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Enhanced Reliability and Stability of Vanadium Oxide-Based RRAM by Constructing VO_(x)/TiO_(2)/n^(++)Si p-i-n Structure
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作者 WANG Ze ZHOU Xin +1 位作者 ASAD Khaleeq WANG Chunrui 《Journal of Donghua University(English Edition)》 2025年第3期242-250,共9页
Vanadium oxide(VO_(x))has garnered significant attention in the realm of resistive random-access memory(RRAM)owing to its outstanding resistive switching characteristics.However,the ambiguous mechanisms of resistive s... Vanadium oxide(VO_(x))has garnered significant attention in the realm of resistive random-access memory(RRAM)owing to its outstanding resistive switching characteristics.However,the ambiguous mechanisms of resistive switching and inferior stability hinder its practical applications.Herein,an RRAM named VO_(x)/TiO_(2)/n^(++)Si device is prepared.It displays bipolar resistive switching behavior and shows superior cycle endurance(>200),a significantly high on/off ratio(>10^(2))and long-term stability.The tremendous improvement in the stability of the VO_(x)/TiO_(2)/n^(++)Si device compared with the Cu/VOx/n^(++)Si device is due to the p-i-n structure of VO_(x)/TiO_(2)/n^(++)Si.The switching mechanism of the VO_(x)/TiO_(2)/n^(++)Si device is attributed to the growth and annihilation of Cu conductive filaments. 展开更多
关键词 vanadium oxide bipolar resistive switching p-i-n junction resistive random-access memory(RRAM) titanium dioxide double-layer structure
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高量子效率前照式GaN基p-i-n结构紫外探测器 被引量:5
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作者 游达 汤英文 +3 位作者 赵德刚 许金通 徐运华 龚海梅 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期896-899,共4页
研究了Al0.1-Ga0.9N/GaN异质结p-i-n结构可见盲紫外探测器的制备与性能,P区采用Al组分含量为0.1的AlGaN外延材料形成窗口层,使340-365nm波段的紫外光可以直接透过P区到达i区并被吸收,有效提高了这个波段的响应率与量子效率,并且研... 研究了Al0.1-Ga0.9N/GaN异质结p-i-n结构可见盲紫外探测器的制备与性能,P区采用Al组分含量为0.1的AlGaN外延材料形成窗口层,使340-365nm波段的紫外光可以直接透过P区到达i区并被吸收,有效提高了这个波段的响应率与量子效率,并且研究了不同P区AlGaN外延层厚度对探测器性能的影响,制备了两种不同P区厚度(0.1μm和0.15μm)的器件,测试结果表明,P区的厚度对200-340nm波段光吸收的量子效率影响较大,而i区的晶体质量的提高可以有效提高340-365nm波段光吸收的量子效率,并且当P区AlGaN厚度为0.15μm时,器件的峰值响应率达到0.214A/W,在考虑表面反射时外量子效率高达85.6%,接近理论极限,并且在零偏压时暗电流密度为3.16nA/cm^2,表明器件具有非常高的信噪比。 展开更多
关键词 p-i-n AlGaN量子效率 响应光谱 紫外探测器
