦才 +1 位作者 胡明雨 税国华 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2007年第4期548-552,共5页
介绍了几种互补双极工艺的结构和特点,详细阐述了一种基于N型外延的PN结隔离互补双极工艺;着重探讨了隔离制作技术和PNP管设计要点,并对实际流片结果进行了讨论。
关键词 互补双极工艺 隔离技术 pnp晶体管 高速放大器
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TiW合金阻挡层对Cu/Cu^2+扩散的阻挡能力研究 被引量:1
19
作者 唐昭焕 梁涛 +2 位作者 刘勇 谭开洲 王飞 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2009年第4期567-570,共4页
通过对Cu/Cu2+在TiW及硅中的扩散理论分析,从理论上预测了薄TiW合金阻挡层存在的潜在可靠性问题。对一个发射结结深为0.38μm的PNP管β值的研究表明,80 nm以上厚度的TiW合金层可以在AlCu/TiW/Si系统中作为Cu/Cu2+的扩散阻挡层。
关键词 半导体工艺 TiW 扩散阻挡层 AlCu/TiW/Si系统 pnp晶体管 Cu/Cu2+
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直流电源智能化监控系统的设计实现 被引量:2
20
作者 王长乾 王荣刚 杨兴 《电源技术应用》 2007年第6期74-77,共4页
提出了一种基于ATmega48单片机的智能化电源监控系统的设计方案,实现多路直流电源电流实时监控的功能。当负载出现故障时自动切断电源与负载之间连接,以保护设备。整个系统硬件部分集成了逻辑自锁电路,多路A/D采集,上、下位机之间通信... 提出了一种基于ATmega48单片机的智能化电源监控系统的设计方案,实现多路直流电源电流实时监控的功能。当负载出现故障时自动切断电源与负载之间连接,以保护设备。整个系统硬件部分集成了逻辑自锁电路,多路A/D采集,上、下位机之间通信以及主从单片机双机通信等电路模块。并且在电流实时测量原理上详细分析了过载自动保护电路。上位机使用Lab Windows/CVI虚拟仪器实现人机交互,界面友好。 展开更多
关键词 过载自动保护电路 pnp型场效应管 ATmega48单片机 差动运算放大电路
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