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p-InP/Ag-Zn/Mn系的接触特性及其应用
1
作者
张桂成
程宗权
+1 位作者
蒋惠英
俞志中
《电子科学学刊》
CSCD
1990年第2期214-218,共5页
本文研究了p-InP/Ag-zn/Mn系的接触特性和界面互扩散问题。结果表明:该系的比接触电阻与Au-zn系相当。而Ag的内扩散程度较Au低,有利于器件可靠性的改善。该系用作InGaAsP/InP边发光管的p面电极,器件的Rs(?)4—6Ω。
关键词
p-inp/ag
Zn/Mn
比接触电阻
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职称材料
题名
p-InP/Ag-Zn/Mn系的接触特性及其应用
1
作者
张桂成
程宗权
蒋惠英
俞志中
机构
中国科学院上海冶金所
上海测试技术所
出处
《电子科学学刊》
CSCD
1990年第2期214-218,共5页
文摘
本文研究了p-InP/Ag-zn/Mn系的接触特性和界面互扩散问题。结果表明:该系的比接触电阻与Au-zn系相当。而Ag的内扩散程度较Au低,有利于器件可靠性的改善。该系用作InGaAsP/InP边发光管的p面电极,器件的Rs(?)4—6Ω。
关键词
p-inp/ag
Zn/Mn
比接触电阻
Keywords
Specific contact resistance
Alloy temperature
Interdiffusion
分类号
O472.4 [理学—半导体物理]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
p-InP/Ag-Zn/Mn系的接触特性及其应用
张桂成
程宗权
蒋惠英
俞志中
《电子科学学刊》
CSCD
1990
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