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基于宽带隙P-I-N结构的高效有机小分子太阳电池 被引量:3
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作者 郭文阁 郑建邦 +1 位作者 任驹 张延曹 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期530-534,共5页
研制了一种采用混合的P-I-N异质结结构、基于混合ZnPc和C60的有机小分子太阳电池。该有机太阳电池光电转换由ZnPc和C60异质结混合成膜完成,电子和空穴分别通过n掺杂和P掺杂的宽带有机层传输至阴极和阳极,不同掺杂的电子或空穴传输层... 研制了一种采用混合的P-I-N异质结结构、基于混合ZnPc和C60的有机小分子太阳电池。该有机太阳电池光电转换由ZnPc和C60异质结混合成膜完成,电子和空穴分别通过n掺杂和P掺杂的宽带有机层传输至阴极和阳极,不同掺杂的电子或空穴传输层由精确控制两种有机小分子的蒸镀速率来实现;其中空穴传输层采用N,N,N’,N’-Tetrakis(4-methoxyphenyl)-benzidine(MeO-TPD)为基底材料和Tetrafluoro-tetracyano-quinodimethane(F4-TCNQ)为掺杂材料,电子传输层采用C60为基底材料,而掺杂材料为Leuco Crystal violet(LCV)。实验发现:可以通过改变光电转换层和电子传输层的厚度,优化器件的结构;与未掺杂的有机薄膜相比,掺杂的宽带有机传输层导电率提高了3~4个数量级,并且它们几乎不吸收太阳光;电子传输层的厚度直接影响太阳电池的转换效率,这与薄膜光学的预期结果相符;当增大光电转换层的厚度,不仅增加了光吸收,同时电子空穴的复合率也随之增加,因此器件的填充因子降低。实验结果表明:该有机太阳电池的光电转换效率可达2.4%。 展开更多
关键词 有机太阳电池 有机小分子 p-i-n异质结 转换效率
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单片集成硅光接收器中p-i-n硅光电探测器的进展 被引量:2
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作者 郭辉 郭维廉 +1 位作者 吴霞宛 陈迪平 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2001年第10期52-57,共6页
介绍了单片集成硅光接收器的研究背景、硅光电探测器工作机理以及它对实现高性能单片集成硅光接收器的影响,回顾总结了近年来的研究进展,并报道了我们的研究结果,展望了今后的发展。
关键词 单片集成电路 p-i-n硅光电探测器 SOI 单片集成硅光接收器
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背照射和正照射p-i-n结构GaN紫外探测器的i-GaN和p-GaN厚度设计 被引量:2
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作者 周梅 李春燕 赵德刚 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第9期1034-1040,共7页
研究了i-Ga N和p-Ga N厚度对背照射和正照射p-i-n结构Ga N紫外探测器响应光谱的影响。模拟计算发现:对于背照射结构,适当地减小i-Ga N厚度有利于提高探测器的响应,降低i-Ga N层的本底载流子浓度也有利于提高探测器的响应;p-Ga N的欧姆... 研究了i-Ga N和p-Ga N厚度对背照射和正照射p-i-n结构Ga N紫外探测器响应光谱的影响。模拟计算发现:对于背照射结构,适当地减小i-Ga N厚度有利于提高探测器的响应,降低i-Ga N层的本底载流子浓度也有利于提高探测器的响应;p-Ga N的欧姆接触特性好坏对探测器的响应影响不大,适当地增加p-Ga N厚度可以改善探测器性能。而正照射结构则不同,i-Ga N厚度对探测器的响应度影响不大,但欧姆接触特性差将严重降低探测器的响应,适当地减小p-Ga N厚度可以大幅度改善探测器的响应特性。能带结构和入射光吸收的差别导致了正照射和背照射探测器结构中i层和p层厚度的选择和设计不同。 展开更多
关键词 GAN p-i-n结构 紫外探测器 量子效率
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P-I-N型电力二极管反向恢复特性的仿真模型 被引量:3
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作者 裴云庆 王兆安 伊濑敏史 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第6期6-10,共5页
讨论了一种简单的二极管反向恢复模型,通过采用与存储电荷相关的寿命时间常数来考虑Auger复合过程及少子扩散电流的影响,从而得到更为精确的结果.该模型在电力电子系统CAD软件PECS中实现,采用该模型及软件对多种器件进... 讨论了一种简单的二极管反向恢复模型,通过采用与存储电荷相关的寿命时间常数来考虑Auger复合过程及少子扩散电流的影响,从而得到更为精确的结果.该模型在电力电子系统CAD软件PECS中实现,采用该模型及软件对多种器件进行了分析和比较. 展开更多
