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基于PC_Based控制器的ALD设备控制系统设计
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作者 汤晨宇 李义华 张洪国 《机械工程与自动化》 2026年第1期196-198,共3页
原子层沉积是特殊的化学气相沉积,是一种先进的沉积技术。通过分解ALD设备的工艺需求,分析原ALD设备控制系统存在的不足,最终选用倍福的CX系列PC_Based控制器作为主控制器,结合昆仑通态TPC1570Gn触摸屏和欧姆龙的NX系列温控模块组成ALD... 原子层沉积是特殊的化学气相沉积,是一种先进的沉积技术。通过分解ALD设备的工艺需求,分析原ALD设备控制系统存在的不足,最终选用倍福的CX系列PC_Based控制器作为主控制器,结合昆仑通态TPC1570Gn触摸屏和欧姆龙的NX系列温控模块组成ALD设备的控制系统,并对该系统的硬件通信连接进行了设计,同时还对控制程序的一些难点进行了阐述和分析。最后将该系统应用在ALD设备上进行验证,工艺实验结果表明该控制系统远优于原控制系统。 展开更多
关键词 原子层沉积 pc_based HMI 控制系统
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