关键词 电力二极管 反向恢复 仿真 p-i-n 二极管
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p-InGaN层厚度对p-i-n结构InGaN太阳电池性能的影响及机理 被引量:3
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作者 周梅 赵德刚 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第5期534-538,共5页
研究了p-In Ga N层厚度对p-i-n结构In Ga N太阳电池性能的影响。模拟计算发现,随着p-In Ga N层厚度的增加,In Ga N太阳电池效率降低。较差的p-In Ga N欧姆接触特性会破坏In Ga N太阳电池性能。计算结果还表明,无论欧姆接触特性好坏,随着... 研究了p-In Ga N层厚度对p-i-n结构In Ga N太阳电池性能的影响。模拟计算发现,随着p-In Ga N层厚度的增加,In Ga N太阳电池效率降低。较差的p-In Ga N欧姆接触特性会破坏In Ga N太阳电池性能。计算结果还表明,无论欧姆接触特性好坏,随着p-In Ga N层厚度的增加,短路电流下降是导致In Ga N电池效率降低的主要原因。选择较薄的p-In Ga N层有利于提高p-i-n结构In Ga N太阳电池的效率。 展开更多
关键词 INGAN 太阳电池 p-i-n结构
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基于氮化镓单晶的垂直p-i-n二极管性能研究 被引量:1
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作者 张敏 金浩妮 +2 位作者 万飞 宗平 白煜 《半导体光电》 CAS 北大核心 2021年第5期620-623,共4页
利用高质量自支撑Ga N衬底,通过外延方法制备了垂直结构的Ga N基p-i-n型二极管结构。通过对材料结构、杂质浓度分布以及对器件整流特性的研究,探究了影响垂直结构器件特性的关键因素。结果表明,在同质外延的制备过程中,衬底表面的粗糙... 利用高质量自支撑Ga N衬底,通过外延方法制备了垂直结构的Ga N基p-i-n型二极管结构。通过对材料结构、杂质浓度分布以及对器件整流特性的研究,探究了影响垂直结构器件特性的关键因素。结果表明,在同质外延的制备过程中,衬底表面的粗糙程度将使制备的环形结构具有不规则形状,这种不规则电极对垂直结构器件的性能将产生不利影响;此外,多种杂质在界面处聚集,进而形成平面漏电通道,是降低器件耐压值的主要因素。 展开更多
关键词 Ga N p-i-n 垂直结构 反向漏电
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AlGaN/GaN P-I-N紫外探测器的电子辐照效应
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作者 白云 邵秀梅 +2 位作者 张燕 李向阳 龚海梅 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2007年第9期867-869,873,共4页
制备了Al0.1Ga0.9N/GaN异质结P-I-N结构可见盲正照射紫外探测器。用能量为0.8MeV的电子对器件依次进行注量为5×1014,5×1015和5×1016n/cm2的辐照。通过测量辐照前后器件的I-V曲线和光谱响应曲线,讨论了不同注量的电子辐照... 制备了Al0.1Ga0.9N/GaN异质结P-I-N结构可见盲正照射紫外探测器。用能量为0.8MeV的电子对器件依次进行注量为5×1014,5×1015和5×1016n/cm2的辐照。通过测量辐照前后器件的I-V曲线和光谱响应曲线,讨论了不同注量的电子辐照对Al0.1Ga0.9N/GaN异质结P-I-N器件性能的影响。实验表明,小注量的电子辐照对器件的反向暗电流影响不大,当电子注量≥5×1016n/cm2时才使器件的暗电流增大一个数量级。为了分析器件的辐照失效机理,制备SiN/GaN的MIS结构,并对其进行电子辐照,发现SiN/GaN之间的界面态随着电子辐照注量的增加而增加。这表明,器件的暗电流的增大的原因之一为钝化层与GaN材料之间因为辐照诱生的界面态。辐照前后器件的光谱响应曲线表明,电子辐照对器件的响应率没有产生明显的影响。 展开更多
关键词 ALGAN p-i-n 电子辐照 MIS结构
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GaN基p-i-n结构紫外光探测器
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作者 谢雪松 吕长志 +2 位作者 张小玲 李志国 冯士维 《半导体光电》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期33-35,共3页
用反应分子束外延(RMBE)方法在蓝宝石衬底上制备了GaN p-i-n结构,应用常规的半导体工艺制成了紫外光探测器,测试结果显示其正向导通电压为4.6 V,反向击穿电压大于40V;室温下反偏3 V时的暗电流为6.68 pA,峰值响应度0.115 A/W出现在367 nm... 用反应分子束外延(RMBE)方法在蓝宝石衬底上制备了GaN p-i-n结构,应用常规的半导体工艺制成了紫外光探测器,测试结果显示其正向导通电压为4.6 V,反向击穿电压大于40V;室温下反偏3 V时的暗电流为6.68 pA,峰值响应度0.115 A/W出现在367 nm处;400 nm处的响应度为6.59×10-5A/W,比峰值响应度低四个量级。 展开更多
关键词 GAN p-i-n结构 紫外探测器
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4H-SiCp-i-n紫外光电探测器的电容-电压特性研究
11
作者 蔡加法 陈厦平 +1 位作者 吴少雄 吴正云 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2016年第6期770-774,共5页
分析并比较了4H-SiC p-i-n紫外光电探测器的电容-电压(C-V)特性随温度和偏置电压的变化情况,观测到4H-SiC p-i-n结构中的深能级缺陷。结果表明:由于近零偏压时探测器i型层已处于耗尽状态,其高频(1 MHz)C-V特性几乎不随反向偏压变化.随... 分析并比较了4H-SiC p-i-n紫外光电探测器的电容-电压(C-V)特性随温度和偏置电压的变化情况,观测到4H-SiC p-i-n结构中的深能级缺陷。结果表明:由于近零偏压时探测器i型层已处于耗尽状态,其高频(1 MHz)C-V特性几乎不随反向偏压变化.随着温度升高,被热离化的自由载流子数量增多导致高频结电容随之增大;探测器的低频(100 kHz)结电容比高频结电容具有更强的电压和温度依赖性,原因在于被深能级缺陷俘获的载流子随反向偏压增大或随温度升高而被离化,从而对结电容产生影响. 展开更多
关键词 光电子学 4H-SIC p-i-n紫外光电探测器 电容-电压 深能级缺陷
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ICP刻蚀在GaAs p-i-n工艺中的应用
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作者 张力江 幺锦强 +1 位作者 崔玉兴 付兴昌 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2010年第8期503-506,共4页
基于GaAs p-i-n器件的制造工艺,介绍了器件制造过程中关键工艺步骤p-i层的去除方法,并总结分析了在p-i层去除过程中不同的方法对工艺结果造成的影响。分别采用了湿法腐蚀和干法刻蚀的方法制作了器件,结果表明采用湿法腐蚀的方法去除p-i... 基于GaAs p-i-n器件的制造工艺,介绍了器件制造过程中关键工艺步骤p-i层的去除方法,并总结分析了在p-i层去除过程中不同的方法对工艺结果造成的影响。分别采用了湿法腐蚀和干法刻蚀的方法制作了器件,结果表明采用湿法腐蚀的方法去除p-i层时,由于腐蚀的各项异性造成的影响无法消除,会影响器件的性能。阐述了影响干法刻蚀的设备因素和工艺因素,讨论分析了不同的气体、腔体的真空度以及不同的功率对最终结果的影响。最终得到刻蚀均匀、稳定的干法刻蚀条件,将ICP干法刻蚀工艺引入GaAs p-i-n器件制造。 展开更多
关键词 GAAS 感应耦合等离子体 p-i-n二极管 湿法腐蚀 干法刻蚀
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介质隔离横向高压p-i-n器件的击穿特性
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作者 洪垣 《上海大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 2001年第2期109-112,共4页
对硅厚膜 BESOI介质隔离横向高压 p- i- n器件的击穿特性作了分析 ,并用计算机进行了模拟 ,从器件的几何图形和隔离偏压方面 ,提出了改善击穿特性的方法 .
关键词 高压p-i-n器件 介质隔离 厚膜BESOI 击穿电压 功率集成电路 几何图形 隔离偏压
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高压非穿通P-i-N二极管等离子体抽取渡越振荡集总电路模型及封装抑制方法研究 被引量:2
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作者 朱安康 包鑫康 +4 位作者 陈宇 周宇 罗皓泽 李武华 何湘宁 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2023年第1期263-273,共11页
高压非穿通P-i-N二极管反向恢复阶段产生等离子抽取渡越时间(plasma extraction transit time,PETT)振荡,对功率模块的驱动电路和设备EMC性能造成严重干扰。文中根据二极管PETT振荡阶段载流子运行特征将器件内部分为等离子区、漂移区和... 高压非穿通P-i-N二极管反向恢复阶段产生等离子抽取渡越时间(plasma extraction transit time,PETT)振荡,对功率模块的驱动电路和设备EMC性能造成严重干扰。文中根据二极管PETT振荡阶段载流子运行特征将器件内部分为等离子区、漂移区和无源区3个区域并将各区域等效成电阻、电感和电容等集总电路参数,利用二极管等效电路与外围电路参数构建了PETT振荡集总电路模型。该模型可计算得到振荡阶段回路各阻抗的动态变化,复现PETT振荡失稳–自稳振荡现象。该集总电路模型表明PETT振荡出现根本原因是回路出现负阻,而负阻出现的原因是空穴渡越角位于π~2π之间,基于该模型解析得到回路寄生电感的优化范围,通过优化封装布局的方式可将空穴渡越角移出负阻出现的区间。最后,在模块内部通过优化绑定线布局将回路寄生电感调整至优化范围内,从而避免回路负阻以抑制PETT振荡的出现,实验证明了该封装抑制方法的有效性。 展开更多
关键词 焊接式模块 非穿通p-i-n二极管 等离子抽取渡越时间振荡 集总电路模型 封装抑制方法
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短漂移区肖特基-p-i-n混合整流二极管(MPS)的电学特性研究 被引量:1
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作者 韩颖晖 汪再兴 +1 位作者 闫锐 杨建红 《兰州大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2006年第3期80-84,共5页
肖特基-p-i-n整流二极管(MPS)的作用机制比较复杂.采用数值模拟的方法研究MPS的工作机制,清晰地给出了肖特基势垒、p-n结势垒以及两种势垒共同作用下器件内部电势、载流子浓度分布和电压-电流特性.结果表明:在MPS阳极区(p+区)注入空... 肖特基-p-i-n整流二极管(MPS)的作用机制比较复杂.采用数值模拟的方法研究MPS的工作机制,清晰地给出了肖特基势垒、p-n结势垒以及两种势垒共同作用下器件内部电势、载流子浓度分布和电压-电流特性.结果表明:在MPS阳极区(p+区)注入空穴的作用和肖特基势垒与p-n结势垒双重作用下,器件的电势将主要降低在肖特基结上;形成的电导调制区在饱和时变化很小,整个器件内电阻为准常数. 展开更多
关键词 MPS p-i-n 电导调制 肖特基势垒
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基于吡嗪空穴传输层的合成及在p-i-n型钙钛矿太阳能电池中的应用 被引量:2
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作者 许桂英 薛荣明 +2 位作者 张默瑶 李耀文 李永舫 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2021年第4期167-175,共9页
钙钛矿太阳能电池由于具有高的光电转换效率,简单的溶液加工工艺,较低的成本等优势因而拥有广阔的应用前景。有机小分子空穴传输层材料在钙钛矿太阳能电池中扮演着极其重要的角色。在本工作中,我们设计和合成了基于吡嗪为分子中心核,三... 钙钛矿太阳能电池由于具有高的光电转换效率,简单的溶液加工工艺,较低的成本等优势因而拥有广阔的应用前景。有机小分子空穴传输层材料在钙钛矿太阳能电池中扮演着极其重要的角色。在本工作中,我们设计和合成了基于吡嗪为分子中心核,三苯胺为分枝的X型空穴传输层材料PT-TPA。与Si-OMeTPA对比,吡嗪的引入不仅不会影响其结晶性,并且能够改善其电荷转移特性和分子中心共平面性,从而显著提升了PT-TPA的空穴迁移率。在非掺杂的情况之下,基于PT-TPA空穴传输层的p-i-n型钙钛矿太阳能电池展现出17.52%的光电转换效率,与相同条件下基于Si-OMeTPA空穴传输层的器件相比,效率提高了近15%。 展开更多
关键词 吡嗪 空穴传输层 有机小分子 p-i-n型钙钛矿太阳能电池 结构与性能关系
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阴极界面修饰层改善平面p-i-n型钙钛矿太阳能电池的光伏性能 被引量:3
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作者 刘晓东 李永舫 《电化学》 CAS CSCD 北大核心 2016年第4期315-331,共17页
有机/无机杂化金属卤化物钙钛矿半导体材料结合了有机材料良好的溶液可加工性以及无机材料优越的光电特性,近几年受到了热捧,成为太阳能电池领域一颗耀眼的明星.伴随着钙钛矿薄膜结晶过程和形貌的优化、器件结构的改进以及电极界面材料... 有机/无机杂化金属卤化物钙钛矿半导体材料结合了有机材料良好的溶液可加工性以及无机材料优越的光电特性,近几年受到了热捧,成为太阳能电池领域一颗耀眼的明星.伴随着钙钛矿薄膜结晶过程和形貌的优化、器件结构的改进以及电极界面材料的开发,这类有机/无机杂化金属卤化物钙钛矿太阳能电池的光电转换效率从最初的3.8%迅速提高到目前最高的22.1%.其中界面工程在提升器件性能上发挥着极其重要的作用.本文总结了平面p-i-n型钙钛矿太阳能电池中阴极界面修饰层(CBL)的研究进展.CBL从材料上讲可分为无机金属氧化物、金属或金属盐以及有机材料,从构成上讲可分为单层CBL、双层CBLs以及共混型CBL.本文对这些类型的CBL分别给予详细的介绍.最后,我们归纳出CBL在改善器件效率和稳定性上所起的作用以及理想CBL所应满足的要求,希望能为以后阴极界面修饰材料的设计提供一定的借鉴. 展开更多
关键词 平面p-i-n型钙钛矿太阳能电池 阴极界面修饰层 效率和稳定性 有机/无机杂化金属卤化物钙钛矿半导体材料
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倒置平面结构(p-i-n型)钙钛矿太阳能电池研究进展 被引量:3
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作者 王营霞 龙翔宇 龙伟 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第7期1500-1505,共6页
自从2009年钙钛矿结构的材料首次应用到太阳能电池研究领域,由于其具有多方面优异的性能,在短短的几年内便得到了迅速的发展。目前,钙钛矿太阳能电池的最大光电转换效率已经达到了22.7%,且有进一步提升的趋势。相比于正置结构的钙钛矿... 自从2009年钙钛矿结构的材料首次应用到太阳能电池研究领域,由于其具有多方面优异的性能,在短短的几年内便得到了迅速的发展。目前,钙钛矿太阳能电池的最大光电转换效率已经达到了22.7%,且有进一步提升的趋势。相比于正置结构的钙钛矿太阳能电池,倒置平面结构的钙钛矿太阳能电池具有更低的成本和更简单的制备工艺,有望实现规模化应用。本文重点介绍了倒置结构钙钛矿太阳能电池的研究进展。首先介绍了钙钛矿太阳能电池的发展历程,然后详细介绍了倒置平面结构(p-i-n型)太阳能电池的结构和研究现状,最后总结了目前钙钛矿太阳能电池研究面临的几个亟需解决的问题,并对钙钛矿太阳能电池的研究和应用前景进行了展望。 展开更多
关键词 钙钛矿太阳能电池 p-i-n 转换效率
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退火对高Al组分AlGaN P-I-N二极管光电性能的影响 被引量:2
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作者 赵鸿燕 司俊杰 +4 位作者 鲁正雄 成彩晶 丁嘉欣 张亮 陈慧娟 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2007年第12期1283-1286,共4页
研究了不同条件下的退火对高Al组分AlGaN P-I-N二极管性能的影响。研究结果表明,合适的退火条件既能使AlGaN与电极之间形成良好的欧姆接触,同时又能显著降低AlGaNP-I-N二极管的反向漏电流,反偏压5V时,暗电流密度由2.0×10-1A/cm2降... 研究了不同条件下的退火对高Al组分AlGaN P-I-N二极管性能的影响。研究结果表明,合适的退火条件既能使AlGaN与电极之间形成良好的欧姆接触,同时又能显著降低AlGaNP-I-N二极管的反向漏电流,反偏压5V时,暗电流密度由2.0×10-1A/cm2降为5.7×10-5A/cm2,串阻由18.01kΩ减小到1.071kΩ,从而优化了AlGaN P-I-N二极管的I-V特性。分析认为这与退火改善接触电极特性,同时消除器件制备工艺中引入的损伤、降低缺陷态密度有关。 展开更多
关键词 ALGAN P—I—N二极管 退火 欧姆接触 工艺损伤
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薄p型层GaN基p-i-n型紫外探测器的反向漏电特性
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作者 邹翔 汪莱 +3 位作者 裴晓将 赵维 王嘉星 罗毅 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2011年第2期165-167,共3页
制备了薄p型层GaN基p-i-n型紫外探测器,并对其反向漏电特性进行了研究。探测器材料采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)方法在蓝宝石衬底上外延生长获得,p-GaN的厚度为30nm。基于该材料制作了具有共面电极的探测器器件,并采用SiO2对刻蚀侧... 制备了薄p型层GaN基p-i-n型紫外探测器,并对其反向漏电特性进行了研究。探测器材料采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)方法在蓝宝石衬底上外延生长获得,p-GaN的厚度为30nm。基于该材料制作了具有共面电极的探测器器件,并采用SiO2对刻蚀侧壁进行了钝化。测试结果表明,结面积为1.825×10-4cm2的器件在-1V时的反向漏电流面密度为3.0×10-9 A/cm2,优质因子达到3.7×109Ω.cm2。 展开更多
关键词 GAN p-i-n 紫外探测器 优质因子 反向漏电
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